WO1994028426A1 - Verfahren zur herstellung oberflächen-mikromechanischer strukturen - Google Patents

Verfahren zur herstellung oberflächen-mikromechanischer strukturen Download PDF

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WO1994028426A1
WO1994028426A1 PCT/DE1994/000538 DE9400538W WO9428426A1 WO 1994028426 A1 WO1994028426 A1 WO 1994028426A1 DE 9400538 W DE9400538 W DE 9400538W WO 9428426 A1 WO9428426 A1 WO 9428426A1
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etching
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sacrificial layer
layer
structures
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PCT/DE1994/000538
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Michael Offenberg
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Robert Bosch Gmbh
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    • B81C1/00912—Treatments or methods for avoiding stiction of flexible or moving parts of MEMS
    • B81C1/0092—For avoiding stiction during the manufacturing process of the device, e.g. during wet etching
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    • G—PHYSICS
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    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
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    • B81C2201/01—Manufacture or treatment of microstructural devices or systems in or on a substrate
    • B81C2201/0101—Shaping material; Structuring the bulk substrate or layers on the substrate; Film patterning
    • B81C2201/0128—Processes for removing material
    • B81C2201/013—Etching
    • B81C2201/0132—Dry etching, i.e. plasma etching, barrel etching, reactive ion etching [RIE], sputter etching or ion milling

Definitions

  • the invention relates to a method for producing surface-micromechanical structures according to the preamble of the main claim.
  • a method for producing surface-micromechanical structures is known from publication WO 92/03740, a sacrificial layer made of silicon oxide being deposited on a silicon substrate as a silicon wafer and structured in such a way that, inter alia, Windows to the silicon substrate are created as later anchoring points for free structures.
  • a second layer of polysilicon is deposited on the sacrificial layer and likewise structured in accordance with the lateral boundaries of the later free structures.
  • the sacrificial layer is then removed with an aqueous hydrofluoric acid solution as the etching solution, which has a high selectivity towards polycrystalline silicon and thus towards the second layer.
  • the silicon wafer is rinsed, the rinsing liquid then having to be removed again from the wafer and the micromechanical structures.
  • conventional drying by centrifuging or heating is not possible here, since the liquids which are withdrawing would exert forces on the etched-off microstructures due to their surface tension.
  • the flexible, exposed microstructures would thereby be deformed, lay against the silicon substrate and thus irreversibly on the substrate surface
  • the silicon wafer is exposed to the vapor phase of a mixture of anhydrous hydrofluoric acid and water in a vapor phase etch, wherein
  • the reaction rate and the etching process can therefore advantageously be controlled by adjusting the water content on the wafer surface.
  • the amount of water absorbed or adsorbed before the etching influences the etching rate. Short etching times of only a few hours are possible and after a vapor phase etching the micromechanical structures are free and dry. Time-consuming sublimation and rinsing with a duration of up to several days, as they occur in the conventional method, are not necessary. Due to the low force effects on the structures during vapor phase etching, very sensitive structures can also be realized.
  • the vapor phase etching can be carried out at various points in the IC production and thus facilitates the use of standard techniques and the integrability of evaluation electronics. In addition, the process can be carried out with simple means and transferred to existing processes.
  • a sacrificial layer made of undoped silicon oxide can advantageously be removed directly with the vapor phase etching.
  • Mechanical reinforcements between the silicon substrate and the structures to be etched free are also possible, which are only removed at the end of the process.
  • Sacrificial layers made of doped silicon oxide can also be removed in a first conventional etching process with liquid etching solution and a rinsing liquid can be removed by spinning, with reinforcements then being removed by a second etching process in the dry vapor phase etching.
  • encapsulated arrangements can also be carried out in a simple manner.
  • the sacrificial layer removal with a vapor phase etching does not require any process steps at the wafer level and can also be carried out after the singulation at the chip level.
  • an azeotropic concentration of hydrofluoric acid of 38.26%, the ratio of hydrofluoric acid / water in the liquid phase corresponds to that in the gas phase, so that constant Etching conditions can be obtained over time.
  • An in-situ etching rate check can be carried out particularly advantageously with the aid of a test structure and a capacitance measurement, since the etching medium is not electrically conductive here.
  • FIG. 1 schematically shows a section through a vessel which is partially filled with anhydrous hydrofluoric acid and water and on which a silicon wafer is placed,
  • FIG. 2 shows a perspective top view of a relatively large, micromechanical structure of an acceleration sensor with applied mechanical reinforcements
  • FIG. 3 shows a plan view of an embodiment, similar to FIG. 2, with an encapsulation
  • FIG. 4 shows a plan view of a test structure for an in-situ etching rate control
  • FIG. 5 shows a diagram for changing the capacitance in the arrangement according to FIG. 4.
  • FIG. 1 shows an arrangement 1 for vapor phase etching, with a container 2, which contains a hydrofluoric acid solution HF with an azeotropic concentration of 38.26%.
  • a silicon wafer 3 is placed tightly on the container, so that the surface 4 on which micromechanical structures are produced faces the inside of the container and thus exposed to the vapor phase from anhydrous hydrofluoric acid and water.
  • the silicon wafer 3 can have a multiplicity of silicon substrates 9.
  • a flat heater 5 is arranged above the wafer 3 to heat it. In addition to heating, condensation of a water film can also be prevented by pumping.
