WO1995003117A1 - Verfahren und vorrichtung zur reinigung und zerlegung eines gasgemisches - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur reinigung und zerlegung eines gasgemisches

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WO1995003117A1
WO1995003117A1 PCT/EP1994/002306 EP9402306W WO9503117A1 WO 1995003117 A1 WO1995003117 A1 WO 1995003117A1 EP 9402306 W EP9402306 W EP 9402306W WO 9503117 A1 WO9503117 A1 WO 9503117A1
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Christian Benkmann
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    • B01D53/04Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
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    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/22Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by diffusion
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    • B01D2259/404Further details for adsorption processes and devices using four beds

Definitions

  • the invention relates to a process for the purification or decomposition of a feed gas stream using a pressure swing adsorption system consisting of at least two cyclically interchangeable adsorbers, into which the feed gas stream is led for purification or decomposition and after the single or multi-stage relaxation phase and before the one or multi-stage pressure build-up or adsorption phase, a single-stage or multi-stage rinsing phase follows.
  • the invention further relates to a device for cleaning or decomposing a feed gas stream according to the method according to the invention, consisting of a membrane separation unit and at least two adsorbers.
  • European Patent 0 146 124 may be mentioned as a possible representative of this procedure. It describes a pressure swing adsorption process for the purification or decomposition of a gas stream using six cyclically operated adsorbers, in which, after the adsorption, multi-stage direct current relaxation and counterflow relaxation phase to the lowest process pressure, a purge with direct current relaxation gas from another Adsorber takes place. The rinsing phase is followed by a multi-stage pressing on the adsorption pressure with DC relaxation gas and purified or decomposed product gas.
  • the purge gas supply adsorber in the case of direct supply of the purge gas to the adsorber to be purged, does not stand for a relatively long time for other phases, i.e. adsorption, pressure equalization or pressure build-up, to disposal.
  • This disadvantage is avoided with intermediate purge gas storage, but an additional storage / buffer container and corresponding lines and valves are now required. In order to avoid these disadvantages, a purge gas extraction from the product stream would also be conceivable, but this would
  • ATZBLAIT RULE 26 reduce the yield or require an increase in production output with higher investment costs and higher energy requirements under the specification of a constant product quantity.
  • the aim and object of the present invention is to provide a method for cleaning or decomposing a gas mixture in which the above disadvantages of the known methods are avoided.
  • One embodiment of the method according to the invention is characterized in that part of the feed gas stream is fed to the membrane separation unit.
  • This embodiment of the method according to the invention will be used if, in addition to the feed gas stream for pressure swing adsorption, there is no feed gas stream corresponding to the requirements of the membrane separation unit.
  • the eluate stream flowing out of the membrane separation unit is expediently admixed with the feed gas stream before the pressure swing adsorption.
  • the eluate stream flowing out of the membrane separation unit can be passed into the pressure swing adsorption process for other purposes, such as, for example, pressure build-up.
  • the eluate stream flowing out of the membrane separation unit is not fed to the feed gas stream, it can be admixed to the partial stream of the residual gas occurring in the pressure swing adsorption, which is not fed to the membrane separation unit.
  • a further embodiment of the method according to the invention is characterized in that the permeate stream emerging from the membrane separation unit is temporarily stored in a storage or buffer container before it is used as purge gas.
  • a last advantageous embodiment of the method according to the invention is characterized in that, simultaneously with or after purging an adsorber with the purge gas originating from the membrane separation unit, this adsorber is additionally purged with the expansion gas from another adsorber.
  • the aim and object of the present invention is also to provide a device for cleaning or decomposing a gas mixture in which the above disadvantages of the prior art are avoided.
  • This is achieved according to the invention in that the permeate flow side of the membrane separation unit is connected via a line to the outlet ends of the adsorbers.
  • FIG. 1 shows the basic idea of the invention.
  • the system for pressure swing adsorption shown has four cyclically switchable adsorbers A, B, C and D.
  • the pressure swing adsorption procedure is described using the example of adsorber A.
  • the arrangement of the five valves V1 to V5 is identical for all adsorbers; the names of the valves of adsorbers B, C and D have been omitted for the sake of clarity.
  • the feed gas to be disassembled or cleaned passes through line 1 and the open valve V1, the feed gas stream into the adsorber A.
  • the more easily adsorbable components are held in the adsorber A, while non-adsorbed components emerge and are released into the product gas line 2 via the open valve V2 become.
