WO2004044565A1 - 光量調整システム - Google Patents

Abstract

画像処理装置側での画像補正を不要又は可及的に減少させ、検査精度を向上させるとともに検査時間を短縮できるようにすべく、独立して光量調整可能な複数の光照射部１１を有し、所定の対象領域Ａに向かって光を照射する光照射装置１と、前記対象領域Ａをレンズを介して撮像し、撮像した画像である対象領域画像を出力する撮像装置２と、前記撮像装置２が出力した対象領域画像における各部の明るさが所定の目標値に近づくように、前記光照射部１１の光量をそれぞれ制御する光量制御部３とを備えた光量調整システムを設けた。

Description

明 細 書

光 量 調 整 シ ス テ ム 技術分野

本発 明 は 、 ワ ー ク の対象領域 を撮像 し て外観や傷 の 検 查等 を行 う 際 に 照射す る 光量 を調整す る た め の 光量調整 シ ス テ ム に 関す る 。 背景技術

従来 検 物 で あ る W E B (連 物 ： フ ィ ル ム • 紙

• 金属板 ) や B A T C H (枚葉品 、 個別 品 ： 力 V フ ィ ル ム

• 力 ッ 卜 硝子 . ド、 ラ ム ） の イ ン ラ ィ ン高速検 を行 ラ 場

P ラ ィ ンセ ン サ カ メ ラ を 用 い 流れて レヽ < フ ―ク の表 面 を 次 と 連 的 に画像情報 と し て 取 り 込み 画 i象情報 処理装置 に お い て 明 る さ の違 う 部位 を検 出す る な ど し て 表面欠 陥等 を検 出す る よ う に し て レヽ る

そ の 際 表面欠 陥 を精度 よ く 検 出 す る た め に は 刖 記 力 メ ラ に よ る 撮像対象領域 を む ら な < 一様 に ―定の 光度 で 昭 明 す る こ と が 必要 で あ る と 考 ん ら れ て お り そ の た め の 光照射装置 と し て 従来 はハ ゲ ン ラ ン プや蛍光灯 が 用 レ、 ら れて き た ま た近時で は そ れ に 代 わ り 速 J心性や 光度安定性 、 寿命等 に優れた L E D を利 用 し た ち の も I开コ 発 さ れて き て レヽ る

と ろ が 、 撮像対象領域 を む ら な < 一様 に 戸召 明 し た と し て も レ ン ズの 収差 （歪） や力 メ ラ と 撮像対象領域各 部 と の 距離 の連 レ、又 は画角 の違レヽ か ら 象 さ れた 画像 に け る 明 る さ レ ベルは 中 心部 が 高 < 縁部 に レ、 < ほ ど低 < な る 0 特 に .レ ン ズに広角 の も の を 用 レヽ る 場 に は そ の傾 向 が 顕著 な も の と な る 0 具体的 に 力 メ ラ か ら の 出 力 で め る V I D E O 信号 ( 力 メ ラ ' ( C C D ) に つ て受 光 さ れた信号 を 雷気信号 に変換 し た も の ) を 見 る と 第 1

5 図 に示す よ に な つ て レ、 る 。

そ こ で従来 は 画像処理衣 ¾廣隊側 で 、 力 メ ラ か ら の 画像 信号 を 取 り 込 ん だ後 、 各信号 レベル に例 え ば丁 ジ タ ル的 に補正 を施す な ど し て 、 そ れ ら の 明 る さ を 整 ( シ 工 了 ィ ン グ補正 ) し そ の後 に検査処理 を 行 5 よ に し て レ、 る o 代表 的 に は 取 り 込んだ画像 を 定 の 明 る さ レベ ルにすベ < 喑レ、部分 に は足 り な い分 の 明 る さ を加算 し 明 る す ぎ る 部分 に は そ の分 の 明 る さ を 差 し 引 < よ 5 に し て レ、 る 加減算 に よ る も の と 、 各部 の 明 る さ を ゲィ ン コ ン 卜 ―ル (積算 ) に よ つ て一定の レぺル に補正す る も の と が あ る o さ ら に こ れ ら を基本 と し て そ の補正方法 に つ レ、 て 特許文献 (特開 平 1 0 ― 1 1 1 2 5 1 号公報 ) に代表 さ れ る よ な種 々 の 方法が 考 え ら れて レ、 る 0"

し か し な が ら 画像処理装置側 で シ ェ T ィ ン グ 正 等 を行 と ァ ジ タ ル信号に変換 し た と さ の 画像劣化や 補正時の 演算方法 の 垤 レヽ に よ り 欠 陥等 の検 出 冃 度 に 影響が及ぶ それが あ る o こ れ を 具体例 を 挙 げて 兑 明 す る 。

第 2 4 図 に示す よ う に 、 例 え ば幅方 向 中 央部 と 端部 と に それぞれ 同 じ欠 陥 が あ つ た と す る o し か し な が ら 信号 と し て入 つ て < る 欠 陥 の 明 る さ レベルは 、 端部 の 方が 暗 い た め に小 さ < な る

こ れ を例 ば画像処理装置側 で 記加減算 に よ る シ ェ 一丁 ィ ン グ補正 を行 レ、 ヽ 全体の 明 る さ レベル を |pj一に す る と ヽ 第 2 5 図 に示す に 、 ノ ッ ク グ ラ ク ン の み に 補正が な さ れヽ 欠 陥 の ノ ク ク グ ラ ク ン か ら の相 対 レ ベ ルに は何 ら 変化 が 生 じ な レ、 た め 、 中 央部 と 端部 と の 欠 陥 が 一で る に も拘 わ ら ず 、 そ の 明 る さ レベル に連レ、 が 生 じ 、 特 に端部欠 陥 の検 出 に齟 Ian を 来すお そ れが あ る o 例 ば欠 陥検 出 の ス レ ク シホ一ル レ ベ ルが 図 点線 の よ う に設定 さ れて レ、 る と 、 端部欠陥 は検 出 さ れな レ、 こ と に な る

一方 、 画像処 置側 で 記 ゲィ ン コ ン 卜 一ル ( ネ貝 算 ) に よ る シ ェ一丁 ィ ン グ補正 を行 レ、 、 全体 の 明 る さ レ ベル を 一にす る と 第 2 6 図 に示す よ に 、 ノ V ク グ ラ ゥ ン 及 び欠 陥 レベル の 双方 に補正 が な さ れ る た め ヽ 中央部 と 端部 と の 欠 陥 レ ベ ル は 1口 J ―に な る o と こ ろ が 、 ゲィ ン コ ン 卜 口一ル に よ り 端部近傍 の ノ ィ ズも増 幅 さ れ て し ま レ、 、 そ の ノ ィ ズに よ つ て 間 つ て欠 陥 を検 出す る お そ れが 生 じ る o 例 え ば欠 陥検 出 の ス レ ッ シ ホ ―ル ド、 レ へルが 図 点線の よ に HX 定 さ れて レ、 る と ヽ ノ ィ ズ を欠 陥 と し て検 出 し て し ま こ と に な る Q

さ ら に 、 画像処理装置側 で の負荷 が 大 含 < な る た め 、 画 f象処理時間 の 短縮 を 図 れずヽ 結果 的 に 検查時間 を 短縮 で き な レ、 と レ、 つ た 不具 が生 じ た り ヽ 画像処理装 が 大 規模 な も の と な り ス 卜 的 に不利 に な る と レ、 つ た不 具 π が 生 じ た り す る ま た 、 像装置側 で 1口 J の シ ェ 丁 ィ ン グ補正 を 行 Ό も の も あ る が 、 や は り 1口] 様 の 画 劣化 が 生 じ得 る 発 明 の 示

