WO2002071435A1

WO2002071435A1 - Vorrichtung zur erzeugung von mikrowellen hoher frequenz

Info

Publication number: WO2002071435A1
Application number: PCT/EP2002/002332
Authority: WO
Inventors: Chun Sik Lee; Hyeck-Hee Lee; Min-Suk Lee
Original assignee: Kist Europe Korea Institute Of Science And Technology Europe Forschungsgesellschaft Mbh
Priority date: 2001-03-02
Filing date: 2002-03-04
Publication date: 2002-09-12
Also published as: US20040118840A1; EP1364382A1; DE10111817A1; DE50204024D1; EP1364382B1; ATE302994T1; US7365493B2

Abstract

Es wird eine Vorrichtung (1) zur Erzeugung von Mikrowellen hoher Frequenz mit einer Kathodenanordnung mit beheizbarer Kathoden (15) zum Emittieren von Elektronen, zwei Gitteranordnungen zum Steuern und Fokussieren des Elektronenflusses und einer Anode (3) zum Empfangen der durch die Gitteranordnungen hindurchgehenden Elektronen vorgeschlagen. Die Kathodenanordnung und die erste Gitteranordnung sowie ein Sperr- oder Drosselelement (16) definieren eine eine Resonanzkavität bildende Eingangskavität (12) und die Anode (3) und die zweite Gitteranordnung eine gleichfalls eine Resonanzkavität bildende Ausgangskavität. Die Kathodenanordnung weist ein Halterung für die Kathode (15) auf, derart, daß eine Verformung der Kathode (15) unter Reduzierung des Abstandes zwischen beheizbarer Kathode (15) und Gitter (18) vermieden wird.

Description

VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG VON MIKROWELLEN HOHER FREQUENZ

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung von Mikrowellen hoher Frequenz nach dem Oberbegriff des Hauptanspruchs.

Eine Vorrichtung zur Erzeugung von Mikrowellen hoher Frequenz ist in den US Patenten 5 883 367, 5 883 369 und 5 883 386 offenbart. Diese Vorrichtung weist zwei Resonanzkavitäten auf, eine Eingangskavität und eine Ausgangskavitat, wobei die Eingangskavität eine Kathode zum Emittieren eines linearen Elektronenstrahls, einen Sperr- oder Drosselaufbau zum Abblok- ken eines Gleichstroms und zum Weiterleiten einer schwachen Schwingung und ein Gitter zum Fokussieren des Elektronenstrahls und zum Modulieren desselben hinsichtlich seiner Dichte umfaßt. Die Ausgangskavitat weist ein Gitter und eine Anode auf, die den in der Dichte modulierten Elektronenstrahl bzw. dessen ω NJ P¹ P¹ cπ o cπ o π o cπ

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Kontakt zwischen dem Gitter und der Kathode, aber auch zwischen den Gittern selbst oder zwischen dem Gitter und der Anode kommt. Dies ist ein kritisches Problem zum Betreiben der oben genannten Vorrichtung.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Erzeugung von Mikrowellen hoher Frequenz zu schaffen, bei der elektrische Kurzschlüsse, insbesondere zwischen Kathode und Gitter aufgrund thermischer Deformationen weitgehend vermieden werden.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Hauptanspruchs in Verbindung mit den Merkmalen des Oberbegriffs gelöst. Durch die in den ünteransprüchen angegebenen Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen möglich.

Durch die präzise Positionierung mindestens der ersten Gitteranordnung und der Kathodenanordnung über Positioniermittel sowie das Vorsehen einer die Verformung der Kathode unter Reduzierung des Abstandes zwischen Gitteranordnung und Kathodenanordnung ver- meidenden Halterung für die Kathode wird eine thermisch stabile Anordnung geschaffen, die kleine Abstände zwischen Kathode und Gitter ohne Kurzschlüsse erlaubt.

