WO1997045701A1

WO1997045701A1 - Optischer sensor zur neigungswinkelbestimmung

Info

Publication number: WO1997045701A1
Application number: PCT/EP1997/002661
Authority: WO
Inventors: Bernhard Braunecker; John Rice Rogers; Bernhard F. GÄCHTER
Original assignee: Leica Ag
Priority date: 1996-05-25
Filing date: 1997-05-23
Publication date: 1997-12-04
Also published as: EP0901608A1; DE59708671D1; JP2001501726A; JP3939759B2; DE19621189C2; DE19621189A1; EP0901608B1

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Neigungssensor (50) mit einer optischen Strahlungsquelle (6), einer sich nach der Schwerkraft richtenden Neigungsfläche (10), auf die die Strahlung der Strahlungsquelle (6) mit einem neigungsabhängigen Winkel fällt und mit einem ortsauflösenden optoelektronischen Detektor (7). Es werden optische Elemente (2a, 2b, 3a, 3b) zur Abbildung der Strahlungsquelle (6) auf dem Detektor (7) monolithisch auf einem Grundkörper (1) integriert. Durch die monolithische Integration der optischen Elemente (2a, 2b, 3a, 3b) kann der Neigungssensor (50) miniaturisiert hergestellt werden, woraus sich günstige Herstellkosten, geringes Gewicht und geringer Platzbedarf ergeben. Die optischen Elemente (2a, 2b, 3a, 3b) können reflektiver, refraktiver und diffraktiver Art sein. Dabei können sie auch derart strukturiert sein, daß sie auf dem Detektor (7) ein definiertes Intensitätsmuster liefern und so die Meßgenauigkeit und den Winkelmeßbereich des Neigungssensors (50) vergrößern.

Description

Optischer Sensor zur Neigungswinkelbestimmung

Die Erfindung bezieht sich auf einen optischen Sensor zur Neigungswinkel- bestimmung mit

a) einer optischen Strahlungsquelle, ersten und zweiten strahlungsumlenkenden und abbildenden optischen Elementen einem ortsauflosenden optoelektronischen Detektor und

b) einer im Strahlengang zwischen den ersten und zweiten optischen Elementen angeordneten Neigungsflache, auf die die Strahlung der Strahlungsquelle fallt und die die Strahlung im nachfolgenden Strahlenverlauf in eine, von der Neigung des Sensors abhangige Richtung lenkt und dadurch neigungsabhangig den Ort des Bildes der Strahlungsquelle auf dem Detektor bestimmt

Derartige bekannte Sensoren dienen hauptsachlich dazu, die Neigung oder Neigungsanderung von Geraten zu erfassen Zu diesem Zweck sind sie mechanisch fest mit dem Gerat verbunden Sie besitzen ein sich nach der Schwerkraft einstellendes Bauelement welches einen Lichtstrahl bei unterschiedlicher Neigung des Geräts unterschiedlich ablenkt Dem Neigungswinkel des Geräts ist also ein korrespondierender Ablenkwinkel des Lichtstrahls zugeordnet Solche Neigungsmeßvorrichtungen können einerseits direkt in die Funktion des Geräts eingreifen wie z B bei vermessungstechnischen Instrumenten wie Nivellieren oder Theodoliten Hier dienen sie als Kompensatoren, die eine Abweichung der Neigung des Instruments von der idealen Horizontallage kompensieren indem sie die Lage des Bildes des anvisierten Zielpunktes entsprechend verschieben

Andererseits können Neigungsmesser in ihrer Funktion geräteunabhängig arbeiten und die Neigung anzeigen oder rechnerisch zur digitalelektronischen Weiterverarbeitung ermitteln Ein mit einem Theodoliten verbundener aber von diesem unabhängig arbeitender Neigungsmesser ist in DE 26 38 621 A1 beschrieben Er ermittelt den Hoπzontierungsfehler deε Theodoliten In einer Recheneinheit werden die durch den Hoπzontierungsfehler erzeugten fehlerhaften Richtungsmeßwerte des Theodoliten rechnerisch korrigiert Die Richtungsmeßwerte werden durch elektrooptische Abtastung eines aus parallelen hellen und dunklen Streifen bestehenden Moiremusters ermittelt Als Maß für den Hoπzontierungsfehler des Theodoliten dient der Steuerstrom für eine Lageregelschaltung eines drehspulgetπebenen Pendels Bei einer anderen Ausfuhrungsform zur zweikoordinatigen Neigungsmessung ist eine zweikoordmatig empfindliche Schottky-Barπer-Diode auf einer Basisplatte montiert Sie empfangt von einer Leuchtdiode her über einen Flussigkeitsspiegel mit transparentem Glasboden und Anpassungsprisma einen Lichtstrahl, dessen Auftreffpunkt von der Neigung der Basisplatte abhangig ist

In der DE 36 34 244 A1 ist ein optoelektronischer Neigungssensor beschrieben bei dem sich im Strahlengang des Strahiungssenders ein hchtbrechendes oder lichtreflektierendes flussiges Medium befindet Sind Strahlungssender und Strahlungsempfänger oberhalb der Flussigkeitsoberflache angeordnet, so wird die Reflexion des Lichts an der Flussigkeitsoberflache zur Neigungsmessung ausgenutzt Befindet sich der Strahlungssender oberhalb und der Strahlungsempfänger unterhalb der Flüssigkeit, so wird die Brechung des in die Flüssigkeit eintretenden Lichts genutzt Je nach Neigung des Systems stellt sich ein entsprechender Reflexions- bzw Brechungswinkel ein und bestimmt dadurch den Ort des auf den Detektor auftreffenden Lichtstrahls

Aus der DE 26 36 706 A1 ist eine Neigungsmeßvorrichtung bekannt, bei der an einer Flussigkeitsoberflache ein von unten durch die Flüssigkeit hindurchgehender Lichtstrahl totalreflektiert wird Die Flussigkeitsoberflache dient auch hier als ein sich selbsttätig auf die Schwerkraftrichtung einstellendes Bauelement Alternativ kann zur Ablenkung des Lichtstrahls auch ein an einem Pendel befestigter Spiegel verwendet werden Der Lichtstrahl wird von einem Objektiv erzeugt, in dessen Brennpunkt sich eine Leuchtdiode befindet Nach der Totalreflexion an der Flussigkeitsoberflache wird er durch ein zweites Objektiv auf einen photoelektrischen Empfanger fokussiert, so daß der Lichtsender auf dem Empfanger, eine zweikoordmatig empfindliche Schottky-Barner-Diode, abgebildet wird Bei einer Verkippung der geratefest angeordneten Objektive und Leucht- und Empfangsdiode bewegt sich das Bild der Leuchtdiode auf dem Empfanger um eine durch die Verkippung nach Richtung und Große festgelegte Strecke Dies fuhrt zu einer entsprechenden Änderung der Ausgangssignale des Empfangers, die durch eine elektronische Schaltung registriert und ausgewertet werden

Ebenfalls mit dem Effekt der Totalreflexion an einer Flussigkeitsoberflache arbeitet die in der EP 0 302 821 B1 angegebene Einrichtung zur Neigungsmessung Hierbei sind auf der Unterseite einer formstabilen, transparenten Tragerplatte mehrere Prismen und Linsen zur Strahlfuhrung sowie eine Lichtquelle und eine positionsempfindhche Fotodiode angeordnet Auf der Oberseite liegt eine Flüssigkeit mit freibeweglicher Oberflache direkt auf der Tragerplatte auf und wird von einer glockenartigen Dose zusammengehalten Der Lichtstrahl gelangt über zwei Umlenkprismen und ein weiteres Prisma von unten durch die Tragerplatte in die Flüssigkeit, wird an deren Oberflache totalreflektiert, tritt wieder durch die Tragerplatte und das letztgenannte Prisma hindurch und gelangt über zwei weitere Umlenkprismen und ein langgestrecktes Prisma auf die Fotodiode Zwei der Umlenkprismen sind mit je einer Linse versehen, die die Leuchtflache der Lichtquelle auf die positionsempfindhche Fotodiode abbilden Die geforderte hohe optisch-mechanische und thermische Stabilität macht einen derartig aufwendigen Aufbau notwendig

