WO1991006974A1 - Perfectionnements apportes aux dispostifs permettant d'ajuster la temperature d'un element par soufflage d'un gaz a la temperature souhaitee - Google Patents

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WO1991006974A1
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Definitions

  • the present invention relates to improvements made to thermal adjustment devices for adjusting the temperature of an element, in particular of a semiconductor component under electrical test under variable thermal conditions, to a desired positive or negative value, this adjustment of temperature being obtained by blowing, on a main face of the element, a gas at the desired temperature, the thermal adjustment device comprising a pipe for bringing the gas to the appropriate temperature and means for isolating the element vis-à-vis the ambient atmosphere.
  • the devices of the aforementioned kind have the drawback, when the element to be thermally regulated is very large (some integrated circuits have boxes up to 15 cm in length), that the flow of thermal adjustment gas leaving the supply duct (whose diameter is of the order of 12 mm for example, or a ratio of the order of 1 to 10 with the dimension of the element) certainly strikes the central part of the surface of the element , but then undergoes a reflection which generates vortices: this gas flow does not regularly lick the peripheral parts of the surface of the element. This results in a very irregular temperature variation within the element.
  • the results of these tests have value only if they are carried out while the component has a homogeneous temperature throughout its volume.
  • the transition from one temperature to another temperature must take place very quickly to minimize the duration of these tests.
  • the invention therefore essentially aims to remedy, as far as possible, the aforementioned drawbacks and to provide an improved device which allows to cause a rapid and homogeneous variation of the temperature within an element.
  • the device of the aforementioned type arranged in accordance with the invention further comprising a gas distribution plate over the entire main surface of the element exposed to the gas, this plate having dimensions at least equal to those of the main surface of the element and being provided with an opening substantially coaxial with the gas supply duct, this plate being disposed between the end of the tube and the surface of the element, extending substantially parallel to said surface, as it is otherwise known per se (IBM Technical Disclosure Bulletin, Vol.
  • the plate is kept in equilibrium near the main surface of the element, at a distance from the latter which is automatically adapted as a function of the gas flow rate supplied by the conduit, and thus causes a channeling of the gas stream which is forced to flow in the interval that this plate defines with the surface of the element located opposite.
  • the gas stream is therefore forced to lick the entire surface of the element, and the temperature of said element is brought to the desired value quickly and uniformly.
  • the device is designed and adjusted so that the gas flow is exclusively subsonic, that is to say takes place at low overpressure relative to the ambient atmosphere but with a high flow rate, on crossing the opening of the plate then between the latter and the main surface of the element, which results in an approximately constant speed of this flow over the entire main surface of the element and thus makes it possible to ensure at every instant a substantial homogeneity of the temperature of this surface and, more generally, of the element as a whole.
  • spacing fingers are provided on the underside of the plate so as to keep the latter spaced from the main surface of the element in the absence of gas flow. This avoids that, in the absence of a gaseous current, the plate is pressed against the surface of the element, and the coming of the plate in its equilibrium position is thereby facilitated when the device is put into operation.
  • the plate is thin, but rigid and / or that it is made of a thermally insulating material, being in addition
  • an insulating material in particular a silicone foam
  • the plate is integral with a tubular sleeve mounted to slide freely on the end of the pipe * 5 for supplying the gas;
  • the above-mentioned elastic means can then comprise a helical compression spring, external to the gas supply pipe and interposed between a fixed bearing point and the sleeve; preferably, stops limit the sliding stroke of the sleeve on the conduit.
  • the dimensions of the opening made in the plate are at most equal to the corresponding minimum dimensions of the element. , in particular of the smallest element capable of being heat treated in the device.
  • the opening made in the plate has a shape corresponding approximately, generally, to the shape of the main surface of the element capable of being thermally regulated, but with smaller dimensions.
  • the plate has a shape corresponding approximately to the shape of the main surface of the element; in this case, provision may be made for the dimensions of the plate to be at least 10% greater than the corresponding dimensions of the main surface of the element.