Die Halterung umfaßt ein Kathodengehäuse, an oder in dem die Kathode als von dem Gehäuse getrenntes Teil mit Abstand zur Gehäusewand angeordnet ist, wodurch eine Verformung der Kathodenanordnung aufgrund von unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten zwi- sehen beheizbarer Kathode und umgebenden Gehäuse vermieden wird. Die das Kathodengehäuse umfassende Hai- ω ω KJ t\J P¹ π o cπ o Cπ o Ul

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Drosselelement und die Gitterhalter der zwei Gitteranordnungen mittels Ausrichtstiften zueinander ausgerichtet und in ihrer Lage zueinander festgelegt, wodurch die Ausgangskavitat sicher oberhalb der Eingangskavität und parallel zu ihr ausgerichtet ist, wobei die elektrische Isolierung zwischen den zwei Kavitäten unter Verwendung von keramischen Abstandselementen, die die Ausrichtstifte abschirmen, realisiert ist.

Aufgrund der obigen Anordnung wird ein optimales Design und eine optimale Anordnung der Komponenten gewährleistet und eine thermische Deformation, wie ein Durchsacken der Gitter, wird aufgrund der Brücken- oder Ξtegstruktur erfolgreich reduziert, wobei aufgrund der sauberen Abstandshaltung und Ausrichtung der Komponenten zueinander Kurzschlüsse zwischen den Komponenten vermieden werden und wodurch eine gute Fokussierung der Elektronenstrahlen gewährleistet wird.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen

Fig. 1 einen Schnitt durch die Vorrichtung zur Erzeugung von Mikrowellen nach einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung,

Fig. 2 einen Schnitt durch den unteren Teil der Vorrichtung nach Fig. 1 mit Eingangskavität und Ausgangskavitat,

Fig. 3 einen vergrößerten Schnitt durch Teile der Vorrichtung nach Fig. 1 und Fig. 2 mit Eingangskavität, Fig. 4 eine Aufsicht von unten auf ein Kathodengehäuse sowie eine Seitenansicht des Kathodengehäuses,

Fig. 5 eine Aufsicht auf einen Kathodenkörper sowie eine Schnittansicht und eine Aufsicht auf ein Elektronen emittierenden Plättchen,

Fig. 6 eine vergrößerte Schnittdarstellung der Rückkopplungsanordnung,

Fig. 7 eine Aufsicht auf ein Sperr- bzw. Drosselelement,

Fig. 8 eine Aufsicht auf und einen Schnitt durch ein Ausführungsbeispiel der ersten Gitteranordnung,

Fig. 9 eine Aufsicht auf ein Ausführungsbeispiel der zweiten Gitteranordnung, und

Fig. 10 eine Aufsicht auf die Anode von unten gesehen.

Die in der Fig. 1 dargestellte Vorrichtung 1 weist eine von einem Gehäuse 32 umgebene Vakuumkammer 2 auf, in der eine Kathodenanordnung, eine Gitteranordnung und teilweise eine Anodenanordnung aufgenommen sind, die näher in Fig. 2 zu erkennen sind. Ein Teil der an dem Gehäuse 32 der Vakuumkammer 2 festgelegten Anode 3 ragt in eine Kühlkammer 4 hinein, in der Kühlrippen 5 zur Ableitung der Wärme von der Anode 3 zwischen Anode 3 und einem Gehäuse 6 angeordnet sind. Eine stabför ige Antenne 7 ist mittig zur Anode 3 ausgerichtet und durch eine Keramikscheibe 8 gegen die Anode 3 isoliert. Sie endet anodenseitig in einem Koppelelement 9 während das andere Ende in einer Kappe 10 aufgenommen ist, wobei ein keramischer Zylinder 11 die Antenne 7 vom übrigen Gehäuse isoliert.

