WO2003052293A1 - Mikrogetriebe nach dem spannungswellen-prinzip mit hohlwellen - Google Patents

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WO2003052293A1
WO2003052293A1 PCT/EP2002/013986 EP0213986W WO03052293A1 WO 2003052293 A1 WO2003052293 A1 WO 2003052293A1 EP 0213986 W EP0213986 W EP 0213986W WO 03052293 A1 WO03052293 A1 WO 03052293A1
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WO
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gear
transmission
micro
output shaft
spline
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PCT/EP2002/013986
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French (fr)
Inventor
Reinhard Degen
Rolf Slatter
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Micromotion Gmbh
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16H—GEARING
    • F16H49/00—Other gearings
    • F16H49/001—Wave gearings, e.g. harmonic drive transmissions
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16H—GEARING
    • F16H1/00—Toothed gearings for conveying rotary motion
    • F16H1/28—Toothed gearings for conveying rotary motion with gears having orbital motion
    • F16H1/2809—Toothed gearings for conveying rotary motion with gears having orbital motion with means for equalising the distribution of load on the planet-wheels
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16H—GEARING
    • F16H1/00—Toothed gearings for conveying rotary motion
    • F16H1/28—Toothed gearings for conveying rotary motion with gears having orbital motion
    • F16H2001/2881—Toothed gearings for conveying rotary motion with gears having orbital motion comprising two axially spaced central gears, i.e. ring or sun gear, engaged by at least one common orbital gear wherein one of the central gears is forming the output
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T74/00—Machine element or mechanism
    • Y10T74/19—Gearing

Definitions

  • the invention relates to a gear, in particular a micro gear, preferably based on the principle of the stress wave gear, Wolfrom gear or similar epicyclic gear in a flat design, which has a planetary gear consisting of a sun gear and at least two planet gears meshing with the sun gear, the sun gear being rotatably on a drive shaft arranged centrally with respect to a transmission central longitudinal axis or is part of this drive shaft, the planet gears are in engagement with a toothing which is connected in a rotationally fixed manner to an output shaft which is arranged centrally with respect to the transmission central longitudinal axis.
  • Harmonie Drive gear units can be divided into pot gear units (FIG. 2a) and flat gear units (FIG. 2b).
  • the flat design of this gear principle offers great advantages, particularly with regard to micro drive systems, such as the small number of components required, a compact design and the gear ratio required for micromotors, which can be achieved with a single gear stage.
  • the basic elements of the harmonic drive gearbox in flat construction are composed of the wave generator 12 and the gearwheels Flex-Spline 22, Circular-Spline 24 and Dynamic-Spline 26.
  • the wave generator 12 is in Harmonie Drive gearboxes Flat design preferably formed by a planetary gear consisting of a central sun gear 14 and two or more planet gears 16 which are in engagement with the teeth of the sun gear 14 and which in turn are in engagement with the internal teeth of the flex spline 22.
  • the basic principle of a harmony drive transmission is that the wave generator 12 deforms the flex spline 22 in at least two or more areas elliptically outward.
  • the flex spline 22 of the transmission has tooth engagement with the two ring gears Circular-Spline 24 and Dynamic-Spline 26 in the two outwardly deformed areas at the same time.
  • the areas of the small semi-axis of the elliptically deformed Flex splines do not mesh with circular spline 24 or dynamic spline 26.
  • the tooth engagement areas of the flex spline 22 move with the angular position of the two planet gears 16 from the wave generator according to the different angle representations in FIG.
  • the relative movement between these gears results from the difference in the number of teeth of, for example, two teeth between the flex spline 22 and the circular spline 24.
  • the flex spline 22 rotates with respect to the circular spline 24 by the difference in the number of teeth of these two gears.
  • the dynamic spline 26 serves as an output element and has the same number of teeth as the flex spline 22 and therefore also the same speed and direction of rotation.
  • a planetary gear as a wave generator 12 offers the advantages with regard to the degree of miniaturization of the micro-gear, that the manufacture of all gear components can be carried out with high precision using the LIGA method, the assembly effort is reduced, since the wave generator consists of only three elements, the overall gear ratio is increased by the planetary gear so that the very high speeds of micromotors can be flexibly adapted to individual requirements by such a gear in a single stage and this variant of the wave generator 12 has a very low mass inertia, which enables highly dynamic positioning processes.
  • the invention is based on the object of passing information through the gearbox or conveying media.
  • this object is essentially achieved in that the drive shaft and output shaft are each designed as a hollow shaft with a through bore or through channel.
  • a central axis of rotation for the gear is present, so that information or through the bore of the drive shaft or through a bore of the sun gear and the bore of the output shaft Media can be passed through the transmission through the channel formed by these holes.
  • this channel is concentric with the axis of rotation of the input and output shafts.
  • the drive shaft dips into the bore of the output shaft with a free end section facing the output shaft.
  • this measure there is the possibility of guiding or storing the drive shaft in the output shaft and, if appropriate, of providing further measures, for example to provide a seal in the overlap region between the drive and output shaft.
  • the free end section of the drive shaft is received by a bush seated in the bore of the output shaft.
  • the outer dimensions of the drive shaft in the area of the free end section and the inner dimensions of the output shaft can be individually adapted or coordinated.
  • a sealing system is particularly advantageously arranged between the drive shaft and the output shaft, so that fluid media can be conveyed through the hollow shafts.
  • additional measures such as hoses or pipelines can be dispensed with on the basis of this measure, since the output shaft and drive shaft rotating relative to one another are already sealed off from one another.
  • the sealing system is designed as a non-contact seal, preferably as a labyrinth seal, preferably with a plurality of annular grooves arranged offset with respect to the longitudinal axis of the transmission in the outer wall of the drive shaft or inner wall of the socket or the output shaft are arranged.
  • the drive shaft and / or output shaft are mounted in a housing of the transmission by means of rotary bearings, particularly preferably O-braced radial deep groove ball bearings.
  • rotary bearings particularly preferably O-braced radial deep groove ball bearings.
  • the planet gears are designed as a ring, which have spring elasticity in the radial direction. Due to the use of elastic planet gears, the backlash is eliminated and a practically backlash-free gear is created. This measure can also compensate for inaccuracies in production, wear and tear and problems due to contamination.