そ こ で本発 明 は 、 目 を 早 5換 し ヽ 力 メ ラ に画ィ象 を 取 り 込ん だ と さ に ヽ そ の 画像 に お け る 対象領域 の 明 る さ が ヽ 例 ば均一に な る よ う に ヽ あ る い は 極的 に む ら が 生 じ る よ う に 、 光照射装置 を制御 で さ る よ に し た も の で め つ て 、 画像処理装置側で の 画像補正処理 を 不要又 は 可及 的 に減少 さ せ る こ と に よ り 、 そ の画像補正処理 の 際 に 生 じ る 誤検 出 を 防止 し て検 ^冃 ノス を 向 上 さ せ る と と も に ゝ 検查時間 を 短縮 で さ る よ にす る こ と を そ の 主た る 所 期 題 と し た も の で あ る □

す な わ ち 本発 明 は 、 独 し て 光量調整可能 な複数 の 光 照射部 を 並 ぴ ΒΧ け て 所定の対象領域 に 向 か つ て 光 を 照 射す る よ 5 に し た 光照射装置 と 、 冃 IJ 記対象領域 を レ ン ズ を介 して 像 し ヽ 撮像 し た画像 で あ る 対象領域画像 を 出 力す る 像装置 と ヽ 記 像装置が 出 力 し た対象領域画 像 に お け る 各部 の 明 る さ が所定の 百 標値 に近づ < よ に

、 刖 記光 照、射部 の 光量 を それぞれ制御す る 光

制御部 と

- を備 え た と を 特徴 と す る 光量 整 シ ス テ ム で あ る

よ り 体的 に は 、 フ ク に 定 さ れ た 所定対象領域 に 光 を 照射す る 光 昭射装員 と そ の 対 領域 を 象 し 得 ら れた対象領域画像 を 表面検査 の 的 で画像処 a装置 に 出力 す る ί 像 置 と を備 え た も の で あ つ て 光 '照 射装置 が 独 し て 光里調 可能 な複数の 光照射部 を 有 あ

す る も の で あ る と と も に 目 U 記 像装置が 出 力 し た 対象 領域画像 に け る 各部 の 明 る さ が所定の 標値 に近づ < よ 5 に 記光照射部 の 光量 を それぞれ制御す る 光量制 御部 を さ ら に備 え て レ、 る こ と を 特徴 と す る

の よ う な も の で あれば 画像処 装置側 に お け る シ ェ ― ィ ン グネ甫正等 の画像補正 を 不要又 は 可及 的 に減少 さ せ る こ と が で さ る た め そ の補正 の 際 の 画像劣化等 に 起因 す る 検査 冃 度 の 亜 Qj 化 を 防止 で さ る ο ま た 画像処理装 置が本来 の 検查 に 必要 な画像処理 に集 中 で さ る た め 検 查時間 の 短縮や検查个冃 度 の 向 上 を 大幅 に促進 さ せ る こ と が で さ る よ に な る

こ こ で各光照、射部 は 1 又 は複数 < Ό L E D 等 の発光体 で あ つ て も よ レ、 し 1 又 は複数の 光 フ ァ ィ ノく等 の ラ ィ 卜 ガィ ド、 の 光射 出端で あ つ て も よ い o ラ ィ ガィ ド、 を 用 レ、 る 場ム

P に は 別 に発光体が必要 と な る ο

欠 陥 の検查 に 用 い る に は U 記対象領域画像各部 の 明 る さ が均 に な る 向 さ に各光照射部 の 光量 を 制御す る よ ラ に し て お < こ と が 好 ま し レ、

a

光照射部 に は 製 P の an 質の ば ら つ さ 取付誤 等 に よ り 各 光 量や照射角 度 に連レ、 が若干生 じ 得 る こ れ に 対 し 各 光 照射部 を 同様 に制御 し た の で は 制御速度や 制御誤 等 の 占 か ら 不十分 な も の に な る お そ れが あ る こ の 問題 を 好適 に解消す る に は 個 々 の 光 射部 か ら の 光照射 に よ る 記対象領域上で の 光 照射態様 を 個別光 照射 様ァ タ と し て 予 め 記対象領域画像か ら 取得 し し '1思す る 個別光 照射 丁 タ 記 部 を さ ら に備 冃 U

RD光量制御部 が 目 U記個別光 昭射 fie様了 タ に基づ レ、 て 刖 g己光 昭 射部 の 光量 を制御す る よ Ό に構成 し て お < こ と が望ま し レ、

具体的 な 刖 記個別光照射態様ァ タ の 内容 と し て は 所定電力 を 供給 さ れた各光 昭射部 に よ る 対象領域上 で の 光照射車 n 囲及 び明 る さ 分布 を少 な < と も 示す も の を 挙 げ る こ と が で き る o

制御 の容易 化 を 図 る に は 記対象領域 を複数の 単位 領域に 区成す る と と も に 単位領域毎 に 当 該単位領域 を 主 と し て 照、射す る 光 昭射部 を 1 つ対応付 け そ の 光照、 射部 を 当 該単位領域の 主光照射部 と す る よ に し て い る も の が好 ま し レ、 o の に し て の 単位領域の 明 る さ を そ の 主光 照射部 に よ て の み制御す る よ に すれ ば 光量制御 が 容易 に な る か ら で あ る

体的 に は 記単位領域 と 光 照射部 と を 1 対 1 に対 応付 け る よ に し て レヽ る も の が 好 ま し レヽ

単位領域 の 区成方法 と し て は 冃 U記個別光照射 様 テ タ が 示す各光照射部 に る 光 照、射範 囲 に づ 各 単位領域 に 光 を 照射 し て レ、 る 光 照射部 の 数又 は種類が そ れぞれ な る う に 刖記対象領域 を複数の 単位領域 に 区成す る よ Ό に し た も の を 挙 げ る と が で さ る ま た そ の場ム は 、 冃 U 記個別光照射態様ァ タ が 示す各光 '照射部 に る 明 る さ 分 に基づ さ 、 各単位領域 に最 ち 光量 を 与 え て レ、 る 光 照射部 を 当 該単位領域の 主光照射部 と す る ラ に し て お け ば よ い

実現の う で好ま し レ、具体的態様 と し て は 、 記光 量 制御部 が 、 刖 記対象領域画像 を 記各単位領域 の 画像 に 分割す る 画像分割部 と 、 各単位領域画像 の 明 る さ の 代表 値 を算 出 す る 代表値算 出部 と 、 あ ら か じ め 定 め ら れて い る 明 る さ の 目 標値 と 刖記各 単位領域画像 の 代表値 と を 比 較す る 比較部 と 、 刖記比較部 で の 比較 果 に 基づ レ、 て 各 代表値が 記 百 標値 に近づ < よ に 、 当 該単位領域 に 対 応す る 主光 照射部 の 光量 を 制御す る 単位光量制御部 と を 備 た も の を げ る こ と が で さ る

そ の場合 の 代表値 と し て は 、 単位領域画像 の 平均 の 明

- る さ で る と が望ま し い

検查物 が W E B で あ る 場合 - は 、 光照射 15 を ラ イ ン状 に並 s-ni

ベ BX け た 光 昭射装置が 好ま し い が 、 B A T C H で る 場

Π 等 に対応すベ < 、 光照、射部 を 面状 に並 設 け た光 照射 装置 と し て も 構 わ な レ、 、 こ で面 と は平面 に 限 ら れず 曲 面 を も 含 む意味 で あ る

好 ま し < は 、 光照射装置が 隣 り ム

a う 光 昭 射部 の 間 隙 に 依存す る 光 量む ら を緩和す る 光量む ら 緩和部材 を備 え て い る も の が よ レヽ ο こ の光量む ら 緩和部材 と し て は ラ ィ ン 照 明 に レヽ て は一定方向 に の み光 を 拡散す る レ ン チ キ ュ ラ レ ン ズ を ま た面照 明 に お レ、 て は光拡散板 を 莩 げ る と が で さ る

