WO2003005408A1

WO2003005408A1 - Tube electronique et son procede de fabrication

Info

Publication number: WO2003005408A1
Application number: PCT/JP2002/006865
Authority: WO
Inventors: Kuniyoshi Yamauchi; Hiroshi Kondoh
Original assignee: Hamamatsu Photonics K.K.
Priority date: 2001-07-05
Filing date: 2002-07-05
Publication date: 2003-01-16
Also published as: JPWO2003005408A1; EP1411541A4; US20040245925A1; EP1411541A1

Description

明糸田

電子管及びその製造方法

技術分野

本発明は、マイクロチヤネノレプレート（Micro— Channel Plate；以下「MC P」という）等の電子增倍器を内蔵する電子管及びその製造方法に関する。背景技術

光電子増倍管には、二次電子を増倍する電子増倍器として MCPを内蔵する型式のものがある。従来の MCP内蔵型光電子増倍管は、図 1 3に概略的に示すように、真空密閉容器 1の入力端 2の内面に光電面（光電陰極） 3が形成されており、容器 1の内部には、 MC P 4が光電面 3と平行となるよう配置されている。 MCP4は、基本的には、内壁面を抵抗体及び二次電子放出体とした極めて微細な管（チャネルマルチプライヤ）を多数束ねてなるガラスプレートから構成される。また、 MCP 4の周縁部は、微細管を有しない縁ガラス 5と称される部分となっており、取扱いの容易化が図られている。縁ガラス 5の各面の適宜箇所には支持部片 6が固着されており、これらの支持部片 6の先端部を真空密閉容器 1の側壁部 7に埋設することで、 MCP 4は真空密閉容器 1内に完全に収容された状態で支持される。

かかる構成は、特開平 6 - 1 767 1 7号公報ゃ特開平 6— 295690号公報に記載されているようなイメージインテンシファイア（映像増強管）等の他の MCP内蔵型電子管においても同様である。

発明の開示

発明者は、上記した従来技術を検討した結果、以下のような課題を発見した。すなわち、上述したような従来の光電子增倍管等の電子管においては、真空密閉容器 1の側壁部 7の内側に MC P 4全体が配置されているため、 MC P 4の増倍部 8、すなわち縁ガラス 5よりも内側の微細管群の部分 8の面積は、密閉容器 1 の入力端 2の内面よりも小さい。従って、入力端 2の内面全面に形成された光電面 3のうち、有効に機能する部分 3 aも、電子管の外形寸法に対して比較的小さなものとなる。これは、電子管を用いる装置の小型化を妨げる一因ともなつている。

また、電子管をマトリックス状に密着状態で並べて使用するような装置では、光電面 3として機能しない部分（デッドスペース）が著しく大きくなり、装置の機能ないしは性能が低下するという問題がある。この問題は、電子管の横断面形状を、一般的な丸形から正方形や長方形、或いは六角形に変更することで、ある程度解消することができるが、電子管個々の光電面 3の有効部分 3 aが小さいため、デッドスペースの縮小には限界がある。

本発明は、上記した課題を解決するためになされたものであり、同一の外形寸法に対して電子増倍器の増倍部が大きな電子管、及びその製造方法を提供することを目的とする。

本発明に係る電子管は、二次電子を放出可能な微細な電子通過孔を多数有する増倍部と、増倍部を囲繞する周縁部とを含む電子増倍器、及び、少なくとも電子増倍器の増倍部を包囲する真空密閉容器、を備える。そして、電子増倍器の周縁部は、真空密閉容器の側壁部の少なくとも一部を構成することを特徴とする。この構成では、電子増倍器の周縁部が真空密閉容器の側壁部の少なくとも一部を構成するため、真空密閉容器の内側に電子増倍器全体が収容される従来構成に比して、外形寸法が同一ならば、電子増倍器の増倍部の面積は大型化する。本発明に係る電子管は、電子増倍器の増倍部の一方の面に対向する真空密閉容器の内側に光電面が形成され、且つ、電子增倍器の増倍部の他方の面に対向する真空密閉容器の内側に陽極が形成されてなる光電子増倍管であることができる。また本発明に係る電子管は、電子増倍器の増倍部の一方の面に対向する真空密閉容器の内側に光電面が形成され、且つ、電子増倍器の増倍部の他方の面に対向する真空密閉容器の内側に蛍光面が形成されてなるィメ——