  • a structurally simple structure of the transmission also results from the fact that the housing of the transmission consists of two housing parts, which are preferably ring-shaped, intermesh like a pot and accommodate the wave generator, sun and planet gears, and flex, circular and dynamic spline between them ,
  • the gear designed as a micro gear has a diameter of less than 10 mm and / or a height of approximately 1 mm and / or a gear ratio of approximately 100 to approximately 1,500 and / or a tooth module of less than 100 / im on.
  • the transmission according to the invention is designed as a voltage shaft transmission, it is advisable that the planet gears are in engagement with an internal toothing of an annular flex spline.
  • the flex spline has an external toothing which is in engagement with the internal toothing of an annular circular spline and the internal toothing of an annular dynamic spline.
  • Circular spline and dynamic spline are advantageously arranged axially offset from the longitudinal axis of the gear unit.
  • the flex spline and circular spline have, in particular, slightly different numbers of teeth in the interlocking teeth.
  • the Dynamic Spline is non-rotatably connected to the output shaft.
  • the gear unit is designed as a planetary gear unit or as a planetary gear unit with a floating mounting of the planet gears without a web for guiding the planet gears or for torque tapping, i.e., for example, the class of Wolfrom gear units
  • the planet gears are meshed with an internal toothing of a split ring gear
  • two planet gears can already be used, it makes sense to use three planet gears, which has the advantage that the sun gear is statically determined by the planet gears.
  • the planet gears can also be radial Direction to be resilient to compensate for game, wear and manufacturing inaccuracies.
  • the ring gear is advantageously divided into a ring gear fixed to the housing and an output ring gear, the two ring gears being arranged axially offset from the longitudinal axis of the gear means.
  • the ring gear fixed to the housing and the output ring gear preferably have a slightly different number of teeth of the teeth engaging in the teeth of the planet gears.
  • the output ring gear is advantageously connected in a rotationally fixed manner to the output shaft or is an integral part of this output shaft.
  • FIG. 1 shows an exemplary embodiment of a microgear according to the invention in a sectional view
  • FIG. 2 shows a voltage wave transmission in a pot design (FIG. 2a) and in a flat design (FIG. 2b), each in a sectional view, according to the prior art
  • FIG. 3 shows a schematic illustration of a harmony drive gear with a wave generator consisting of a sun gear and two planet gears to illustrate the mode of operation
  • FIG. 4 shows a schematic illustration to explain the mode of operation of a planetary gear with a floating mounting of the planet gears without a web, for example a Wolfrom gear
  • Figure 5 shows the transmission of Figure 4 in a sectional view
  • Figure 6 shows an embodiment of an inventive
  • gears 10, in particular micro-gears, according to the harmony drive (registered trademark) principle in pot construction or flat construction has already been explained in more detail at the beginning, so that FIGS. 2 and 3 will not be discussed in more detail below.
  • identical reference numerals are used to designate the same components in the exemplary embodiment according to the present invention according to FIG. 1, so that the transmission according to FIGS. 2 and 3, in particular in connection with the are self-explanatory.
  • the gear 10 or micro-gear according to the harmony drive principle according to FIG. 1 is constructed in a flat design and has a wave generator 12 which consists of a planetary gear consisting of a sun gear 14 and at least two planet gears 16 meshing with the sun gear 14.
  • the sun gear 14 is in the Exemplary embodiment of FIG. 1 is ring-shaped and is seated in a rotationally fixed manner on a drive shaft 20 arranged centrally with respect to a longitudinal axis 18 of the gearbox.
  • sun gear 14 is in particular an integral part of this drive shaft 20.
  • the planet gears 16 are in engagement with an internal toothing of an annular flex spline 22, which in turn has an external toothing.
  • This external toothing of the flex spline 22 is in engagement with the internal toothing of an annular circular spline 24 and the internal toothing of an annular dynamic spline 26.
  • Circular spline 24 and dynamic spline 26 each have a ring shape and are axially offset from one another with respect to the longitudinal axis of the transmission center.
  • Flex spline 22 and circular spline 24 have a slightly different number of interlocking teeth, for example the difference in the number of teeth is 2, while the dynamic spline 26 has the same number of teeth as the flex spline 22 and thus serves as an output element.
  • the dynamic spline 26 is rotatably connected to an output shaft 28.
  • the ring-shaped dynamic spline 26 is arranged in a pot-like widened receptacle of the output shaft 28, lies with its outer wall against the inner wall of the pot-shaped receptacle and is connected to it in a rotationally fixed or rigid manner. It should be mentioned that not only the drive shaft 20, but also the output shaft 28 are arranged essentially centrally with respect to the longitudinal axis 18 of the gearbox.
  • the drive shaft 20 and the output shaft 28 are each in the form of a hollow shaft 30, 32 with a continuous bore 34, 36 or another channel educated.
  • the possibility is provided for microgearings to transport media, information or the like through the center of rotation of the drive, so that, for example, laser radiation, optical fibers, waves, supply lines or even media can be guided through the gearbox directly on the central rotary axis. It is therefore unnecessary to guide this information, media or the like around the transmission, which is associated with considerable design effort and space requirements.
  • the drive shaft 20 dips into the bore 36 or the channel of the output shaft 28 with a free end section 38 facing the output shaft 28. Furthermore, according to the exemplary embodiment in FIG. 1, the free end section 38 of the drive shaft 20 is received by a bush 40 seated in the bore 36 or the channel of the output shaft 28. A sealing system 42 is provided between the drive shaft 20 and the output shaft 28, which enables a medium to be passed directly through the two hollow shafts 30, 32 despite the relative movement of the drive shaft 20 and the output shaft 28.
  • the sealing system 42 is designed as a non-contact seal, preferably as a labyrinth seal 44, with preferably a plurality of annular grooves arranged offset with respect to the longitudinal axis of the transmission in the outer wall of the drive shaft 20 or the inner wall of the Bushing 40 and the output shaft 28 are arranged.
  • Drive shaft 20 and / or output shaft 28 are mounted in a housing 48 of the transmission by means of rotary bearings 50, particularly preferably O-braced radial ball bearings.