ま た 複数の 像装置 を備 そ れ ら ί 像装置 に よ つ て 記対象領域 を分割 し て撮像す る よ に し た場 π に は 、

5 隣 り Π う ^Θ-像装置が 前記対象領域の一部 を重 し て 像 す る 場 口 が 生 じ る の 場 P 重 P し た領域 に つ レヽ て ど ち ら の ί 像装置 で得 ら れ た画像 に基づ レ、 て 光量制御す る の かが 問題 と な る そ の 場ム 重 す る 対象領域 に つ レヽ て 優先順位 の 高 レ、方の 像装置で得 ら れ た画像 に 基づ

1 0 レ、 て 対応す る 記光照射部 の 光量 を 制御す る と と も に

優先順位 の 低レ、方の 像装置 が 像す る 対象領域 に つ レヽ て 記重 す る 対象領域の 画像 を 基準 と し て そ の他 の 領域 に対応す る 光照射部 の 光量 を 制御す る よ に し て レヽ る も の が好 ま し い

丄 ）

図面 の 簡 単 な説 明

第 1 図 は 本発 明 の 第 1 実施形態 に お け る 光量調整 シ ス テ ム の 全体概略構成図 で 3D る

第 2 図 は 実施形態 に け る 光 照射装置 の 部破断 0 さ せ た斜視 図 で め る

第 3 図 は 実施形態 に け る ホ ルダ を 示す斜視図 で あ る

第 4 図 は |p] 実施形態 に け る 光量制御部 の機能 ブ ッ ク 図 で あ る

5 5 図 は 実施形態 に け る 光量制御部 の動作 を 示 すフ ロ ーチ ャ ー ト であ る 。

第 6 図 は、 同実施形態にお け る 光量補正前の画像信号 を示す信号図 で あ る 。

第 7 図 は 、 同実施形態 にお け る 光量補正 目 標 を示す信 号図 で あ る 。

第 8 図 は、 本発明 の第 2 実施形態 にお け る 光量制御部 の機能プ ロ ッ ク 図 で あ る 。

第 9 図 は、 同実施形態にお け る 明 る さ 分布デー タ を グ ラ フ で示 し たデー タ 分布図 であ る 。

第 1 0 図 は、 同実施形態 にお け る 光照射部 の 中 心位置 の設定過程 を グ ラ フ で説明 した示 し た説明 図 で あ る 。

第 1 1 図 は、 同実施形態 にお け る 光照射部の照射範囲 の設定過程 を グ ラ フ で説明 し た示 した説明 図であ る 。

第 1 2 図 は、 同実施形態 にお け る 明 る さ 比分布デー タ を柱状 グ ラ フ で示 し たデー タ 分布図 であ る 。

第 1 3 図 は、 同実施形態 にお け る 単位領域の設定方法 を示す模式図で あ る 。

第 1 4 図 は、 同実施形態 にお け る'光量制御部 の動作を 示す フ ロ ーチ ヤ一 ト であ る 。

第 1 5 図 は、 同実施形態 にお け る 光量制御部 の動作を 示すフ ロ ーチ ヤ一 ト であ る 。

第 1 6 図 は、 同実施形態 にお け る 個別光照射態様デー タ の構造を示す模式的デー タ 構造図 であ る 。

第 1 7 図 は、 本発 明 の他の実施形態にお け る 撮像装置 を示す模式図で あ る 。 第 1 8 図 は ヽ 同 実施形台 にお け る 光 制御 を la明 す る た め の 制御説 明 図 で あ る o 第 1 9 図 は 、 同 実施形態 に お け る 別 の 光量制御 を 説 明 す る た め の 制御説明 図 で あ る o

第 2 0 図 は 、 本発 明 の さ ら に他 の 実施形 に お け る 光 照射装置 を示す模式 図 で め る 0

第 2 1 図 は 、 本発 明 の さ ら に他 の 実施形 m に お け る 対 象領域の 区成台 様 を 示す対象領域図 で あ る 0

第 2 2 図 は 、 本発 明 の さ ら に他 の 実施形態 に け る 対 象領域の 区成台

J ra 様 を 示す対象領域図 で あ る o

第 2 3 図 は 、 本発 明 の さ ら に他 の 実施形台 に お け る 光 照射 置 の一部破断 さ せ た斜視 図 で あ る o

第 2 4 図 は従来 の 画像信号 を示す信号図 で あ る 0 第 2 5 図 は ヽ 従来 の 画像信号 に画像処理 を加 た 口 の信号図 で あ る 0

第 2 6 図 は 、 従来 の 画像信号 に 画像処 を加 え た場合 の信号図 で あ る 0

発 明 を 実施す る た め の最 良 の形態

以 下 、 本発 明 の 実施形態 に • レヽ て 図 面 を 参照 し て説 明 す る 0

< 第 1 実施形態 >

第 1 図 は 、 本実施形態 に係 る 光量制御 シス テ ム の 全体 概要 を示 し て レ、 る 0 の 光量制御 シ ス テ ム は 、 例 え ば製

P ΠΡ の 面検查 に用 レ、 ら れ る も の で 、 本実施形態 に お け る 検 物 ( ■ ~ ク ) W は 、 例 え は透光性 を 有す る 紙ゃ フ ィ ルム 等 の 連 物 で あ り 、 所定方 向 に 一 定速度 で流れ て レヽ < よ に Ρス 定 さ れて い る 。

し か し て こ の 光量制御 シ ス テ ム は 、同 図 に 示す よ う に 、 独 し て 光量調整可能 な複数の 光照射部 1 1 を有 し 刖 記 フ ク W の裏面所定領域 に 向 か っ て 光 を 照射す る 光 照射 装置 1 と 、 光 の 照射 さ れて い る 所定対象領域 A を表面 力 ら 図示 し な い レ ン ズ を介 し て撮像 し ヽ 撮像 し た画像 で あ る 対象領域画像 を 出 力 す.る 撮像装置 2 と 、 則 記撮像装置

2 が 出力 し た対象領域画像 に お け る 各部 の 明 る さ が 所定 の 目 標値 に 近づ < よ う に 、 前 記光照射部 1 1 の 光量 を そ れぞれ制御す る 光量制御部 3 と を備 ん た も の で め る 。

各部 を 述す る o

光 "昭、ヽ射装置 1 は 、 第 2 図 、 第 3 図 に示す よ う に 、 発光 体た る 複数 の パ フ 一 L E D 5 と 、 各パ フ一 L E D 5 か ら 射 出 さ れ る 光 を 導 < フ レ キ シ プノレ ラ イ 卜 ガィ ド た る 光 フ ア イ ノ 6 と ヽ そ の 光 フ ァ ィ ノ 6 の 光射 出 端部 を保持す る ケ ー シ ン グ 7 と を備 え た も の で あ る 。

各ノヽ⁰ フ 一 L E D 5 に は そ れぞれ複数 の 光 フ ア イ バ 6 力 S接 さ れて ね り 、 刖記 ゲ - シ ン グ 7 は 、 こ れ ら 各ノヽ。 ヮ ー L E D

5 に接 冗 さ れて レ、 る 一群 の 光 フ ア イ ノ 6 の 光射 出 端 を保 持す る 複数の ホ ノレ ダ 7 1 と 、 こ れ ら ,jヽ ル ダ 7 1 を 刖 記 ヮ 一ク W の 流れ方 向 と 直交す る よ う に 一列 に保持す る ケ ー シ ン グ本体 7 2 と を備 え て な る も の で あ る 。 目 U 記一群 の 光 フ ァ ィ バ 6 の 光射 出端は 、 一 の ホ ゾレ ダ 7 1 に よ っ て そ れ ら の並び と 同 一 の 向 さ に 列 に保持 さ れ ラ ィ ン状 を なす の 光 照射部 1 1 を構成 し て レ、 る な 光 フ ア イ