  • the adsorption phase in adsorber A is continued until it reaches the desired charge state of adsorber A, after which valves V1 and V2 of adsorber A are closed and valves V1 and V2 of adsorber C are opened, so that the adsorption with continuous product release via line 1 in adsorber C is continued.
  • the pressure is now reduced to a first intermediate pressure (R1).
  • the adsorber A is expanded to the lowest process pressure (D) by opening the valve V3 in counterflow to the direction of adsorption before the purging of the adsorber A begins.
  • the purge gas is obtained by means of the membrane separation unit M.
  • the feed gas stream for the membrane separation unit M is introduced via line 5 and broken down in the membrane separation unit M into an eluate stream 6 and a permeate stream 7, which forms the purge gas stream.
  • the choice of both the feed gas flow for the membrane separation unit M and for the membrane used in the membrane separation unit M will be based on the type of cleaning or disassembly that is carried out in the pressure swing adsorption process.
  • the purge gas stream 7 should essentially contain the components that are to be obtained by means of the pressure swing adsorption process. However, the purity of the purge gas flow does not have to correspond to the product purity, but merely meet the requirements for a purge gas at low pressure.
  • FIG. 2 shows the embodiment of the inventive method according to claim 2 and 3.
  • the feed gas stream in line 1 is throttled by the regulating valve V6 so that a partial flow of the feed gas stream flows via line 1 a to the membrane separation unit M.
  • the eluate stream obtained in the membrane separation unit M is fed via line 6 to the throttled feed gas mixture in line 1 and the gas mixture formed is fed via line 1b to the adsorbers A to D.
  • FIG. 3 shows the execution of the inventive method according to claim 4. While again, as already done in Figure 1, the feed gas stream is fed via line 1 to the adsorbers A to D, the residual gas stream occurring during the desorption phase is divided into line 3. By means of the control valve V7, the amount of gas that is
  • ERS ⁇ TZBLAH RULE 26 Line 3a to the membrane separation unit M and the amount of gas which is discharged from the system via line 3b. If necessary, the partial flow of the residual gas, which is fed to the membrane separation unit M by means of line 3a, is compressed.
  • the purging gas obtained in the membrane separation unit M is first fed via line 7 to a storage or buffer container S. This serves to temporarily store and / or smooth the amount of purge gas. If necessary, the purge gas from the intermediate storage S is fed via line 7a to the adsorbers A to D.
  • FIGS. 4 to 7 show examples of cycle diagrams in which either an adsorber was dispensed with or additional pressure compensation cycles were installed.
  • FIGS. 4 and 5 in particular show examples of cycle diagrams in which "working" with a lower number of adsorbers.
  • the cycle diagram according to FIG. 4 corresponds in principle to the mode of operation of a conventional 4-adsorber system and the cycle diagram according to FIG. 5 corresponds to a 5-adsorber system, in each of which one adsorber could be saved.
  • FIGS. 6 and 7 show examples in which additional pressure compensation cycles are carried out.
  • FIGS. 4 to 7 The following designations are used in FIGS. 4 to 7:
  • the cycle diagram is given, the first number indicating the number of adsorbers, the second number indicating the number of adsorbers that are in adsorption, and the third number indicating the number of pressure compensation cycles.

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Abstract

Verfahren zur Reinigung oder Zerlegung eines Einsatzgasstromes unter Verwendung einer aus mindestens zwei zyklisch vertauschbaren Adsorbern bestehenden Druckwechseladsorptionsanlage, in die der Einsatzgasstrom zur Reinigung oder Zerlegung geführt und wobei nach der ein- oder mehrstufigen Desorptionsphase und vor der ein- oder mehrstufigen Druckaufbau- bzw. Adsorptionsphase eine ein- oder mehrstufige Spülphase folgt. Hierbei wird als Einsatzgas für die ein- oder mehrstufige Spül- und/oder Druckaufbauphase ein im wesentlichen die Produktgaskomponenten enthaltender Permeatstrom (7) aus einer Membrantrenneinheit (M) verwendet. Der Membrantrenneinheit (M) wird ein Teil des Einsatzgasstromes (1a) zugeführt.

Description

BESCHREIBUNG
Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung und Zerlegung eines Gasgemisches
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Reinigung oder Zerle¬ gung eines Einsatzgasstromes unter Verwendung einer aus min¬ destens zwei zyklisch vertauschbaren Adsorbern bestehenden Druckwechseladsorptionsanlage, in die der Einsatzgasstrom zur Reinigung oder Zerlegung geführt und wobei nach der ein- oder mehrstufigen Entspannungsphase und vor der ein- oder mehrstufi¬ gen Druckaufbau- bzw. Adsorptionsphase eine ein- oder mehrstu¬ fige Spülphase folgt.