であることができる。このような光電子增倍管及びイメージインテンシファイアにおいては、真空密閉容器内における電子増倍器の増倍部が大型化することで、内面に形成された光電面の有効部分の面積が広がる。

本発明に係る電子管では、真空密閉容器は、互いに平行に配置され且つ電子増倍器を挟み込む一対のプレートを有し、電子増倍器の周縁部は、プレートの各々の周縁部に接合されていることを特徴としてもよい。

このとき、一対のプレートのうちの少なくとも一方の周縁部は突条を含み、電子増倍器の周縁部は、突条に接合されていることを特徴としてもよい。

本発明に係る電子管では、電子増倍器がマイクロチャネルプレートを含むことを特徴としてもよい。マイクロチャネルプレートは、電子増倍器として好適である。

本発明に係る電子管では、電子増倍器の周縁部の外周面は、外方に露出していることを特徴としてもよい。このように、電子增倍器の周縁部の外周面が外方に露出して、真空密閉容器の側壁部の少なくとも一部を構成する。

本発明に係る電子管では、電子増倍器の増倍部と周縁部とは、一体に設けられていることを特徴としてもよレ、。このように電子増倍器が一体に設けられているため、取り扱いが容易である。

本発明に係る電子管では、電子増倍器の周縁部の厚みは、増倍部の厚みより大きくてもよく、あるいは、増倍部の厚みと実質的に同一であってもよい。

本発明に係る電子管の製造方法は、一対のプレートと、二次電子を放出可能な微細な電子通過孔を多数有する増倍部及び増倍部を囲繞する周縁部を含む電子増倍器と、を準備し、一対のプレートの間に電子増倍器を挟み込むと共に、電子増倍器の周縁部を一対のプレートの各々の周縁部に接合することを特徴とする。この方法では、一対のプレートの間に電子增倍器を挟み込み、電子増倍器の周縁部を一対のプレートの各々の周縁部に接合することで、電子増倍器の周縁部が真空密閉容器の側壁部の少なくとも一部を構成する電子管を効率的に製造することができる。

本発明は以下の詳細な説明および添付図面によりさらに十分に理解可能となるこれらは単に例示のために示されるものであって、本発明を限定するものと考えるべきではない。

図面の簡単な説明

図 1は、第 1実施形態に係る光電子増倍管の縦断面図である。

図 2は、図 1の光電子増倍管の平面図である。

図 3 A及び 3 Bは、 M C Pの製造方法を示す概略説明図である。

図 4 A及び 4 Bは、 M C Pの別の製造方法を示す概略説明図である。

図 5 A及び 5 Bは、ガラスプレートの製造方法を説明するための図である。図 6は、図 1に示す光電子増倍管の製造方法を説明するための図である。図 7は、図 1の光電子增倍管をマトリックス状に配置した状態を示す平面図である。

図 8は、第 2実施形態に係る光電子増倍管を示す縦断面図である。

図 9は、第 3実施形態に係るイメージインテンシファイアを示す縦断面図である。

図 1 0は、図 9のイメージインテンシファイアの平面図である。

図 1 1は、電子増倍器として他の構成の M C Pを示す一部破断斜視図である。図 1 2 Aは、電子増倍器として M S Pを示す一部破断斜視図である。

図 1 2 Bは、図 1 2 Aの A部を拡大して示す図である。

図 1 3は、従来の光電子增倍管を示す縦断面図である。

発明を実施するための最良の形態

以下、添付図面を参照して本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を附し、重複する説明を省略する。

図 1及び図 2は、第 1実施形態に係る光電子増倍管を示している。図 2に示す通り、この光電子増倍管 10は、横断面形状が略正方形の真空密閉容器 1 2と、二次電子を増倍するための略正方形平板状の MCP (電子増倍器） 14と、を備えている。

