WO2004099088A1 - 超純水製造装置 - Google Patents
超純水製造装置Info
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Definitions
- the present invention relates to an ultrapure water production apparatus widely used in semiconductor manufacturing plants, nuclear power plants, pharmaceutical manufacturing plants, and the like. Background art
- ultra-pure water such as electrolytes, fine particles, and organic matter (hereinafter abbreviated as TOC)
- TOC organic matter
- an apparatus for producing such ultrapure water an apparatus combining an ion exchange unit filled with an ion exchange resin and a reverse osmosis unit is widely used.
- the ion exchange resin in a system using such an ion exchange unit, the ion exchange resin
- the present inventors have found that the treated water TOC has a very low concentration, and yet the monovalent cation and the monovalent cation are sufficiently removed by the electrodialysis unit in the former stage, and in the latter stage. Removes divalent or higher cations and anions by reverse osmosis unit to obtain high-purity ultrapure hydraulic power and eliminates the need for maintenance using conventional ion-exchange resin regenerants (HC1, aOH) We have been studying for the purpose of developing a simple ultrapure water production system.
- HC1, aOH conventional ion-exchange resin regenerants
- the ultrapure water production system using a monovalent cation permselective membrane for the electrodialysis unit described above was taken one step further, using a monovalent anion permselective membrane together with a monovalent cation permselective membrane.
- the present invention has been proposed.
- the present invention is based on the above-mentioned findings, and is capable of sufficiently removing electrolytes, fine particles, organic substances, etc., as well as monovalent cations and anions, and divalent or higher cations and anions. It is an object of the present invention to provide an ultrapure water production apparatus capable of stably and easily producing high-purity pure water, which realizes sufficient removal of water. Disclosure of the invention
- the ultrapure water production apparatus of the present invention comprises an electrodialysis unit using a monovalent ion-selective permeable membrane and a monovalent ion-selective permeable membrane, and a reverse osmosis unit. It is characterized in that the reverse osmosis unit is connected in series at the front stage in the rear stage. Further, in the above ultrapure water production apparatus, a decarboxylation apparatus including an acid addition apparatus is provided at a stage preceding the electrodialysis unit. In the electrodialysis unit of the ultrapure water production apparatus of the present invention, a monovalent cation selectively permeable membrane and a monovalent anion selective permeable membrane are used in combination.
- the monovalent cation selective permeation membrane known membranes can be used without any limitation.
- the permselectivity coefficient between sodium ion, a typical monovalent cation, and calcium ion, a typical divalent cation can be used.
- Select monovalent cations with P Ca N J less than 0.5 and less than 0.2 A permeable membrane can be suitably used.
- Such a monovalent cation selectively permeable membrane is, for example, a membrane described in JP-A-62-205135, that is, a membrane composed of a quaternary ammonium base and a vinyl compound having three or more pinylbenzyl groups.
- An example is a modified cation exchange membrane in which a polymer is present on at least one surface of a cation exchange membrane.
- the pinyl compound having eight or more vinylbenzyl groups a compound obtained by reacting a primary amine with three or more vinylbenzyl halides, such as methylaminediethylamine, can be used.
- the monovalent cation selectively permeable membrane has a selective permeability coefficient of less than 0.2 and can be used particularly preferably in the present invention.
- the monovalent anion selective permeable membrane known membranes can be used without any limitation. In particular, selection between chloride ion, a typical monovalent anion, and sulfate ion, a typical divalent anion, is possible. less than the permeability coefficient (P S04 C1) is 0.5, more can be preferably used a monovalent anion Ion permselective membrane of less than 0.2.
- Such a monovalent anion selective permeable membrane includes, for example, an anion exchange resin membrane known as a film of an organic polymer resin having an anion exchange group, and an aromatic nucleus containing one or more amino acids.
- an anion exchange resin membrane known as a film of an organic polymer resin having an anion exchange group, and an aromatic nucleus containing one or more amino acids.