/ 6 は ホ ル ダ 7 1 に挟み込 ま れ 例 え ば接着剤 に よ り 固 定 さ れて い る 。

そ し て 各光照射部 1 1 か ら 発せ ら れた 光 は 冃 U 記対象 領域 A を複数 に 区成 し て な る 単位領域 u A に ほ ぼ 1 対 1 に対応 し て 照射 さ れ 全体 と し て違続す る 所定幅 の ラ イ ン 昭 明 が な さ れ る よ 5 に し て め る ま た 記 ケ シ ン グ 7 に は 、 前記光照射部 1 1 か ら で た ラ ィ ン状 の 光 を 幅 が狭ま る よ う に 屈折 さ せ る 屈折 レ ン ズ（ フ レネ ノレ レ ン ズ）

7 3 が 対装着 し て め る と と も に ホ ノレ ダ 7 1 を ケ ー シ ン グ本体 7 2 に 対 し て ね じ N の締緩 に よ Ό 位置変更 可能 に構成 し て あ り 、 光照射部 1 1 と レ ン ズ 7 3 と の 距離 を 変更 し て 射 出 さ れ る 光 の相 寄 る 角 を 変 ら れ る よ う に し て あ る 。 な おパ ヮ L E D 5 と は単体で連続 し て約 2 0

0 m A の 電流 を 流せ る 超 t¾輝度 タ ィ プの L E D の ) こ と で あ る

像装置 2 は 、 例 ば ラ ィ ンセ ン サ カ メ ラ と 称 さ れ る も の で あ り 、 一列 に ：並 ん だ C C D 素子 を 有 し て な る 。 そ し て 冃 U記所定領域か ら で た光 を こ の 撮像装置 2 に け れた例 え ば 図示 し な い広角 レ ン ズ を 介 し て そ れ ら C C D 素子 の受 光面で結像 し 電 信号に 変換 し て 画像 と し て処理可能 な画像信号 と し て 出 力 す る 。 こ の 画像信号は 、 第 4 図 に示す よ う に 表面検查 の た め の 画像処理装置 に 送信 さ れ る と と も に れ と は並列 に 、 後 述す る 光量制御 部 3 に も 送信 さ れ る ぶ つ に し て レ、 る

光量制御部 3 は ヽ 各ハ⁰ ヮ 一 L E D 5 に 電流 ケ 一 ブル C A を介 し て接 さ れ 、 それ ら へ供ネ合す る 電流 を制御す る も の で 、 光 照射装置 1 の 電源 と し て の 役割 を も 果たす も の 、

で あ る こ の 光量制御部 3 はヽ 冃' J 記光 昭ぃヽ射装置 1 と 別体 を なす も の で ヽ 第 4 図 に機能ブ 口 ッ ク 図 を 示す よ う に 、 電源 3 5 と 、 冃 U 記画像信号 を 各 単位領域 U A 毎 の 単位領 域画像信号 に分割す る 画像分割部 3 1 と ヽ それ ら 信号か ら 各単位領域画像 の 明 る さ （輝度 レベル ) の 代表値 を 算 出す る 代表値算 出 部 3 2 と 、 あ ら か じ め 定 め ら れて レヽ る 明 る さ の 巨 標値 と 刖 記各単位領域画像 の 代表値 と を 比較 す る 比較部 3 3 と 、 刖 記比較部 3 3 で の 比較結果 に基づ レ、 て 各代表値が 前記 g 標値 に近づ < よ ラ に 対応す る パ フ 一 L E D 5 の供給電流 を 制御す る 単位光量制 御部 た る 電流制御部 3 4 と を備 え て い る れ ら 各部 と し て の機 能 は 、 図 示 し な い メ モ V に記憶 さ せた プ グ ラ ム に従 つ て C P U やそ の 周 ί機器 を 動作 さ せ、 或 レヽ は ァ ナ グ増 幅 等 の V ィ ス ク リ 一 回路 を 動作 さ せ る と に よ り 発揮 さ れ る な ね 、 こ の 実施形態 に レ、 て 、 刖 記代表値は前 記単位領域画像 の 明 る さ の 平均値 と し て レヽ る 単純 に信 号強度 を 禾貝算すれ ば レヽ か ら で あ る こ の 5 に構成 し た本実施形態 に係 る 光量 整 シ ス テ ム の 動作 の 一例 を 第 5 図 〜第 7 図 を 参照 しつつ 以下 に説 明.す る

( 1 ) 光 量 整動作 ま ず、 対 領域画像 に お け る 明 る さ の 目 標値 を設疋 し てお < 0 こ で は一定値で あ る 。 次 にヽ ヮ一ク の 存在 し な レ、状態又 は 、 欠 陥等 の な い ヮ一ク を

置 し た状態で 、 光ノ昭》、ゝ、射装置 1 、光量 ϊί ilj御部 3 、撮像装置 2 を 動作 さ せ る 。

す る と ま ず撮像装置 2 が 対象領 A を 撮像 し (第 5 図 ス テ ク プ S T 1 ) 、 そ の 対象領域画像 を 画像信号 と し て 光量制御部 3 に 达 ih す る （第 5 図 ス テ プ S T 2 ) 0 光量制御部 3 で は 、 第 6 図 、 第 Ί 図 に示す よ に 、 言 U 記画像信号 を 各 単位領域 U A 毎 の 単位領域画像信号 に 分 割 し (第 5 図 ス テ ツ プ S T 3 ) 、 そ れ ら 信号か ら 各単位 領域画像 の 明 る さ （輝度 レ ル） の 代表値 を算 出す る （第

5 図 ス テ V プ S T 4 ) 。 そ し て あ ら か じ め 疋 め ら れて い る 明 る さ の 標値 と 刖記各単位領域画像 の 代表値 と を 比 較 し 、 そ の 比 ΨΧ '1(口 术 に基づレヽ て 各代表値 HU 目 標値に 近づ < よ う に 、 対応す る パ ヮ一 L E D 5 へ の供給電流 を 制 御す る (第 5 図 ス テ ク プ S T 6 〜 S T 8 ) 。 こ の よ う に して F B ル一プが形成 さ れ 、 取 終的 に 対象領域画像 に お け る 各部 の 明 る さ が 百 標値に対 し て 許容 さ れ る 範囲 内 と な る ま で (第 5 図 ス テ ッ プ S T 5 ) 、 光 照射装置 1 の 光 量調整が 行 われ る 。

( 2 ) 検查照 明 動作

本実施形態 で は 、 こ の よ う に し て 光照射装置 1 の 光量 調整が行 われ た 後 、す な わ ち テ ィ ー チ ン グ が 終 了 し た後 、 光照射装置 1 の 光量 を 固 定 し 、 そ の 光量で ヮ一ク の 表面 検查 を行 5 う に し て い る 0 •St,

し た が つ て ヽ かか る 本 施形 に よ れ ばヽ 画 ί象処理 置側 に お け る シ ェ 一 τ ィ ン グ補正等 の 画像補正 を 不 要又 は可及 的 に減少 さ せ る と が で さ る た め 、 そ の補正 の 際 の画像劣化等 に 起 因 す る 検查个冃 度 の 亜

、化 を 防止 で さ る 0 ま た画像処理装置が本来の検查 に必要 な 画像処理 に集 中 で さ る た め ヽ 検查時間 の 縮 検査精度 の 向 上 を 大 幅 に 促進 さ せ る と が で さ る に な る 0