Insgesamt betrachtet enthalten alle genannten Neigungsmeßvorrichtungen zur Strahlfuhrung und zur Abbildung der Strahlungsquelle auf dem Detektor einzelne optische Bauelemente wie Linsen und Prismen, die einzeln hergestellt, gefaßt, montiert und zueinander genau justiert werden müssen Die meisten der Bauelemente bleiben verschiebbar und justierbar Dadurch wird der optisch¬ mechanische Aufbau besonders aufwendig, wenn zugleich eine hohe Stabilität erreicht werden soll

Es ist Aufgabe der Erfindung, bei gleichbleibender oder erhöhter Meßgenauigkeit und bei gleichbleibendem oder erweitertem Winkelmeßbereich den optischen Aufbau eines Neigungssensors aus Kosten-, Platzbedarfs- und Stabilitätsgründen und zur Erhöhung der Fertigungszuverlässigkeit zu miniaturisieren, wobei die Herstellung und Montage der optischen Bauteile möglichst in nur einem Arbeitsgang durchgeführt werden soll.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die optischen Elemente auf oder / und in einem Grundkörper aus optisch leitendem Material monolithisch integriert sind, wodurch die Strahlung innerhalb des Grundkörpers geführt wird, und daß der Grundkörper Oberflächenbereiche aufweist, aus denen die Strahlung nach den ersten optischen Elementen in Richtung der Neigungsfläche austritt und in die die Strahlung nach ihrer Reflexion an der Neigungsfläche in den Grundkörper wieder eintritt.

Vorteilhafte Weiterbildungen und Ausgestaltungen der Erfindung sind durch die Merkmale der Unteransprüche gekennzeichnet.

Die monolithische Integration von optischen Elementen auf einem Quarzglassubstrat ist an sich bekannt. In Optics Letters, Vol. 18, No. 19 (Oct. 1 , 1993), P. 1594-1596, wird zum Beispiel ein integriertes planares optisches Abbildungsεystem beschrieben, mit dem die Struktur eines Pixel-Arrays von einer Eingangsseite zu einer Ausgangsseite eines hybrid aufgebauten Abbildungssystems über einen geschlossenen Strahlengang übertragen wird.

Erfindungsgemäß wird die Strahlungsführung so gestaltet, daß die Strahlung den Grundkörper in einem bestimmten Oberflächenbereich verläßt, um auf αie Neigungsfläche zu treffen. Nach der Reflexion an der Neigungsfläche tritt die Strahlung wieder in den Grundkörper ein. Dabei sind alle Lageveränderungen der Strahlung auf dem Detektor ausschließlich auf eine Richtungsveränderung der Strahlung außerhalb des Grundkörpers zurückzuführen. Die Strahlungs- führung im Grundkörper durch die monolithisch integrierten optischen Elemente bleibt stabil. Die monolithische Integration eröffnet darüber hinaus eine große Vielfalt an Gestaltungsmöglichkeiten für die optischen Elemente und eine einfache Anpassung bei der Forderung nach einer höheren Meßgenauigkeit und einem erweitertem Meßbereich des Neigungswinkels. Der Begriff der monolithischen Integration von optischen Elementen auf oder / und in einem Grundkorper soll hier sowohl im engeren als auch in einem weiteren Sinne verstanden werden Streng monolithisch integriert bedeutet, daß alle optischen Elemente aus ein und demselben Grundkorper hervorgehen - direkt bei der Herstellung des Grundkorpers oder bei dessen Bearbeitung So können beispielsweise optische Elemente aus dem Grundkorper herausgeatzt, herausgefrast oder in dem Grundkorper eingeatzt eingefrast oder entsprechende Strukturen eingraviert, eingepreßt oder eingeprägt sein Ebenso können sie auch durch Blankpressen oder durch Spritzgußverfahren entstehen

Werden mehrere solcher Grundkorper fest und unlösbar miteinander verbunden, so soll diese Gesamtheit ebenfalls eine monolithische Einheit darstellen

Im erweiterten Sinne soll als monolithische Integration auch die Replikation von optischen Elementen gelten Dabei werden verformbare Materialien auf dem Grundkorper aufgebracht und mittels einer Abdruckform in eine bestimmte geometrische Form gebracht und dann z B durch chemische thermische oder UV-Behandlung in ihrer Geometrie und auf dem Grundkorper fixiert Dadurch sind die optischen Elemente bereits bei ihrer Erzeugung unlösbar zueinander ausgerichtet

Schließlich sollen auch optische Elemente, die durch Aufdampfen von Materialien auf dem Grundkorper erzeugt werden, als monolithisch integriert verstanden werden

Wie in vielen Anwendungen der Photonik werden auch bei einem modernen Neigungssensor eine Reihe von Anforderungen an das zugehörige optische System gestellt Eine präzise Ausrichtung der optischen Komponenten untereinander und mechanische und thermische Langzeitstabihtat werden ebenso gefordert wie eine geringe Große des optischen Aufbaus und niedrige Herstellkosten Für Vorrichtungen aus frei aufgebauten einzelnen optischen Komponenten ist es nicht möglich, alle Bedingungen gleichzeitig zu erfüllen Alle bekannten Losungen stellen Kompromisse mit Schwerpunkt auf einzelne Anforderungen dar Erfindungsgemaß fuhrt die monolithische Integration von optischen Bauelementen auf einem Grundkorper für einen Neigungssensor zu einem zuverlässigen, kompakten und kostengünstigen optischen System, das nahezu alle Anforderungen gleichzeitig erfüllt

Ein optisches Element kann für sich allein auf einem Grundkorper monolithisch integriert werden Jedoch ergeben sich die großen Vorteile der monolithischen Integration durch die gleichzeitige Herstellung einer Vielzahl von gleichartigen oder verschiedenartigen optischen Elementen auf einem gemeinsamen Grundkorper So können alle für den Neigungssensor notwendigen abbildenden und strahlungsumlenkenden optischen Elemente als komplette Einheit in einem Herstellungsprozeß gleichzeitig entstehen Dadurch ist die Fertigungs- zuverlassigkeit einer solchen Einheit sehr hoch

Bei herkömmlichen optischen Aufbauten aus Einzelelementen werden unterschiedliche Materialien für die optischen Elemente und deren Fassungen und Halterungen verwendet, die unterschiedliche Materialeigenschaften wie unterschiedliche Wärmeausdehnungskoeffizienten besitzen Demgegenüber sind die in einem einzigen Grundkorpermateπal monolithisch integrierten optischen Elemente hinsichtlich mechanischer und thermischer Einflüsse erheblich langzeitstabiler Zudem sind sie aufgrund ihrer Herstellung bereits gegenseitig justiert und fest ' montiert" Eine Verstellung oder Dejustage ist nicht mehr möglich Durch den Wegfall von Montage- und Justierarbeiten werden Arbeitskosten eingespart und eine Massenproduktion ermöglicht Auch die Matenalkosten sind durch die Reduzierung vieler einzelner Komponenten zu einem einzigen Bauteil erheblich geringer Nicht zuletzt bedeutet der kompakte Aufbau einer abbildenden Optik aus monolithisch integrierten optischen

Elementen auf einem kleinen Grundkorper ein äußerst geringes Gewicht und eine sehr geringe Platzbeanspruchung im Vergleich zu einer herkömmlich aufgebauten Optik Dies ist insbesondere beim Einsatz von tragbaren Vermessungsinstrumenten wie Theodoliten oder Digital-Nivelheren von Vorteil Ganz in Analogie zu dem in solchen Geraten vorhandenen modernen elektronischen Aufbau mit den integrierten Schaltkreisen der Mikrochips wird somit auch der optische Aufbau leicht und kompakt gestaltet