- an electrodialysis tank in which the monovalent cation selective permeable membrane and the monovalent anion selective permeable membrane described above are alternately arranged is used. Then, by supplying raw water to the desalting chamber and supplying the concentrated liquid to the concentrating chamber, cations and anions in the raw water can be removed.
- the operation time of the electrodialysis unit having an ion exchange membrane as described above is long.
- a known unit can be used without any limitation.
- a known membrane such as a polyamide-based membrane, a polyvinyl alcohol-based membrane, or an acetate cell-based membrane can be used.
- a film such as spiral or hollow fiber can be used.
- the operating conditions of the reverse osmosis unit are not particularly limited, and known conditions can be employed as they are. For example, it may be operated at a pressure of about 5 to 30 kgf / cm 2 .
- the ultrapure water production apparatus of the present invention is configured by connecting the above-mentioned electrodialysis unit in the first stage and the reverse osmosis unit in the second stage in series.
- a decarboxylation unit including an acid addition unit in front of the electrodialysis unit.
- a decarboxylation device for example, a dispersion column having a built-in packing or a device for decarboxylation by degassing an inert gas can be suitably used.
- Raw water is preferably filtered with a cartridge filter of about l ⁇ m, for example. Further, if necessary, an alkaline aqueous solution may be added to the raw water to adjust the pH of the raw water to about 8.0 to 9.0. As a result, the carbon dioxide present in the raw water becomes bicarbonate ions, which can be removed by the electrodialysis unit as bicarbonate ions.
- a monovalent anion-selective permeable membrane is used together with a monovalent anion-selective permeable membrane in the electrodialysis unit.
- a monovalent anion-selective permeable membrane is used together with a monovalent anion-selective permeable membrane in the electrodialysis unit.
- Figure 1 shows an embodiment of the best mode for the carrying out the c invention is a diagram schematically showing structure of a high-purity water producing apparatus of the present invention
- FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of an ultrapure water production apparatus according to one embodiment of the present invention.
- reference numeral 1 denotes an electrodialysis unit using a monovalent cation selectively permeable membrane and a monovalent anion selectively permeable membrane, and a raw water supply pipe 2 is connected to the electrodialysis unit 1.
- raw water tap water from Atsugi City is filtered with a cartridge finoleta of about l ⁇ m, the pH is adjusted to 5 to 6 by adding hydrochloric acid, and then decarbonated through a degassing tower. Further, water having a water temperature of 25 ° C adjusted to pH 8 to 9 by adding caseid was used.
- the treated water treated by the electrodialysis unit 1 is stored in a treated water tank 3 and then sent to a reverse osmosis unit 5 by a pump 4 for treatment.
- the ultrapure water obtained by the two-stage treatment of the electrodialysis unit 1 and the reverse osmosis unit 5 is sent to the ultrapure water storage tank 6.
- the concentrated water discharged from the reverse osmosis unit 5 is sent to the concentration chamber of the electrodialysis unit 1 in the preceding stage through the concentrated wastewater discharge pipe 7, and is used as the concentrated liquid. By doing so, the amount of wastewater discharged from the present apparatus can be reduced.
- ultrapure water was produced as described below using the ultrapure water production apparatus having the above configuration.
- a quaternary ammonium base obtained by reacting methylamine with vinylbenzyl chloride and a polymer of a pinyl compound having three vinylbenzyl groups are used as a cation exchange membrane.
- the above-mentioned permeation coefficient P Ca Na is a value obtained as follows. That is, a 1: 1 mixed solution of 0.25N NaCl and CaCl 2 was placed on both sides of the cation exchange membrane, subjected to electrodialysis at 2 A / dm 2 for 40 minutes, and permeated through the cation exchange membrane. The amount of Na ion and Ca ion moved to the opposite side was calculated by the following equation.