ま た 、 前記対象領域 A を複数の 単位領域 U A に 区成 し て各単位領域 U A と 各光照射部 1 1 と を 1 対 1 に対 J心付 け 、 各光 照射部 1 1 の 光 が 対応す る 単位領域 U A に それ ぞれ主 と し て 照射 さ れ る に し て レ、 る の で 、 光量制御 す る 際 に 、 ど の 光照射部 1 1 を 制御すれ ば 良 い かが 明確 と な り ヽ 制御方法 の簡 単化 を 図 れ る o

< 第 2 実施形態 >

次 に本発 明 の 第 2 実施形態 に つ レ、 て 図 面 に づ レ、 て 説 明す る o な お 、 以 下 の 明 に い て 5匚第 1 実施形態 に

- 対 J心す る 部材 に は 一 の符号 を 付す と と す る 0

>- の第 2 実施形態 に け る 光量照射 シ ス テ ム は 、 機器 構成 と し て は 刖 記第 1 実施形態 と ほ ぼ 様で あ る o た だ し光量制御部 3 の機能構成 に若干 の相遅 が あ る 0 以 下で は第 1 実施形態 と の相 点 を 中 心 に説 明 し 様の 点 に つレ、 て は説 明 を省略す る こ と と す る 0 こ の 実施形態 に け る 光量制御部 3 は 、 各ノヽ。 フ L E D

5 に 電流 ケ プル C A を介 し て梓 さ れヽ そ れ ら 供給 す る 電流 を 制御す る も の で 第 8 図 に機能 ブ ク 図 を 示す よ に 電源 3 5 と し画像信号 を 各単位領域 U

A 毎 の 単位領域画像信号に 分割す る 画像分割部 3 1 と 、 それ ら 信号か ら 各単位領域画像 の 明 る さ (輝度 レベル ） の 代表値 を 算 出 す る 代表値算 出 部 3 2 と あ ら か じ め 定 め ら れて い る 明 る さ の 標値 と 記各 単位領域画像 の 代 表値 と を 比較す る 比較部 3 3 と 刖 記比較部 3 3 で の 比 較結果 に 基づ レ、 て各代表値が 目 記 巨 標値 に近づ < よ う に 対 J心す る パ V L E D 5 へ の供給電流 を 制御す る 単位光 量制御部 た る 電流制御部 3 4 と を備 え て レ、 る こ れ ら 各 部 は第 1 実施形態 と 様で め る

し か し て こ の 第 2 実施形台 に け る 光量制御部 3 は 、 m記各構成要素 に加 え 個 々 の 光 昭 射部 1 1 の 光 昭 射 に

J: る 刖 記対象領域 A 上で の 光照、射台 様 を 個別光 昭 射態 様 T タ と し て 予 め 記対象領域画像か ら 取得す る 個別 光 昭 射態様 τ タ 取得部 3 6 と 記個別 光 昭射態様デ タ が示す各光 昭射部 1 1 に よ る 光 昭射範囲 に 基づ き 、 目 U 5し対象領域 A を複数の 単位領域 u A に 区成す る 単位領 域区成部 3 7 と 各単位領域 U A 毎 に 主 と し て 照射す る 光照射部 1 1 を 1 つ対応付 け そ の光 照射部 1 1 を 当 該単位領域 U A の 主光照射部 1 1 と す る 対応付 け部 3 8 と を さ ら に備 え て レ、 る

以下 に 記各部 の 細説明 を 兼ね て の よ に構成 し た 光量調整 シス テ ム の動作例 を 説 明 す る

( 1 ) 初期 整動作 ま ずヽ 個別光 照射態様デー タ 取得部 3 6 が 、 光 照射部

1 1 か ら の 光照、射 に よ る 前記対象領域 A 上 で の 光 照射態 様 を 、 個別 光照射態様デー タ と し て 予 め 前記対象領域画 像か ら 取得す る (第 1 4 図 ス テ ッ プ S T 1 1 〜 S T 1 9 ) 具体的 に は 、 ま ず 、 宜定 め た ―の 光 照射部 1 1 力 ら 光 を 昭 1、ヽ射 さ せ る 0 供 7Γ、口 電力 レベルは複数段階で め り 、 こ こ で は例 ば 3 段階で あ る 0 そ し て 、 各段階で光照射部

1 1 を 点 灯 さ せ る 都度 ί曰""像装置 2 で対象領域 A を 撮像 さ せ 、 そ の 画像情報か ら 記供給 力 レベル毎 の 、 対象 領域 A 上 で の 明 る さ 分 丁 一 タ (第 9 図 に グ ラ フ で示す） を 取 り 込 む ο 取 り 込 んだ 明 る さ 分布デ一 タ は 、 位置情報 と 明 る さ 情報 と を 対 に し て含む も の で 、 メ モ y の 所定領 域に 惜 さ れ る o こ れを全て の 光 "昭、ヽ射部 1 1 に つ い て順 次行 う 0

次 に 、 第 1 0 図 に グ ラ フ で示す よ に 、 刖記 明 る さ 分 布 一 タ か ら 明 る さ の最大値及びそ の位置 を 特定 し 、 こ れを 当 該光 昭 1、、射部 1 1 の 照 明 中 心位置 と す る (第 1 5 図 ス テ ク プ S T 2 1 ) 0 ま た ヽ 第 1 1 図 に グ ラ フ •で示す よ に 、 所定 の 明 る さ よ り 明 る レ、部分 を 特定 し て そ の範 囲 を 当 該光 照、射部 1 1 の 照射範囲 と す る (第 1 5 図 ス テ ツ プ S T 2 2 ) o

そ の 一方 で 刖記最大 明 る さ 値 を 例 え ば 1 0 0 と し 、 それ に対す る 明 る さ 比 の 分布 を 示す 明 る さ 比分 •if: デー タ を 、 肓 U記 明 る さ 分 T タ か ら 各電力 レベル毎 に 生成す る (第 1 5 図 ス テ ク プ S τ 2 3 ) o 1 2 図 に そ の 明 る さ 比分 V タ を柱状 グ フ フ に し て 不す そ し て 、 例 ば最小一乗法等 を 用 レ、 て 演算す る こ と に り ヽ 位置及 び 供給電力 を ノヽ ラ メ 一 タ と し た 明 る さ 情報 を含む前 個別 光照射態様 V 一 タ を ヽ 第 1 6 図 に示す よ な テ 一 ブル と し て 生成す る (第 1 5 図 ス テ y プ s τ 2 4 -

) の 個別 光照射 様 V 一 タ は ヽ 前記第 1 6 図 に示す よ ラ に 、 各 光 照射部 1 1 を識別す る た め の 光 照射部識別子等 と 対 に し て 、 メ モ y 上 に 卩ス 定 し た個別光照、射態様 一 タ 記 思部 D

1 に 記 Ifeゝ格納 さ れ る

次 に 単位領域 区成部 3 7 が 記対象領域 A を 複数 の 単位領域 u A に 区成す る

具体的 に は ヽ 第 1 3 図 に模式的 に示す よ に ヽ 冃リ 記個 別光照射態様了 一 タ に基づ レ、 て ヽ 各単位領域 U A に 光 を 照射 し て い る 光照射部 1 1 の数又 は種類が そ れぞれ異 な る に ヽ す な わ ち ォ一 バ ラ プの 状台 が 異 な る 領域毎 に 前 記対象領域 A を 区成 し 、単位領域 U A を 設定す る （第

1 5 図 ス テ ッ プ S T 2 5 )

そ の 後 、 対 J心付 け部 3 8 が 各 単位領域 U A に つ レ、 て 対 応す る 主光照射部 1 1 を 定す る 具体的 に は 、 単位領 域 U A に 光 を 照射 し て レ、 る 光照射部 1 1 の う ち 、 最 も 光

¾ を 与 え て い る も の を 、 冃 記個別光 昭い、射 様 V 一 タ に基 づレ、 て 択 し ヽ それ を 当 該単位領域 U A に 対 心す る 主光 照射部 1 1 と す る (第 1 5 図 ス テ ッ プ S T 2 6 )