  • the main surface * of the element is elongated (relatively large length by relative to the width)
  • it is desirable that the long sides of the plate are provided with fallen edges, so as to be assured that the gas stream will reach the far ends of the element.
  • the plate in order for the plate to be able to satisfy the various conditions above whatever the shapes and / or dimensions of the element, it is desirable that it be mounted in a removable manner, so that it can be selected one suitable plate from a batch of different plates.
  • the device for adjusting the temperature by blowing a gas at the desired temperature is only partially shown and only its parts related to the invention are shown, the other parts located in particular in the super-structures being known to those skilled in the art.
  • the device has a gas blowing tube 1 which is integral with a thermally insulating bottom 2 surmounted by the rest of the device (not shown). This bottom 2 is crossed by at least one orifice 3 for discharging the gases which have worked.
  • a base arranged to receive and hold the element or object 5 to be heat treated, for example (as shown) an integrated circuit in a DIL package on which performs electrical tests at various temperatures (electrical connections with the outside are not shown).
  • the base _ • is placed at the bottom of a cavity 6 determined by a surrounding insulating floor 7, in such a way that the upper surface 8 of the object 5 is situated a little below the upper level of the floor 7.
  • bell 9 surrounding the cavity 6, which bell is itself surmounted by a bellows 10 connected tightly at the bottom 2.
  • Bell and bellows are here in one piece and made of elastomer.
  • An openwork annular spacer 1 1, centered on the tube 1, can advantageously hold and guide the bell-bellows assembly, which defines a closed enclosure 12 containing the object 5 and into which the tube 1 opens.
  • the tube 1 is surrounded by a tubular sleeve 13 which is free to slide and which extends beyond this end and which rigidly supports a plate 14 substantially perpendicular to the axis of the tube 1 , and therefore substantially parallel to the upper surface 8 of the object 5.
  • the sleeve 13 is pushed down by a helical compression spring 15 surrounding the tube 1 and interposed between the upper end of the sleeve 13 and the bottom 2.
  • a stop 16 for example fixed to the end of the tube 1, limits the downward movement of the sleeve 13.
  • All the components in direct contact with the incident gas flow (tube 1, stop 16, sleeve 13 and plate 14) are formed and shaped so as to minimize heat losses in the gas.
  • the plate 14 is made in planar and thin, but rigid form, in a thermally insulating material. If necessary, the underside of the plate (face facing the object) can be provided with an insulating coating, for example made of silicone foam, to increase the thermal insulation.
  • the plate 14 is pierced with an opening 17 substantially in the axis of the tube 1 to allow the gas to come into contact with the surface 8 of the object 5; the gas deflected by this surface is then channeled by the two opposite faces of the plate 14 and of the object 5 to flow in all directions by licking the whole of the surface 8, which leads to rapid variation and uniform temperature throughout the volume of the object 5 especially if, as it is preferred, the gas flow is permanently subsonic thanks to a design in particular geometric and dimensional and to an appropriate adjustment of the device.
  • the plate 14 is moved away from the surface 8 and kept in equilibrium in this position under the action of two opposing forces, namely the vertical downward force exerted by the spring 15 and the vertical shape directed towards the top generated by the pressure of the gas flow flowing between the two facing surfaces.
  • the plate 14 carries, on its underside, fingers or pins 18 holding the plate slightly apart from the surface 8.
  • the opening 17 has dimensions which do not exceed the minimum corresponding dimensions of the object 5, in particular which do not exceed the corresponding dimensions of the most small object capable of being heat treated in the device. It is then desirable for the opening 17 to have a shape corresponding generally, but with smaller dimensions, to the shape of the surface 8 of the object 5.
  • the plate 14 a general shape corresponding approximately to the shape of the surface 8 of the object so that the gas flows are guided over the entire surface 8.