MCP 14は、内壁面を抵抗体及び二次電子放出体とした電子通過孔としての極めて微細な管（チャネルマルチプライヤ）を多数有する略正方形の部分（以下「MCP増倍部」という） 1 6と、その周囲を囲繞する緣ガラス（周縁部） 18 とから構成されている。これら MC P増倍部 1 6と縁ガラス 1 8とは、一体に設けられている。縁ガラス 18の厚さは MCP増倍部 1 6に比して相当に大きく、ある程度の剛性を有して MC P 14の取扱いを容易としている。

MCP 14の MCP増倍部 1 6は、真空密閉容器 1 2の内部に配置されている。そして、 MC P 14の縁ガラス 18は、真空密閉容器 1 2の側壁部 22の一部を構成している。すなわち、 MC P 14の外形と同じ略正方形で且つ同寸法の 2枚のガラスプレート 24, 26は、外周面 18 aが外部に露出した状態で縁ガラス 18を挟持して縁ガラス 1 8の端面に気密に接合されている。これにより、これらのガラスプレート 24, 26と MCP 14の縁ガラス 18とによって、 1個の真空密閉容器 1 2が形成されている。

一方のガラスプレート 24は、光が入射される真空密閉容器 12の入力端となつており、その MCP 14側の面には、そのほぼ全域にわたり光電面（光電陰極） 32が形成されている。この光電面 32は MCP増倍部 1 6と平行に且つ同軸に配置されている。図 1から理解されるように、光電面 32の面積は概ね、ガラスプレート 24の外表面の全面積のうち MC P 14の縁ガラス 1 8と接合している部分を除く大きさとなっているが、これは MCP增倍部 1 6の面積と実質的に一致する。従って、真空密閉容器 12の入力端 24の内面に形成された光電面 32 の全面が有効部分として機能することとなる。光電面 32の角部には、ガラスプレート 24の角部を気密に貫通する導電性のピン 34の一端が電気的に接続され、ピン 34の他端はガラスプレート 24の外面角部に形成された光電面電極 36に電気的に接続されている。

他方のガラスプレート 2 6は真空密閉容器 1 2の出力端となり、その MC P 1 4側の面には、そのほぼ全域にわたり電極 38が形成されている。この電極 38 は陽極となるもので、 MC P 1 4から放出された二次電子を捕らえる。電極（以下「陽極」とレヽう） 3 8は、 MCP増倍部 1 6と平行に且つ同軸に配置されており、光電面 3 2と同様に、実質的に MC P増倍部 1 6の面積と同一の面積を有している。ガラスプレート 2 6の中心部には出力端子 40が気密に貫通しており、この出力端子 40が陽極 3 8に電気的に接続されている。

そして、 MC P增倍部 1 6の両面の電極（図示しない）にそれぞれ電気的に接続されている端子 28, 30力縁ガラス 1 8とガラスプレート 24， 2 6との間に介設されており、光電子增倍管 1 0の外部から各電極に電圧を印加することが可能となっている。

かかる構成においては、 MC P増倍部 1 6の形状は真空密閉容器 1 2の内部空間の横方向断面形状と実質的に一致することとなり、 MC P 4の全体が真空密閉容器 1の内部空間に配される図 1 3に示す従来構成と比較すると、外形寸法が同一ならば、本実施形態の MC P增倍部 1 6の面積は大きなものとなる。

次に、上記した構成の光電子增倍管 1 0の製造方法について説明する。

初めに、 MC P 1 4を製造する。 MC P 1 4は、次のようにして製造すると好適である。

まず、酸可溶性を有するガラス棒を、例えば P bO及び電子増倍物質等を含む耐酸性のガラス管に挿入し、両者を加熱軟化させると同時に引き伸ばすことにより、それらを融着させる。この操作により、酸可溶性ガラスを耐酸性ガラスで被覆した細い二重構造の素線が得られる。次に、この素線を、多数本（例えば約 1 0³本）平行に束ねて六角柱状の型枠に収納し、これを加熱して相互に融着させて、各素線間の空隙を消滅させる。これと同時に、この素線束を細く引き伸ばす。更に、この細く引き延ばされ一体化された素線束を、横断面が略正方形の筒状型枠、すなわち縁ガラス 1 8となる耐酸性ガラス部材内に、多数本（例えば 1 0 0 0本）平行に配列して収納し、再び加熱して素線束同士及び型枠と素線束との間を相互に融着させて、空隙を消滅させる。こうして、型枠内において相互に平行に配列され且つ相互に融着された多数本（例えば 1 0 ⁶本）の極細の二重構造素線からなる棒状体が形成される。