  • the planet gears 16 are formed as a ring, which have spring elasticity in the radial direction.
  • the housing 48 of the transmission 10 consists of two housing parts 52, 54, which are preferably ring-shaped, intermesh like a pot and between them the wave generator 12, sun and planet gears 14, 16 and flex, circular and dynamic spline 22, 24, Record 26.
  • the gear 10 designed as a micro gear is characterized by a diameter of less than 10 mm (preferably approximately 8 mm), a height of approximately 1 mm, a transmission ratio of approximately 100 to approximately 1,500 (preferably approximately 500 to 1,000) and one Tooth module of less than 100 (30 to 40) ⁇ m, preferably 34 ⁇ m, and is preferably produced by the LIGA process.
  • the inventive design of the drive shaft 20 and output shaft 28 each as a hollow shaft 30, 32 with a through bore 34, 36 or through channel can also be realized with other planetary gear units or planetary gear units with floating mounting of the planet gears 16.
  • FIGS. 4 and 5 show a so-called Wolfrom gear 58, which in a simple embodiment is very similar to the structure of the voltage wave gear 56 described above. To this extent, the same components are identified by the same reference numbers. Therefore, only the differences in the gearbox structure are discussed below.
  • the flex spline 22 of the exemplary embodiment in FIG. 1 is omitted in the Wolfrom transmission according to the embodiment according to the invention in FIG , which are arranged axially offset to the transmission center longitudinal axis 18.
  • the ring gear 60 fixed to the housing and the driven ring gear 62 have a slightly different number of teeth of the teeth engaging in the teeth of the planet gears 16.
  • the output ring gear 62 is non-rotatably connected to the output shaft 28, the preferably three planet gears 16 being floating.
  • the sun gear 14 is set in rotation by a rotary movement of the drive shaft 20, this movement is transmitted to the preferably three planet gears 16, the external toothing of which meshes with the internal toothing of the sun gear 14.
  • the planet gears 16 engage with their external toothing with the internal toothing of the ring gear 64, that is to say the ring gear 60 fixed to the housing and the output ring gear 62.
  • the output ring gear 62 is then set into rotation about the central longitudinal axis 18 of the transmission in accordance with the gear ratios to be set, which is transmitted accordingly to the output shaft 28 due to the rotationally fixed connection of the output gear ring 62.

Abstract

Es wird ein Getriebe (10), insbesondere Mikrogetriebe, nach dem Prinzip, insbesondere des Spannungswellen-Getriebes, Wolfrom-Getriebes oder dergleichen Umlaufradergetriebe in Flachbauweise beschrieben. Das Getriebe besitzt wenigstens ein Sonnenrad (14) und wenigstens zwei mit dem Sonnenrad (14) in Eingriff stehenden Planetenradern (16), wobei das Sonnenrad (14) drehfest auf einer zentrisch bezliglich einer Getriebemittellangsachse (18) angeordneten Antriebswelle (20) sitzt. Die Planetenrader (16) stehen mittelbar oder unmittelbar mit einer Verzahnung in Eingriff, welche drehfest mit einer Abtriebswelle (28) verbunden ist, welche zentrisch bezliglich der Getriebemittellangsachse angeordnet ist. Die Antriebswelle (20) und die Abtriebswelle (28) sind jeweils als Hohlwelle (30, 32) mit durchgangiger Bohrung (34, 36) ausgebildet, so daB durch das Getriebe hindurch Informationen oder fluide Medien geleitet werden konnen.

Description

Bezeichnung: Mikrogetriebe nach dem Spannungswellen-Prinzip mit Hohlwellen
Beschreibung
Die Erfindung betrifft ein Getriebe, insbesondere Mikrogetriebe bevorzugt nach dem Prinzip des Spannungswellen- Getriebes, Wolfrom-Getriebes oder dergleichen Umlaufrädergetriebe in Flachbauweise, welches ein Planetengetriebe bestehend aus einem Sonnenrad und wenigstens zwei mit dem Sonnenrad in Eingriff stehenden Planetenrädern aufweist, wobei das Sonnenrad drehfest auf einer zentrisch bezüglich einer Getriebemittellangsachse angeordneten Antriebswelle sitzt oder Bestandteil dieser Antriebswelle ist, die Planetenräder mit einer Verzahnung in Eingriff stehen, die drehfest mit einer Abtriebswelle verbunden ist, welche zentrisch bezüglich der Getriebemittellangsachse angeordnet ist.
Derartige Getriebe sind bereits aus dem Stand der Technik, beispielsweise Proceedings of Actuator 2000, 19.-21. Juni, Bremen, Autoren R. Degen, W. Ehrfeld, F. Michel „Pancake shaped micro gear system with high transmission ratio", das Micro Harmonie Drive der Micromotion GmbH: Ein Präzisionsmikrogetriebe für Positionieraufgaben, R. Degen, F. Michel, F&M 109 (2001), Nr. 6, 48 bis 50 bzw. Proceedings of innovative Klein- und Mikroantriebe, 15.-16. Mai Mainz, 2001, R. Degen „Micro Harmonic-Drive: innovative Antriebstechnik miniaturisiert mit LIGA" bekannt. Beispiele derartiger bekannte Mikrogetriebe nach dem Spannungswellen-Getriebe, zum Beispiel Harmonie Drive (eingetragene Marke) -Prinzip sind auch in den Figuren 2a, b sowie Figur 3 dargestellt und werden nachfolgend hinsichtlich der prinzipiellen Funktionsweise kurz erläutert. Es sei auch darauf hingewiesen, daß der vorerwähnte druckschriftliche Stand der Technik durch ausdrücklichen Rückbezug in den Offenbarungsgehalt der vorliegenden Patentanmeldung mit aufgenommen wird.