  • the plate 14 has dimensions substantially greater (for example about 10%) than those of the surface 8, so that the proper guidance of the gas flows on the surface 8 is ensured in all circumstances, regardless of the positioning of the object under the tube.
  • the long sides of the plate are provided with fallen edges (not shown) so as to promote the flow of gas along the large dimension of the surface, so that it reaches the ends furthest from this surface.

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Abstract

Dispositif de réglage thermique pour ajuster à une valeur souhaitée la température d'un élément, par soufflage d'un gaz à la température souhaitée. Ce dispositif comporte un conduit (1) d'amenée du gaz à la température appropriée et des moyens (9, 10) d'isolement de l'élément vis-à-vis de l'atmosphère ambiante; il comporte en outre une plaque (14) de répartition du gaz sur toute la surface principale (8) de l'élément (5) exposée au gaz, cette plaque ayant des dimensions au moins égales à celles de la surface principale de l'élément et étant munie d'une ouverture (17) sensiblement coaxiale au conduit d'amenée du gaz, cette plaque étant disposée entre l'extrémité du tube (1) et la surface (8) de l'élément en s'étendant sensiblement parallèlement à ladite surface (8), ladite plaque étant associée à des moyens élastiques (15) qui autorisent son déplacement transversalement à la surface de l'élément et qui sont tarés de manière telle qu'en fonctionnement la plaque soit maintenue en équilibre à distance de la surface de l'élément sous l'action de l'effort de poussée des moyens élastiques et de la réaction dirigée en sens inverse due à la pression du gaz circulant au contact de la surface de l'élément.

Description

Perfectionnements apportés aux dispositifs permettant d'ajuster la température d'un élément par soufflage d'un gaz à la température souhaitée.
La présente invention concerne des perfectionnements apportés aux dispositifs de réglage thermique pour ajuster à une valeur souhaitée positive ou négative la température d'un élément, notamment d'un composant semi-conducteur en cours de test électrique dans des conditions thermiques variables, cet ajustement de température étant obtenu par soufflage, sur une face principale de l'élément, d'un gaz à la température souhaitée, le dispositif de réglage thermique comportant un conduit d'amenée du gaz à la température appropriée et des moyens d'isolement de l'élément vis-à-vis de l'atmosphère ambiante.
Les dispositifs du genre précité présentent l'inconvénient, lorsque l'élément à réguler thermiquement est de très grandes dimensions (certains circuits intégrés ont des boîtiers pouvant aller jusqu'à 15 cm de longueur), que le flux de gaz de réglage thermique sortant du conduit d'amenée (dont le diamètre est de l'ordre de 12 mm par exemple, soit un rapport de l'ordre de 1 à 10 avec la dimension de l'élément) frappe certes la partie centrale de la surface de l'élément, mais subit alors une réflexion génératrice de tourbillons : ce flux gazeux ne lèche pas régulièrement les parties périphériques de la surface de l'élément. Il en résulte une variation de température très irrégulière au sein de l'élément. Or, lorsque l'élément est un circuit intégré soumis à des tests électriques dans une ambiance thermique variable, les résultats de ces tests n'ont de valeur que s'ils sont effectués alors que le composant possède une température homogène dans tout son volume. En outre, le passage d'une température à une autre température doit s'effectuer très rapidement pour réduire au maximum la durée de ces tests.
Ces deux conditions ne sont pas satisfaites avec les dispositifs actuels.