In Fig. 2 sind die Bestandteile, die in der Vakuumkammer 2 aufgenommen sind, genauer dargestellt. Es sind zwei Resonanzräume bzw. Resonanzkavitäten parallel übereinander angeordnet, eine Eingangskavität 12 und eine Ausgangskavitat 13. Die als Ringraum ausgebildete Eingangskavität 12 wird begrenzt von einer Ringanordnung, die von einem Kathodengehäuse 14, einer Sperr- oder Drosselanordnung 16 und einem Gitterhalter 17 gebildet wird. In das Kathodengehäuse 14 ist eine Kathode 15 eingesetzt und auf dem Gitterhalter 17 ist ein Gitter 18 angeordnet. Eine Rückkopplungsanordnung 19 ist im mittleren Bereich innerhalb des Kathodengehäuses 14 vorgesehen. Die Eingangskavität 12 ist im Bereich zwischen Gitter 18 und Kathode 15 sehr eng bemessen, d.h. der Abstand zwischen den Bauelementen liegt etwa im Bereich von 0,1 mm. Daher müssen die Abstände auch im Betrieb eingehalten werden, damit keine Kurzschlüsse auftreten. In der Darstellung wurde der Abstand zwischen Gitter 18 und Ka- thode 15 sehr viel größer gewählt, in der Realität liegt z.B. die untere Fläche des Gitterhalters im Bereich des oberen Abschlusses des Kathodengehäuses 14 und darunter, wie es in Fig. 1 gezeigt ist.

Oberhalb der Eingangskavität 12 ist in paralleler Anordnung die Ausgangskavitat 13 vorgesehen, die als toroidaler Raum ausgebildet ist und die von der Anode 3, einem Gitterhalter 20 für ein Gitter 21 sowie einer die Ausgangskavitat 13 ringförmig umgebenden Wand 22, die Bestandteil der Anode 3 ist, begrenzt. In einen mittleren Raum zwischen Anode 3 und Gitterhalter 20 ragt das mit der Antenne 7 verbundene Kopplungselement 9 hinein. Weiterhin durchgreift ein Abstimmstift 23 die Umgebungswand 22, der zur Änderung der Resonanzfrequenz in der Ausgangskavitat 13 dient.

In Fig. 3 ist die Kathodenanordnung, die das Kathodengehäuse 14 und die Kathode 15 aufweist, die Drosselanordnung 16 und die erste Gitteranordnung mit Gitterhalter 17 und Gitter 18 näher dargestellt. Dazu ist zu bemerken, daß zur Verdeutlichung der Abstand zwischen Kathode 15 und Gitter 18 ebenso wie in Fig. 2 sehr viel größer dargestellt ist, als er maßstabgetreu wäre.

Die Kathode 15 ist als thermoionische Kathode ausgebildet, daher ist unterhalb der Kathode 15 eine Heizvorrichtung 24 angeordnet, die einen spiralförmigen Heizdraht 25 aufweist. Die Heizvorrichtung 24 ist in einem zylinderförmigen Gehäuse 26, das einen Schenkel parallel zur Kathode 15 aufweist, aufgenommen, wobei ein mit dem Kathodengehäuse 14 z.B. durch Schweißen verbundener Zylinder 76 mit abgebogenem Schenkel das Gehäuse 26 nach oben drückt. Vorzugsweise bestehen das Gehäuse 26 und der Zylinder 76 aus Tantal. Der spiralförmige Heizdraht 25 ist über keramische Ringe 27 an dem Heizgehäuse 26 befestigt, wobei die elektrischen Anschlüsse 28 für den Heizdraht 25 mittels einer keramischen Durchführung 29 mit zwei Bohrungen realisiert ist. Das Heizgehäuse 26 weist in dem Be- reich der Durchführung 29 einen Zylinderansatz 30 auf, der die Durchführung 29 abstützt. Die elektrischen Anschlüsse 28 sind mit einem Stecker 31 verbunden, der an dem die Vakuumkammer 2 umgebenden Gehäuse 32 befestigt ist (s. Fig. 1).

Das Gehäuse 26 der Heizvorrichtung 24 wird am äußeren Umfang vom Kathodengehäuse 14 umgriffen, wobei das Kathodengehäuse näher in Fig. 4 dargestellt ist. Das Kathodengehäuse 14 weist einen Innenzylinder 33 auf, an dem ein Flansch 34 angesetzt ist. Der Flansch ist eine Mehrzahl von Durchgangslöchern 35, die, wie später beschrieben wird, zur Ausrichtung über Ausrichtstifte dienen. Der Innenzylinder 33 weist über seinen Umfang gesehen vier Einschnitte 36 auf, die mit dem Gitterhalter 17 zusammenarbeiten. Wie in Fig. 4 zu erkennen ist, weist der Zylinder eine nach innen gerichtete Abbiegung 37 auf.