Die Erfindung betrifft ferner eine Vorrichtung zur Reinigung oder Zerlegung eines Einsatzgasstromes nach dem erfindungsge¬ mäßen Verfahren, bestehend aus einer Membrantrenneinheit und mindestens zwei Adsorbern.
Aus der Literatur ist eine Vielzahl von unterschiedlichen Druckwechseladsorptionsverfahren und -Vorrichtungen zur Reinigung oder Zerlegung von Gasgemischen bekannt. Diese Adsorptionsverfahren bestehen wenigstens aus einer ein- oder mehrstufigen Druckaufbau- bzw. Adsorptionsphase und einer ein- oder mehrstufigen Entspannungsphase. Bei Verfahren, deren Ziel sowohl eine hohe Produktausbeute als auch -reinheit ist, wird in der Regel zwischen die Entspannungs- und die Adsorptions- eine Spülphase geschaltet. Auf diese Weise wird erreicht, daß ein entspannter Adsorber vor dem Wiederaufdrücken mit dem Einsatzgasstrom und gegebenenfalls weiteren Verfahrensströmen von noch im Adsorber vorhandenen Verunreinigungen befreit werden kann.
Als ein möglicher Vertreter für diese Verfahrensweise sei das Europäische Patent 0 146 124 genannt. In ihm wird, ein Druckwechsel-Adsorptionsverfahren zur Reinigung oder Zerlegung eines Gasstromes unter Verwendung von sechs im zyklischen Wechsel betriebenen Adsorbern beschrieben, bei dem im Anschluß an die Adsorptions-, mehrstufige Gleichstromentspannungs- und Gegenstromentspannungsphase auf den niedrigsten Verfahrensdruck eine Spülung mit Gleichstromentspannungsgas aus einem anderen Adsorber erfolgt. Der Spülphase schließt sich ein mehrstufiges Aufdrücken auf den Adsorptionsdruck mit Gleichstromentspannungsgas und gereinigtem bzw. zerlegtem Produktgas an.
Im Falle der EP-PS 0 146 124 wird das als Spülgas verwendete Gleichstromentspannungsgas aus einem anderen Adsorber dem zu spülenden Adsorber direkt und ohne Zwischenspeicher zugeführt. Es sind jedoch auch Druckwechseladsorptionsverfahren bekannt, bei denen eine Zwischenspeicherung des Spülgases vorgesehen ist.
Da der Desorptionsvorgang gegenüber den Druckausgleichen aufgrund der Desorptionskinetik verhältnismäßig lange dauert, steht der Spülgas-Iiefemde Adsorber, im Falle der direkten Zuleitung des Spülgases in den zu spülenden Adsorber, für eine verhältnismäßig lange Zeit nicht für andere Phasen, also Adsorption, Druckausgleich oder Druckaufbau, zur Verfügung. Bei einer Spülgaszwischenspeicherung wird dieser Nachteil zwar vermieden, jedoch sind nun ein zusätzlicher Speicher-/Pufferbehälter sowie entsprechende Leitungen und Ventile erforderlich. Um diese Nachteile zu vermeiden, wäre auch eine Spülgasentnahme aus dem Produktstrom denkbar, doch würde dies
ATZBLAIT REGEL 26) die Ausbeute vermindern bzw. unter der Vorgabe einer gleichbleibenden Produktmenge eine Erhöhung der Produktionsleistung mit höheren Investitionskosten und höherem Energiebedarf erfordern.
Ziel und Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren zur Reinigung oder Zerlegung eines Gasgemisches anzugeben, bei dem die obigen Nachteile der bekannten Verfahre vermieden werden.
Dies wird erfindungsgemäß dadurch erreicht, daß als Einsatzgas für die ein- oder mehrstufige Spül- und/oder Druckaufbauphase ein im wesentlichen die Produktgaskomponenten enthaltender Permeatstrom aus einer Membrantrenneinheit verwendet wird.
Mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens ist es nun möglich, auf die spülgasliefernde Gleichstromentspannungsphase zu verzichten. Dadurch entfallen bei gleichbleibender Anzahl von Druckausgleichen die der Anzahl der spülgasliefernden Phasen entsprechende Anzahl von Adsorbern. Bei einer gleichbleibenden Anzahl von Adsorbern kann nun also mit zusätzlichen Druckausgleichen gearbeitet und damit höhere Ausbeuten erzielt werden.