この後、図 3 Aに示すように、棒状体 2 0を、素線の延びる方向に対して直角に又は所定の適当な角度をもって切断し、所定の厚さを有する板状体 1 4 'を切り出す。この時の厚さは、完成品としての M C P 1 4における縁ガラス 1 8の厚さに相当する。更に、型枠 1 8 'の内側の切断面を研磨し、例えば l mm以下の厚さとする（図 3 B参照）。そして、この板状体 1 4 'を適当な酸溶液に数時間浸漬する。これにより、各素線の芯材である酸可溶性ガラスが除去され、多数の微細なガラス管が束ねられた部分 1 6 'と、このガラス管束の部分 1 6 'を囲む型枠 1 8 'とからなる板状体 1 4 'に形成される。

続いて、この板状体 1 4 'を水素ガス雰囲気中に、例えば約 4 0 0 °Cで数時間置くことにより、ガラス管束の部分 1 6 'を構成する耐酸性ガラス中の P b Oが H ₂によって還元され、 P bと H ₂ 0とが生成する。このようにして生成された P bにより微細な各ガラス管の内壁面に導電層が形成され、各ガラス管はチャネルマルチプライヤとして機能するようになる。この後、型枠 1 8 'の内側のガラス管束部分 1 6 'の各面に真空蒸着等の方法で電極（図示しない）を形成させ、 M C P 1 4が完成する。すなわち、ガラス管束部分 1 6 'は M C P増倍部 1 6となり、型枠 1 8 'は縁ガラス 1 8となる。

なお、図 4 A及び 4 Bに示すように、前記棒状体 2 0から板状体 1 4 ' 'を薄く切り出して、型枠 1 8 "も例えば 1 mm程度の厚さに研磨した後、薄くなつた型枠 1 8 ' 'の両側に環状ガラス 1 9を加熱■加圧して融着させることで、 M C P 1 4を製造することもできる。

次に、ガラスプレート 2 4， 2 6を製造する。一方のガラスプレート 2 4の大きさは、 MC P 14の面積と実質的に同一の大きさとする。そして、図 5Aに示すように、ガラスプレート 24の下面には、そのほぼ全域にわたり光電面（光電陰極） 32を形成する。光電面 32の面積は、概ね、ガラスプレート 24の外表面の全面積のうち MCP 14の縁ガラス 1 8と接合している部分を除く大きさ、すなわち MCP増倍部 1 6の面積と実質的に同一の面積とする。光電面 32の角部には、ガラスプレート 24の角部を気密に貫通する導電性のピン 34の一端を電気的に接続し、ピン 34の他端をガラスプレート 24の上面角部に形成された光電面電極 36に電気的に接続する。

他方のガラスプレート 26の大きさも、 MC P 14の面積と実質的に同一の大きさとする。そして、図 5 Bに示すように、ガラスプレート 26の上面には、そのほぼ全域にわたり電極 38を形成する。電極（陽極） 38は、ガラスプレート 24の光電面 32と同様に、実質的に MCP増倍部 16の面積と実質的に同一の面積とする。ガラスプレート 26の中心部には出力端子 40を気密に貫通させ、この出力端子 40を陽極 38に電気的に接続させる。

次に、 MC P 14の縁ガラス 18の上面に、増倍部 1 6の上面の電極（図示しない）と電気的な接続を図るための端子 28を形成する。一方、 MCP 14の縁ガラス 18の下面に、増倍部 1 6の下面の電極（図示しない）と電気的な接続を図るための端子 30を形成する。

そして、図 6に示すように、ガラスプレート 24, 26により MCP 14を上下から挟み込む。そして、ガラスプレート 24下面の光電面 32が形成されていない周縁部と、 MC P 14の縁ガラス 1 8の上面とを接合する。また、ガラスプレート 26上面の陽極 38が形成されていない周縁部と、 MC P 14の縁ガラス 1 8の下面とを接合する。