  • the silicon wafer 3 is constructed before the vapor phase etching in the arrangement according to FIG. 1 such that a sacrificial layer made of silicon oxide with windows for subsequent anchoring of the structural elements is deposited on a silicon substrate.
  • a second layer of polysilicon is deposited on the sacrificial layer and structured in accordance with the lateral boundaries of the structural elements.
  • the sacrificial layer is removed dry by the vapor phase etching, so that free-standing structural elements stand freely above the substrate at a distance from the thickness of the sacrificial layer.
  • the water content on the wafer surface 4 is adjusted by controlled heating of the silicon wafer 3 with the heating element 5, as a result of which the etching rate can be controlled.
  • ⁇ directly corresponds with only minimal forces occur on the exposed structures.
  • the structure 6 essentially consists of a mass as a plate 7, which is connected at the corners via four legs 8 to the silicon substrate 9 as a support and is therefore suspended mechanically in a very soft manner.
  • the plate 7 with its legs 8 is etched free in its lateral boundary via etching trenches 10.
  • Sacrificial layer made of silicon oxide is removed under the plate 7.
  • stiffeners made of photoresist are attached between the structure or plate 7 to be exposed and the carrier made of silicon substrate 95 before the vapor phase etching. Any number of these stiffeners 11 can be attached to the edge or also in the middle of the respective mass and prevent deflection and thus adhesion during the etching process.
  • the etching resistance of photoresists with regard to the etching medium used is used, so that the respective mass or plate 7 is provided with temporary stiffeners.
  • stiffeners made of photoresist are expediently applied at the same time with a photoresist protective film for electronic circuits 5.
  • the photoresist ie a protective film and the stiffeners, if necessary, is removed with oxygen plasma, as a result of which the structures are released.
  • a sacrificial layer made of undoped silicon oxide can be completely removed.
  • PSG phosphorus silicate glasses
  • doped oxides (boron or phosphorus silicate glass) or silicon nitrides are also used for sacrificial layers. When etched in liquid media, such doped sacrificial layers can be etched without residue. In the vapor phase etching according to the invention, however, components of the victim accumulate
  • stiffeners 11 are also attached to the structure 6, as are shown for example in FIG. 2. These stiffeners are here from one, against the
  • FIG. 3 shows a structure of a structure 6 similar to that in FIG. 2, so that the same reference numbers are used for the same parts. characters are used.
  • a mass is suspended as a plate 7 of an acceleration sensor via legs 8 relatively softly on a surrounding silicon substrate 9, stiffeners 11 being attached as bridges under the plate 7 before the vapor phase etching of the sacrificial layer.
  • the structure 6 is encapsulated by a cover 12 made of polysilicon. Etch openings 13 are provided on the lateral contact surfaces of the cover 12 as passages to the structure 6.
  • no photoresist can be used for the stiffeners 11, since for temperature reasons no second polysilicon layer can be deposited as a cover 2 thereon.
  • a slowly and residue-free, ⁇ - free-etching material is used in the vapor phase etching, which leads to LPCVD depositions
  • the etching selectivity of the silicon oxide of the sacrificial layer can be specifically adjusted by oxygen implantation.
  • the etching medium penetrates through the etching openings 13
  • the sacrificial layer is first completely removed, the stiffeners 11 being only partially attacked and maintaining their supporting function, so that the mass or plate 7 to be exposed is in its position
  • the stiffeners 11 are then removed by further etching, as a result of which the structure or plate 7 is released.
  • the chamber arrangement can then be closed by deposition of a further layer and the
  • the surface can be protected from the sawing sludge by a special film. After removing the upper foil, the separated chips on the saw foil are exposed to the etching medium in the vapor phase etching and the sacrificial layer is removed. Any existing integrated circuits are also protected here by photoresist.
  • FIG. 4 shows a test structure which is additionally attached to the silicon wafer for an in-situ etching rate control, for control and etching end point detection.
  • an area of the sacrificial layer 14 is delimited on the silicon substrate 9 and covered with the second layer 15 made of deposited polysilicon.
  • the layer 15 contains rows of holes 16, the holes going through to the sacrificial layer 14. 4 shows a state in an already advanced etching stage, in which etching medium in the vapor phase etching has penetrated through the rows of holes 16 to the sacrificial layer 14 and in each case a trough-shaped depression 17 has already been etched away under a hole.
  • the function of the in-situ etching rate control by the test structure is explained in connection with FIG. 5: Since the etching rate of the sacrificial layer is influenced by external factors, such as adsorption of water on the surface, precise control can be carried out most cheaply by an in-situ control. Since the etching medium does not conduct electricity in the vapor phase etching according to the invention, in contrast to the conventional method with liquid etching media, the wafer can be electrically contacted with the contact tips 18, 19. The silicon substrate 9 and the second layer 15 made of polysilicon form the capacitor plates of a capacitor. At the start of the etching process, the space between the capacitor plates is completely with the sacrifice
  • the silicon oxide of the sacrificial layer is increasingly etched in the course of the etching process and replaced by air, as shown in FIG. 5.
  • the effective relative dielectric constant drops from 3.85 (CQX for silicon oxide) to 1 (Cn j ft for j e air). The progress of the etching can thus be tracked by the change in the capacitive signal as it is tapped via the contact tips 18, 19.
  • the etching process can thus be carried out in a safe working area in which critical states, for example due to formation
  • the layer 15 is compressed under the pressure of the attached contact tip 18 and thereby comes to rest on the silicon substrate 3 9. This is shown by an abrupt increase in the capacitance signal or by a short circuit, as shown in FIG 5 is shown. The end point of the etching process is thereby indicated, corresponding to the arrow 20.