Eine Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist dadurch gekennzeichnet, daß der Membrantrenneinheit ein Teil des Einsatzgasstromes zugeführt wird.
Diese Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird dann Anwendung finden, wenn neben dem Einsatzgasstrom für die Druckwechseladsorption kein, den Anforderungen der Membrantrenneinheit entsprechender Einsatzgasstrom zur Verfügung steht.
Sinnvollerweise wird in einer weiteren Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens der aus der Membrantrenneinheit abströmende Eluatstrom dem Einsatzgasstrom vor der Druckwechseladsorption beigemischt wird. Außerdem kann der aus der Membrantrenneinheit abströmende Eluatstrom zu anderen Zwecken, wie z.B. Druckaufbau etc., in das Druckwechseladsorptionsverfahren geleitet werden.
Die Erfindung weiterbildend wird vorgeschlagen, den in der Druckwechseladsorption aus einer Gegenstromentspannungs- und/oder aus einer Spülphase gewonnenen Restgasstrom zumindest teilweise der Membrantrenneinheit zuzuführen. Dies kann natürlich auch zusammen mit einem Teil des Einsatzgasstromes, wie bereits beschrieben, geschehen.
Unter Umständen kann es von Vorteil bzw. unumgänglich sein, den der Membrantrenneinheit zugeführten Restgasteilstrom zu verdichten.
Für den Fall, daß der aus der Membrantrenneinheit abströmende Eluatstrom nicht dem Einsatzgasstrom zugeführt wird, kann er dem Teilstrom des in der Druckwechseladsorption anfallenden Restgases, der nicht der Membrantrenneinheit zugeführt wird, beigemischt werden.
Eine weitere Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist dadurch gekennzeichnet, daß der aus der Membrantrenneinheit austretende Permeatstrom vor seiner Verwendung als Spülgas in einem Speicher- bzw. Pufferbehälter zwischengespeichert wird.
Eine letzte vorteilhafte Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist dadurch gekennzeichnet, daß zeitgleich mit oder nach der Spülung eines Adsorbers mit dem aus der Membrantrenneinheit stammenden Spülgas, dieser Adsorber zusätzlich mit dem Entspannungsgas aus einem anderen Adsorber gespült wird.
Ziel und Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es ferner, eine Vorrichtung zur Reinigung oder Zerlegung eines Gasgemisches anzugeben, bei der die obigen Nachteile des Standes der Technik vermieden werden. Dies wird erfindungsgemäß dadurch erreicht, daß die Permeatstrom-Seite der Membrantrenneinheit über eine Leitung mit den Auslaßenden der Adsorber verbunden ist.
Weitere Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Vorrichtung sind in den Unteransprüchen 10 bis 14 beschrieben.
Die Erfindung sowie weiterbildende Ausführungen davon seien anhand der Figuren 1 bis 7 erläutert. Hierbei besitzen identische Verfahrensschritte bzw. Vorrichtungsmerkmale gleiche Bezugszeichen.
Figur 1 zeigt den Grundgedanken der Erfindung. Die dargestellte Anlage zur Druckwechseladsorption weist vier zyklisch umschaltbare Adsorber A, B, C und D auf. Die Druckwechseladsorptionsverfahrensweise sei am Beispiel des Adsorbers A beschrieben. Die Anordnung der fünf Ventile V1 bis V5 ist für alle Adsorber identisch; auf die Bezeichnung der Ventile der Adsorbern B, C und D wurde daher der Übersichtlichkeit halber verzichtet.