- the above permeation coefficient P S ( ei is a value obtained as follows. That is, a mixed solution of 0.1N NaCl and 1: 1 Na 2 SO ⁇ is mixed with an anion exchange membrane. And subjected to electrodialysis at 2 A / dm 2 for 40 minutes, and the amount of C 1 ion and SO ion permeating through the anion exchange membrane and moving to the opposite side was determined by the following equation.
- t SQ4 is the transport number of so 4 ions in the anion exchange membrane
- t ei is the circularity of ci ions in the anion exchange membrane
- c S () 4 is so A ion before electrodialysis.
- concentration of, c ei indicates the concentration of C1 Ion before electric dialysis
- the raw water shown in Table 1 was circulated to the dilution chamber of the electrodialysis unit 1, and electrodialysis was performed at a current density of 0.01 A / dm 2 for 70 minutes.
- the treated water was supplied to the reverse osmosis unit 5 for treatment.
- Table 1 shows the ion concentrations in the water treated with the electrodialysis unit 1 and the water treated with the reverse osmosis unit 5 (ultra pure water).
- 15% of the concentrated solution of the reverse osmosis unit 5 was supplied to the concentration room of the electrodialysis unit 1, and the wastewater was re-used for IJ.
- the ultrapure water production apparatus of the present invention since the monovalent cation selectively permeable membrane and the monovalent anion selectively permeable membrane are used in the previous electrodialysis unit, the monovalent cations in the raw water are used. And monovalent anions can be selectively removed, and divalent or higher cations and anions can be removed with a reverse osmosis unit. Therefore, the use of the ultrapure water production apparatus of the present invention makes it possible to stably obtain ultrapure water having a cation concentration