L'invention a donc essentiellement pour but de remédier, dans toute la mesure du possible, aux inconvénients précités et de proposer un dispositif perfectionné qui permette de provoquer une variation rapide et homogène de la température au sein d'un élément. A ces fins, le dispositif du genre précité agencé conformément à l'invention, comportant en outre une plaque de répartition du gaz sur toute la surface principale de l'élément exposée au gaz, cette plaque ayant des dimensions au moins égaies à celles de la surface principale de l'élément et étant munie d'une ouverture sensiblement coaxiale au conduit d'amenée du gaz, cette plaque étant disposée entre l'extrémité du tube et la surface de l'élément en s'étendant sensiblement parallèlement à ladite surface, comme il est par ailleurs connu en soi (IBM Technical Disclosure Bulletin, Vol. 20, N° 9, Février 1978, New-York U.S., pages 3723- 3724 ; Sachar : "Gas Jet Cooling with No Net Mechanical Loading"), se caractérise essentiellement en ce que ladite plaque est associée à des moyens élastiques qui autorisent son déplacement transversalement à la surface de l'élément et qui sont tarés de manière telle qu'en fonction¬ nement la plaque soit maintenue en équilibre à distance de la surface de l'élément sous l'action de l'effort de poussée des moyens élastiques et de la réaction dirigée en sens inverse due à la pression du gaz circulant au contact de la surface de l'élément.
Ainsi, grâce aux dispositions de l'invention, la plaque est maintenue en équilibre à proximité de la surface principale de l'élément, à une distance de celle-ci qui est automatiquement adaptée en fonction du débit de gaz fourni par le conduit, et provoque ainsi une canalisation du courant gazeux qui est contraint de s'écouler dans l'intervalle que cette plaque définit avec la surface de l'élément située en vis-à-vis. Le courant gazeux est donc contraint de lécher toute la surface de l'élément, et la température dudit élément est portée à la valeur souhaitée de façon rapide et homogène.
De préférence, le dispositif est conçu et réglé de telle sorte que l'écoulement gazeux soit exclusivement subsonique, c'est-à-dire s'effectue en faible surpression par rapport à l'atmosphère ambiante mais avec un débit important, au franchissement de l'ouverture de la plaque puis entre celle-ci et la surface principale de l'élément, ce qui se traduit par une vitesse approximativement constante de cet écoulement sur la totalité de la surface principale de l'élément et permet ainsi d'assurer à chaque instant une homogénéité sensible de la température de cette surface et, plus généralement, de l'élément dans son intégralité. De préférence, des doigts d'écartement sont prévus sur la face inférieure de la plaque de manière à maintenir celle-ci écartée de la surface principale de l'élément en l'absence d'écoulement gazeux. Ainsi on évite que, en l'absence de courant gazeux, la plaque soit appuyée contre la surface de l'élément, et la venue de la plaque dans sa position d'équilibre s'en trouve facilitée à la mise en fonctionnement du dispositif.
Pour éviter des pertes thermiques intempestives, il est souhaitable que la plaque soit mince, mais rigide et/ou qu'elle soit constituée en un matériau thermiquement isolant, en étant en outre
10 éventuellement recouverte sur sa face inférieure d'un matériau isolant (notamment d'une mousse de silicone).
Dans un mode de réalisation intéressant en raison de la simplicité structurelle à laquelle il conduit, la plaque est solidaire d'un manchon tubulaire monté à libre coulissement sur l'extrémité du conduit * 5 d'amenée du gaz ; les moyens élastiques précités peuvent alors comprendre un ressort de compression en hélice, extérieur au conduit d'amenée du gaz et interposé entre un point d'appui fixe et le manchon ; de préférence, des butées limitent la course de coulissement du manchon sur le conduit. Pour obtenir une meilleure répartition du courant gazeux et 0 un contact plus homogène du gaz sur la surface de l'élément, il est souhaitable que les dimensions de l'ouverture pratiquée dans la plaque soient au plus égales aux dimensions correspondantes minimales de l'élément, notamment du plus petit élément susceptible d'être traité thermiquement dans le dispositif. Egalement dans le même but, il est intéressant que l'ouverture pratiquée dans la plaque possède une forme correspondant approximative¬ ment, de façon générale, à la forme de la surface principale de l'élément susceptible d'être régulé thermiquement, mais avec des dimensions moindres. De même, il est préférable que la plaque possède une forme correspondant approximativement à la forme de la surface principale de l'élément ; dans ce cas, on peut prévoir que les dimensions de la plaque soient supérieures d'au moins 10% aux dimensions correspondantes de la surface principale de l'élément. Dans le cas particulier où la surface * principale de l'élément est allongée (longueur relativement grande par rapport à la largeur), il est souhaitable que les grands côtés de la plaque soient munis de bords tombés, de manière d'être assuré que le courant gazeux parviendra jusqu'aux extrémités éloignées de l'élément.