( 2 ) 光量調整動作

の 光量 整動作に 関 し て は 、 記第 1 実施形態 と ほ ぼ 様で あ る た め フ チ ャ 卜 及び―部 la 明 を 略 す る

ま ず ί 像装置 2 が 対象領域 A を 像 し そ の 対象領域 画像 を画像信号 と し て 光 •量制御部 3 に送信す る

そ の 方 で 画像分割部 3 1 が 冃 IJ 記単位領域 区成部 3

7 に よ る 区成結果 に基づ い て 刖 記画像信号 を 各単位領 域 U A 毎 の 単位領域画像信号 に分割す る

次 に 代表値算 出部 3 2 が そ れ ら 信 号か ら 各 単位領 域画像 の 明 る さ ( m度 レベル ) の 代表値 を 算 出 す る

そ の後 比較部 3 3 が あ ら か じ め 定 め ら れ て レ、 る 明 る さ の 目 標値 ( こ の 実施形態で は対象領域 A全部 を 等 の 目 標値 に し て レ、 る ) と 目 U 記各単位領域画像 の代表値 と を 比較す る

そ し て 流制御部 3 4 が そ の 比較結果 に 基づい て 各 代表値が 記 百 標値 に近づ < よ に 対応す る 主光 照、射 部 1 1 へ の 供給電流 を 制御す る よ り 目マ体的 に 流制御 部 3 4 は 前記個別光 照射態様丁 タ を パ ラ メ タ と し

- て 特に は そ か ら 得 ら れ る 記 中 心位置 で の 明 る さ か ら 代表値 と 標値 と の が 許容車 Q囲 と な る よ ラ に 供給 電流 を 盲 出 し 出 力 す る

こ の 流制御 は 例 X. ば 挙 に かつ 1 回 の み行 う よ う に し て い る が 供給電流 の 算 出 に あ た つ て 主光照射部

1 1 に よ る 明 る さ 変化 の み を考慮 し ォ ラ ク プす る 近隣の 光 照射部 1 1 の影響 を 考慮 し て い な レ、 た め 代表 値 と 巨 標値 と の が算 出 し た結果 の よ' ラ に 許容車 d囲 と な ら な いお そ れが め る そ の 場 P 、 許容範囲 と な る ま で 、 繰 り 返 し こ れ ら 各 ス テ ク プ を行 に し て ち よ い。

( 3 ) 検查照 明 動作

こ の よ 5 に し て光照射衣置 1 の 光 量調整 が 行 われた後 す な わ ち テ ィ チ ン グが 終了 し た後 、 光照射装置 1 の 光 を 固 定 し 、 そ の 光

で フ 一 ク の 面検 が 行 われ る 。 こ の ぶ に本実施形態 に ぶ れ ばヽ 光照射部 1 1 に 、 製

P の P

PP質 の ば ら つ き や取付誤差等 に よ り 各 光 里や照射 角 度 に レ、 が若干生 じ て い て も ヽ 各光 昭い、射部 1 1 の対象 領域へ の個別 の 光照射態様 を光量制御 に 先 つ て 予 め 計 測 し て お さ 、 そ の個別光照射態様 に応 じ て各光 照射部 1

1 を 計 に よ 制御す る た め 、精密 な 制御 が で き る う え 、

F B 制御 の よ に収束す る ま で繰 り 返 し 制御 を行 う 必要 が ハ < 、 迅速化 も 図 り 得 る o

< そ の他 の 実施形態 >

な お 、 本発 明 は上記実施形台 に 限 ら れず 、 種 の変形 が 可能で あ る 以下 の説 明 に レ、 て 前記実施形態 に対応 す る 部材 に は 一の符号 を付す こ と と す る o

例 ば 、 第 1 7 図 に示す よ に 、 複数 の 最

像装置 2 を 用 レヽ て広範 囲 の対象領域 A を分割 し て •fj

像す る 場合、 隣 り a 5 +

像装置 2 が 前 0し対象領域 A の一部 を重 P し て撮 像す る 場ムが 生 じ る o の 場ム

、 重 P し た領域 に っ レ、 て ど ち ら の 像装置 2 で得 ら れた 画像 に基づ レ、 て 光量制御 す る の か が 問題 と な る そ の場 P 、 予 め f 装 2 に優 先順位 を つ け て お さ π す る 対 領域 A に つ レ、 て ヽ 先順位 の 高 レ、方 の撮像装置 2 で得 ら れた画像 に 基づ い て 対応す る 記光照、射部 1 1 の 光量 を 制御す る と と も に 優先順位 の低 レ、方 の ¾曰-像装置 2 が 曰'像す る 対象領域 A に つ レ、 て ヽ 記重 Π す る 領域の 画像 を 基準 と し て そ の他 の 領域 に対応す る 光照射部 1 1 の 光量 を 制御す る に し て お < こ と が 好 ま し い o

具体的 に 第 1 8 図 ヽ 第 1 9 図 を参照、 し て 明 す る 0

曰- 第 1 8 図 は 最 も 端 に位置す る 像 置 2 に最 ち 高 レ、 優先順位 を つ け た場 π を 示 し て い る 0 こ の 場 Π ま ず 当 該 像装置 2 で得 ら れた 画像 に基づ レ、 て ヽ 対 J心す る 光照 射部 1 1 (具体的 に は 図 中 光照射部 Ν 〇 1 光 昭 1 射部 N

〇 2 ヽ 光照射部 N 〇 3 ) の 光量 を 光 量制御部 3 が行 0 の 果 重ム

a 部分 に 対 )心す る 光 射部 N 〇 3 も 制御 が 行 われ る た め そ の 光量 が確定す る 0 次 に優先順位 の 2 番 に 高 い 隣の 像装置 で得 ら れた 画像 に 基づ レ、 て 対ゾ心 す る 光 昭い、射部 1 1 (具体的 に は 図 中 光 昭い、射部 N 〇 3 光 照射部 N ο 4 光照射部 Ν Ο 5 ) の 光量 を 光 量制御部 3 が行 う ο の と さ すで に 光照射部 Ν ο 3 の 光量 は確定

· ·

し て い る た め れ に つ レ、 て の制御 は行 わず ヽ そ の 光 昭い、 射部 N O 3 に対 J心す る 画像 を基準 と し て ヽ そ の他 の領域 に対 J心す る 光 照射部 1 1 (具体的 に は 図 中 光 照射部 N O

4 光照射部 N o 5 ) の 光量 を 制御す る 0 さ ら に 隣 に 像装置 2 が あ る 場ム

a に は そ の "^白-像装置 2 が 次 に優先順 位の 高 レヽ も の と な り 様の手順で次 と 光 照射部 1 1 を制御 し て レ、 <

第 1 9 図 は 中 間 部 に位置す る 撮像 置 2 に 最 も 高 レヽ優 先順位 を つ け た 場 Π を 示 し て い る 。 こ の 場 Π ち 、 ま ず 当 該撮像装置 2 で得 ら れた画像 に 基づ レ、 て 、 対リ心す る 光 照 射部 1 1 (具体的 に は 図 中 光照射部 N O 3 ヽ N 〇 4 、 N

-

O 5 ) の 光 虽 を 光量制御部 3 力 ^s行 う の 結果 重 A 立 R 分に対 J心す る 光照射部 N O 3 、 N 〇 5 も 制御 が行われ る た め 、 そ の 光量が確定す る 。 次 に優先順位 の 2 番 巨 に 高 レヽ両 隣の 像装置 2 で得 ら れた 画像 に基づ い て 対 J心す る 光照射部 1 1 (具体的 、·こ は 図 中 光照射 : N O 1 、 N O 2 、