and an anion concentration of 0.1 ppm or less. According to the present invention, ultrapure water from which electrolytes, fine particles, organic substances, and the like can be sufficiently removed can be obtained without the need for maintenance of a regenerating agent.
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Description
明 細 書 技術分野
本発明は、 半導体製造工場、原子力発電所、 医薬製造工場等で広く使用され て 、る超純水製造装置に関する。 背景技術
従来から、半導体製造工場、 原子力発電所、 医薬製造工場等においては、 電 解質、微粒子、 有機物 （以下、 T O Cと略す） 等の極めて少ない超純水が使用さ れている。 このような超純水の製造装置として、 イオン交換樹脂を充填したィォ ン交換ュニッ卜と、逆浸透ュニッ卜とを組合せた装置が汎用されている。 しかし、 このようなイオン交換ュニットを使用するシステムでは、 イオン交換樹脂からの
T O Cの溶出が大きいため、 後段の逆浸透ュニッ卜でイオン交換樹脂から溶出す る T 0 Cを十分に除去することができないという問題がある。
上述したシステムの問題を解決する手法として、本発明者らは先に、 一価陽ィ オン選択透過性を有するイオン交換膜を用いた電気透析ュニットと、逆浸透ュニ ッ卜とを組合せた超純水製造システムを提案している （特願平 4 - 25180号） このシステムによれば、 T O Cの溶出がほとんどなく、特に Na+や K+等の一 価陽イオンを低濃度まで除去可能な電気透析ュニッ卜と、特に多価イオンの除去 性に優れている逆浸透膜とを組合せることで、安定して高純度の超純水を得るこ と力可能となる。
しかし、上記の超純水製造システムを用いて、 種々の原水水質を処理した結果 を検討したところ、水質によっては電気透析ュニッ卜の除去性能が、期待してい た効果がでないような事例があることカ 幌した。 すなわち、脱塩が進行した場 合に発生する水分裂によるイオン交換膜への影響を低減するために、意図的に二 価陽イオンのみを残留させようとしたところ、結果的にはこの二価陽イオン、特 に Ca +、 Mg2+に相対して等量に匹敵する陰イオンの残留カ認められた。 原水のィ オン濃度バランスゃ pHによっても異なるカ^ 特に無機炭酸が残留する例カ哆かつ た。 この無機炭酸、 特に HC03一 (重炭酸イオン） は、後段の逆浸透ュニッ卜で
は除去しにくく、結果的に上記システムの出口水質が低下するという問題を招い てしまう。
本発明者らは、上述した問題に鑑み、処理水 T O Cがごく低濃度であり、 しか も一価の陽ィォンと一価の陰ィォンを前段の電気透析ュニットで十分に除去する と共に、 後段の逆浸透ュニッ卜で二価以上の陽イオンと陰イオンを除去して、 高 純度の超純水力く得られ、 かつ従来のようにィォン交換樹脂の再生剤 (HC 1、 aOH) によるメンテナンスが不要な超純水製造システムを開発することを目的として検 討を重ねてきた。
その結果、前述した電気透析ュニッ卜に一価陽イオン選択透過性膜を用いる超 純水製造システムをさらに一歩進め、一価陽イオン選択透過性膜と共に一価陰ィ オン選択透過性膜を使用することで、 上記の目的を達成できることを見出し、本 発明を提案するに至った。
本発明は、上述した知見に基づくものであり、 電解質、微粒子、有機物等を十 分に除去すること力 'できると共に、一価の陽イオンおよび陰イオン、 さらに二価 以上の陽ィォンおよび陰ィォンの十分な除去を実現した、高純度の純水を安定し てかつ簡便に製造することができる超純水製造装置を提供することを目的として いる。 発明の開示