Das Getriebeprinzip eines Spannungswellen-Getriebes 56 hebt sich gegenüber anderen Bauformen, wie zum Beispiel Stirnradstandgetrieben und Planetengetrieben, durch seine präzisen und spielfreien Übertragungseigenschaften ab. Diese besonderen Eigenschaften stellt das Harmonie Drive-Prinzip schon seit längerem in der Robotik, dem Werkzeugmaschinenbau, in Meßgeräten, in der Luft- und Raumfahrt und in der Medizintechnik unter Beweis. Harmonie Drive-Getriebe lassen sich nach ihrer Ausführungsform in Topfgetriebe (Figur 2a) und Flachgetriebe (Figur 2b) einteilen. Die Flachbauweise dieses Getriebeprinzips bietet besonders im Hinblick auf Mikroantriebssysteme große Vorteile, wie die geringe Anzahl der benötigten Komponenten, eine kompakte Bauform und die für Mikromotoren benötigte Übersetzungshöhe, welche mit einer einzigen Getriebestufe erzielt werden kann. Die Basiselemente des Harmonie Drive-Getriebes in Flachbauweise setzen sich zusammen aus dem Wavegenerator 12 und den Zahnrädern Flex- Spline 22, Circular-Spline 24 und Dynamic-Spline 26. Wie aus Figur 3 ersichtlich, ist der Wavegenerator 12 bei Harmonie Drive-Getrieben in Flachbauweise bevorzugt durch ein Planetengetriebe bestehend aus einem zentralen Sonnenrad 14 und zwei oder mehreren, mit der Verzahnung des Sonnenrades 14 in Eingriff stehenden Planetenrädern 16 gebildet, die ihrerseits mit der Innenverzahnung des Flex-Spline 22 in Eingriff stehen.
Das Grundprinzip eines Harmonie Drive-Getriebes besteht darin, daß der Wavegenerator 12 den Flex-Spline 22 in mindestens zwei oder mehr Bereichen elliptisch nach außen verformt. Dadurch hat der Flex-Spline 22 des Getriebes in den zwei nach außen verformten Bereichen gleichzeitig Zahneingriff mit den beiden Hohlrädern Circular-Spline 24 und Dynamic-Spline 26. In den Bereichen der kleinen Halbachse des elliptisch verformten Flex-Splines steht dieser nicht in Zahneingriff mit Circular- Spline 24 beziehungsweise Dynamic-Spline 26.
Bei Drehung des Sonnenrades 14 des Wavegenerators 12 wandern gemäß den unterschiedlichen Winkeldarstellungen der Figur 3 die Zahneingriffsbereiche des Flex-Spline 22 mit der Winkelstellung der beiden Planetenräder 16 vom Wavegenerator. Aus dem Zähnezahlunterschied von beispielsweise zwei Zähnen zwischen Flex-Spline 22 und Circular-Spline 24 resultiert die Relativbewegung zwischen diesen Zahnrädern. Bei einem vollen Umlauf der Planetenräder 16 des Wavegenerators verdreht sich der Flex-Spline 22 gegenüber dem Circular-Spline 24 um den Zähnezahlunterschied dieser beiden Zahnräder. Der Dynamic- Spline 26 dient bei der Flachbauweise als Abtriebselement und besitzt dieselbe Zähnezahl wie der Flex-Spline 22 und daher auch dieselbe Drehzahl und Drehrichtung.
Die Verwendung eines Planetengetriebes als Wavegenerator 12 bietet im Hinblick auf den Miniaturisierungsgrad des Mikrogetriebes die Vorteile, daß die Herstellung aller Getriebekomponenten hochpräzise mit dem LIGA-Verfahren erfolgen kann, der Montageaufwand verringert wird, da der Wavegenerator nur aus drei Elementen besteht, die Gesamtübersetzung des Getriebes durch das Planetengetriebe erhöht wird, so daß durch ein derartiges Getriebe in einer einzigen Stufe die sehr hohen Drehzahlen von Mikromotoren flexibel an die individuellen Erfordernisse angepaßt werden können und diese Variante des Wavegenerators 12 eine sehr geringe Massenträgheit besitzt, wodurch hochdynamische Positioniervorgänge ermöglicht werden.
Ausgehend von derartigen Getrieben beziehungsweise Mikrogetrieben der eingangs genannten Art liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, durch das Getriebe hindurch Informationen zu leiten beziehungsweise Medien zu fördern. Ausgehend von dem Getriebe mit den eingangs genannten Merkmalen wird diese Aufgabe im wesentlichen dadurch gelöst, daß die Antriebswelle und Abtriebswelle jeweils als Hohlwelle mit durchgängiger Bohrung beziehungsweise durchgängigem Kanal ausgebildet sind.
Aufgrund dieser erfindungsgemäßen Merkmale besteht die Möglichkeit, Laser, optische Fasern, Wellen, Versorgungsleitungen oder dergleichen auf der zentralen, rotatorischen Achse, der Getriebemittellangsachse, durch das Getriebe hindurchzuführen beziehungsweise Medien zu fördern. So ist es beispielsweise möglich, ein Vakuum für Greifaufgaben oder Handlingmaßnahmen durch das Getriebe zentral hindurch zu leiten. Ebenso besteht die Möglichkeit, daß Sensoren durch das Getriebe hindurchschauen können und Gegenstände auf der gegenüberliegenden Getriebeseite detektieren können. Dies ist bei herkömmlichen, mehrstufigen Getrieben beziehungsweise Mikrogetrieben in der Regel nicht möglich, da die zentrale Bohrung gleichzeitig durch mehrere hintereinander geschaltete Getriebestufen verlaufen müßte, deren Zahnräder beziehungsweise Getriebeteile eine gemeinsame zentrale Drehachse im allgemeinen nicht besitzen. Bei dem erfindungsgemäßen Mikrogetriebe ist trotz der sehr hohen Übersetzung im Bereich von ca. 100 bis 1.500 mit einer einzigen Getriebestufe eine zentrale Drehachse für das Getriebe vorhanden, so daß durch die Bohrung der Antriebswelle beziehungsweise durch eine Bohrung des Sonnenrades sowie die Bohrung der Abtriebswelle Informationen beziehungsweise Medien durch den durch diese Bohrungen gebildeten Kanal durch das Getriebe hindurchgeleitet werden können. In der Regel ist dieser Kanal konzentrisch mit der Drehachse von Antriebs- und Abtriebswelle.