N O 3 、 N 〇 5 ヽ N O 6 、 N O 7 ) の 光量 を 光量制御部

3 が行 o の と さ 、 すで に光照射部 N O 3 、 N 〇 5 の 光 は確定 し て レ、 る た め 、 こ れ につ レ 、 て の 制御 は行 わず、 そ の 光照射部 N O 3 、 N O 5 に 対応す る 画像 を 基準 と し て 、 そ の 他 の領域 に 対応す る 光 照射部 1 1 (具体的 に は 図 中 光照射部 N o 1 ヽ N O 2 、 N 〇 6 ヽ N O 7 ) の 光量 を制御す る ま た 、 さ ら に 隣に撮像 置 2 が あ る 場合 に は ヽ そ の 像装置 2 が 次 に優先順位 の 高 い も の と な り 、 同様 の手順で次 と 対応す る 光照射部 1 1 を 制御 し て い

<

す な わ ち ヽ 最 も 優先順位 の 高 レヽ撮像装置 2 を HX定 し て け ば 、 あ と は 、 隣 り P う ち の 力 ら 順 に優先順位が さ れ 、 そ の順で光量制御 が 次 々 と 行 われ る こ と と な る 。

し た が つ て の よ に し て お け ば 、 重 P す る 領域 に つ レヽ て 光照射部 1 1 の 制御 が、確実 に行 る う え 、 各 像装 2 か ら 互 レ、 に 明 る さ の 統 化 さ れた 画像 を一挙 に得 る こ と が で さ る

方 各 ^Θ-像装置で得 ら れ る 画像 に そ れぞれ統ー を必 要 と し な い の で あ れ ば 各 ί 像装置 で得 ら れた画像 に基 づい て 対応す る 光 照射部 を それぞれ独 し て 制御す る と と も に 重 o す る 部分 につ い て は 予 め 定 め た いずれ かの 像装置で の 画像 に の み基づい て 光 里制御 し 、 他方 の 像装置 で得 ら れた画像 につ い て そ の 重 P 部分 は未参 昭 と すれ ば よ レ、

ま た 光照射装置 に 隣 Π 光 照、射部 の 間 隙 に依存 す る 光量む ら を緩和す る 光量む ら 緩和部材 を H け て も よ レヽ o こ の 光量む ら 緩和部材 と し て は 例 え ば BU記 ラ イ ン 状の 光照射装置 で れ ば ラ ィ ン方 向 と 直交す る 向 き に 延び る 凹溝又 は 凸 条 を複数有 し た レ ンチ キ ュ ラ レ ン ズ 等が 好ま し レ、 ο

フ ク が B A T C H で あ る 場合 な <ど \し お '、 て 、 C C D 等 の受光 ■. 子 を 面状 に 配置 し たェ ジ ァ 严

像装置 に対 し て も 本発 明 の 用 は 可能 で あ る _ の 際 光照射部 を 平面状 に レ、 て 縦横 に複数並ベき

BX け た 光照、射装置 ( 図 示 し な レ、 ） や 第 2 0 図 に示す よ う に 光照射部 1 1 を 部分凹球面 に 複数並ベ け た 光 昭 射 置 1 等 を利 用 す る こ と が で き る 刖者 の ム

P で め れば例 え ば第 2 1 図 後者 の 士县 A口 で あれ ば例 ん ば第 2 2 図 に 示す う に対象領域 A を 同 図 の 点線 で 区切 る よ ラ な 単位領域 U A に 区成すれ ば よ い。 さ ら に そ の場 口 に用 い る 光 量む ら 和部材 と し て は 、 例 え ば光 拡散板 を げ る こ と が で き る ο

も ち ろ ん ヽ フ 一 ク に透光性が な < 反射照 明 を利用 す る 検査で あ つ て ち |pj様 に本発 明 を 適用 す る こ と が で さ る し 光照射装置が 光 フ ァ ィ バ を介 さ ず直 L E D で光 を 照射 す る も の で あ つ て も 構わ な レ、 ο

ま た各 L Ε D 又 は各光 フ ァ ィ パ の 光射 出 端そ れぞれ を 光 '昭い、射部 と し ヽ よ り さ め の細 か レ、光

制御 を す る こ と も 可能で る ο

さ ら に ヽ 光 量制御部 を構成す る 各部 の配置 は 自 在 に変 更 可能で あ り 、 れ ら が ―体 に 存在す る 必要 は な レ、 例 え ば光量制御部 の 5 ち 、 源及 び 流制御部 を 光 昭 射装

H

置側 に け 、 記比較部 か ら 電流制御部へ の 比較 ロ 果信 号を信号ケ ブルに よ り 伝 す る よ に し て よ レ、 o こ の に すれ ば太 レ、 電源ケ ―ブル を 多数本使用 す る 必要 が な < な り 、 軽里化 を 図れ る ο も ち ろ ん 、 こ の 光量制御 部 の各部 を τ ジ タ ルやァ ナ Π グ回 路 を 用 い て構成 し て も 良 レ、 し 、 コ ン ピ ュ 一 タ を用 い て ソ フ 卜 ク ェ ァ を利用 す る よ 5 に し て も よ レ、

加 て 、光量制 ニ 関 し て 、 記実施形態 に レ、 て は ヽ 初期 テ ィ 一 チ ン グ に レ、 て の み制御 を行 つ て レヽ た が ヽ 例 ば 、 間欠 的 に 制御 を行 つ て も よ レヽ し ヽ 検查 中 に お い て も 常 に連 的 に 光量制御す る よ に し て も 構 わ な レヽ o こ の よ ラ にすれ ばヽ ヮ 一 ク が変 わ つ た 、 機種が 変更 さ れ て も 迅速 な対応 が 可能で あ る し 、 照 明 の 劣化 を補 つ て安 疋 し た照 明 が 可台匕

目匕 と な る o さ ら に 単位領域画 の 明 る さ に は ヽ 対 )心す る 光照射部 以外 の他 の 光照射部 の影響 も あ る と こ ろ ヽ そ の影響 を も 考慮 し 、 単位領域画像の 明 る さ 制御 に他 の 光照射部 を も 加 え て 制御す る よ に し て も 構 わ な レヽ そ の場 α ヽ fc ら か じ め 1 つ 1 つ 光照、射部 を 点灯 さ せ て ヽ 他 の 単位領域へ の 光照射影響 を 測 定 し て お < こ と が 望 ま し レ、

ま た 、 第 2 3 図 に示す よ に ヽ 光照射装置 1 に お け る

L E D 5 を ケ 一 シ ン グ 7 に 直接取 り 付 け る よ に し ヽ 光 フ

6 を ケ ョ ru

ァ ィ バ 一 シ ン グ内 部 に配 BXす る よ う に し て も よ い。 こ の よ う にすれ ばヽ 多数の 光 フ ァ ィ バ か ら な る 重レ、 フ ァ ィ バ束 を 外部 に と り 回す必要 が な < な る た め 、 軽量化や 使い勝手 の 向 上 に 与 し得 る な お 、 同 図 で は ヽ 各照射

ト^- 田

部 1 1 毎 . 1» 界 を排除 し 、 よ り 均 ―な 光 が得 ら れ る う に構成 し て い る

各光照射部 に よ る 光照射 i囲 の 重 P 部分 は ヽ 少 な い方 が 制御 力 ^s容易 に な る が 、 れ と は逆 に 光 射部 を 非常 に

_、、

狭い ピ ッ テ で並 BX け 、 里 α ρ 分 を 多 く す る こ と — よ リ 、 例 え ば明 る さ 分布 の 均一性 を 高 め る な ど 、 明 る さ 分布 を 非常 に 滑 ら か に制御す る こ と が で さ る

