WO1995017662B1 - Schnelles spektroskopisches ellipsometer - Google Patents
Schnelles spektroskopisches ellipsometerInfo
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- WO1995017662B1 WO1995017662B1 PCT/EP1994/004235 EP9404235W WO9517662B1 WO 1995017662 B1 WO1995017662 B1 WO 1995017662B1 EP 9404235 W EP9404235 W EP 9404235W WO 9517662 B1 WO9517662 B1 WO 9517662B1
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Abstract
Ein ellipsometrisches Meßverfahren hoher Meßgeschwindigkeit bei einer beliebigen Anzahl und Reihenfolge von Meßlichtwellenlängen, das insbesondere zur in-situ-Messung von Prozessen an einer Substratoberfläche geeignet ist. Zur schnellen Wellenlängenselektion wird eine breitbandige Strahlungsquelle (1) und ein akustooptisch abstimmbares Filter (4) verwendet, das von einem PC (10) gesteuert werden kann.
Claims
1. Ellipsometrisch.es Meßverfahren, dadurch gekennzeichnet ein spektral breitbandiges Strahlungsbündel (46) auf das akustooptisch abstimmbare Filter (4) gelenkt wird, daß ein in dem akustooptischen Filter (4) abgebeugtes spektral schmalbandiges Strahlungsbündel (48) auf die Oberfläche einer zu untersuchenden Probe (6) gerichtet wird, und daß mit dem akustooptischen Filter die Wellenlänge des spektral schmalbandigen Strahlungsbündels (48) abgestimmt wird.
2. Ellipsometrisches Meßverfahren, dadurch gekennzeichnet, daß ein spektral breitbandiges Strahlungsbündel (46) auf eine zu untersuchende Probe (6) gerichtet wird, und daß das an der Probe (6) reflektierte Strahlungsbündel auf das akustooptisch abstimmbare Filter (4) gelenkt wird, und daß die Wellenlänge eines in dem akustooptischen Filter (4) abgebeugten spektral schmalbandigen Strahlungsbündels (48) abgestimmt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß dem akustooptischen Filter (4) ein hochfrequentes Spannungssignal von einem Hochfrequenz-Generator (41) zugeführt wird und daß die Abstimmung des akustooptischen Filters (4) derart erfolgt, daß die Frequenz des Spannungs¬ signals variiert wird, und daß der Hochfrequenz-Generator (41) über eine Signalleitung (11) mit einem Ausgang eines Personal-Computers (PC) (10) verbunden wird.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine Anzahl und Reihenfolge von Meßwellenlängen bestimmt wird und daß das Meßverfahren durch ein Meßprogramm derart von dem PC (10) gesteuert wird, daß dieser nach jedem für eine Meßwellenlänge abgeschlossenen Meßvorgang das akusto- optische Filter (4) auf die in der vorherbestimmten Reihen¬ folge von Meßwellenlängen nächstfolgende Meßwellenlänge abstimmt .
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der PC (10) ein Signal an den Hochfrequenz-Generator (41) zur Änderung der Frequenz des Spannungssignals sendet .
6. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das spektral breitbandige Strahlungsbündel (46) in einer Strahlungr-ruelle (1) erzeugt wird, daß das Strahlungsbündel (46) in e-nem Lichtwellenleiter (2) geführt wird und daß das Strahlungsbündel (46) in einem mit dem Lichtwellenleiter (2) verbundenen Objektiv (3) parallelisiert oder auf die Probe
(6) fokussiert wird.
7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungsintensität des spektral breitbandigen Strahlungsbündels (48) durch Variation der Amplitude des dem Hochfrequenz-Generator (41) zugeführten SpannungsSignals oder durch Variation des Strahlungsquerschnitts vermittels einer variablen Blende variiert wird.
8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das spektral schmalbandige Strahlungsbündel (48) am Ausgang des Eilipsometers auf einen Strahlungsdetektor (8) gerichtet wird, daß das Ausgangs- signal des Strahlungsdetektors (8) einem Strom-Spannungs- wandler/Verstärker (9) zugeführt wird, und daß das Ausgangssignal des Strom-Spannungswandlers/Verstärkers (9) einem Eingang des PC (10) zugeführt wird.
9. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Strahlungsquelle (1) , die ein spektral breitbandiges
Strahlungsbündel (46) erzeugt, eine zu untersuchende Probe (6) und ein im Strahlengang angeordnetes akustooptisch abstimmbares
Filter (4) .
GEÄNDERTE π (ARTIKEL 19)
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das akustooptische Filter (4) mit einem Hochfrequenz- Generator (41) verbunden ist.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Hochfrequenz-Generator (41) zur automatischen oder manuellen Steuerung des Meßvorgangs mit einem Ausgang eines PC (10) verbunden ist.
12. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das akustooptische Fitler (4) ein nicht-kollineares Filter ist.
13. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gkeennzeichnet, daß das akustooptische Filter (4) ein kollineares Filter ist
14. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Austrittsöffnung der Strahlungsquelle (1) mit einem Lichtwellenleiter (2) verbunden ist, und daß der Licht- Wellenleiter (2) an seinem Austrittsende mit einem Zoom- Objektiv (3) verbunden ist.
INARTIKEL 19GENANNTE ERKLÄRUNG
Beiliegend werden neue Patentansprüche 1 bis 14 zum Ersatz der früheren Patentansprüche 1 bis 15 eingereicht. Die neuen unabhängigen Ansprüche 1 und 2 entsprechen im wesentlichen den früheren abhängigen Ünteransprüchen 2 und 3, wobei der frühere Anspruch 1 gestrichen wurde. Die übrigen Unteransprüche wurden entsprechend umnumeriert.
Priority Applications (1)
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| EP95905090A EP0736171A1 (de) | 1993-12-20 | 1994-12-20 | Schnelles spektroskopisches ellipsometer |
Applications Claiming Priority (2)
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| DE19934343490 DE4343490A1 (de) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | Schnelles spektroskopisches Ellipsometer |
Publications (2)
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| WO1995017662A1 WO1995017662A1 (de) | 1995-06-29 |
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ID=6505542
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| PCT/EP1994/004235 WO1995017662A1 (de) | 1993-12-20 | 1994-12-20 | Schnelles spektroskopisches ellipsometer |
Country Status (3)
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