Für die Strahlungsfuhrung können reflektive, refraktive oder diffraktive optische Elemente verwendet werden, die sich zusammen mit der Strahlungsquelle, der neigungsempfindhchen Flache und dem positionsempfindlichen Detektor als monolithische Einheit aufbauen lassen Als nichtabbildende optische Elemente zur Strahlungsfuhrung innerhalb des Grundkorpers eignen sich vorteilhaft die Oberflachen des Grundkorpers selbst, an denen durch Totalreflexion eine Strahlungsumlenkung stattfinden kann. Eine Strahlungsumlenkung kann auch durch reflektierende Filme erreicht werden, die an bestimmten Stellen auf der Grundkorperoberflache aufgebracht werden

Die refiektiven optischen Elemente können aber auch sphärische oder asphaπsche Oberflachen besitzen Dadurch erhalten sie zusatzlich auch abbildende Eigenschaften Somit laßt sich die gesamte Optik des Neigungssensors allein mit verschiedenen refiektiven Elementen darstellen und als eine einzige monolithische Einheit herstellen

Eine solche Einheit kann beispielsweise aus Glas durch Blankpressen oder aus Kunststoff durch Spπtztechnik hergestellt werden Die so hergestellte monolithische Einheit kann auf einer Tragerplatte befestigt werden oder kann selber die Rolle der Tragerplatte übernehmen Darüber hinaus können auch mehrere monolithische Einheiten - ggf auch mit verschiedenen

Grundkorpermatenahen - zu einer gesamten Einheit zusammengefaßt werden Dabei können die einzelnen Einheiten einen bestimmten Abstand voneinander besitzen oder auch direkt aufeinander aufgebaut sein Dadurch erhalt man einen größeren Spielraum für die optischen Weglangen oder für die Anordnung der integrierten optischen Elemente untereinander

In Analogie zu dem beschriebenen integrierten optischen Aufbau mit refiektiven optischen Elementen können ebenso refraktive Elemente auf einem Grundkorper oder auf mehreren Grundkorpern monolithisch integriert werden Auch mit integrierten refraktiven optischen Elementen sind sowohl strahlungsumlenkende als auch abbildende Eigenschaften zu erreichen Hierzu werden in bekannter Weise Prismen- und Linsenwirkungen ausgenutzt Selbstverständlich ist eine Kombination von refraktiven und refiektiven optischen Elementen auf einem Grundkorper möglich Aufgrund der monolithischen Integration ergeben sich für einen solchen Neigungssensor Kosten- und Platzersparnisse

Der Platzbedarf der beschriebenen refraktiven bzw refiektiven Losungen kann durch Anwendung von Fresnellinsen bzw Fresnelspiegeln noch weiter reduziert werden Fresnellinsen und -Spiegel sind optische Elemente, deren Flachen nur stufenweise kontinuierlich sind

Bei Stufenabmessungen in der Größenordnung der verwendeten optischen Wellenlange ändert sich der physikalische Mechanismus der Strahlungs¬ ablenkung Anstelle refraktiver, resp reflektiver Wirkung wird die Strahlungs¬ beeinflussung nunmehr durch Beugungsphanomene physikalisch beschrieben

Mit Hilfe derartiger diffraktiver Strukturen werden gleichfalls strahlungsumlen- kende und abbildende optische Elemente hergestellt, wie z B mit einer Fresnel - Zonenplatte oder mit einem holographischen Element, also einem Element mit lokal variabler Gitterstruktur

Derartige Mikrogitterstrukturen sind auf verschiedene Weise in der Oberflache eines Grundkorpers implementierbar Zum einen können die Strukturen dort durch Atzen oder Prägen hergestellt werden Zum anderen können sie auf die Grundkorperoberflache aufgebracht, z B aufgedampft oder aufgeklebt werden Verschiedene Lithografie-, Atz- und Aufdampfverfahren sind bekannt Insbeson¬ dere werden mit optischer Lithografie und reaktivem lonenatzen Strukturen auf Glassubstraten hergestellt

Eine andere Gruppe von Verfahren zur Herstellung integrierter optischer Elemente sind holografische Verfahren, bei denen sich durch Interferenz mehrerer Lichtverteilungen Gebiete mit räumlich variierender Intensität erzeugen lassen Bringt man eine, mit lichtempfindlichem Lack bestrichene Glasplatte in das Interferenzgebiet, kommt es zu einer entsprechend räumlich variablen Belichtung, die nach Entwicklung des Lacks als beugende Gitterstruktur im Sinne der oben gemachten Ausfuhrungen wirkt

Bei dem erfindungsgemaßen Neigungssensor wird mittels der abbildenden, monolithisch integrierten optischen Elemente entweder die Strahlungsquelle auf dem Detektor abgebildet oder, wie weiter unten erläutert wird, ein Intensitatsmuster auf den Detektor projiziert Dabei kann die Strahlung der Strahlungsquelle grundsätzlich divergent, konvergent oder parallel auf die Neigungssflache fallen Bei konvergenter oder divergenter Inzidenz auf die Neigungsflache ändert sich die scheinbare Entfernung der Strahlungsquelle mit der Neigung Damit lassen sich vorteilhaft Abbildungsfehler - insbesondere die Bildfeldwolbung und der Astigmatismus - im nachfolgenden optischen System korrigieren

Die einfallende Wellenfront wird von der Neigungsflache reflektiert und durch ein weiteres monolithisch integriertes optisches Element oder durch eine

Kombination mehrerer solcher Elemente in einer Einstellebene fokussiert In dieser Ebene befindet sich ein ortsempfindlicher optoelektronischer Detektor zur Feststellung der Lage der so erzeugten Abbildung der Strahlungsquelle, z B eines Lichtflecks Je nach Neigung des Neigungssensors verändert sich der Winkel zwischen der Neigungsflache und der auftreffenden und somit auch der von ihr reflektierten Wellenfront, was konsequenterweise zu einer Wanderung des Lichtflecks auf dem Detektor fuhrt Aus den Schwerpunktskoordinaten des Lichtflecks auf einem zweidimensional ortsempfindlichen Detektor, z B einem CCD-Array, lassen sich auf bekannte Weise die beiden Neigungswinkel des Neigungssensors bezüglich einer, als Referenz dienenden, hoπzontierten Einstellung ermitteln

Wird die Strahlung von der Neigungsflache mehr als einmal reflektiert, so ist die Verschiebung des Lichtflecks ein entsprechend Vielfaches der Verschiebung im Falle der Einzelreflexion Die Genauigkeit der Neigungsbestimmung hangt von der Genauigkeit der Lagebestimmung des Lichtflecks auf dem Detektor ab Diese wiederum wird bestimmt einenteils von der Art und Große des Lichtflecks in der Detektorebene und andererseits vom räumlichen und radiometrischen Auflösungsvermögen des Detektors Bei der Verwendung optoelektronischer Detektorarrays ist das Ortsauflosungsvermogen durch die Große der Pixel gegeben Man wird folgerichtig versuchen, die Große des Lichtflecks durch Wahl der Lichtquellenausdehnung und durch Wahl der Vergrößerung der Optik der Pixelgroße anzugleichen

Jedoch gelangt man in der Praxis in Konflikt mit der radiometrischen Auflosung des Detektors, da durch die starke Fokussierung die lokale Strahlungsdichte u U so hoch geraten kann, daß der Detektor im Sattigungsbereich betrieben wird Durch Ausleuchten (Blooming, etc ) kommt es zu einer Verschlechterung der raumlichen Auflosung und einer unerwünschten Erhöhung der Responsezeit schlimmstenfalls sogar zu einer Gefahrdung des Detektors

Der Widerspruch ist losbar, wenn statt einer punktformigen Lichtverteilung auf dem Detektor ein Intensitatsmuster, also eine strukturierte Intensitatsverteilung mit mehr als einem Intensitatsmaximum erzeugt wird Dann verteilt sich die einfallende Lichtleistung in radiometrisch gunstiger Weise über einen ausgedehnten Detektorpixelbereich, behalt aber durch die Feinstruktuπerung die Vorteile hoher räumlicher Auflosung bei Die Lageauswertung einer ausgedehnten Struktur ist robust und fuhrt zu einem besseren Signal-Rausch- verhaltnis und somit zu einer höheren Meßgenauigkeit