なお、縁ガラス 18とガラスプレート 24， 26との間の接合は、気密性が確保されるならばどのような方法であってもよく、インジウム合金等を用いるコールドシール法や、高温下で加圧して両者を融着させるホットシール法を採用することができる。

以上説明したような工程を経ることで、図 1に示すような光電子増倍管 1 0が形成される。

次に、このような構成における光電子増倍管 1 0の動作について説明する。光電子増倍管 1 0を使用するに際しては、図 1に示すように、光電面電極 3 6 と電極端子 2 8との間、電極端子 2 8， 3 0間、及び、電極端子 3 0と出力端子 4 0との間に、直流高圧電源 4 2， 4 4， 4 6が接続される。そして、光電面 3 2と M C P増倍部 1 6の入力側電極との間、 M C P増倍部 1 6の両面の電極間、及び、 M C P増倍部 1 6の出力側電極と陽極 3 8との間に、それぞれ所定の電圧が印加される。

この状態において、入力端であるガラスプレート 2 4に光を入射すると、その光はガラスプレート 2 4を透過して光電面 3 2に当たり、光電子を放出する。この光電子は、 M C P増倍部 1 6に導かれ、各チャネルマルチプライヤを通過することで増倍され、 MC P増倍部 1 6から放出される。 M C P增倍部 1 6から放出された電子は陽極 3 8で出力信号として捕収される。

前述したように、光電面 3 2と M C P増倍部 1 6は正対し、且つほぼ同面積であることから、光電面 3 2からの光電子は実質的に全て M C P増倍部 1 6に導かれることになる。しかも、光電面 3 2の面積はガラスプレート 2 4の外表面の面積と同程度であるので、光電子倍増管 1 0の外形寸法に対して、光電面 3 2として有効に機能する部分の面積は、同一外形寸法を有する従来のものに比して大幅に拡大していることになる。

かかる光電子増倍管 1 0を図 7のようにマトリックス状に並設して用いた場合、その横断面形状が略正方形であることも相俟って、有効な光電面 3 2はハツチングを施した部分となり、デッドスペースは極く僅かとなる。従って、入射光を効率よく電気信号に変換することが可能となる。なお、図 7において二点鎖線で囲む部分は、従来構成における光電面として有効に機能する部分を示しており、これからもデッドスペースが低減されていることが分かる。

次に、本発明に係る電子管の第 2実施形態について説明する。図 8は、第 2実施形態に係る光電子增倍管を示している。この光電子増倍管 1 10は、 MCP 1 14の縁ガラス 1 18の厚さが MCP增倍部 1 16の厚さと実質的に等しい点で、図 1及び図 2に示す実施形態のものとは相違している。また、それぞれ真空密閉容器 1 1 2の入力端及び出力端となるガラスプレート 1 24， 1 26の周縁部に、環状の凸部（突条） 1 25, 1 27がー体的に形成されている。この凸部 1 25， 1 27の端面は、 MCP 1 14の縁ガラス 1 18と実質的に同形且つ同寸法である。凸部 1 25, 127の端面は、縁ガラス 1 18にコールドシール法又はホットシール法等の適当な接合手段によって気密に接合される。これによつて、第 1 実施形態と同様に、真空密閉容器 1 1 2の側壁部 1 22は、ガラスプレート 1 2 4， 126の凸部 125, 1 27と MC P 1 14の縁ガラス 1 18とによって構成される。なお、完成した光電子増倍管 1 10の構成は図 1及び図 2に示すものと実質的に同一である。従って、図 8において、その他の同一又は相当部分には同一符号を付し、その作用についての説明は省略する。

次に、本発明に係る電子管の第 3実施形態について説明する。図 9及び図 10 は、第 3実施形態に係る電子管を示している。第 3実施形態に係る電子管は、ィメージインテンシファイア 21 0に本発明を適用したものである。