Das zu zerlegende bzw. zu reinigende Einsatzgas gelangt über Leitung 1 und das geöffnete Ventil V1 der Einsatzgasstrom in den Adsorber A. Im Adsorber A werden die leichter adsorbierbaren Komponenten festgehalten, während nicht adsorbierte Bestandteile austreten und über das geöffnete Ventil V2 in die Produktgasleitung 2 abgegeben werden. Die Adsoφtionsphase im Adsorber A wird solange fortgesetzt, bis er gewünschte Beiadungszustand des Adsorbers A erreicht ist, wonach die Ventile V1 und V2 des Adsorbers A geschlossen und die Ventile V1 und V2 des Adsorbers C geöffnet werden, so daß die Adsorption unter kontinuierlicher Produktabgabe über Leitung 1 im Adsorber C fortgesetzt wird. Im Adsorber A wird nunmehr der Druck auf einen ersten Zwischendruck gesenkt (R1). Dies geschieht durch Druckausgleich mit dem Adsorber D über die geöffneten Ventile V4 der Adsorber A und D. Der Adsor- ber D durchläuft während dieser Phase seine Druckausgleichs-Aufdrückphase R1. Nach erfolgtem Druckausgleich wird Ventil V4 geschlossen. Nun wird der Adsorber A durch Öffnen des Ventiles V3 im Gegenstrom zur Adsoφtionsrichtung auf den niedrigsten Verfahrensdruck (D) entspannt, bevor das Spülen des Adsorbers A beginnt. Im Falle der vorliegenden Erfindung wird das Spülgas mittels der Membrantrenneinheit M gewonnen. Hierzu wird der Einsatzgasstrom für die Membrantrenneinheit M über Leitung 5 herangeführt und in der Membrantrenneinheit M in einen Eluatstrom 6 und einen Permeatstrom 7, der den Spülgasstrom bildet, zerlegt. Die Wahl sowohl des Einsatzgasstromes für die Membrantrenneinheit M als auch für die in der Membrantrenneinheit M verwendete Membrane wird sich an der Art der Reinigung bzw. Zerlegung, die in dem Druckwechseladsorptionsverfahren durchgeführt wird, orientieren. Der Spülgasstrom 7 sollte im wesentlichen die Komponenten enthalten, die mittels des Druckwechseladsorptionsverfahrens gewonnen werden sollen. Die Reinheit des Spülgasstromes muß jedoch nicht der Produktreinheit entsprechen, sondern lediglich den Anforderungen an ein Spülgas bei niedrigem Druck genügen.
Figur 2 zeigt die Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens laut Anspruch 2 und 3. Hierbei wird der Einsatzgasstrom in Leitung 1 durch das Regulierventil V6 so angedrosselt, daß ein Teilstrom des Einsatzgasstromes über Leitung 1a zur Membrantrenneinheit M strömt. Der in der Membrantrenneinheit M anfallende Eluatstrom wird über Leitung 6 dem gedrosselten Einsatzgasgemisch in Leitung 1 zugeführt und das gebildete Gasgemisch über Leitung 1b den Adsorbern A bis D zugeleitet.
Figur 3 zeigt die Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens laut Anspruch 4. Während hierbei wiederum, wie bereits in Figur 1 geschehen, der Einsatzgasstrom über Leitung 1 den Adsorbern A bis D zugeführt wird, wird der während der Desorptionsphase anfallende Restgasstrom in Leitung 3 aufgeteilt. Mittels des Regulierventiles V7 wird die Gasmenge, die über
ERSÄTZBLAH REGEL 26 Leitung 3a zur Membrantrenneinheit M und die Gasmenge, die über Leitung 3b aus der Anlage abgeführt wird, eingestellt. Falls erforderlich, wird der Teilstrom des Restgases, der mittels Leitung 3a der Membrantrenneinheit M zugeführt wird, verdichtet. Das in der Membrantrenneinheit M anfallende Spülgas wird über Leitung 7 zunächst einem Speicher- bzw. Pufferbehälter S zugeführt. Dieser dient zum Zwischenspeichern und/oder Glätten der Spülgasmenge. Bei Bedarf wird das Spülgas aus dem Zwischenspeicher S über Leitung 7a den Adsorbern A bis D zugeführt.
Da bei dem erfindungsgemäßen Verfahren das Spülgas für einen Adsorber nicht mehr wie üblich aus einem Gleichstromentspannungstakt eines anderen Adsorbers stammt, können diese Takte, die im Schaltzyklus einen verhältnismäßig langen Zeitraum beanspruchen, entfallen. Somit können entweder zusätzliche Druckausgleichstakte, die zu höheren Ausbeuten führen, in das Adsorptionsverfahren aufgenommen werden oder es kann auf zusätzliche Adsorber verzichtet werden.
Die Figuren 4 bis 7 zeigen Beispiele für Taktdiagramme, bei denen entweder auf einen Adsorber verzichtet wurde oder zusätzliche Druckausgleichstakte eingebaut wurden. Speziell die Figuren 4 und 5 zeigen Beispiele für Taktdiagramme, bei denen mit einer geringeren Adsorberzahl "gearbeitet" wird. Das Taktschema nach Figur 4 entspricht im Prinzip der Arbeitsweise einer herkömmlichen 4-Adsorberanlage und das Taktschema nach Figur 5 einer 5-Adsorberanlage, bei denen jeweils ein Adsorber eingespart werden konnte. Die Figuren 6 und 7 zeigen Beispiele, bei denen zusätzliche Druckausgleichstakte durchgeführt werden.