Eine Lichtverteilung mit mehr als einem Intensitatsmaximum kann mit verschiedenen Mitteln erreicht werden Eine erste Möglichkeit stellt eine strukturierte Strahlungsquelle dar Die Strukturierung kann beispielsweise durch eine mit einem Lochmuster versehene Abdeckung erfolgen, die vor einer flachenhaften Strahlungsquelle oder im aufgeweiteten Strahl einer punktformigen Strahlungsquelle angeordnet ist Es kann auch die Strahlungsquelle selbst aus einzelnen Strahlungsquellen aufgebaut sein, wie es beispielsweise bei einem Array von lichtemittierenden Dioden (LED-Array) der Fall ist. Die einzelnen Dioden bilden ein Muster, das auf dem Detektor abgebildet wird und dessen Position dort ausgewertet wird. Durch den Vergleich mit einer aus einer Kalibrierung mit bekanntem Neigungswinkel ermittelten Musterposition läßt sich die aktuelle Richtung der auf den Detektor einfallenden Strahlung und somit die Neigung des Neigungssensors ermitteln. Anstelle der Kalibrierung kann auch die Kenntnis der Anordnung der einzelnen Strahlungsquellen auf dem LED-Array herangezogen werden, um aus dem aktuell aufgenommenen Muster die Neigung des Neigungssensors zu bestimmen.

Eine andere Möglichkeit zur Erzeugung eines solchen Musters auf dem Detektor ergibt sich aus der Verwendung von ortsabhängig teildurchlässigen oder teilreflektierenden Objekten, die von der Strahlungsquelle beleuchtet werden. Diese Objekte werden anstelle der Strahlungsquelle auf dem Detektor abgebildet. Bei einem für die Strahlung teildurchlässigen Objekt variiert die Transmission des Objekts ortsabhängig, so daß also die Transmissionsfunktion mehr als ein Maximum besitzt. Bei einem die Strahlung teilreflektierenden Objekt wird dessen ortsabhängig reflektierende Struktur genutzt, um ebenfalls ein Intensitätsmuster zu erzeugen. Solche Objekte können auf dem Grundkörper monolithisch integriert werden.

Eine weitere Möglichkeit, eine Intensitätsverteilung mit mehr als einem Intensitätsmaximum auf dem Detektor zu erzeugen, ergibt sich durch eine geeignete räumliche Beeinflussung der Wellenfront der Strahlung. Dabei können verschiedene optische Eigenschaften, wie z.B. refraktive, reflektive oder polarisierende Eigenschaften ausgenutzt werden ebenso wie auch die Beugung an entsprechend strukturierten optischen Elementen im Strahlengang zwischen Lichtquelle und Detektor. Vorteilhafterweise werden die wellenfrontformenden optischen Elemente monolithisch auf dem Grundkörper integriert.

Beispielsweise läßt sich die Wellenfront durch unterschiedliche Materialdicken oder unterschiedliche Brechungsindices der optischen Elemente räumlich beeinflussen. Um eine gewünschte Intensitätsstruktur auf dem Detektor zu erreichen, kann die Wellenfrontmodulation und somit die sie erzeugende Dickenfunktion, resp Brechungsindexfunktion entsprechend variiert werden In ähnlicher Weise kann ein strukturierendes optisches Element auch durch ortsabhangig unterschiedlich polarisierende Bereiche dargestellt werden Dichroitische Materialien liefern eine lineare Polarisation, die je nach Ausrichtung dieser Materialien in Abhängigkeit des Ortes zu verschiedenen Polansationsπchtungen fuhren Im allgemeinen Fall sind auch unterschiedliche elliptische Polansationszustande möglich, die z B mit örtlich variierender Dicke von doppelbrechenden Materialien erzeugt werden Mit Hilfe eines Analysators entsteht aus der örtlichen Polansationsmodulation, die in diesem Fall die Strukturfunktion des strukturierenden optischen Elements darstellt, eine entsprechende Intensitatsverteilung auf dem Detektor

Das die Wellenfront strukturierende optische Element kann auf dem Grundkorper des Neigungssensors als separates optisches Element monolithisch integriert sein Es kann aber auch zusammen mit einem abbildenden optischen Element aus einer gemeinsamen Struktur, z B einer Beugungsstruktur aufgebaut und monolithisch integriert sein, was zu einer verringerten Anzahl an integrierten optischen Elementen auf dem Grundkorper fuhrt Ein solches Element besitzt somit zugleich abbildende und die Wellenfront strukturierende Eigenschaften

Wird nach einer der genannten Methoden ein Intensitatsmuster auf dem Detektor erzeugt und ändert sich die Neigung des Neigungssensors, so verschiebt sich das gesamte Muster auf dem Detektor Die Auswertung des gemessenen Musters, die beispielsweise mit der bekannten Methode der Mittelwertbildung oder durch Fit-Algoπthmen erfolgen kann, liefert eine deutlich verbesserte Genauigkeit der Neigungsmessung gegenüber der Auswertung eines einzelnen Strahlungspunktes Zudem werden Störungen im Strahlengang, die z B durch fertigungsbedingte, lokale Fehier hervorgerufen sein können, durch die Messung der Vielzahl von Strahlungspunkten des Intensitatsmusters leicht ausgeglichen

Eine besondere Empfindlichkeit und damit ein besonders verbessertes Ortsauflosungsvermogen ergibt sich aus einer Intensitatsverteilung, deren Ortsgrundfrequenz oder eine ihrer harmonischen Ortsoberfrequenzen mit der Ortsgrundfrequenz der strahlungsempfindlichen Strukturen des Detektors ein niederfrequentes Uberlagerungsmuster bildet Das niederfrequente Uberlagerungsmuster wirkt in derselben Art und Weise wie ein Moiremuster Von Moiremustern ist bekannt, daß sie sehr empfindlich auf eine Verschiebung der sie erzeugenden Strukturen reagieren Dies bedeutet hier, daß bereits bei einer sehr geringen Verschiebung der Intensitatsverteilung auf dem Detektor gegenüber dessen Pixelstruktur sich das niederfrequente Uberlagerungsmuster in seiner Ortsfrequenz stark ändert Die Änderung des Uberlagerungsmusters ist also ein sehr empfindlich reagierender Indikator für Veränderungen der

Intensitatsverteilung auf dem Detektor Damit kann eine Ortsinformation um mehr als einen Faktor 100 besser aufgelost werden als es von der Geometrie der Pixelstruktur des Detektors her möglich wäre

Neben der Steigerung der Genauigkeit und der Robustheit der Wiπkelmessung bringt die Erzeugung einer strukturierten Lichtverteilung auf dem Detektor noch den Vorteil der Meßbereichserweiterung mit sich Bei einer punktformigen Lichtverteilung wird der Meßbereich des Neigungswinkels durch die Große der Detektorflache bestimmt Bei einer strukturierten Intensitatsverteilung ist jedoch die Ausdehnung des raumlichen Strukturmeßbereichs bestimmend, wie folgendes Beispiel zeigt Bereits durch Beugung an Begrenzungen von optischen Elementen entsteht auf dem Detektor eine Intensitatsverteilung mit einem Hauptmaximum und mehreren, beidseitig angeordneten Nebenmaxima Dabei können die Nebenmaxima, also die Beugungsmaxima höherer Ordnung, sogar über die aktive Detektorflache hinausreichen Liegt aufgrund eines großen Einfallswinkels der Strahlung das Hauptmaximum, das der ursprünglichen punktformigen Abbildung der Strahlungsquelle entspricht nicht mehr auf der aktiven Detektorflache, so kann es aus der Lage der Nebenmaxima rekonstruiert werden Entscheidend ist nur, daß sich die Nebenmaxima identifizieren lassen, was prinzipiell wegen ihrer unterschiedlichen Intensitäten möglich ist