さ ら に 第 2 実施形態 に レ、 て 、 個別光 照射態様 y 一 タ に含 ま れ る 明 る さ 情報 を ヽ 位置ヽ 供給電力 、 光照射部識 別子 を パ ラ メ 一 タ と し た テ 一 ブルで記 1' す る よ 5 に し て い た が 、 例 え ば 中 心位置で の 明 る さ 情報 の み を 厶 r

、 供 —

ホロ 力 、 光照射識別子 を ノヽ。 ラ メ 一 タ と し て記 す る よ に し て お さ 、 光量制御 の 際 に 、 中 心位 か ら 離れた 場所で の 明 る さ 情報 を ヽ 明 る さ 分 Τ タ に 比例す る と し て都度 算 出 す る よ う に し て も よ レ、 そ の他本発 明 は ヽ 上記図示例 に 限 ら れず そ の趣 曰 を 脱 し な い車 囲 で 々 の 変 が 可能 で あ る

m 産業上 の利用 可能性

以上 に 述 し た よ Ό に ヽ 本発 明 に よ れ ばヽ 画像処理装 置側 に お け る シ ェ 一 T ン グ補正等 の 画像補正 を 不要又 は可及的 に減少 さ せ る こ と が で き る た め 、 そ の補正 の 際 の画像劣化等 に 起 因 す る 検查精度 の 亜化 を 防止 で さ る ま た画像処 装置が本来の検查 に必要 な画像処理 に集 中 で さ る た め 、 検 時間 の 縮や検查个冃 度 の 向 上 を 大幅 に 促進 さ せ る と が で さ る 5 に な る

Claims

冃 求 の 範 囲

1 フ ク にョ

定 さ れた所定対象領域 に 光 を 照射す る 光 昭射装置 と そ の対象領域 を 像 し 、 得 ら れ た 対象領域 画像 を 表面検查 の 的 で画像処理 ¾置 に 出 力 す る 像 装置 と を備 え た あ の で あ つ て

記光 照射装置が 独 し て 光量調整可能 な複数の 光 昭射部 を 有す る も の で め る と と も に 、 刖 記 ί 像装置が 出 力 し た対象領域画像 にお け る 各部 の 明 る さ が所定の 標 値に近づ < よ 5 に 前記光照射部 の を それぞれ制御 す る 光量制御部 を さ ら に備 て い る こ と を 特徴 と す る 光 且

虽調整 シ ス テ ム

2 前記光量制御部 が 記対象領域画像各部 の 明 る さ を均 にすベ < 各光照射部 の 光量 を 制御す る の で あ る 冃 求項 1 記載 の 光量 整 シ ス テ ム

'

3 個 の 光照射部 か ら の 光照射 に よ る 記対象領域上 で の 光 昭射態様 を 個別光 昭射態様了 タ と し て 予 め in 記対象領域画像か ら 取得 し 所定の δし '1思領域 に記 ffe す る 個別光照射態様丁 タ 取得部 を さ ら に備

前記光量制御部 が 前記個別 光照射態様 Τ タ に基づ レヽ て 刖記光 照射部 の 光量 を 制御す る も の 全

で め る 5冃 求項 1 又 は 2 記載 の 光量調整 シ ス テ ム

4 刖 記個別光 照射態様 タ が 所定電力 を 供給 さ れ た各光照射部 に よ る 対象領域上 で の 光照射車 u囲及 び明 る さ 分 を 少 な < と も 示す も の で あ る m求項 3 記載 の 光量 調整 シ ス テ ム 5 刖 記対 領域 をネ¾数の 単位 域 に 区成す る と と も に 各単位領域 に つ レ、 て 当 該単位領域 を 主 と し て 昭 射す る 光 昭 射部 を 1 つ対 J心付 け そ の 光照射部 を 当 該 単位領 域の 主光照射部 と す る よ に さ虫

構成 し て レ、 る 求項 1 2

3 又 は 4 記載 の 光里調整 シ ス テ ム o

6 • 刖記単位領域 と 光照射部 と を 1 対 1 に 対応付 け る よ

5 に構成 し て レヽ る 求項 5 記載 の 光量 3周整 シ ス テ ム 0

7 • 目 'J 記個別光照射態様丁 タ が示す各光 照射部 に る 光照射範 囲 に基づ さ 各単位領域に 光 を 昭 射 し て レ、 る 光 照射部 の数又 は種類 が そ れぞれ異 な る よ に 刖 記対象 領域 を複数 の 単位領域 に 区成す る よ に し 虫

た 5冃 求項 5 又 は 6 記載 の 旦

光里調整 シ ス テ ム 0

8 • 記個別光照、射 fig様テ タ が示す各光 照.射部 に よ る 明 る さ 分 に基づ き 各単位領域に つ レ、 て 最 も 光 虽 を 与 え て レ、 る 光 照射部 を 当 該単位領域の 主光照射部 と す る よ に し て い る 5冃 求項 7 記載 の 光量調整 シ ス テ ム o

9 • 刖記光 量制御部 が 刖 記対象領域画像 を 刖 記各単位 領域の 画像 に分割す る 画像分割部 と 各単位領域画像 の 明 る さ の 代表値 を算 出す る 代表値算 出部 と め ら か じ め 定 め ら れて レ、 る 明 る さ の 標値 と 刖 記各単位領域画像 の 代表値 と を 比較す る 比較部 と 記比較部 で の 比較結果

..1

に基づ レヽ て 各代表値が 冃リ 記 1 標値 に 近づ < よ 9 に 当 該 単位領域 に 対応す る 主光照射部 の 光量 を制御す る 単位光 量制御部 と を備 た も の で あ る 5冃 求項 5 6 7 又 は 8 記载 の光量調整 シ ス テ ム 1 0 月 U 記代 値算 出部 が 単位領域画像 の 平均 の 明 る さ を算 出 し そ の値 を代表値 と す る も の で あ る 求項 9 記載の 光量調整 シ ス テ ム o

1 1 光照射装置が光 昭射部 を ラ ィ ン状又 は面状 に 並ベ

BX け た も の で あ る 請求項 1 2 3 4 5 6 7

8 9 又 は 1 0 記載 の 光量調整 シ ス テ ム ο

1 2 光 昭 射 置 が 隣 り 光照、射部 の 間 隙 に依存す る 光 む ら を緩和す る 光量む ら 緩和部材 を備 て レ、 S

る 求 項 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 0 又 は 1 1 記載 の 光量調整 シ ス テ ム 0

1 3 複数の 像装置 を備 え そ れ ら ί 像装置 に つ て

Ψ最

前記対 領域 を 分割 し て す る に し た の で あ つ 象 像 い 严

ずれか 隣 り 合 う 像 置が 記対象領域の 部 を重 八 し て 像す る 場ム に い て は 重 α す る 対象領域 に つ レ、 て 優先順位 の 高 レ、方の 像装置で得 ら れた画像 に基 づレ、 て対応す る m記光照射部 の 光量 を 制御す る と と も に 優先順位 の低 レ、方 の 严

像装置 が 像す る 対象領域 に つ レヽ て 記重 Π す る 対象領域の画像 を 基準 と し て そ の他 の領域に 対応す る 光 照射部 の光 ft を 制御す る よ に し て レ、 る 5 求項 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 0

1 1 又 は 1 2 記載 の 光量調整 シス テ ム 0

1 4 独 し て 光量調整可能 な複数の 光照射部 を 有 し 所定の対象領域 に 向 か つ て光 を 照射す る 光照射装置 と 刖 記対象領域 を レ ン ズ を介 し て 像 し 像 し た 画 ί象 であ る 対象領域画像を 出力す る 撮像装置 と 、 前記撮像装置が 出力 した対象領域画像にお け る 各部 の 明 る さ が所定の 目 標値に近づ く よ う に 、 前記光照射部の 光量を それぞれ制御す る 光量制御部 と を備 え た光量調整 シ ス テ ム 。