Nach einer ersten vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung taucht die Antriebswelle mit einem freien, zur Abtriebswelle weisenden Endabschnitt in die Bohrung der Abtriebswelle ein. Aufgrund dieser Maßnahme besteht die Möglichkeit, die Antriebswelle in der Abtriebswelle zu führen beziehungsweise zu lagern sowie gegebenenfalls weitere Maßnahmen vorzusehen, um beispielsweise eine Abdichtung im Überlappungsbereich zwischen Antriebs- und Abtriebswelle vorzusehen.
Weiterhin erweist es sich als vorteilhaft, daß der freie Endabschnitt der Antriebswelle von einer in der Bohrung der Abtriebswelle sitzenden Buchse aufgenommen ist. Mittels der Buchse kann eine individuelle Anpassung beziehungsweise Abstimmung der Außenabmessungen der Antriebswelle im Bereich des freien Endabschnittes sowie der Innenabmessungen der Abtriebswelle erfolgen.
Von besonderem Vorteil ist zwischen der Antriebswelle und der Abtriebswelle ein Dichtungssystem angeordnet, so daß fluide Medien durch die Hohlwellen gefördert werden können. Insoweit kann aufgrund dieser Maßnahme auf zusätzliche Maßnahmen wie Schläuche oder Rohrleitungen verzichtet werden, da die sich relativ zueinander drehende Abtriebswelle und Antriebswelle bereits gegeneinander abgedichtet sind.
Um die insbesondere bei Mikrogetrieben äußerst unerwünschten Reibungsmomente weitestgehend zu vermeiden, ist es nach einer anderen vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung vorgesehen, daß das Dichtungssystem als berührungslose Dichtung, bevorzugt als Labyrinthdichtung ausgebildet ist, wobei bevorzugt mehrere bezüglich der Getriebemittellangsachse versetzt angeordnete Ringnuten in der Außenwandung der Antriebswelle oder Innenwandung der Buchse beziehungsweise der Abtriebswelle angeordnet sind.
Nach einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist es vorgesehen, daß Antriebswelle und/oder Abtriebswelle in einem Gehäuse des Getriebes mittels Drehlagern, insbesondere bevorzugt O-verspannten Radialrillenkugellagern gelagert sind. Auch durch diese Maßnahme werden die in dem Getriebe auftretenden Reibungsmomente auf ein Minimum reduziert. Auch werden durch diese Maßnahme die Rundlaufgenauigkeit der An- und Abtriebswelle verbessert, so daß das Mikrogetriebe eine hohe Wiederholgenauigkeit, konstante momentane Übertragungseigenschaften und eine hohe Lebenserwartung aufweist.
Nach einer anderen vorteilhaften Weiterbildung sind die Planetenräder als Ring ausgebildet, die in radialer Richtung Federelastizität besitzen. Aufgrund des Einsatzes elastischer Planetenräder wird das Zahnflankenspiel eliminiert und ein praktisch spielfreies Getriebe geschaffen. Auch können durch diese Maßnahme Fertigungsungenauigkeiten, Verschleiß und Probleme aufgrund von Verschmutzung kompensiert werden.
Ein konstruktiv einfacher Aufbau des Getriebes ergibt sich auch dadurch, daß das Gehäuse des Getriebes aus zwei Gehäuseteilen besteht, die bevorzugt ringförmig ausgebildet sind, topfartig ineinandergreifen und zwischen sich den Wavegenerator, Sonnen- und Planetenräder sowie Flex-, Circular- und Dynamic-Spline aufnehmen.
Nach einem anderen Gedanken der Erfindung weist das als Mikrogetriebe ausgebildete Getriebe einen Durchmesser von weniger als 10 mm und/oder eine Höhe von ca. 1 mm und/oder einer Übersetzung von ca. 100 bis ca. 1.500 und/oder einem Zahnmodul von kleiner 100 /im auf.
Auch erweist es sich als vorteilhaft, ein derartiges erfindungsgemäßes Mikrogetriebe mittels des LIGA-Verfahrens herzustellen, wie dies beispielsweise in Radiat, Phys. und chemistry 45 (1995), Nr. 3, 349 bis 365, W. Ehrfeld, H. Lehr, „Deep X-ray Lithography for the Production of three- dimensional Microstructures from Metals, Polymers and Ceramics, beschrieben ist.
Sofern das erfindungsgemäße Getriebe als Spannungswellen- Getriebe ausgebildet ist, bietet es sich an, daß die Planetenräder mit einer Innenverzahnung eines ringförmigen Flex-Spline in Eingriff stehen.
Weiterhin erweist es sich als vorteilhaft, daß der Flex-Spline eine Außenverzahnung aufweist, die mit der Innenverzahnung eines ringförmigen Circular-Spline sowie der Innenverzahnung eines ringförmigen Dynamic-Spline in Eingriff steht.
Von Vorteil sind Circular-Spline und Dynamic-Spline axial versetzt zur Getriebemittel-Längsachse angeordnet.
Nach einer anderen Ausgestaltung der Erfindung weisen Flex- Spline und Circular-Spline insbesondere geringfügig unterschiedliche Zähnezahl der ineinandergreifenden Verzahnung auf.
Dabei ist der Dynamic-Spline drehfest mit der Abtriebswelle verbunden.
Sofern das Getriebe als Umlaufrädergetriebe oder als Planetengetriebe mit schwimmender Lagerung der Planetenräder ohne Steg zur Führung der Planetenräder beziehungsweise für den Drehmomentabgriff ausgebildet ist, also beispielsweise zu der Klasse der Wolfrom-Getriebe zu rechnen ist, stehen die Planetenräder mit einer Innenverzahnung eines geteilten Hohlrades in Eingriff. Obwohl bereits zwei Planetenräder zum Einsatz gelangen können, bietet es sich an, drei Planetenräder zu verwenden, wodurch sich der Vorteil ergibt, daß das Sonnenrad durch die Planetenräder statisch bestimmt gelagert ist. Auch können die Planetenräder ebenfalls in radialer Richtung federnd ausgebildet sein, um damit Spiel-, Verschleiß- und Fertigungsungenauigkeiten auszugleichen.
Von Vorteil ist das Hohlrad in ein gehäusefestes Hohlrad sowie ein Abtriebshohlrad aufgeteilt, wobei die beiden Hohlräder axial versetzt zur Getriebemittel-Längsachse angeordnet sind.