  • the etching rate makes it possible to avoid under- and over-etching and critical work areas, and to regulate the etching rate in a wide range.

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Abstract

In einem Verfahren zur Herstellung oberflächen-mikromeschanischer Strukturen wird auf ein Siliziumsubstrat als Siliziumwafer eine Opferschicht, insbesondere aus Siliziumoxid, deponiert und strukturiert. Auf der Opferschicht wird eine zweite Schicht, insbesondere aus Polysilizium, abgeschieden und ebenfalls strukturiert. Die Opferschicht wird in einem Ätzvorgang entfernt, mit einem Ätzmedium, das die Opferschicht, jedoch nicht die zweite Schicht, angreift, wodurch Strukturen entstehen, die im Abstand der Dicke der entfernten Opferschicht frei über dem Siliziumsubstrat stehen und an gewissen Stellen auf dem Siliziumsubstrat verankert sind. Erfindungsgemäß werden zum Ätzen und zur Freilegung die mikromechanischen Strukturen der Dampfphase eines Gemisches aus anhydrider Flußsäure und Wasser in einer Dampfphasenätzung ausgesetzt. Dadurch können aufwendige Spülvorgänge und Sublimationen entfallen.

Description

Verfahren zur Herstellung oberflächen- mikromechanischer Strukturen
Stand der Technik
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung oberflä- chen- ikromechanischer Strukturen gemäß dem Oberbegriff des Hauptanspruchs.
Aus der Druckschrift WO 92/03740 ist ein Verfahren zur Her¬ stellung oberflächen-mikromechanischer Strukturen bekannt, wobei auf ein Siliziumsubstrat als Siliziumwafer eine Opfer¬ schicht aus Siliziumoxid deponiert und so strukturiert wird, daß u.a. Fenster zum Siliziumsubstrat als spätere Veranke¬ rungsstellen für freie Strukturen geschaffen werden. Auf der Opferschicht wird eine zweite Schicht aus Polysilizium abge¬ schieden und ebenfalls strukturiert entsprechend der late¬ ralen Begrenzungen der späteren freien Strukturen.
Anschließend wird mit wässriger Flußsäurelösung als Ätzlö¬ sung, die eine hohe Selektivität gegenüber polykristallinem Silizium und damit gegenüber der zweiten Schicht aufweist, die Opferschicht entfernt. Dadurch entstehen Strukturen, die im Abstand der Dicke der entfernten Opferschicht frei über dem Siliziumsubstrat stehen und an den vorher strukturierten Fensterstellen der Opferschicht auf dem Siliziumsubstrat ver¬ ankert sind. Nach dem Ätzen wird der Siliziumwafer gespült, wobei die Spül¬ flüssigkeit anschließend vom Wafer und den mikromechanischen Strukturen wieder entfernt werden muß. Ein an sich übliches Trocknen durch Schleudern oder Heizen ist jedoch hier nicht möglich, da die sich zurückziehenden Flüssigkeiten durch ihre Oberflächenspannung Kräfte auf die freigeätzten Mikrostruktu- ren ausüben würden. Dadurch' würden die flexiblen, freigeleg¬ ten MikroStrukturen deformiert werden, sich an das Silizium¬ substrat anlegen und damit irreversibel auf der Substratober¬
10 fläche haften bleiben. Es ist daher bekannt, die Spülflüssig¬ keit durch eine Flüssigkeit auszutauschen, die entweder durch Einfrieren (z.B. Cyclohexan) oder durch Lösemittelentzug (Fotolack/Azetongemisch) in die feste Phase überführt werden kann. Anschließend erfolgt durch Sublimation oder durch chemi- ■, ■- sehe Reaktion, z.B. durch den bekannten Fotolack/Azeton-Ver- aschungsprozeß der Übergang vom festen in den gasförmigen Zu¬ stand, bei dem nur minimale Kräfte durch Oberflächenspannun¬ gen auftreten und dadurch die mikromechanischen Strukturen frei bleiben.
20
Vorteile der Erfindung
Bei dem gattungsgemäßen Herstellungsverfahren mit den kenn¬ zeichnenden Merkmalen des Hauptanspruchs wird zum Ätzen und
25 zur Freilegung der mikromechanischen Strukturen der Silizium- wafer in keine Ätzflüssigkeit getaucht und braucht daher auch nicht aufwendig getrocknet zu werden. Der Siliziumwafer wird dagegen der Dampfphase eines Gemisches aus anhydrider Flußsäu¬ re und Wasser in einer Dampfphasenätzung ausgesetzt, wobei
30 durch geeignete Maßnahmen, z.B. durch Heizen des Wafers, si¬ cherzustellen ist, daß sich kein Kondensat auf der Waferober- flache bildet, welches die frei werdenden mikromechanischen Strukturen anhaften läßt. Obwohl Wasser in der Ätzreaktion ein Produkt ist, ist es auch als Initiator notwendig, da bei gc der Entfernung von Siliziumoxid die Reaktion über Zwischen¬ schritte nach der Reaktionsgleichung erfolgt:
Siθ2 + 4 HF —^SiF + 4 H2O Vorteilhaft läßt sich daher durch Einstellen des Wasserge¬ halts an der Waferoberflache die Reaktionsgeschwindigkeit steuern und der Ätzvorgang kontrollieren. Neben dem aus der Dampfphase stammenden Wasser beeinflußt die Menge des vor der Ätzung absorbierten bzw. adsorbierten Wassers die Ätzrate. Es sind kurze Ätzzeiten von nur wenigen Stunden möglich und nach einer Dampfphasenätzung sind die mikromechanischen Strukturen frei und trocken. Zeitaufwendige Sublimationen und Spülen mit bis zu mehreren Tagen Dauer, wie sie beim herkömmlichen Ver¬ fahren anfallen, sind nicht erforderlich. Durch die geringen Krafteinwirkungen bei der Dampfphasenätzung auf die Struktu¬ ren sind auch sehr empfindliche Strukturen realisierbar. Die Dampfphasenätzung läßt sich an verschiedenen Stellen der IC- Herstellung durchführen und erleichtert damit die Verwendung von Standardtechniken und die Integrierbarkeit von Auswerte¬ elektronik. Zudem kann das Verfahren mit einfachen Mitteln durchgeführt und auf bestehende Prozesse übertragen werden.