Ebenso können die Intensitatsverteilungen, die durch die Abbildung der teildurchlassigen oder teilreflektierenden Objekte oder auch der strukturierten Strahlungsquelle auf dem Detektor entstehen, weit über die aktive Flache des Detektors hinausreichen und dadurch den Meßbereich des Neigungswinkels erheblich erweitern Auch bei großen Neigungswinkeln, die die Intensitats¬ verteilung entsprechend verschieben, kommen noch genügend Intensitats- maxima innerhalb der aktiven Detektorflache zu hegen

Als Neigungsflache dient eine Flache, auf die die Strahlung der Strahlungsquelle fallt und mit ihr einen von der Neigung des Neigungssensors abhangigen Winkel bildet Die Neigungsflache stellt sich aufgrund der Schwerkraft in einer bestimmten Ebene ein Diese Ebene ist horizontal, wenn eine Flussigkeitsoberflache verwendet wird und sich die Flüssigkeit frei bewegen kann Die Flüssigkeit kann direkt mit dem Grundkorper des Neigungssensors in Kontakt sein und von einer geschlossenen, abgedeckten Wandung gehalten werden Sie kann sich auch in einer geschlossenen Kapsel befinden, die mit dem Grundkorper verbunden wird Eine Änderung des Einfallswinkels aufgrund einer veränderten Neigung bewirkt eine entsprechende Änderung des Ausfallswinkels der reflektierten Strahlung, die dadurch mit veränderter Richtung und somit an einem veränderten Ort auf den Detektor fallt

Befindet sich oberhalb der Flüssigkeit ein optisches Medium geringerer optischer Dichte, beispielsweise Luft oder eine mit ihr nicht mischbare Flüssigkeit geringerer spezifischer Dichte, so wird eine von unten nach oben durch die

Flüssigkeit laufende optische Strahlung totalreflektiert, wenn der Grenzwinkel der Totalreflexion überschritten wird Diese Totalreflexion ist wegen der erhöhten Ausbeute der Strahlung von Vorteil, ist im Prinzip aber nicht zwingend notwendig für die Funktion des erfindungsgemaßen Neigungssensors

Prinzipiell kann die Strahlung auch von oben auf die Flussigkeitsoberflache einfallen und die Reflexion an der Flussigkeitsoberflache genutzt werden

Eine andere Ausfuhrungsmoglichkeit einer sich nach der Schwerkraft einstellenden Neigungsflache ist die Oberflache eines bei Verkippung frei beweglichen Festkörpers Der Festkörper kann in einer Flüssigkeit schwimmen oder er kann aufgehängt oder auf einer Unterstützung gelagert sein Mit Hilfe der Struktuπerungsmoghchkeiten der Mikromechamk kann ein solcher auf Kippung empfindlicher Festkörper auch mikroskopisch klein in einem Substrat hergestellt und gelagert werden Somit ist auch die Neigungsflache zusammen mit den optischen Elementen monolithisch integriert Zur Neigungsmessung wird die Brechung oder die Reflexion der Strahlung an der Oberflache des Festkörpers genutzt

Im folgenden werden mehrere Ausfuhrungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung naher erläutert Es zeigt

Fig 1 eine schematische Querschnittsdarstellung eines Neigungssensors mit refiektiven optischen Elementen, die im strengen Sinne monolithisch integriert sind,

Fig 1 a eine Variante von Fig 1 mit einem divergenten Strahlengang an der Neigungsflache, Fig 2 eine Variante von Fig 1 mit einer zusatzlichen Grundplatte,

Fig 3 eine schematische Querschnittsdarstellung eines Neigungsεensors mit refiektiven optischen Elementen, die auf einem Grundkorper aufgebracht und mit diesem unlösbar verbunden sind,

Fig 4 eine Variante von Fig 3, bei der die optischen Elemente auf zwei verschiedenen Flachen des Grundkorpers angeordnet sind,

Fig 5 eine Variante von Fig 3, bei der die optischen Elemente mittels einer zusätzlichen Grundplatte auf zwei verschiedenen Flachen angeordnet sind,

Fig 6 eine schematische Querschnittsdarstellung eines Neigungssensors mit monolithisch integrierten refraktiven optischen Elementen,

Fig 7a eine schematische Querschπittsdarstellung eines Neigungssensors mit monolithisch integrierten diffraktiven optischen Elementen

Fig 7b eine schematische raumliche Darstellung eines Neigungssensors gemäß Fig. 7a, ig 8 eine schematische Querschnittsdarstellung eines Neigungssensors mit einer strukturierten Strahlungsquelle, die mehr als ein Intensitats¬ maximum besitzt, ig 9a eine schematische Querschnittsdarstellung eines Neigungssensors mit einem monolithisch integrierten teilreflektierenden Objekt zur Erzeugung mehrerer Intensitatsmaxima, ig 9b eine schematische raumliche Darstellung eines Neigungssensors mit einem teilreflektierenden Objekt gemäß Fig 9a, Fig 9c eine schematische Querschnittsdarstellung eines Neigungssensors mit einem monolithisch integrierten teildurchlassigen Objekt zur Erzeugung mehrerer Intensitatsmaxima,

Fig 9d ein Beispiel für die Struktur eines teilreflektierenden oder teildurchlassigen Objekts, Fig 9e ein weiteres Beispiel für die Struktur eines teilreflektierenden oder teildurchlassigen Objekts und

Fig 10 eine schematische Querschπittsdarstellung eines Neigungssensors mit einem die Wellenfront strukturierenden optischen Element, das auf dem Detektor eine Lichtverteilung mit mehr als ein Intensitatsmaximum erzeugt

In Fig 1 ist ein erfindungsgemaßer Neigungssensor 50 schematisch im Querschnitt dargestellt Er ist mit refiektiven optischen Elementen 2a, 2b, 3a, 3b ausgestattet, deren Reflexionseigenschaften für die Strahlungsfuhrung ausgenutzt werden Die optischen Elemente 2a, 2b, 3a, 3b sind gemäß der Definition zu Beginn der Beschreibung im strengen Sinn monolithisch integriert, d h sie bestehen aus ein und demselben Grundkorper 1 und sind bei dessen Herstellung oder Bearbeitung aus einem Stuck hervorgegangen

Die refiektiven optischen Elementen 2a, 2b, 3a, 3b sind in diesem Ausfuhrungsbeispiel mit gekrümmten Oberflachen ausgebildet, weshalb sie abbildende Eigenschaften besitzen Das divergente Strahlenbundel einer Strahlungsquelle 6 wird durch die optischen Elemente 2a und 3a zu einem parallel verlaufenden Strahlenbundel geformt welches nach der Reflexion an einer Neigungsflache 10 durch die optischen Elemente 3b und 2b auf einen ortsempfindhchen optoelektronischen Detektor 7 fokussiert wird Somit wird die Strahlungsquelle 6 auf dem Detektor 7 abgebildet Die zugehörigen Detektorsignale werden in einer hier nicht dargestellten Auswerteelektronik verarbeitet

Die ebene Flache 9 des Grundkorpers 1 dient der Strahlungsreflexion, um insgesamt einen kontinuierlichen Strahlengang zu gewährleisten Zu diesem Zweck kann die Flache 9 mit reflektierenden Materialien beschichtet oder bedampft sein Diese Möglichkeit gibt es auch für die Oberflachen der refiektiven optischen Elemente 2a, 2b, 3a, 3b Ebenso kann aber auch die Totalreflexion ausgenutzt werden

Die Darstellung in Fig 1 zeigt alle Elemente des Neigungssensors 50 wie die Strahlungsquelle 6, das Gehäuse 12 mit der Neigungsflache 10, den Detektor 7 und die optischen Elemente 2a, 2b, 3a, 3b linear hintereinander angeordnet Dies ist für die Gesamtfunktion des Neigungssensors 50 aber nicht zwingend notwendig Die genannten Elemente können auch seitlich versetzt zueinander auf bzw in dem Grundkorper 1 monolithisch integriert sein wobei die Strahlungsfuhrung entsprechend ausgelegt wird