Enfin, pour que la 'plaque soit à même de satisfaire aux diverses conditions ci-dessus quelles que soient les formes et/ou dimensions de l'élément, il est souhaitable qu'elle soit montée de façon amovible, de manière que puisse être sélectionnée une plaque appropriée parmi un lot de plaques différentes.
L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description détaillée qui suit d'un mode de réalisation préférée donné uniquement à titre d'exemple non limitatif. Dans cette description, on se réfère au dessin annexé sur lequel la figure unique est une vue schématique de côté, en coupe, d'une partie d'un dispositif agencé conformément à l'invention.
Sur cette figure, le dispositif de réglage de température par soufflage d'un gaz à la température souhaitée n'est représenté que partiellement et seules ses parties en relation avec l'invention sont montrées, les autres parties situées notamment dans les super-structures étant connues de l'Homme de l'art.
A sa partie inférieure, le dispositif présente un tube 1 de soufflage de gaz qui est solidaire d'un fond 2 thermiquement isolant surmonté par le reste du dispositif (non représenté). Ce fond 2 est traversé par au moins un orifice 3 d'évacuation des gaz qui ont travaillé.
Dans l'axe du tube 1, et à distance de celui-ci, est prévu un socle agencé pour recevoir et maintenir l'élément ou objet 5 à traiter thermiquement, par exemple (comme représenté) un circuit intégré en boîtier DIL sur lequel on effectue des tests électriques sous des températures diverses (les liaisons électriques avec l'extérieur ne sont pas représentées).
Le socle _• est disposé au fond d'une cavité 6 déterminée par un plancher isolant environnant 7, de telle manière que la surface supérieure 8 de l'objet 5 soit située un peu en dessous du niveau supérieur du plancher 7.
Au-dessus du plancher et maintenue en appui approximative¬ ment étanche aux écoulements de gaz, s'étend une cloche 9 entourant la cavité 6, laquelle cloche est elle-même surmontée d'un soufflet 10 raccordé de façon étanche au fond 2. Cloche et soufflet sont, ici, monobloc et réalisés en élastomère. Une entretoise annulaire ajourée 1 1, centrée sur le tube 1, peut avantageusement maintenir et guider l'ensemble cloche- soufflet, lequel délimite une enceinte close 12 renfermant l'objet 5 et dans laquelle débouche le tube 1.
Conformément à l'invention, à son extrémité inférieure le tube 1 est entouré d'un manchon tubulaire 13 libre en coulissement qui s'étend au-delà de cette extrémité et qui supporte rigidement une plaque 14 sensiblement perpendiculaire à l'axe du tube 1 , et donc sensiblement parallèle à la surface supérieure 8 de l'objet 5.
Le manchon 13 est repoussé vers le bas par un ressort de compression en hélice 15 entourant le tube 1 et interposé entre l'extrémité supérieure du manchon 13 et le fond 2. Une butée 16, par exemple fixée à l'extrémité du tube 1 , limite le déplacement vers le bas du manchon 13. Tous les composants en contact direct avec le flux de gaz incident (tube 1, butée 16, manchon 13 et plaque 14) sont constitués et conformés de manière à réduire au maximum les pertes thermiques dans le gaz. En particulier, la plaque 14 est constituée sous forme plane et mince, mais rigide, en un matériau thermiquement isolant. Si nécessaire, la face inférieure de la plaque (face tournée vers l'objet) peut être munie d'un revêtement isolant, par exemple en mousse de silicone, pour accroître l'isolation thermique.