Die Unteransprüche haben vorteilhafte Weiterbildungen des Her¬ stellungsverfahrens nach dem Hauptanspruch zum Inhalt. Insbe¬ sondere kann vorteilhaft eine Opferschicht aus undotiertem Siliziumoxid direkt mit der Dampfphasenätzung entfernt wer¬ den. Es sind zudem mechanische Verstärkungen zwischen dem Siliziumsubstrat und den freizuätzenden Strukturen möglich, die erst zum Ende des Prozesses entfernt werden. Es können auch Opferschichten aus dotieretem Siliziumoxid in einem ersten herkömmlichen Ätzvorgang mit flüssiger Ätzlösung ent¬ fernt und eine Spülflüssigkeit durch Schleudern entfernt wer¬ den, wobei anschließend durch einen zweiten Ätzvorgang in der trockenen Dampfphasenätzung Verstärkungen entfernt werden. Zum Schutz der mikromechanischen Strukturen, insbesondere bei der Vereinzelung, sind in einfacher Weise auch verkapselte An¬ ordnungen ausführbar. Die Opferschichtentfernung mit einer Dampfphasenätzung erfordert keine Prozeßschritte auf Wafer- ebene und kann auch nach der Vereinzelung auf Chipebene durch¬ geführt werden. Bei einer azeotropen Konzentration der Flu߬ säure von 38,26 % entspricht das Verhältnis Flußsäure/Wasser in der flüssigen Phase dem in der Gasphase, so daß konstante Ätzbedingungen über der Zeit erhalten werden.
Besonders vorteilhaft kann mit Hilfe einer Teststruktur und einer Kapazitätsmessung eine In-Situ-Ätzratenkontrolle durch- geführt werden, da hier das Ätzmedium elektrisch nicht lei¬ tet.
Zeichnung
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dar¬ gestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläu¬ tert.
Fig. 1 zeigt schematisch einen Schnitt durch ein Gefäß, das teilweise mit anhydrider Flußsäure und Wasser gefüllt ist und auf das ein Siliziumwafer aufgelegt ist,
Fig. 2 eine perspektivische Draufsicht auf eine relativ gro¬ ße, mikromechanische Struktur eines Beschleunigungssen¬ sors mit aufgebrachten, mechanischen Verstärkungen,
Fig. 3 eine Draufsicht auf eine Ausführung, ähnlich Fig. 2, mit einer Kapselung,
Fig. 4 eine Draufsicht auf eine Teststruktur zu einer In- Situ-Ätzratenkontrolle und
Fig. 5 ein Diagramm zur Veränderung der Kapazität in der An¬ ordnung nach Fig. 4.
Beschreibung von Ausführungsbeispielen
In Fig. 1 ist eine Anordnung 1 zu einer Dampfphasenätzung dar¬ gestellt, mit einem Behälter 2, die eine Flußsäurelösung HF mit einer azeotropischen Konzentration von 38,26 % enthält. Auf den Behälter ist ein Siliziumwafer 3 dicht aufgesetzt, so daß die Oberfläche 4, auf der mikromechanische Strukturen her¬ gestellt werden, der Behälterinnenseite zugewandt und damit der Dampfphase aus anhydrider Flußsäure und Wasser ausgesetzt ist. Der Siliziumwafer 3 kann eine Vielzahl von Siliziumsub¬ straten 9 aufweisen.
Über dem Wafer 3 ist eine flächige Heizung 5 zu dessen Behei¬ zung angeordnet. Neben einer Heizung kann eine Kondensation eines Wasserfilms auch durch ein Pumpen verhindert werden.
Der Siliziumwafer 3 ist vor der Dampfphasenätzung in der An¬ ordnung gemäß Fig. 1 so aufgebaut, daß auf einem Siliziumsub¬ strat eine Opferschicht aus Siliziumoxid mit Fenstern für spä¬ tere Verankerungen der Strukturelemente deponiert ist. Auf der Opferschicht ist eine zweite Schicht aus Polysilizium ab¬ geschieden und entsprechend der lateralen Begrenzungen der Strukturelemente strukturiert.
In der Anordnung gemäß Fig. 1 wird durch die Dampfphasen- ätzung die Opferschicht trocken entfernt, so daß freistehende Strukturelemente im Abstand der Dicke der Opferschicht frei über dem Substrat stehen.