Die Neigungsflache 10 wird durch die Oberflache einer Flüssigkeit 1 1 dargestellt Die Flüssigkeit 11 ist in einem Gehäuse 12 aufgrund der eingeschlossenen Luft¬ oder Gasblase 13 frei beweglich, so daß sich ihre Oberflache nach der Schwerkraft stets in einer horizontalen Ebene einstellen kann Dadurch verändert sich bei Verkippung des Neigungssensors 50 der Winkel zwischen der Neigungsflache 10 und dem einfallenden bzw dem reflektierten Strahlenbundel Daraus wiederum ergeben sich veränderte Orts-koordinaten des Strahlungsflecks 8, der von den optischen Elementen 3b und 2b aus dem reflektierten Strahlenbundel punktformig auf dem Detektor 7 erzeugt wird Die Koordinaten des Strahlungsflecks 8 auf dem Detektor 7 bestimmen somit die Neigung des Neigungssensors 50

Durch die optischen Elemente 2a und 3a wird gemäß Fig 1 ein paralleles Strahlenbundel erzeugt, das auf die Neigungsflache 10 fallt und dort als Parallelstrahlenbundel reflektiert wird Wie weiter oben bereits erwähnt kann das Strahlenbundel jedoch auch divergent oder konvergent auf die Neigungsflache 10 fallen, was bei bestimmten Abbildungsfehlern der optischen Elemente 2a, 2b, 3a, 3b gunstig ist Fig 1a zeigt ein divergent auf die Neigungsflache 10 fallendes Strahlenbundel Durch die Krümmung der Oberflache des optischen Elements 3a wird die Erzeugung eines Strahlenbundels mit einer bestimmten Divergenz angedeutet Nach der Reflexion an der Neigungsflache 10 wird das divergente Strahlenbundel von den optischen Elementen 3b und 2b auf den Detektor fokussiert

Der Strahlengang gemäß Fig 1 und Fig 1 a verlauft - von seinem Weg in der Flüssigkeit 11 abgesehen - ausschließlich innerhalb des Grundkorpers 1

Deshalb kann diese Anordnung in hohem Maße kompakt gestaltet werden Somit zeichnet sie sich auch durch eine hohe Stabilität aus Allerdings werden an den Grundkorper 1 hohe Anforderungen hinsichtlich der optischen Homogenitat gestellt

Diese Anforderungen können mit einem dünneren Grundkorper 1 verringert werden So zeigt Fig 2 eine Variante des Neigungssensors 50 von Fig 1 , bei der zusätzlich eine Grundplatte 15 auf dem Grundkorper 1 aufgekittet oder aufgesprengt ist Die Grundplatte 15 dient zum einen als Tragerplatte Dadurch kann der Grundkorper 1 mit den monolithisch integrierten optischen Elementen 2a, 2b, 3a, 3b vorteilhafterweise dünn gehalten werden Über die Dicke der Grundplatte 15 wird zudem ein Anpassungsfreiheitsgrad, z B für eine Nachfokussierung gewonnen Die Grundplatte 15 kann aus dem gleichen Material bestehen wie der Grundkorper 1 Die Gesamtfunktion der Anordnung gemäß Fig 2 ist dieselbe wie unter Fig 1 beschrieben Fig 3 zeigt eine schematische Querschnittsdarstellung eines Neigungssensors 50 mit refiektiven optischen Elementen 2a, 2b, 3a, 3b, die durch Replikation auf einer Flache 4 auf dem Grundkorper 1 erzeugt wurden Bei der Replikation werden verformbare Materialien auf dem Grundkorper 1 aufgebracht und mit Hilfe eines Werkzeugs, z B einer Negativform, zu geeigneten, die optischen Eigenschaften bestimmenden Strukturen gepreßt Diese Strukturen werden durch chemische, thermische oder UV-Behandlung fixiert Die optischen Elemente 2a, 2b, 3a, 3b sind damit bereits bei ihrer Erzeugung gegeneinander ausgerichtet und unlösbar mit dem Grundkorper 1 verbunden Sie sind auf einer einzigen Flache 4 des Grundkorpers 1 angeordnet Die Funktionsweise ist die gleiche wie unter Fig 1 beschrieben

In Fig 4 ist eine Variante der Darstellung von Fig 3 zu sehen, bei der die optischen Elementen 2a, 2b, 3a, 3b auf zwei verschiedenen Flachen 9 und 4 angeordnet sind

Ebenso sind auch in Fig 5 die optischen Elemente 2a, 2b, 3a, 3b auf zwei unterschiedlichen Flachen 4 und 5 angeordnet, die zu den Grundkorpern 1 a und 1 b gehören Die Grundkorper 1 a und 1 b sind als Platten mit ebenen Oberflachen ausgebildet Grundsätzlich können die Flachen 4, 5 und 9 bei allen Ausfuhrungsbeispieien auch gekrümmt sein Sie können sogar als Linsen- oberflachen dienen Die Grundkorper 1 a und 1 b können aus verschiedenen Materialien bestehen

Über die Darstellung gemäß Fig 5 hinausgehend können natürlich auch mehr als 2 der in Fig 5 gezeigten Grundkorper 1a und 1b verwendet werden, um so einen mehrstockigen Neigungssensor aufzubauen Ebenso können auch zusätzliche optische Elemente 2a, 2b, 3a und 3b sowohl auf den Flachen 4 und 5 als auch auf der Flache 9 monolithisch integriert werden Damit lassen sich optische Abbildungseigenschaften verbessern Weiterhin können auch an den Flachen 4 und 5 selbst zusätzliche Reflexionen stattfinden derart, wie sie an der Flache 9 in Fig 5 dargestellt sind Durch die Anzahl der Reflexionen werden die Langen der optischen Wegstrecken zwischen der Strahlungsquelle 6, den optischen Elementen 2a, 3a, den Elementen 3b, 2b und dem Detektor 7 be¬ stimmt Somit ergibt sich ein zusätzlicher Freiheitsgrad für die optischen Abstände der abbildenden Elemente 2a, 2b 3a, 3b Dies kann auch durch unterschiedliche Dicken der Grundkorper 1 a und 1 b oder durch Verwendung unterschiedlichen Materials der Grundkorper 1a und 1b geschehen

Selbstverständlich sind alle unter der Figurenbeschreibung von Fig 4 und Fig 5 genannten Vaπationssmoglichkeiten in Analogie auch mit den Neigungssensoren 50 gemäß der Figuren 1 oder 2 realisierbar

Fig 6 zeigt eine schematische Querschnittsdarstellung eines Neigungssensors 50 mit refraktiven optischen Elementen 2a, 2b, 3a, 3b, die in einem Grundkorper 1 c monolithisch integriert sind Bei diesen optischen Elementen werden deren Brechungseigenschaften für die Strahlungsfuhrung ausgenutzt Der Grundkorper 1 c ist mit einer Platte 1 d über eine mechanische Halterung 18 starr verbunden Die Strahlungsquelle 6 und der Detektor 7 befinden sich auf der Unterseite der Platte 1d Das Medium 17 zwischen dem Grundkorper 1 c und der Platte 1d besteht im einfachsten Fall aus Luft, kann aber auch aus anderen gasformigen, flussigen oder festen Substanzen mit geeignetem Brechungsindex bestehen

Ist das Medium 17 eine Flüssigkeit, so kann zumindest ein Teil ihrer Oberflache zugleich auch als Neigungsflache 10 dienen Dazu wird an geeigneter Stelle eine Gasblase 13 eingeschlossen In diesem Fall kann das Gehäuse 12 mit der Flüssigkeit 11 entfallen

Die Strahlung der Strahlungsquelle 6 wird bei Übergängen zwischen dem Medium 17 und dem Grundkorper 1c gebrochen Durch die gekrümmte Oberflachen der refraktiven optischen Elemente 2a, 2b, 3a, 3b ergeben sich abbildende Eigenschaften Dabei werden an die Krümmung der Oberflachen geringere Genauigkeitsanforderungen gestellt als es bei den oben beschrie¬ benen refiektiven optischen Elementen erforderlich ist