In den Figuren 4 bis 7 werden folgende Bezeichnungen verwendet:
A: Adsoφtion
E: Entspannung im Gleichstrom zum Druckausgleich
D: Entspannung im Gegenstrom zum Druckausgleich
P: Spülen mit Permeat
R: Druckaufbau mit Gleichstromentspannungsgas aus einem
"E-Takt"
RO: Druckaufbau auf Adsorptionsdruck mit Produktgas
Zudem ist jeweils das Taktschema angegeben, wobei die erste Zahl die Anzahl der Adsorber, die zweite Zahl die Anzahl der Adsorber, die sich in Adsoφtion befinden, und die dritte Zahl die Anzahl der Druckausgleichstakte angibt.
ΓZBLATT REGEL 26)

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur Reinigung oder Zerlegung eines Einsatzgasstromes unter Verwendung einer aus mindestens zwei zyklisch vertauschbaren Adsorbern bestehenden Druckwechseladsorptionsanlage, in die der Einsatzgasstrom zur Reinigung oder Zerlegung geführt und wobei nach der ein- oder mehrstufigen Desorptionsphase und vor der ein- oder mehrstufigen Druckaufbau- bzw. Adsorptionsphase eine ein- oder mehrstufige Spülphase folgt, dadurch gekennzeichnet, daß als Einsatzgas für die ein- oder mehrstufige Spül- und/oder Druckaufbauphase ein im wesentlichen die Produktgaskomponenten enthaltender Permeatstrom (7) aus einer Membrantrenneinheit (M) verwendet wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß der Membrantrenneinheit (M) ein Teil des Einsatzgasstromes (1a) zugeführt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der aus der Membrantrenneinheit (M) abströmende Eluatstrom (6) dem Einsatzgasstrom (1) vor der Druckwechseladsoφtion beigemischt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der in der Druckwechseladsorption aus einer Gegenstromentspannungs- und/oder aus einer Spülphase gewonnene Restgasstrom (3) zumindest teilweise (3a) der Membrantrenneinheit (M) zugeführt wird.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der der Membrantrenneinheit (M) zugeführte Restgasteilstrom (3a) verdichtet wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 , 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß der aus der Membrantrenneinheit (M) abströmende Eluatstrom (6) dem nicht der Membrantrenneinheit (M) zugeführten Restgasteilstrom (3b) beigemischt wird.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der aus der Membrantrenneinheit (M) austretende Permeatstrom (7) vor seiner Verwendung als Spülgas in einem Speicher- bzw. Pufferbehälter (S) zwischengespeichert wird.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß zeitgleich mit oder nach der Spülung eines Adsorbers mit dem aus der Membrantrenneinheit (M) stammenden Spülgas (7, 7a), dieser Adsorber zusätzlich mit dem Entspannungsgas aus einem anderen Adsorber gespült wird.
9. Vorrichtung zur Reinigung oder Zerlegung eines Einsatzgasstromes nach einem der in den Ansprüchen 1 bis 8 beschriebenen Verfahren, bestehend aus einer Membrantrenneinheit (M) und mindestens zwei Adsorbern (A, B, ...), dadurch gekennzeichnet, daß die Permeatstrom-Seite der Membrantrenneinheit (M) über eine Leitung (7) mit den Auslaßenden der Adsorber (A, B, ...) verbunden ist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Eingangsseite der Membrantrenneinheit (M) über eine Leitung (1a) mit der Einsatzgasleitung (1 bzw. 1 b) verbunden ist.
11. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Eluatstrom-Seite der Membrantrenneinheit (M) über eine Leitung (6) mit der Einsatzgasleitung (1 bzw. 1b) verbunden ist.
12. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Eingangsseite der Membrantrenneinheit (M) über eine Restgasteilleitung (3a) mit der Restgasleitung (3) verbunden ist.
13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Eluatstrom-Seite der Membrantrenneinheit (M) über eine Leitung (6) mit der Restgasteilleitung (3b) verbunden ist.
14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Eluatstrom-Seite der Membrantrenneinheit (M) über eine Leitung (7) mit einem Speicher- bzw. Pufferbehälter (S) und dieser über eine Leitung (7a) mit den Auslaßenden der Adsorber (A, B, ...) verbunden ist.
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