Durch kontrollierte Beheizung des Siliziumwafers 3 mit dem Heizelement 5 wird der Wassergehalt an der Waferoberflache 4 eingestellt, wodurch die Ätzrate steuerbar ist. Bei einer un¬ dotierten Opferschicht aus Siliziumoxid kann mit dieser Anord¬ nung und mit diesem Verfahren die Opferschicht direkt ent- ■ fernt werden, wobei nur minimale Kräfte auf die freigelegten Strukturen auftreten.
Da bei der Realisierung von oberflächen-mikromechanischen Strukturen und Sensoren oft auch elektronische Schaltungen, insbesondere in der Art von Auswerteschaltungen, integriert werden, müssen diese durch einen geeigneten IC-kompatiblen Schutzfilm vor dem Ätzmedium geschützt werden. Bei herkömm¬ lichen Ätzungen in flüssigen Ätzmedien zeigen Fotolacke die Tendenz, aufzuquellen und sich bereits nach kurzer Zeit abzu¬ lösen, lange bevor der Ätzvorgang abgeschlossen ist, so daß die Schutzwirkung entfällt. Bei der vorliegenden Dampfphasen- ätzung zeigt dagegen gewöhnlicher Positivlack eine sehr gute Resistenz gegen das Ätzmedium und stellt damit während des ge¬ samten Ätzvorgangs einen wirksamen Schutz für integrierte Schaltungen dar. Nach der Dampfphasenätzung wird der Fotolack mit Sauerstoffplas a entfernt.
In Fig. 2 ist eine relativ große freizulegende Struktur 6 als Meßelement eines Beschleunigungssensors dargestellt. Die Struktur 6 besteht im wesentlichen aus einer Masse als Platte 7, die an den Ecken über vier Schenkel 8 mit dem Siliziumsub¬ strat 9 als Träger verbunden und dadurch mechanisch sehr weich aufgehängt sind. Im gezeigten Zustand ist die Platte 7 mit ihren Schenkeln 8 über Ätzgräben 10 in ihrer lateralen Be¬ grenzung freigeätzt. Mit der nun folgenden Dampfphasenätzung c entsprechend Fig. 1 soll die (nicht explizit dargestellte)
Opferschicht aus Siliziumoxid unter der Platte 7 entfernt wer¬ den .
Wegen der mechanisch sehr weichen Aufhängung können bereits 0 geringste Kräfte beim Freiätzen eine Auslenkung der Masse bzw. Platte 7 bewirken und zu einem irreversiblen Anhaften führen. Um dem entgegenzuwirken, sind vor der Dampfphasen¬ ätzung Versteifungen aus Fotolack zwischen der freizulegenden Struktur bzw. Platte 7 und dem Träger aus Siliziumsubstrat 9 5 angebracht. Diese Versteifungen 11 können am Rand oder auch in der Mitte der jeweiligen Masse in beliebiger Zahl ange¬ bracht werden und verhindern eine Auslenkung und damit ein An¬ haften während des Ätzvorgangs. Dabei wird die Ätzresistenz von Fotolacken bezüglich des verwendeten Ätzmediums ausge- Q nutzt, so daß die jeweilige Masse bzw. Platte 7 mit temporä¬ ren Versteifungen versehen ist .
Diese Versteifungen aus Fotolack werden zweckmäßig zugleich mit einem Fotolack-Schutzfilm für elektronische Schaltungen 5 aufgebracht. Nach dem Freiätzen wird der Fotolack, d.h. gege¬ benenfalls ein Schutzfilm und die Versteifungen, mit Sauer¬ stoffplasma entfernt, wodurch die Strukturen freigegeben, wer¬ den. Mit dem beschriebenen Verfahren kann eine Opferschicht aus undotiertem Siliziumoxid vollständig entfernt werden. Bei einem Druck im mtorr-Bereich ist dieses Verfahren auch zur Ätzung von PSG (Phosphor-Silikat-Gläsern) geeignet. Es werden jedoch auch dotierte Oxide (Bor- oder Phosphorsilicatglas) oder Silizium-Nitride für Opferschichten eingesetzt. Bei der Ätzung in flüssigen Medien lassen sich solche dotierte Opfer¬ schichten rückstandsfrei ätzen. Bei der erfindungsgemäßen Dampfphasenätzung reichern sich jedoch Bestandteile der Opfer¬
10 schichten, z.B. Dotierstoffe, auf der Siliziumsubstratoberflä¬ che an und hinterlassen Filme bzw. Partikel, die zwar wasser¬ löslich sind, aber im vorliegenden, trockenen Verfahren nicht entfernt werden können, ohne dessen Vorteile aufzugeben. Damit ist eine Ätzung dieser dotierten Opferschichten in der , j- Dampfphase praktisch nicht durchführbar. Es sind aber dennoch die Vorteile des erfindungsgemäßen Verfahrens auch hier nutz¬ bar. Dazu werden ebenfalls Versteifungen 11 an der Struktur 6 angebracht, wie sie beispielsweise in Fig. 2 dargestellt sind. Diese Versteifungen sind hier aus einem, gegenüber der
20 zu entfernenden Opferschicht, langsam ätzenden Material herge¬ stellt. Zum Freiätzen der Strukturen wird eine Zweistufen¬ ätzung durchgeführt: Zunächst wird nach den bekannten Verfah¬ ren in einer Ätzflüssigkeit die Opferschicht rückstandsfrei entfernt. Dabei bleiben die langsamer ätzenden Versteifungen
25 11 noch weitgehend erhalten, wodurch die freizulegende Struk¬ tur bzw. Platte 7 an einer Auslenkung gehindert ist und nicht anhaften kann. Durch die Festlegung und Fixierung über die Versteifungen 11 kann auf die Strukturen ohne negative Auswir¬ kung eine relativ große Kraft einwirken, so daß eine Trock¬
30 nung des Siliziumwafers durch einfaches Schleudern möglich ist. Aufwendige Sublimationsverfahren oder chemische Verfah¬ ren zur Trocknung können entfallen. Im Anschluß daran werden die Versteifungen 11 in einer erfindungsgemäßen, trockenen Dampfphasenätzung entfernt und die Strukturen liegen damit
35 frei .