Die Oberflache 9a der Platte 1d reflektiert die Strahlung, so daß sich ein fortlaufender Strahlengang ergibt Auch in diesem Ausfuhrungsbeispiel wird die Strahlungsquelle 6 auf dem Detektor 7 abgebildet

Natürlich kann die Platte 1d durch einen dem Grundkorper 1 c ahnlichen Grundkorper mit weiteren optischen Elementen 2a, 2b, 3a, 3b ersetzt werden, so daß die monolithisch integrierten refraktiven Elemente 2a, 2b, 3a, 3b auf zwei unterschiedlichen Flachen angeordnet sind Darüber hinaus sollen für den Neigungssensor 50 mit refraktiven optischen Elementen 2a, 2b, 3a, 3b auch alle Ausfuhrungsformen in Analogie zu den Varianten der Darstellungen in den Figuren 1 a bis 5 gelten

Fig 7a zeigt eine schematische Querschnittsdarstellung eines Neigungssensors 50 mit monolithisch integrierten diffraktiven optischen Elementen 2a, 2b, 3a, 3b, die auf einer Flache 4 angeordnet sind Bei diesen optischen Elementen werden deren beugende Eigenschaften zur Strahlungsfuhrung ausgenutzt Aufgrund dieser Eigenschaften erzeugt jedes der diffraktiven Elementen 2a, 2b, 3a, 3b eine Strahlung mit mehreren Beugungsordnungen Die verschiedenen

Beugungsordnungen unterscheiden sich durch ihre Strahlungsrichtung Ein jeweils nachfolgendes diffraktives optisches Element ist dabei so angeordnet, daß es die Strahlung mehrerer Beugungsordnungen - zumindest aber die Strahlung einer Beugungsordnung - empfangen kann Dies wird mit den durchgezogenen Linien in Fig 7a symbolisiert Die Strahlung der übrigen

Beugungsordnungen wird entweder absorbiert oder verlaßt den Neigungssensor 50 anderweitig ohne dabei auf den Detektor 7 zu gelangen Diesen Fall repräsentieren die gestrichelten Linien

In Fig 7b wird eine schematische räumliche Darstellung des Neigungssensors 50 nach Fig 7a gezeigt Hierbei wird die versetzte Anordnung der Strahlungs¬ quelle 6, der optischen Elementen 2a, 2b, 3a, 3b, der Neigungsflache 10 und des Detektors 7 zueinander deutlich Dadurch erreicht beispielsweise die vom optischen Elements 2a erzeugte und gestrichelt dargestellte Strahlung der Beugung 0 Ordnung das optische Element 3a nicht, jedoch die Strahlung mindestens einer höheren Beugungsordnung (durchgezogene Linien) Aufgrund der Beugung gehorchen Einfallswinkel und Ausfallswinkel der Strahlung an den diffraktiven Elementen 2a, 2b, 3a, 3b nicht dem bekannten Reflexionsgesetz an spiegelnden Flachen Den Beugungswinkeln entsprechend werden die diffraktiven Elemente 2a, 2b, 3a, 3b auf dem Grundkorper 1 angeordnet Dabei soll letztlich den Detektor 7 die Strahlung vorzugsweise nur einer Beugungs¬ ordnung erreichen

Die diffraktiven optischen Elemente 2a, 2b, 3a, 3b können auch in verschiedenen Flachen des Grundkorpers 1 monolithisch integriert sein analog zu den Darstellungen der Fig 4 und 5 (Flachen 9, 4, 5) Auch eine analoge Ausfuhrungsform gemäß Fig 2 mit einer zusätzlichen Grundplatte 15 soll für den Neigungssensor 50 mit diffraktiven optischen Elementen 2a, 2b, 3a, 3b gelten

Bei den bislang gezeigten Varianten der Fig 1 bis 7 ist die Lichtquelle 6 stets als punktformig beschrieben, um das Augenmerk auf die verschiedenen Realisierungsmoghchkeiten des optischen Abbilduπgsganges zu lenken In Fig 8 ist ein erfmdungsgemaßer Neigungssensor 50 schematisch dargestellt, der sich von den bisherigen Varianten dadurch unterscheidet, daß seine Strahlungsquelle 6 eine Struktur aufweist Als strukturierte Strahlungsquelle 6 kann beispielsweise eine mit einer gelochten Maske abgedeckte Strahlungsflache oder ein Strahlungsquellenarray eingesetzt werden Bei einem Strahlungsquellenarray sind einzelne Strahlungsquellen nebeneinander oder matπxformig angeordnet und emittieren je einen Strahlungskegel Als Strahlungsquellenarray kann ein Leuchtdiodenarray (LED-Array) dienen Das Muster 20 der Strahlungsquellen wird auf dem Detektor 7 abgebildet und fuhrt dort zu einer Intensitatsverteilung 21 mit einer entsprechenden Anzahl von Intensitatsmaxima Wie oben im allgemeinen Teil der Beschreibung bereits erläutert ergibt die Auswertung der Koordinaten einer Vielzahl von Intensitatsmaxima eine höhere Meßgenauigkeit des Neigungssensors 50 verglichen mit einer Messung, bei der nur ein einziges Intensitatsmaximum ausgewertet wird Zur Auswertung der Koordinaten der vom Detektor 7 aufgenommenen Intensitatsmaxima werden geeignete und bekannte Methoden wie z B Mittelwertbildung oder Fit-Algoπthmen herangezogen Die optischen Elemente 2a, 2b 3a, 3b in Fig 8 können reflektiver, refraktiver oder diffraktiver Natur sein Es kann auch eine Kombination von refiektiven, refraktiven und diffraktiven optischen Elementen 2a, 2b, 3a, 3b auf dem Grundkorper 1 monolithisch integriert sein

Eine Strahlungsverteilung mit mehreren Intensitatsmaxima auf dem Detektor 7 laßt sich auch mit Hilfe eines ortsabhangig teilreflektierenden Objekts 25 erzeugen, dessen Reflexionsfunktion mehr als ein Maximum besitzt Es wird im Strahlengang zwischen der Strahlungsquelle 6 und dem Detektor 7 angeordnet Beispielsweise wird gemäß der Querschnittsdarstellung in Fig 9a oder der schematischen räumlichen Darstellung in Fig 9b das teilreflektierende Objekt 25 mittels einer Kondensoroptik 24 beleuchtet Anstatt der Strahlungsquelle 6 wird das teilreflektierende Objekt 25 auf dem Detektor 7 abgebildet Das teilreflektierende Objekt 25, das vorzugsweise ebenfalls monolithisch integriert ist, kann aus verschiedenen Strukturen und Mustern aufgebaut sein Zwei Beispiele sind in Fig 9d und Fig 9e gezeigt Die weißen Flachen reflektieren die auffallende Strahlung, wahrend die schwarzen Flachen die Strahlung absorbieren Selbstverständlich sind beliebig andere Muster möglich Auch kann der Übergang zwischen reflektierenden und absorbierenden Flachen kontinuierlich verlaufen, d h der Reflexionsgrad kann kontinuierlich abnehmen bzw zunehmen Die optischen Elementen 2a, 2b, 3a, 3b in Fig 9a und Fig 9b sind reflektiver, refraktiver oder / und diffraktiver Art

Anstatt des teilreflektierenden Objekts 25 kann gemäß Fig 9c auch ein ortsabhangig teildurchlassiges Objekt 26 verwendet werden, dessen Transmissionsfunktion mehr als ein Maximum besitzt Das teildurchlassige Objekt 26 wird von der Kondensoroptik 24 beleuchtet und auf dem Detektor 7 abgebildet Dort ruft es eine seiner Transmissionsfunktion entsprechende Intensitatsverteilung 21 hervor Verschiedene Ausfuhrungformen des teildurchlassigen Objekts 26 mit kontinuierlichen oder abrupten Transmissionsanderungen sind möglich Für den letzteren Fall sind zwei Beispiele mit speziellen Formen in Fig 9d und Fig 9e dargestellt, wobei die weißen Flachen für die auftreffende Strahlung durchlassig sein sollen wahrend die schwarzen Flachen die Strahlung absorbieren Vorzugsweise wird das teildurchlassige Objekt 26 als optisches Element im Grundkorper 1 monolithisch integriert