本発明の超純水製造装置は、一価陽ィォン選択透過性膜と一価陰ィォン選択 透過性膜とを用いた電気透析ュニッ卜と、 逆浸透ュニッ卜とを、前記電気透析ュ ニットを前段に、前記逆浸透ュニットを後段にして順に直列に接続して構成した ことを特徴としている。 また、上記超純水製造装置において、前記電気透析ュニ ッ卜の前段に、 酸添加装置を含む脱炭酸装置を設置したことを特徴としている。 本発明の超純水製造装置における電気透析ュニッ卜では、一価陽イオン選択透 過性膜と一価陰ィォン選択透過性膜とを併用している。一価陽ィォン選択透過性 膜としては、 公知のものを何等制限なく採用することができ、特に一価陽イオン として代表的なナトリゥムイオンと二価陽イオンとして代表的なカルシウムィォ ンとの選択透過係数 (PCa NJ が 0.5未満、 さらに 0.2未満の一価陽イオン選択
透過性膜を好適に使用することができる。
このような一価陽イオン選択透過性膜としては、 例えば特開昭 62- 205135号公 報に記載された膜、 すなわち第四級アンモニゥム塩基と 3個以上のピニルベンジ ル基を有するビニル化合物との重合体を、 陽イオン交換膜の少なくとも一方の表 面に存在させた改質陽ィォン交換膜が例示される。 8個以上のビニルベンジル基 を有するピニル化合物としては、 メチルァミンゃェチルァミン等の一級ァミンと 3個以上のビニルベンジルハライドとを反応させた化合物を用いること力できる。 この一価陽イオン選択透過性膜は、上記選択透過係数が 0.2未満であり、本発明 において特に好適に使用すること力できる。
また、一価陰イオン選択透過性膜としては、 公知のものを何等制限なく採用で きるが、特に一価陰ィオンとして代表的な塩素ィォンと二価陰ィオンとして代表 的な硫酸イオンとの選択透過係数 (PS04 C1) が 0.5未満、 さらには 0.2未満の 一価陰ィォン選択透過性膜を好適に使用することができる。
このような一価陰イオン選択透過性膜としては、 例えば陰イオン交換基を有す る有機高分子樹脂の膜状物として知られる陰イオン交換樹脂膜の表面に、芳香核 に 1以上のアミノ基を有し、 しかもアルデヒド基、 メチロール基と縮合して架橋 結合の発達した棚旨を形成し得る化合物と、 アルデヒド類との縮合物の薄層を形 成させてなる陰ィォン間の選択透過性を有する陰ィォン交換樹脂膜 （特公昭 36 - 1 5258号公報参照） 、 陰イオン交換樹脂膜の表面に、 陽イオン交換基を有する有機 低分子電解質、 または架橋していない線状高分子電解質の薄層を有する膜 （特開 昭 45 - 19980号公報参照） 、 強塩基性陰イオン交換基に変換し得る官能基の一部を 予め四級ァミノ化処理に対して不活性化したイオン交換膜母体を、 四級ァミノ化 処理した後に過酸化物溶液と接触させる力、、 過酸化物溶液と接触させた後に四級 アミノィ匕した膜 （特公昭 56- 47213号公報参照）等力挙げられる。
本発明における電気透析ュニットは、上記した一価陽イオン選択透過性膜と一 価陰ィォン選択透過性膜とを交互に配列した電気透析槽が使用される。 そして、 脱塩室に原水を提供し、 濃縮室に濃縮液を提供することによって、原水中の陽ィ ォンおよび陰イオンを除去することができる。
上述したようなイオン交換膜を有する電気透析ュニッ卜の運転時間は、長時間
であるほどィォンの除去率は上昇する力、 単位時間あたりの超純水の生産量が低 くなるため、 超純水のイオン除去率と製造量との両者を勘案して、 適宜決定すれ い
また、 本発明の超純水製造装置における逆浸透ュニットは、 公知のものを何等 制限なく使用することができる。 例えば、 逆浸透膜としては、 公知のポリアミ ド 系、 ポリビニルァルコール系、 酢酸セル口一ス系等の膜を使用すること力できる。 また構造的には、 スパイルラル、 ホロファイバ一等の膜を使用することができる。 逆浸透ュニッ卜の運転条件は特に制限されず、 公知の条件をそのまま採用するこ とができる。 例えば、 5〜30kgf/cm2程度の圧力で運転すればよい。
本発明の超純水製造装置は、 上述した電気透析ュニットを前段に、 逆浸透ュニ ッ 卜を後段にして順に直列に接続して構成したものである。 また、 原水の無機炭 酸の濃度が高い場合 （例えば 50ppmCaCO3換算以上） には、 電気透析ュニッ卜の 前段として、 酸添加装置を含む脱炭酸装置を設置すること力好ましい。 このよう な脱炭酸装置としては、 例えば充填物を内蔵した分散塔、 あるいは不活性ガスを ばつ気して脱炭酸する装置等が好適に使用することができる。