In dem Zylinder 33 des Kathodengehäuses 14 ist die Kathode 15 aufgenommen, die in Fig. 5 dargestellt ist und die einen Kathodenkörper 38 und eine Elektronen emittierende oder sensitive Fläche 39 aufweist. In Fig. 5 ist die Elektronen emittierende Fläche 39 als ringsegmentartige Plättchen ausgebildet, die mittels Stiften 40 an dem Kathodenkörper 38 befestigbar sind. Der Kathodenkörper 38, der gleichfalls ringförmig ausgebildet ist, weist an seinem inneren und äußeren Umfang Abstufungen 41 auf, die zur Festlegung in Bezug auf das Kathodengehäuse 14 dienen. Dazu greift die Abbiegung 37 über die Abstufung.

Die Kathode 15 ist in das Kathodengehäuse 14 eingesetzt, wobei der Kathodenkörper 38 einerseits auf dem zylinderförmigen Heizgehäuse 26 aufliegt und andererseits von einem Zylinder 42 abgestützt wird, der auf einer Abstufung eines zentral angeordneten Rückkopplungskörpers 43 aufliegt. Der Rückkopplungskörper 43 ist Bestandteil der Rückkopplungsanordnung 19, die weiter unten beschrieben wird. Weiterhin ist eine Abdeckung 44 mit dem Rückkopplungskörper 43 z.B. durch Schweißen verbunden, wobei die Abdeckung 44 den Kathodenkörper 38 umgibt und die Abstufung 41 am Innen- o CO IV⁾ P¹ Cπ o Cπ o cπ o cπ

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Wie in Fig. 3 zu erkennen ist, durchgreifen Ausrichtstifte 53, die mit einer elektrisch isolierenden Hülse, z.B. einer Keramikhülse 54 umgeben sind, die Aus- richtlöcher 50 des Gitterhalters 17, die Durchgangslöcher 55 des Sperrelementes 16 und die Durchgangslöcher 35 des Flansches 34 des Kathodengehäuses 14. Die Ausrichtstifte 53 werden jeweils unter Zwischenschaltung eines Abstandsringes 57 und eines Isolierringes 58 eingeschraubt. Für die Ausrichtung des Kathodengehäuses 14 mit Kathode 15 und des Gitterhalters 17 mit Gitter 18 sind am Umfang des Flansches 34 des Kathodengehäuses und des Gitterhalters 17 Kerbmarken 59 vorgesehen, bei deren Übereinanderlage sichergestellt wird, daß die Stege 49 des Gitterhalters 17 in radiale Vertiefungen 60 in dem Kathodenkörper 38 (siehe Fig. 5) unter Wahrung eines Abstandes für die elektrische Isolierung dazwischen eingreifen können. Die Stege 49 greifen ebenfalls in die rechteckigen Ein- schnitte 36 des Kathodengehäuses 14 ein, kommen aber mit diesem aufgrund der genauen Positionierung nicht in elektrischen Kontakt.

Die zweite Gitteranordnung, die den Gitterhalter 20 und das Gitter 21 aufweist, liegt über der ersten

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stehen. Ein Rückkopplungsstab 70 aus Kupfer ist in die Schraubhülse 74 eingeschraubt, wobei der Rückkopplungsstab auf einer ersten keramischen Scheibe 71 aufliegt, die an den Stirnflächen des Zylinders 73 und der Schraubhülse 74 angeordnet ist, wobei eine zweite keramische Scheibe 72 an den anderen Stirnflächen und dem Rückkopplungskörper 43 anliegt.

Über den Stecker 31 wird, wie in Fig. 1 angedeutet, Massepotential oder eine positive Spannung an die Anode und eine negative Spannung an das Kathodengehäuse angelegt, wobei ein nicht dargestellter Trimmwiderstand zwischen dem Gitterhalter 17 und dem Kathodengehäuse 14 vorgesehen ist. Der Trimmwiderstand führt zu einer Potentialsperre in dem Gitter 18 für Elektronen, wodurch die Menge der durch die Löcher in dem Gitter 18 hindurchgehenden Elektronen begrenzt wird. Daher ist eine Leistungssteuerung möglich.