Bevorzugt weisen das gehäusefeste Hohlrad und das Abtriebshohlrad eine insbesondere geringfügig unterschiedliche Zähnezahl der in die Zähne der Planetenräder eingreifenden Verzahnung auf.
Von Vorteil ist das Abtriebshohlrad drehfest mit der Abtriebswelle verbunden beziehungsweise einstückiger Bestandteil dieser Abtriebswelle.
Schließlich erweist es sich als vorteilhaft, daß die Planetenräder schwimmend gelagert sind.
Weitere Merkmale, Vorteile, Anwendungsmöglichkeiten und Ausgestaltungen der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispieles anhand der Figuren. Dabei bilden alle beschriebenen und/oder bildlich dargestellten Merkmale für sich oder in beliebiger sinnvoller Kombination den Gegenstand der vorliegenden Erfindung, auch unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Ansprüchen oder deren Rückbeziehung.
Es zeigen:
Figur 1 ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Mikrogetriebes in Schnittdarstellung,
Figur 2 ein Spannungswellen- Getriebe in Topfbauweise (Figur 2a) und in Flachbauweise (Figur 2b) , jeweils in Schnittdarstellung, nach dem Stand der Technik, Figur 3 eine schematische Darstellung eines Harmonie Drive- Getriebes mit einem Wavegenerator bestehend aus Sonnenrad und zwei Planetenrädern zur Veranschaulichung der Funktionsweise,
Figur 4 eine schematische Darstellung zur Erläuterung der Funktionsweise eines Planetengetriebes mit schwimmender Lagerung der Planetenräder ohne Steg, zum Beispiel eines Wolfrom-Getriebes,
Figur 5 das Getriebe der Figur 4 in Schnittdarstellung und
Figur 6 ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen
Wolfrom-Getriebes ebenfalls in Schnittdarstellung.
Die grundsätzliche Funktionsweise von Getrieben 10, insbesondere Mikrogetrieben, nach dem Harmonie Drive(eingetragene Marke) -Prinzip in Topfbauweise oder Flachbauweise wurde bereits eingangs näher erläutert, so daß auf die Figuren 2 und 3 im weiteren nicht näher einzugehen ist. Im übrigen werden bei den Ausführungsbeispielen nach dem Stand der Technik gemäß Figuren 2 und 3 zu dem Ausführungsbeispiel nach der vorliegenden Erfindung gemäß Figur 1 zur Bezeichnung gleicher Bauteile identische Bezugsziffern verwendet, so daß die Getriebe nach den Figuren 2 und 3, insbesondere in Verbindung mit dem eingangs genannten Stand der Technik selbsterklärend sind.
Das Getriebe 10 beziehungsweise Mikrogetriebe nach dem Harmonie Drive-Prinzip gemäß Figur 1 ist in Flachbauweise aufgebaut und besitzt einen Wavegenerator 12, der aus einem Planetengetriebe bestehend aus einem Sonnenrad 14 und wenigstens zwei mit dem Sonnenrad 14 in Eingriff stehenden Planetenrädern 16 besteht. Das Sonnenrad 14 ist im Ausführungsbeispiel der Figur 1 ringförmig ausgebildet und sitzt drehfest auf einer zentrisch bezüglich einer Getriebemittellangsachse 18 angeordneten Antriebswelle 20.
Natürlich besteht auch die Möglichkeit, daß das Sonnenrad 14 insbesondere einstückiger Bestandteil dieser Antriebswelle 20 ist.
Die Planetenräder 16 stehen mit einer Innenverzahnung eines ringförmigen Flex-Spline 22 in Eingriff, der seinerseits eine Außenverzahnung besitzt. Diese AußenVerzahnung des Flex-Spline 22 steht mit der Innenverzahnung eines ringförmigen Circular- Spline 24 sowie der Innenverzahnung eines ringförmigen Dynamic-Spline 26 in Eingriff. Circular-Spline 24 und Dynamic- Spline 26 weisen jeweils Ringform auf und sind bezüglich der Getriebemittellangsachse axial versetzt zueinander angeordnet. Flex-Spline 22 und Circular-Spline 24 weisen eine geringfügig unterschiedliche Zahl der ineinander eingreifenden Verzahnung auf, beispielsweise beträgt der Zahnzahlunterschied 2, während der Dynamic-Spline 26 dieselbe Zahnzahl wie der Flex-Spline 22 aufweist und somit als Abtriebselement dient. Der Dynamic- Spline 26 ist drehfest mit einer Abtriebswelle 28 verbunden. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel ist, wie aus Figur 1 ersichtlich, der ringförmige Dynamic-Spline 26 in einer topfartig aufgeweiteten Aufnahme der Abtriebswelle 28 angeordnet, liegt mit seiner Außenwandung der Innenwandung der topfförmigen Aufnahme an und ist mit dieser drehfest beziehungsweise starr verbunden. Es bleibt zu erwähnen, daß nicht nur die Antriebswelle 20, sondern auch die Abtriebswelle 28 im wesentlichen zentrisch bezüglich der Getriebemittellangsachse 18 angeordnet sind.
Um Medien oder Informationen durch dieses Getriebe 10 hindurchleiten zu können, sind Antriebswelle 20 sowie Abtriebswelle 28 jeweils als Hohlwelle 30, 32 mit einer durchgängigen Bohrung 34, 36 oder einem sonstigen Kanal ausgebildet. Somit wird für Mikrogetriebe erstmalig die Möglichkeit bereitgestellt, durch das Drehzentrum des Antriebs Medien, Informationen oder dergleichen zu transportieren, so daß beispielsweise Laserstrahlung, optische Fasern, Wellen, Versorgungsleitungen oder auch Medien direkt auf der zentralen rotatorischen Achse durch das Getriebe geführt werden können. Es ist somit entbehrlich, diese Informationen, Medien oder dergleichen um das Getriebe herumzuführen, was mit erheblich konstruktivem Aufwand und Bauraumbedarf verbunden ist.