イメージインテンシファイア 210は、微弱な光学像を電子に変換して増倍するため、真空密閉容器 21 2と、真空密閉容器 21 2の入力端 224の内面に形成された光電面 232と、 MCP 214とを備える点で光電子増倍管と同様な構成である。ただし、増強された光学像として再び出力するため、真空密閉容器 2 1 2における出力端 226の MCP側の面に、陽極に代えて蛍光面 238が形成されている。また、図示のイメージインテンシファイア 2 10は、真空密閉容器 21 2の出力端 226力多数本の光ファイバを束ね結合してなる光ファイバ力ップリングプレートとなっている。このような構成自体は周知のものである。本実施形態に係るイメージインテンシファイア 2 1 0は、外形が円筒形をなす。また、 M C P 2 1 4の縁ガラス 2 1 8は、 M C P増倍部 2 1 6よりも厚くされている。図 1及び図 2に示す M C P 1 4は、縁ガラス 1 8が M C P増倍部 1 6の各面から突出した形態をとつているが、本実施形態においては、縁ガラス 2 1 8の一方の端面は M C P增倍部 2 1 6の一方の面よりも突出し、他方の端面は M C P 増倍部 2 1 6の他方の面と同一面となっている。そして、入力端となる平坦な円形ガラスプレート 2 2 4が縁ガラス 2 1 8の突出側の端面に接合され、他方の端面に円筒ガラス 2 5 0が接合されている。円筒ガラス 2 5 0の内側には、光ファィバカツプリングプレート 2 2 6がフリツトガラス 2 5 2等で気密に取り付けられている。このようにして、 M C P 2 1 4の縁ガラス 2 1 8、ガラスプレート 2

2 4、円筒ガラス 2 5 0及び光ファイバカップリングプレート 2 2 6は、ィメージィンテンシファイア 2 1 0の真空密閉容器 2 1 2を形成している。

なお、蛍光面 2 3 8を構成する導電層（図示しない）は、電極 2 5 4により電気的に接続されている。

このような構成において、光電面 2 3 2と M C P增倍部 2 1 6の入力側電極（図示しない）との間、 M C P増倍部 2 1 6の両面の電極（図示しない）間、及ぴ、 M C P増倍部 2 1 6の出力側電極（図示しない）と蛍光面 2 3 8の導電層（陽極）との間に、それぞれ所定の電圧を印加した状態で、微弱な光学像を入力端としてのガラスプレート 2 2 4の外表面に結像させると、光電面 2 3 2にてその像が光電子に変換された後、 M C P増倍部 2 1 6に導かれる。そして、 M C P増倍部 2 1 6において電子は増倍され、蛍光面 2 3 8に導かれる。電子は蛍光面 2 3 8で、増強された光学像として生成され、光ファイバ力ップリングプレート 2 2 6を通して出力される。

本実施形態においても、 M C P増倍部 2 1 6の面積と光電面 2 3 2の面積はほぼ等しく、光電面 2 3 2の面積はガラスプレート 2 2 4の外表面の面積と同程度であるので、イメージインテンシファイア 2 1 0の外形寸法に比して光電面 2 3 2の有効部分は大きなものとなる。従って、イメージインテンシファイア 210 が利用される装置、例えば暗視カメラ等の小型化を図ることができる。

以上、本発明の 3つの好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能である。

例えば、上記した実施形態では、電子増倍器である MCP 14， 1 14， 21

4として、内壁面が二次電子を放出可能な微細な管を多数束ねてなる増倍部と、これを囲繞する周縁部とを有する MCPについて説明した。し力、しながら、 MC Pの構成はこれに限られるものではなく、例えば米国特許第 5， 997， 71 3 号に開示のような構成のものであってもよい。かかる MCP 3 14は、図 1 1に示すように、二次電子を放出可能な微細な電子通過孔 320を多数有する増倍部 3 16と、この増倍部 3 16を囲繞する周縁部 3 18とを有している。この MC P 314は、 p ドープされたシリコン基板の所定部位をエッチングし、上面から下面に向かって複数の孔を貫通させて形成される。

また、上記した実施形態では、電子増倍器として MCP 14， 1 14， 214 について説明した。しかしながら、電子増倍器は MCPに限られるものではなく、例えば米国特許第 5， 939， 61 3号に開示のような、いわゆるマイクロスフエアプレート（MS P ： Microsphere Plate) であってもよい。かかる MSP 4 14は、図 1 2 Aに示すように、二次電子を放出可能な微細な電子通過孔を多数有する増倍部 4 16と、この増倍部 4 16を囲繞するガラスなどから形成される周縁部 4 1 8とを有している。増倍部 416は、図 1 2 Bに示すように、二次電子を放出可能な粒状物 420をアモルファス配列で複数集合させたものである。これにより、複数の粒状物 420の間の隙間が、二次電子を放出可能な微細な電子通過孔を構成する。