Die Funktionsweise der Vorrichtung ist wie folgt. Eine Anfangsmikrowellenschwingung wird der in der Eingangskavität 12 erzeugt, wobei diese Schwingung einen Elektronenfluß in der Dichte moduliert. Der in der Dichte modulierte Elektronenstrom 78 (Fig. 3) wird durch die Gitter 18, 21 fokussiert und zu der Anode 3 durch die zwischen Kathode und Anode liegende Spannung beschleunigt. Die Ausgangskavitat 13 transformiert die kinetische Energie der Elektronen in Mikrowellenenergie. Ein Teil der Mikrowellenenergie wird zu der Eingangskavität 12 rückgekoppelt. Dies führt dazu, daß die Schwingungen in der Eingangskavität und der Ausgangskavitat harmonisiert werden.

Die Drossel- bzw. Sperranordnung 16 bewirkt, daß eine Anfangsmikrowellenschwingung in der Eingangskavität 12 erzeugt wird. Wenn die Heizvorrichtung die ther- moionische Kathode 15 auf eine bestimmte Betriebstemperatur, z.B. zwischen 800 und 1000°C aufgeheizt wird, emittiert sie Elektronen. Durch die hohe Spannung, z.B. einer Gleichspannung von 550 V, zwischen der Kathode 15 und der Anode 3 fließen die Elektronen durch die ausgerichteten Löcher in dem Gitter 18 und dem Gitter 21 zu der Anode. Ein kleiner Anteil an Elektroden wird durch das Gitter 18 gefangen, wodurch ein negatives Potential gegen die Kathode 15 gebildet wird. Ein kleiner Strom fließt auf der Oberfläche in der Eingangskavität und die Stromrichtung wird durch die Drosselanordnung 16 geändert, die eine schwache Schwingung induziert. Die Drosselanordnung hat dabei die Funktion, einen Gleichstrom zwischen dem Gitter- halter 17 und dem Kathodengehäuse 14 abzublocken. Das negative Potential an dem Gitter 18 steigt auf einen stabilisierten Wert, der durch den Trimmwiderstand vorgegeben wird. Als Ergebnis ist die Schwingungsam- plitude stabilisiert und ein Elektronenstrom wird durch das Gitter 18 aufgrund der Schwingung in der

Dichte moduliert. Das negative Potential an dem Gitter 18 induziert ein elektrostatisches Feld, das den Strom der Elektronen fokussiert. Die in der Dichte modulierten Elektronen werden zu den Vorsprüngen 67 der Anode 3 hin über das Gitter 18 und das Gitter 21 beschleunigt. In dem äußeren Ringraum 68 wird die kinetische Energie der Elektronen in Mikrowellenenergie transformiert. Das in den inneren Ringraum 69 hineinragende Koppelelement überträgt den überwiegenden An- teil der Mikrowellen an die Antenne 7, die die Energie an einen nicht dargestellten Wellenleiter auskoppelt. Der in den inneren Ringraum 69 hineinragende Rückkopplungsstab 70 überträgt einen Teil der Mikrowellenenergie an die Eingangskavität 12 über die ke- ramischen Scheiben 71, 72, wodurch eine Kohärenz der Schwingungen sichergestellt wird. P¹ P¹

O Cπ O cπ

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Claims

Kist Europe Korea Institute of Science and Technology EuropePatentansprüche

1. Vorrichtung zur Erzeugung von Mikrowellen hoher Frequenz mit einer Kathodenanordnung mit beheizbarer Kathoden zum Emittieren von Elektronen, zwei Gitteranordnungen zum Steuern und Fokussie- ren des Elektronenflusses und einer Anode zum