Um die Vorteile einer Intensitatsverteilung auf dem Detektor mit mehr als einem Maximum zu nutzen, bietet sich noch eine weitere, in Fig 10 gezeigte Variante an Diese gleicht im prinzipiellen Aufbau der Fig 7a, besitzt aber folgende Besonderheit Ein monolithisch integriertes optisches Element 28 erfüllt zwei Funktionen zugleich Zum einen hat es abbildende Eigenschaften wie das optische Element 2b in Fig 7a Andererseits besitzt es eine die Wellenfront der Strahlung derart strukturierende Funktion, daß durch Beugung auf dem Detektor 7 anstatt des punktformigen Bildes der Strahlungsquelle 6 eine Intensitats¬ verteilung 21 mit mehr als einem Intensitatsmaximum entsteht Aus dieser Intensitatsverteilung 21 auf dem Detektor 7, d h aus den Koordinaten der Intensitatsmaxima und aus der bekannten Strukturfunktion des optischen Elements 28 oder aus einer Kalibrierung laßt sich die Richtung der von der Neigungsflache 10 kommenden Strahlung und damit die Neigung des Neigungssensors 50 mit sehr hoher Präzision ermitteln, wie weiter oben bereits beschrieben

Selbstverständlich können die abbildenden und die Wellenfront strukturierenden Eigenschaften des optischen Elements 28 auch auf getrennten monolithisch integrierten optischen Elementen verteilt sein So kann ein monolithisch integriertes optisches Element 28 ausschließlich die genannten die Wellenfront strukturierenden Eigenschaften besitzen

Claims

Patentansprüche Optischer Sensor (50) zur Neigungswinkelbestimmung mit

a) einer optischen Strahlungsquelle (6), ersten und zweiten strahlungs- umlenkenden und abbildenden optischen Elementen (2a, 3a, 2b, 3b), einem ortsauflosenden optoelektronischen Detektor (7) und

b) einer im Strahlengang zwischen den ersten und zweiten optischen Elementen (2a, 3a, 2b, 3b) angeordneten Neigungsflache (10), auf die die Strahlung der Strahlungsquelle (6) fallt und die die Strahlung im nachfolgenden Strahlenverlauf in eine, von der Neigung des Sensors (50) abhangige Richtung lenkt und dadurch neigungsabhangig den Ort des Bildes der Strahlungsquelle (6) auf dem Detektor (7) bestimmt,

dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Elemente (2a, 3a, 2b, 3b) auf oder / und in einem Grundkorper (1, 1a, 1b, 1c) aus optisch leitendem Material monolithisch integriert sind wodurch die Strahlung innerhalb des Grundkorpers (1, 1a, 1b, 1c) gefuhrt wird, und daß der

Grundkorper (1, 1a, 1b, 1c) Oberflachenbereiche aufweist, aus denen die Strahlung nach den ersten optischen Elementen (2a, 3a) in Richtung der Neigungsflache (10) austritt und in die die Strahlung nach ihrer Reflexion an der Neigungsflache (10) in den Grundkorper (1 , 1 a, 1 b, 1 c) wieder eintritt

Neigungssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich¬ net, daß die optischen Elemente (2a, 2b, 3a, 3b) im Grundkorper (1, 1a,1b,1c) durch Lithografie, durch Atzen, Fräsen, Gravieren, Prägen, Blankpressen oder durch Spritzgußverfahren monolithisch integriert sind

Neigungssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich- n e t, daß die optischen Elemente (2a, 2b, 3a, 3b) auf dem Grundkorper

(1, 1a,1b,1c) aufgedampft oder repliziert sind Neigungssensor nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Elemente (2a, 2b, 3a, 3b) reflektive Elemente sind

Neigungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Elemente (2a,2b,3a,3b) refraktive Elemente sind

Neigungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Elemente (2a, 2b, 3a, 3b) aus diffraktiven Strukturen aufgebaut sind

Neigungssensor nach Anspruch 6, dadurch gekennzeich¬ net, daß die optischen Elemente (2a, 2b, 3a, 3b) derart aufgebaut und zueinander angeordnet sind, daß ausschließlich die Strahlung aus nur einer Beugungsordnung letztlich den Detektor (7) erreicht

Neigungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Grundkorper (1, 1a, 1b, 1c) eine

Kombination von refiektiven, refraktiven und diffraktiven optischen Elementen (2a, 2b, 3a, 3b) monolithisch integriert ist

Neigungssensor nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Elementen (2a, 2b, 3a, 3b) auf einer einzigen Flache (4) des Grundkorpers (1, 1a, 1b, 1c) angeordnet sind

Neigungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Elemente (2a, 2b, 3a, 3b) auf verschiedenen Flachen (4, 5, 9) des Grundkorpers (1, 1a 1b, 1c) angeordnet sind Neigungssensor nach einem der vorherigen Ansprüche dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Elemente (2a, 3a) ein divergentes oder konvergentes Strahlenbundel erzeugen, welches auf die Neigungsflache (10) fallt

Neigungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Elemente (2a, 3a) ein paralleles Strahlenbundel erzeugen, welches auf die Neigungsflache (10) fallt

Neigungssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur Genauigkeitsverbesserung der

Neigungsmessung die Strahlungsquelle (6) Strukturen aufweist, mit denen auf dem Detektor (7) eine Intensitatsverteilung (21) mit mehr als einem Intensitatsmaximum erzeugt wird

Neigungssensor nach Anspruch 13, dadurch gekennzeich- net daß die Strahlungsquelle (6) aus einzelnen Strahlungsquellen, insbesondere aus einem LED-Array aufgebaut ist

Neigungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet daß zur Genauigkeitsverbesserung der Neigungsmessung zwischen der Strahlungsquelle (6) und dem Detektor (7) ein die Strahlung ortsabhangig teilreflektierendes Objekt (25) angeordnet und monolithisch integriert ist, dessen Reflektionsfunktion mehr als ein Maximum besitzt und welches anstelle der Strahlungsquelle (6) auf dem Detektor (7) abgebildet wird

Neigungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß zur Genauigkeitsverbesserung der

Neigungsmessung zwischen der Strahlungsquelle (6) und dem Detektor (7) ein für die Strahlung ortsabhangig teildurchlassiges Objekt (26) angeordnet und monolithisch integriert ist, dessen Transmissionsfunktion mehr als ein Maximum besitzt und welches anstelle der Strahlungsquelle (6) auf dem Detektor (7) abgebildet wird

17 Neigungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß zur Genauigkeitsverbesεerung der Neigungsmessung zwischen der Strahlungsquelle (6) und dem Detektor (7) ein die Wellenfront der Strahlung derart strukturierendes optisches Element (28) angeordnet und monolithisch integriert ist, daß auf dem Detektor (7) eine Intensitatsverteilung (21) mit mehr als einem Intensitatsmaximum erzeugt wird

18 Neigungssensor nach Anspruch 17, dadurch gekenn¬ zeichnet, daß das die Wellenfront strukturierende optische Element (28) zugleich abbildende Eigenschaften besitzt

19 Neigungssensor nach einem der Ansprüche 13 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Ortsgrundfrequenz oder eine harmonische Ortsoberfrequenz der auf dem Detektor (7) erzeugten Intensitatsverteilung (21) mit der Ortsgrundfrequenz der strahlungsempfindlichen Strukturen des Detektors (7) ein niederfrequentes Uberlagerungsmuster bildet

20 Neigungssensor nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Neigungsflache (10) in einer durch die Schwerkraft bestimmten Ebene einstellt

21 Neigungssensor nach Anspruch 20, dadurch gekennzeich- n e t, daß die sich nach der Schwerkraft richtende Neigungsflache (10) eine Flussigkeitsoberflache ist