また、光電子增倍管やイメージインテンシファイア等の電子管の横断面形状は丸形や正方形に限られず、長方形や六角形等の他の形状であってもよい。また、真空密閉容器を構成する材料は MCPとの接合が容易であるガラス製が好ましい力 S、セラミック等の絶縁物であってもよレ、。

以上の本発明の説明から、本発明を様々に変形しうることは明らかである。そのような変形は、本発明の思想および範囲から逸脱するものとは認めることはできず、すべての当業者にとって自明である改良は、以下の請求の範囲に含まれるものである。

産業上の利用可能性

以上述べたように、本発明による電子管においては、電子増倍器の増倍部の面積を同一外形寸法では最大のものとすることができる。

また、光電子増倍管ゃィメージインテンシファイアのように光電面が増倍部に対向配置される電子管の場合、増倍部が大型化されているので、光電面の有効面積も広がることになる。

従って、電子管自体の小型化、或いは電子管を用いた装置の小型化を図ることができる。特に、電子管をマトリックス状に配列するような装置では、光電面が機能しないデッドスペースが格段に縮小され、受けた光の電子化効率が大幅に向上する。

Claims

言青求の範囲

1 . 二次電子を放出可能な微細な電子通過孔を多数有する増倍部と、前記増倍部を囲繞する周縁部とを含む電子增倍器、及び、

少なくとも前記電子増倍器の前記增倍部を包囲する真空密閉容器、を備え、前記電子増倍器の前記周縁部は、前記真空密閉容器の側壁部の少なくとも一部を構成することを特徴とする電子管。

2 . 前記電子増倍器の前記増倍部の一方の面に対向する前記真空密閉容器の内側に光電面が形成され、且つ、前記電子増倍器の前記増倍部の他方の面に対向する前記真空密閉容器の内側に陽極が形成されてなる光電子増倍管であることを特徴とする請求項 1に記載の電子管。

3 . 前記電子増倍器の前記増倍部の一方の面に対向する前記真空密閉容器の内側に光電面が形成され、且つ、前記電子増倍器の前記増倍部の他方の面に対向する前記真空密閉容器の内側に蛍光面が形成されてなるイメージインテンシファィァであることを特徴とする請求項 1に記載の電子管。

4 . 前記真空密閉容器は、互いに平行に配置され且つ前記電子増倍器を挟み込む一対のプレートを有し、

前記電子増倍器の前記周縁部は、前記プレートの各々の周縁部に接合されていることを特徴とする請求項 1に記載の電子管。

5 . 前記一対のプレートのうちの少なくとも一方の前記周縁部は突条を含み、前記電子増倍器の前記周縁部は、前記突条に接合されていることを特徴とする請求項 4に記載の電子管。

6 . 前記電子増倍器がマイクロチャネルプレートを含むことを特徴とする請求項 1に記載の電子管。

7 . 前記電子増倍器の前記周縁部の外周面は、外方に露出していることを特徴とする請求項 1に記載の電子管。

8 . 前記電子増倍器の前記増倍部と前記周縁部とは、一体に設けられていることを特徴とする請求項 1に記載の電子管。

9 . 前記電子増倍器の前記周縁部の厚みは、前記増倍部の厚みより大きいことを特徴とする請求項 1に記載の電子管。

1 0 . 前記電子増倍器の前記周縁部の厚みは、前記増倍部の厚みと実質的に同一であることを特徴とする請求項 1に記載の電子管。

1 1 . 一対のプレートと、二次電子を放出可能な微細な電子通過孔を多数有する增倍部及び該増倍部を囲繞する周縁部を含む電子増倍器と、を準備し、前記一対のプレートの間に前記電子增倍器を挟み込むと共に、該電子増倍器の前記周縁部を該一対のプレートの各々の周縁部に接合することを特徴とする電子管の製造方法。