Empfangen der durch die Gitteranordnungen hindurchgehenden Elektronen, wobei die Kathodenanordnung und die erste Gitteranordnung eine eine Resonanzkavität bildende Eingangskavität und die Anode und die zweite Gitteranordnung eine gleichfalls eine Resonanzkavität bildende Ausgangskavitat definieren, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Kathodenanordnung und zumindest die er- ste Gitteranordnung Positioniermittel zur präzisen Festlegung und Positionierung zueinander unter Einhaltung eines Abstandes umfassen und daß die Kathodenanordnung eine Halterung (14, 44) zur Aufnahme der Kathode in der Weise aufweist, daß eine Verformung der Kathode unter Reduzierung des Abstandes zwischen Kathode und Gitteranordnung vermieden wird.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung in Bezug auf die Ka- thode derart ausgebildet ist, daß eine radiale

Wärmeausdehnung ohne Verringerung des Abstandes zwischen Kathode und Gitteranordnung möglich ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung ein die Kathode aufnehmendes Kathodengehäuse aufweist, wobei die Kathode unter radialem Abstand zur Ge- häusewand angeordnet ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung eine innerhalb des Kathodengehäuses (14) angeordnete Auflagefläche

(26, 42) aufweist, auf der die Kathode aufliegt.

5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Kathode einen ringförmigen Kathodenkörper (38) aufweist, auf dem die Elektronen emittierende Fläche (39) befestigt ist.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektronen emittierende Fläche (39) mindestens ein auf dem Kathodenkörper als getrenntes Teil aufgebrachtes Metallplättchen ist.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Gitteranordnun- gen jeweils einen Gitterhalter (17, 20) und mindestens ein Gitterfilter (18, 21) aufweisen, wobei die Gitterhalter derart ausgebildet sind, daß ein Durchsacken der Gitter im Betrieb vermieden wird.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die jeweilige Gitteranordnung (17, 18; 20, 21) einen ringförmigen Gitterhalter (17, 20) mit speichenförmigen Stegen (49, 63) aufweist, wobei das jeweilige Gitter (18, 21) auf dem Rand und den Stegen des Gitterhalters aufliegt und kraft- und/oder formschlüssig an diesem festgelegt ist.

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Gitter- halter (17) der ersten Gitteranordnung und dem

Kathodengehäuse (14) ein ringförmiges Sperroder Drosselelement (16) angeordnet ist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Sperr- oder Drosselelement (16) als teilweise metallisch beschichtete Keramikscheibe ausgebildet ist.

11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß Kathodengehäuse (14), Drosselelement (16) und Gitterhalter (17, 20) der zwei Gitteranordnungen mittels Ausrichtstiften (53, 54) zueinander ausgerichtet und in ihrer Lage zueinander festgelegt sind, wodurch Eingangskavität (12) und Ausgangskavitat (13) parallel zueinander angeordnet sind.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die zwei Gitteranordnungen über elektrisch isolierende Abstandselement (54) beabstandet sind.

13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekenn- zeichnet, daß die Abstandselemente Bestandteil von keramischen Hülsen sind, die die Abstandsstifte (53) umgreifen.

14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß eine Rückkopplungs- anordnung (19) zwischen Ein- und Ausgangskavitat

(12, 13) vorgesehen ist, die einen durch die Gitteranordnungen hindurchgreifenden Koppelstab (70) aufweist, der in einen Rückkopplungskörper (43, 71 - 74) eingesetzt ist.

15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß das Kathodengehäuse (14) einen Zylinder (33) mit angesetztem Flansch

(34) aufweist, wobei innerhalb des Zylinders die Kathode, sowie ein Heizelement (25) aufgenommen sind.

16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Kathode (15) aus einem Metallblech, vorzugsweise Nickelblech mit aufgesprühten oder aufgedruckten Metalloxiden, vorzugsweise auf der Basis von Barium besteht.

17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Kathode und/oder die Elektronen emittierende Fläche aus einem Metallblech aus Pd-Ba oder Pt-Ba besteht.

18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Gitterhalter (20) der zweiten Gitteranordnung mit einer die

Ausgangskavitat (13) begrenzenden Umfangswand der Anode (3) fest verbunden ist.