In Fig. 3 ist ein ähnlicher Aufbau einer Struktur 6 darge¬ stellt wie in Fig. 2, so daß für gleiche Teile gleiche Bezugs- zeichen verwendet sind. Auch hier ist eine Masse als Platte 7 eines Beschleunigungssensors über Schenkel 8 relativ weich an einem umgebenden Siliziumsubstrat 9 aufgehängt, wobei vor der Dampfphasenätzung der Opferschicht unter der Platte 7 Verstei¬ fungen 11 als Brücken angebracht sind. Zudem ist die Struktur 6 durch eine Abdeckung 12 aus Polysilizium gekapselt. An den seitlichen Aufstandsflächen der Abdeckung 12 sind Ätzöffnun¬ gen 13 als Durchgänge zur Struktur 6 angebracht.
10 Für die Versteifungen 11 kann bei dieser verkapselten Ausfüh¬ rungsform kein Fotolack verwendet werden, da über diesem aus Temperaturgründen keine zweite Polysiliziumschicht als Ab¬ deckung 2 deponiert werden kann. Es wird daher anstelle von Fotolack ein in der Dampfphasenätzung langsam und rückstands- -, ■- frei ätzendes Material verwendet, das zu LPCVD-Depositionen
(Low Pressure Chemical Vapor Disposed) kompatibel ist. Auch dieses Material dient zur temporären Versteifung und ätzt langsamer als das Material der Opferschlicht . Als geeignetes Material für diese temporären Versteigungen 11 kommt hier
20 eine dünne Polysiliziumschicht in Frage, deren Ätzselektivi¬ tät gegenüber dem Siliziumoxid der Opferschicht durch Sauer¬ stoffimplantation gezielt eingestellt werden kann.
Zum Freiätzen dringt das Ätzmedium durch die Ätzöffnungen 13
25 zur Struktur 6 in den geschaffenen Innenraum ein. In einem ersten Ätzabschnitt wird zunächst die Opferschicht vollstän¬ dig entfernt, wobei die Versteifungen 11 nur zum Teil ange¬ griffen werden und ihre Abstützfunktion weiter behalten, so daß die freizulegende Masse bzw. Platte 7 in ihrer Stellung
30 fixiert ist und ein Anhaften auf den Träger verhindert wird. In einem zweiten Ätzabschnitt werden dann die Versteifungen 11 durch Weiterätzen entfernt, wodurch die Struktur bzw. Plat¬ te 7 freigegeben wird. Danach läßt sich die Kammeranordnung durch Deposition einer weiteren Schicht verschließen und der
35 Wafer weiterbearbeiten bzw. vereinzeln. Eine gekapselte Anord¬ nung ist bei der Vereinzelung des Wafers auf einer Standard¬ säge vorteilhaft, da dann kein Sägeschlamm und Kühlflüssig¬ keit unter die freigelegten Strukturen gelangen kann. Eine andere Möglichkeit, diese Probleme beim Sägen und verein¬ zeln mikromechanischer Elemente zu umgehen, liegt in der Ver¬ tauschung der sonst üblichen Abfolge von Opferschichtätzen und Sägen. Da das erfindungsgemäße Verfahren mit Dampfphasen- ätzung im Gegensatz zu den bekannten Verfahren mit Flüssig¬ keitsätzung keine Prozeßschritte auf Waferebene erfordert, kann die Opferschichtätzung auch nach der Vereinzelung auf Chipebene durchgeführt werden. Die Vereinzelung wird zweck¬ mäßig auf einer Sägefolie mit adhäsiver Beschichtung vorge¬ nommen. Zum Schutz der strukturierten, aber noch nicht frei¬ gelegten, mikromechanischen Strukturen, kann die Oberfläche durch eine Spezialfolie vor dem Sägeschlamm geschützt werden. Nach dem Entfernen der oberen Folie werden die vereinzelten Chips auf der Sägefolie dem Ätzmedium in der Dampfphasen- ätzung ausgesetzt und die Opferschicht entfernt. Gegebenen¬ falls vorhandene, integrierte Schaltungen werden auch hierbei durch Fotolack geschützt.
In Fig. 4 ist eine Teststruktur dargestellt, die zusätzlich für eine In-Situ-Ätzratenkontrolle, zur Steuerung und Ätzend¬ punkterkennung auf dem Siliziumwafer angebracht ist. Hierzu ist auf dem Siliziumsubstrat 9 ein Bereich der Opferschicht 14 abgegrenzt und mit der zweiten Schicht 15 aus abgeschiede¬ nem Polysilizium abgedeckt. Die Schicht 15 enthält Lochreihen 16, wobei die Löcher bis zur Opferschicht 14 durchgehen. Die Darstellung nach Fig. 4 zeigt einen Zustand in einem bereits fortgeschrittenen Ätzstadium, bei dem Ätzmedium in der Dampf- phasenätzung durch die Lochreihen 16 zur Opferschicht 14 ein¬ gedrungen ist und jeweils unter einem Loch bereits eine wan- nenförmige Vertiefung 17 weggeätzt hat.