また原水は、 例えば l〃m程度のカー卜リッジフィルタで濾過すること力《好ま しい。 さらに、 必要に応じて、 原水にアルカリ性水溶液を添加し、 原水の pHを 8.0〜 9. 0程度に調整してもよい。 これにより、 原水中に存在する炭酸ガスを重 炭酸イオンとなり、 電気透析ュニットにて重炭酸イオンとして除去すること力可 會 となる。
本発明の超純水製造装置においては、 電気透析ュニッ卜で一価陽イオン選択透 過性膜と共に、一価陰イオン選択透過性膜を使用しているため、 例えば脱塩が進 行した場合に発生する 7K分裂によるィォン交換膜への影響を低減するために、 意 図的に二価陽イオンのみを残留させる場合においても、 逆浸透ュニット側への一 価陰イオン、 例えば HC¾ ―等の流出を防止することができる。 そして、 二価以 上の陽イオンおよび陰イオンは、 逆浸透ュニッ卜で除去することができる。
また、 電気透析ュニッ 卜と逆浸透ュニッ卜とを組合せて用いることで、 電解質、 微粒子、 有機物等を十分に除去することができる。 これらにより、 高純度の超純 水を安定して製造することが可能となる。
図面の簡単な説明
第 1図は、本発明の一実施例の超純水製造装置の構成を概略的に示す図である c 発明を実施するための最良の形態
次に、 本発明の実施例について図面を参照して説明するカ^ 本発明は以下の 実施例のみに限定されるものではない。
図 1は、 本発明の一実施例による超純水製造装置の概略構成を示す図である。 同図において、 1は一価陽イオン選択透過性膜と一価陰イオン選択透過性膜とを 用いた電気透析ュニッ卜であり、 この電気透析ュニット 1には原水供給配管 2が 接続されている。 なお、原水としては、厚木市の巿水を、 l〃m程度のカートリ ッジフイノレタで濾過し、塩酸を添加して pHを 5〜 6に調整した後、脱気塔を通し て脱炭酸処理し、 さらにカセイソ一ダを添加して pHを 8〜 9に調整した水温 25°C のものを用いた。
上記電気透析ュニッ卜 1で処理された処理水は、処理水槽 3に貯蔵された後、 ポンプ 4により逆浸透ュニット 5に送られて処理される。 そして、 電気透析ュニ ット 1と逆浸透ュニッ卜 5の二段の処理によって得られた超純水は、超純水貯槽 6に送られる。 また、逆浸透ュニット 5から排出される濃縮水は、 濃縮廃水排出 配管 7を介して、前段の電気透析ュニット 1の濃縮室に送られて、 濃縮液として 禾 IJ用される。 このようにすることによって、 本装置から排出する排水の量を減少 させることができる。
次に、上記構成の超純水製造装置を用いて、 以下に示すように超純水を製造し た。 まず、電気透析ュニットとしては、 メチルァミンとビニルベンジルクロライ ドとを反応させて得た第四級ァンモニゥム塩基と 3個のビニルベンジル基を有す るピニル化合物の重合体とを陽イオン交換膜の一方の表面に存在させた一価陽ィ オン選択透過性膜 （選択透過係数 PCa N„=0.2) [株式会社トクャマ製、 商品名 CM S-F ] と、母体となる一価陰イオン選択透過性膜をジメチルアミン水溶液中で反 応させた後、 トリメチルァミンで処理した陰イオン交換膜 （選択透過係数 PS()4 C1=0.07) [株式会社卜クャマ製、 商品名 ACS ] とを、交互に 10対配列した電気透
析槽 （膜面積: 2dm2 /枚） を使用した。 また、 逆浸透膜は、 ポリアミ ド系複合膜 [株式会社東レ製、 商品名 SU - 710PN] を使用した。 なお、上記の選択透過係数 P Ca Naは、 次にようにして求めた値である。 すなわち、 0.25Nの NaClと CaCl 2 の 1 : 1の混合溶液を陽イオン交換膜の両側に置き、 2A/dm2で 40分間の電気透析を実 施して、 陽ィォン交換膜中を透過して反対側へ移動した Naィオンおよび Caィォン の量から次式によって求めた。
P Na= じ , ， ^ Ca
(式中、 t eJま陽イオン交換膜中の Caイオンの輸率を、 t N。は陽イオン交換膜中 の Naイオンの輸率を、 Ceaは電気透析前の Caイオンの濃度を、 C Naは電気透析前 の Naイオンの濃度を示す）