Wie aus Figur 1 weiterhin ersichtlich ist, taucht die Antriebswelle 20 mit einem freien, zur Abtriebswelle 28 weisenden Endabschnitt 38 in die Bohrung 36 beziehungsweise den Kanal der Abtriebswelle 28 ein. Weiterhin ist der freie Endabschnitt 38 der Antriebswelle 20 gemäß dem Ausführungsbeispiel der Figur 1 von einer in der Bohrung 36 beziehungsweise dem Kanal der Abtriebswelle 28 sitzenden Buchse 40 aufgenommen. Zwischen Antriebswelle 20 und Abtriebswelle 28 ist ein Dichtungssystem 42 vorgesehen, welches es ermöglicht, daß trotz der Relativbewegung von Antriebswelle 20 und Abtriebswelle 28 ein Medium unmittelbar durch die beiden Hohlwellen 30, 32 geführt werden kann. Obwohl durchaus konventionelle Dichtungssysteme, zum Beispiel Gummidichtungen oder dergleichen, bei denen eine elastische Dichtfläche zur Abdichtung zwischen die gegeneinander beweglichen Komponenten gepreßt wird, zum Einsatz kommen kann, besitzen derartige konventionelle Dichtungen gerade im Hinblick auf Mikrosysteme den Nachteil, daß ein erhebliches zusätzliches Reibungsmoment in der Dichtung erzeugt wird, die Dichtungsflächen verschleißen und damit die Dichtung allmählich undicht wird. Insoweit ist nach dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Figur 1 das Dichtungssystem 42 als berührungslose Dichtung, bevorzugt als Labyrinthdichtung 44 ausgebildet, wobei bevorzugt mehrere bezüglich der Getriebemittellangsachse versetzt angeordnete Ringnuten in der Außenwandung der Antriebswelle 20 oder der Innenwandung der Buchse 40 beziehungsweise der Abtriebswelle 28 angeordnet sind.
Antriebswelle 20 und/oder Abtriebswelle 28 sind in einem Gehäuse 48 des Getriebes mittels Drehlagern 50, insbesondere bevorzugt O-verspannten Radiairillenkugellagern gelagert. Weiterhin sind die Planetenräder 16 als Ring ausgebildet, die in radialer Richtung Federelastizität besitzen. Das Gehäuse 48 des Getriebes 10 besteht aus zwei Gehäuseteilen 52, 54, die bevorzugt ringförmig ausgebildet sind, topfartig ineinandergreifen und zwischen sich den Wavegenerator 12, Sonnen- und Planetenräder 14, 16 sowie Flex-, Circular- und Dynamic-Spline 22, 24, 26 aufnehmen.
Das als Mikrogetriebe ausgebildete Getriebe 10 zeichnet sich durch einen Durchmesser von weniger als 10 mm (bevorzugt ca. 8 mm) einer Höhe von ca. 1 mm, einer Übersetzung von ca. 100 bis ca. 1.500 (bevorzugt etwa 500 bis 1.000) und einem Zahnmodul von kleiner 100 (30 bis 40) μm, bevorzugt 34 μm aus und wird bevorzugt nach dem LIGA-Verfahren hergestellt.
Die erfindungsgemäße Ausgestaltung von Antriebswelle 20 und Abtriebswelle 28 jeweils als Hohlwelle 30, 32 mit durchgängiger Bohrung 34, 36 oder durchgängigem Kanal läßt sich auch bei anderen Umlaufrädergetrieben beziehungsweise Planetengetriebeh mit schwimmender Lagerung der Planetenräder 16 realisieren.
In den Figuren 4 und 5 ist in schematischer Darstellung ein sogenanntes Wolfrom-Getriebe 58 dargestellt, welches in einer einfachen Ausführungsform sehr ähnlich zum Aufbau des vorbeschriebenen Spannungswellen-Getriebes 56 ist. Insoweit sind auch gleiche Bauteile mit gleichen Bezugsziffern gekennzeichnet. Nachfolgend wird daher lediglich auf die Unterschiede im Getriebeaufbau eingegangen. Im wesentlichen entfällt bei dem Wolfrom-Getriebe gemäß der erfindungsgemäßen Ausführungsform der Figur 6 der Flex-Spline 22 des Ausführungsbeispiels der Figur 1. Das Wolfrom-Getriebe 58 weist ein geteiltes Hohlrad 64 auf, welches aus einem gehäusefesten Hohlrad 60 sowie einem Abtriebshohlrad 62 gebildet ist, die axial versetzt zur Getriebe-Mittel- Längsachse 18 angeordnet sind. Das gehäusefeste Hohlrad 60 sowie das Abtriebshohlrad 62 besitzen eine geringfügig unterschiedliche Zähnezahl der in die Zähne der Planetenräder 16 eingreifenden Verzahnung. Das Abtriebshohlrad 62 ist drehfest mit der Abtriebswelle 28 verbunden, wobei die bevorzugt drei Planetenräder 16 schwimmend gelagert sind.
Wird das Sonnenrad 14 über eine Drehbewegung der Antriebswelle 20 in Drehung versetzt, überträgt sich diese Bewegung auf die bevorzugt drei Planetenräder 16, deren Außenverzahnung mit der Innenverzahnung des Sonnenrades 14 in Eingriff steht. Gleichfalls stehen die Planetenräder 16 mit ihrer Außenverzahnung mit der Innenverzahnung des Hohlrades 64, das heißt des gehäusefesten Hohlrades 60 sowie des Abtriebshohlrades 62 in Eingriff. Insoweit wird dann das Abtriebshohlrad 62 entsprechend der individuell einzustellenden Übersetzungsverhältnisse in eine Rotation um die Getriebe-Mittel-Längsachse 18 versetzt, die aufgrund der drehfesten Verbindung des Abtriebshohlrades 62 mit der Abtriebswelle 28 entsprechend auf diese übertragen wird.