Auf das Siliziumsubstrat 9 und auf die zweite Schicht 15 sind Kontaktspitzen 18, 19 für eine Kapazitätsmessung aufgesetzt.
Nachfolgend wird die Funktion der In-Situ-Ätzratenkontrolle durch die Teststruktur in Verbindung mit Fig. 5 erläutert: Da die Ätzrate der Opferschicht durch externe Faktoren, wie Adsorption von Wasser an der Oberfläche beeinflußt werden, ist eine genaue Steuerung am günstigsten durch eine In-Situ- Kontrolle durchführbar. Da bei der erfindungsgemäßen Dampf- phasenätzung das Ätzmedium elektrisch nicht leitet, kann im Gegensatz zum herkömmlichen Verfahren mit flüssigen Ätzmedien der Wafer elektrisch mit den Kontaktspitzen 18, 19 kontak¬ tiert werden. Das Siliziumsubstrat 9 und die zweite Schicht 15 aus Polysilizium bilden die Kondensatorplatten eines Kon¬ densators. Beim Start des Ätzvorgangs ist der Zwischenraum zwischen den Kondensatorplatten vollständig mit der Opfer¬
10 schicht als Dielektrikum ausgefüllt. Das Siliziumoxid der Opferschicht wird im Laufe des Ätzvorgangs zunehmend geätzt und durch Luft ersetzt, entsprechend der Darstellung in Fig. 5. Dadurch sinkt die effektive, relative Dielektrizitätskon¬ stante von 3,85 (CQX für Siliziumoxid) auf 1 (Cnjft für je Luft). Der Ätzfortschritt kann somit an der Änderung des kapa¬ zitiven Signals, wie es über die Kontaktspitzen 18, 19 abge¬ griffen wird, verfolgt werden.
Bei konstanter Ätzrate nimmt bei üblichen Anordnungen die
20 gemessene Kapazität zunächst mit einer quadratischen Zeit¬ abhängigkeit ab und geht dann bei Überlappung von Ätzfronten in eine Sättigung über, so daß sich insgesamt der in Fig. 5 dargestellte, S-förmige Verlauf über die Zeitachse ergibt. Anreicherung und Verarmung von Wasser an der Oberfläche
25 machen sich durch ein Abweichen von einer solchen S-förmigen Sollkurve bemerkbar und lassen sich in einem Regelkreis durch Änderung der Heizleistung der Heizung 5 kompensieren. Damit läßt sich der Ätzvorgang in einem sicheren Arbeitsbereich fah¬ ren, bei dem kritische Zustände, beispielsweise durch Bildung
20 eines Wasserfil s auf der Oberfläche, verhindert werden.
Nach vollständiger Entfernung der Opferschicht 14 wird die Schicht 15 unter dem Druck der aufgesetzten Kontaktspitze 18 komprimiert und kommt dadurch zur Anlage am Siliziumsubstrat 3 9. Dies zeigt sich durch eine abrupte Erhöhung des Kapazitäts- signals bzw. durch einen Kurzschluß, wie dies .in Fig. 5 darge¬ stellt ist. Dadurch wird der Endpunkt des Ätzvorgangs angege¬ ben, entsprechend dem Pfeil 20. Eine solche In-Situ-Messung der Ätzrate ermöglicht die Vermeidung von Unter- und Über¬ ätzungen und von kritischen Arbeitsbereichen sowie die Rege¬ lung der Ätzrate in weiten Bereichen.

Claims

0 Patentansprüche
1. Verfahren zur Herstellung oberflächen-mikromechanischer Strukturen, wobei auf ein Siliziumsubstrat (9) eine Opfer¬ schicht (14) deponiert und strukturiert wird, auf der Opfer- -. Schicht (14) eine zweite Schicht (15) abgeschieden und struk¬ turiert wird, die Opferschicht (14) in einem Ätzvorgang ent¬ fernt wird mit einem Ätzmedium, das die Opferschicht (14), je¬ doch nicht die zweite Schicht (15) angreift, wodurch Struktu¬ ren (7) entstehen, die in etwa im Abstand der Dicke der ent¬ 0 fernten Opferschicht (14) frei über dem Siliziumsubstrat (9) stehen und an gewissen Stellen auf dem Siliziumsubstrat (9) verankert sind, dadurch gekennzeichnet, daß zur Freilegung der mikromechanischen Strukturen ( l ) da .s Siliziumsubstrat (9) der Dampfphase eines Gemisches aus Flußsäure (HF) und Wasser 5 in einer Dampfphasenätzung ausgesetzt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Siliziumwafer (3) bei der Dampfphasenätzung über einem Behäl¬ ter (2) angeordnet ist, der eine azeotrope Flußsäurelösung 0 (38,26 %) enthält und die Oberfläche (4) des Siliziumwafers (3) mit den freizulegenden Strukturen dem Behälterinnenraum zugewandt und der gesättigten Dampfphase ausgesetzt ist.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, -,- daß der Siliziumwafer (3) während der Dampfphasenätzung be¬ heizt (Heizung 5) wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekenn¬ zeichnet, daß eine Kondensation durch Pumpen verhindert wird.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4 , dadurch gekenn¬ zeichnet, daß die zweite Schicht (15) aus Polysilizium und die Opferschicht (14) aus undotiertem Siliziumoxid besteht und diese mit der Dampfphasenätzung in der Dampfphase des Ge¬ misches aus anhydrider Flußsäure und Wasser ohne anschließen¬ de Spülung und Trocknung entfernt wird.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Dampfphasenätzung der Wassergehalt auf der Oberfläche (4) des Siliziumwafers (5) zur Steuerung der Ätzrate auf einen be¬ stimmten Wert eingestellt wird.
7. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß vor der Dampfphasenätzung zusätzliche, auf dem Silizium¬ wafer (3) angeordnete, elektronische Schaltungen zum Schutz vor dem Ätzmedium durch einen Schutzfilm aus Fotolack abge¬ deckt werden und dieser Schutzfilm nach der Dampfphasenätzung in einem Fotolackstripper mit Sauerstoffplasma entfernt wird.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekenn¬ zeichnet, daß vor der Dampfphasenätzung Versteifungen (11) aus Fotolack als Brücken zwischen den freizulegenden Struktu¬ ren (Platte 7), insbesondere von großen Strukturen und dem Siliziumsubstrat (9), hergestellt werden, daß bei der Dampf¬ phasenätzung durch Entfernung der Opferschicht die Strukturen (Platte 7) freigelegt und durch die ätzresistenteren Foto- lack-Versteifungen (11) in ihrer Ausgangslage stabilisiert werden und daß nach der Dampfphasenätzung die Versteifungen (11) mit Sauerstof-fplasma entfernt werden.
9. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß zur Herstellung verkapselter Strukturen vor der Dampfpha¬ senätzung Versteifungen (11) aus einem in der Dampfphase lang¬ sam und rückstandsfrei ätzenden Material, das zudem zu LPCVD- Depositionen (Low Pressure Chemical Vapor Disposed) kompati- bei ist, als Brücken zwischen den freizulegenden Strukturen (Platte 7), insbesondere von großen Strukturen und dem Sili¬ ziumsubstrat (9), hergestellt werden, daß als Kapselung in einer LPCVD-Deposition eine weitere Schicht (Abdeckung 12) mit Ätzöffnungen (13) zur freizulegenden Struktur angebracht ist, daß in einem ersten Ätzschritt mit der Dampfphasenätzung das Siliziumoxid der Opferschicht vollständig entfernt wird, wobei die langsam ätzenden Versteifungen (11) nur zum Teil angegriffen werden, daß in einem zweiten Ätzschritt durch Wei¬ terätzen die Versteifungen (11) entfernt und die Struktur freigegeben wird und daß anschließend durch Deposition einer weiteren Schicht die Verkapselung verschlossen, der Wafer wei¬ terbearbeitet und vereinzelt wird.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß als temporäre Versteifungen (11) eine dünne Polysilizium¬ schicht verwendet wird, deren Ätzselektivität gegenüber der Opferschicht aus Siliziumoxid durch Sauerstoffimplantation gezielt eingestellt wird.
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 10 , dadurch ge¬ kennzeichnet, daß die Vereinzelung vor der Dampfphasenätzung erfolgt und die Dampfphasenätzung auf Chipebene durchgeführt wird.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 11 , dadurch ge¬ kennzeichnet, daß zusätzlich eine Teststruktur angebracht ist, bei der ein Bereich der zweiten Schicht (15) aus Poly¬ silizium und das Siliziumsubstrat (9) als Kondensatorplatten mit dazwischenliegender Opferschicht (14) als Dielektrikum kontaktiert (Kontaktspitzen 18, 19) werden und daß während der Dampfphasenätzung beim Ersetzen der Opferschicht (14) durch Luft die effektive, relative Dielektrizitätskonstante sinkt und über ein entsprechendes, kapazitives Signal der Ätz- fortschritt verfolgt und gegebenenfalls gesteuert wird.
13. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf der zweiten Schicht (15) eine Kontaktspitze (18) mit Druck aufgesetzt ist, die Teststruktur nach der Entfernung der Opferschicht (14) durch die Kontaktspitze (18) kompri¬ miert wird, wodurch die zweite Schicht (15) am Siliziumsub¬ strat (9) anliegt und dadurch ein Kurzschluß bzw. eine abrupte Erhöhung des Kapazitätssignals erfolgt und damit ein Ende des Ätzvorgangs angegeben wird.
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4 , dadurch ge¬ kennzeichnet, daß die zweite Schicht aus Polysilizium und die Opferschicht aus dotiertem Siliziumoxid besteht, daß vor einem Ätzvorgang zur Entfernung der Opferschicht Versteifun¬ gen aus einem langsam ätzenden Material, insbesondere aus Polysilizium mit Sauerstoffimplantation, als Brücken zwischen den freizulegenden Strukturen und dem Siliziumsubstrat herge¬ stellt werden, daß in einem ersten Ätzschritt in einer Flüs¬ sigphase eines Ätzmediums die Opferschicht vollständig ent¬ fernt wird, wobei die langsam ätzenden Versteifungen nur zum Teil angegriffen werden und ihre Versteifungsfunktion weiter erfüllen, daß der Siliziumwafer gespült und durch Schleudern getrocknet wird, wobei die Versteifungen die Strukturen in ihrer Lage halten und ein Anhaften auf der Substratoberfläche verhindern und daß in einem zweiten Ätzschritt mit Hilfe der Dampfphasenätzung die Versteifungen entfernt und dadurch die Strukturen freigegeben werden.
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