また、上記の選択透過係数 P S( eiは、 次にようにして求めた値である。 すな わち、 0.1Nの NaClと Na2 SO^ の 1 : 1の混合溶液を陰イオン交換膜の両側に置き、 2A/dm2で 40分間の電気透析を実施して、 陰イオン交換膜中を透過して反対側へ 移動した C 1イオンおよび SO イオンの量から次式によって求めた。
P Cl = t s04 · C Cl / t Cl ·
(式中、 t SQ4 は陰イオン交換膜中の so4 イオンの輸率を、 t eiは陰イオン交換 膜中の ciイオンの輪率を、 cS()4 は電気透析前の soA イオンの濃度を、 ceiは電 気透析前の C1ィォンの濃度を示す）
そして、 まず表 1に示す原水を、上記電気透析ュニット 1の希釈室に循環して、 70分間電流密度 0.01A/dm2で電気透析を行った。 次いで、 この処理水を逆浸透ュ ニット 5に供合して処理した。 電気透析ュニッ卜 1による処理水、 および逆浸透 ュニット 5による処理水 （超純水） 中のイオン濃度を表 1に示す。 なお、逆浸透 ユニット 5の濃縮液は、 15%を電気透析ュニッ卜 1の濃縮室に供給し、排水の再 禾 IJ用を行った。
また、本発明との比較として、上記実施例と同一の一価陽イオン選択透過性膜 と、選択透過性のない陰イオン透過性膜 [株式会社トクャマ製、商品名 AM- 1] と を用いた電気透析ュニットを使用する以外は、 上記実施例と同様にして超純水を 製造した。 この比較例による処理水中のイオン濃度を表 1に併せて示す。
【表 1】
*： ( )内の値は比抵抗 (ΜΩ♦ cm25°C) である。
表 1から明らかなように、電気透析ュニッ卜の陰イオン交換膜として一価陰ィ オン選択透過性膜を用い、 電気透析ュニッ卜で一価の陰イオンを選択的に除去す ると共に、 逆浸透ュニッ卜で二価以上の陰イオンを除去することにより、 陰ィォ ン濃度および陽イオン濃度を共に極めて減少させた超純水を得ること力可能とな る。 ：れに対して、電気透析ュニットで選択透過性のない陰イオン交換膜を用い ると、.電気透析ュニットによる処理水中の一価陰ィォンの濃度が增加し、 その後 逆浸透ュニットで処理しても、一価陰イオン濃度を十分に低くすることができな いこと力分かる。 なお、 超純水中の T O Cは、 いずれも 30 gC/1以下であった。 また表 1において、 陽イオンは原子吸光光度法で、 陰イオンはイオンクロマトグ ラフ法で求めた。 産業上の利用可能性
本発明の超純水製造装置によれば、 前段の電気透析ュニッ卜で一価陽イオン 選択透過性膜および一価陰イオン選択透過性膜を使用しているため、原水中の一 価陽ィォンと一価陰ィォンが選択的に除去され、 また二価以上の陽ィオンと陰ィ オンは逆浸透ュニッ卜で除去することができる。 従って、本発明の超純水製造装 置を使用すれば、 陽イオン濃度および陰イオン濃度共に O. lppm以下の超純水を 安定して得ること力可能となる。 しカヽも、本発明によれば、電解質、微粒子、有 機物等の除去が十分な超純水を、再生剤等のメンテナンスを不要とした上で得る ことができる。
S
Claims
1. 一価陽ィォン選択透過性膜と一価陰ィォン選択透過性膜とを用いた電気 透析ュニッ 卜と、 逆浸透ュニッ トとを、 前記電気透析ュニットを前段に、 前記逆 浸透ュニッ トを後段にして順に直列に接続して構成したことを特徴とする超純水
2. 前記電気透析ュニットの前段に、 酸添加装置を含む脱炭酸装置を設置し たことを特徴とする請求項 1記載の超純水製造装置。
3. 前記電気透析ュニットの前段に、 原水の pHを 8. 0〜 9. 0に調整する pH調 整装置を配置したことを特徵とする請求項 1記載の超純水製造装置。
4. 一価陽イオン選択透過性膜が、 ナトリウムイオンとカルシウムイオンと の選択透過係数 (P Na) が 0. 5未満である請求項 1ないし 3のいずれか 1記載
5. 一価陰ィォン選択透過性膜が、 塩素ィォンと硫酸ィオンとの選択透過係 数 （PSQ4 C1) が 0. 5未満である請求項 1ないし 4のいずれか 1記載の超純水製
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