Auch bei diesem modifizierten Wolfrom-Getriebe 58 besteht ein großer Vorteil darin, daß Antriebswelle 20 sowie Abtriebswelle 28 jeweils als Hohlwellen 30, 32 ausgebildet sind und einen durchgängigen Kanal aufweisen, so daß Informationen oder beispielsweise fluide Medien durch das Getriebe 10 hindurchgeleitet werden können. Bezugszeichenliste
10 Getriebe
12 Wavegenerator
14 Sonnenrad
16 Planetenrad
18 Getriebemittellangsachse
20 Antriebswelle
22 Flex-Spline
24 Circular-Spline
26 Dynamic-Spline
28 Abtriebswelle
30 Hohlwelle
32 Hohlwelle
34 Bohrung
36 Bohrung
38 Endabschnitt
40 Buchse
42 Dichtungssystem
44 Labyrinthdichtung
46 Ringnut
48 Gehäuse
50 Drehlager
52 Gehäuseteile
54 Gehäuseteile
56 Spannungswellen-Getriebe
58 Wolfrom-Getriebe
60 gehäusefestes Hohlrad
62 Abtriebshohlrad
64 Hohlrad

Claims

Patentansprüche
1. Getriebe (10) , insbesondere Mikrogetriebe, bevorzugt nach dem Prinzip des Spannungswellen-Getriebes (56) oder Wolfrom-Getriebes (58) oder dergleichen Umlaufrädergetriebe in Flachbauweise , welches ein Planetengetriebe bestehend aus einem Sonnenrad (14) und wenigstens zwei oder mehreren mit dem Sonnenrad (14) in Eingriff stehenden Planetenrädern (16) aufweist, wobei das Sonnenrad (14) drehfest auf einer zentrisch bezüglich einer Getriebemittellangsachse (18) angeordneten Antriebswelle (20) sitzt oder Bestandteil dieser Antriebswelle (20) ist, die Planetenräder (16) mittelbar oder unmittelbar mit einer Verzahnung in Eingriff stehen, die drehfest mit einer Abtriebswelle (28) verbunden ist, welche zentrisch bezüglich der Getriebemittellangsachse angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß Antriebswelle (20) und Abtriebswelle (28) jeweils als Hohlwelle (30, 32) mit durchgängiger Bohrung (34, 36) oder durchgängigem Kanal ausgebildet sind.
2. Getriebe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebswelle (20) mit einem freien, zur Abtriebswelle (28) weisenden Endabschnitt (38) in die Bohrung (36) der Abtriebswelle (28) eintaucht.
3. Getriebe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der freie Endabschnitt (38) der Antriebswelle (20) von einer in der Bohrung (36) beziehungsweise dem Kanal der Abtriebswelle (28) sitzenden Buchse (40) aufgenommen ist.
4. Getriebe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Antriebswelle (20) und Abtriebswelle (28) ein Dichtungssystem (42) angeordnet ist.
5. Getriebe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Dichtungssystem (42) als berührungslose Dichtung, bevorzugt als Labyrinthdichtung (44) ausgebildet ist, wobei bevorzugt mehrere bezüglich der Getriebemittellangsachse (18) versetzt angeordnete Ringnuten in der Außenwandung der Antriebswelle (20) oder Innenwandung der Buchse (40) beziehungsweise der Abtriebswelle (28) angeordnet sind.
6. Getriebe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Antriebswelle (20) und/oder Abtriebswelle (28) in einem Gehäuse (48) des Getriebes mittels Drehlagern (50) , insbesondere bevorzugt O- verspannten Radiairillenkugellagern gelagert sind.
7. Getriebe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Planetenräder (16) als Ring ausgebildet sind, die in radialer Richtung Federelastizität besitzen.
8. Getriebe nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (48) des Getriebes aus zwei Gehäuseteilen (52, 54) besteht, die bevorzugt ringförmig ausgebildet sind, topfartig ineinandergreifen und zwischen sich die Getrieberäder aufnehmen.
9. Als Mikrogetriebe ausgebildetes Getriebe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch einen Durchmesser von weniger als 10 mm (bevorzugt ca. 8 mm) und/oder einer Höhe von ca. 1 mm und/oder einer Übersetzung von ca. 100 bis ca. 1.500 und/oder einem Zahnmodul von 30 bis 40 μm, bevorzugt ca. 34 μm.
10. Mikrogetriebe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, hergestellt mittels des LIGA-Verfahrens.
11. Mikrogetriebe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Getriebe (10) als Spannungswellen-Getriebe (56) ausgebildet ist und die Planetenräder (16) mit einer Innenverzahnung eines ringförmigen Flex-Spline (22) in Eingriff stehen.
12. Mikrogetriebe nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Flex-Spline (22) eine Außenverzahnung aufweist, die mit der Innenverzahnung eines ringförmigen Circular-Spline (24) sowie der Innenverzahnung eines ringförmigen Dynamic-Spline (26) in Eingriff steht.
13. Mikrogetriebe nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß Circular-Spline (24) und Dynamic-Spline (26) axial versetzt zur Getriebe-Mittel-Längsachse (18) angeordnet sind.
14. Mikrogetriebe nach Anspruch 12 oder 13 , dadurch gekennzeichnet, daß Flex-Spline (22) und Circular-Spline (24) insbesondere geringfügig unterschiedliche Zähnezahl der ineinandergreifenden Verzahnung aufweisen.
15. Mikrogetriebe nach einem der vorhergehenden Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Dynamic-Spline (26) drehfest mit der Abtriebswelle (28) verbunden ist.
16. Mikrogetriebe nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Getriebe (10) als Wolfrom-Getriebe (58) ausgebildet ist und die bevorzugt drei Planetenräder (16) mit einer Innenverzahnung eines geteilten Hohlrades (64) in Eingriff stehen.
17. Mikrogetriebe nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß das Hohlrad (64) ein gehäusefestes Hohlrad (16) sowie ein Abtriebshohlrad (62) aufweist, die axial versetzt zur Getriebe-Mittel-Längsachse (18) angeordnet sind.
18. Mikrogetriebe nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß das gehäusefeste Hohlrad (60) und das Abtriebshohlrad (62) eine insbesondere geringfügig unterschiedliche Zähnezahl der in die Zähne der Planetenräder (16) eingreifenden Verzahnung aufweisen.
19. Mikrogetriebe nach einem der vorhergehenden Ansprüche 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, daß das Abtriebshohlrad (62) drehfest mit der Abtriebswelle (28) verbunden ist.
20. Mikrogetriebe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Planetenräder (16) schwimmend gelagert sind.
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