La plaque 14 est percée d'une ouverture 17 sensiblement dans l'axe du tube 1 pour permettre au gaz de parvenir au contact de la surface 8 de l'objet 5 ; le gaz dévié par cette surface est ensuite canalisé par les deux faces en regard de la plaque 14 et de l'objet 5 pour s'écouler dans toutes les directions en léchant l'ensemble de la surface 8, ce qui conduit à une variation rapide et homogène de température dans tout le volume de l'objet 5 surtout si, comme il est préféré, l'écoulement du gaz est en permanence subsonique grâce à une conception notamment géométrique et dimensionnelle et à un réglage appropriés du dispositif. Au cours de ce processus, la plaque 14 est écartée de la surface 8 et maintenue en équilibre dans cette position sous l'action de deux forces antagonistes, savoir la force verticale dirigée vers le bas exercée par le ressort 15 et la forme verticale dirigée vers le haut engendrée par la pression du flux de gaz s'écoulant entre les deux surfaces en regard. Pour faciliter l'amorce d'un écoulement d'air convenable au moment de la mise en marche du dispositif, la plaque 14 porte, sur sa face inférieure, des doigts ou picots 18 maintenant la plaque légèrement écartée de la surface 8. Pour éviter les pertes de charge dans le flux de gaz sous pression sortant du tube 1, l'ouverture 17 possède des dimensions qui n'excèdent pas les dimensions correspondantes minimales de l'objet 5, en particulier qui n'excèdent pas les dimensions correspondantes du plus petit objet susceptible d'être traité thermiquement dans le dispositif. Il est alors souhaitable que l'ouverture 17 possède une forme correspondant de façon générale, mais avec des dimensions moindres, à la forme de la surface 8 de l'objet 5.
De même, il est souhaitable de donner à la plaque 14 une forme générale correspondant approximativement à la forme de la surface 8 de l'objet de manière que les écoulements de gaz soient guidés sur toute la surface 8. Etant donné les tolérances assez larges de positionnement de l'objet 5 par rapport à l'axe du tube 1, il est préférable que la plaque 14 possède des dimensions sensiblement supérieures (par exemple d'environ 10%) à celles de la surface 8, afin que le guidage convenable des écoulements de gaz sur la surface 8 soit assuré en toutes circonstances, quel que soit le positionnement de l'objet sous le tube.
Enfin, dans le cas où la surface 8 de l'objet est très allongée, il est souhaitable que les grands côtés de la plaque soient munis de bords tombés (non représentés) de manière à favoriser l'écoulement du gaz selon la grande dimension de la surface, afin qu'il parvienne jusqu'aux extrémités les plus éloignées de cette surface.
Toutes ces considérations font qu'en pratique il est souhaitable de pouvoir adapter au moins approximativement les caractéristiques dimensionnelles de la plaque 14 aux caractéristiques dimensionnelles de la surface 8 de l'objet à traiter. De ce fait, bien qu'il soit possible d'envisager la mise en place d'une plaque à géométrie variable, la complexité de cette solution lui fera préférer la constitution d'un lot de plaques différemment configurées et interchangeables, montées de façon amovible sur le manchon 13 (par exemple fixation par clipsage). Comme il va de soi et comme il résulte d'ailleurs déjà de ce qui précède, l'invention ne se limite nullement à ceux de ses modes d'application et de réalisation qui ont été plus particulièrement envisagés ; elle en embrasse, au contraire, toutes les variantes.

Claims

REVENDICATIONS
1. Dispositif de réglage thermique pour ajuster à une valeur souhaitée positive ou négative la température d'un élément, notamment d'un composant semi-conducteur en cours de test électrique dans des conditions thermiques variables, cet ajustement de température étant obtenu par soufflage, sur une face principale de l'élément, d'un gaz à la température souhaitée, le dispositif de réglage thermique comportant un conduit (1) d'amenée du gaz à la température appropriée et des moyens (9, 10) d'isolement de l'élément vis-à-vis de l'atmosphère ambiante, et en outre une plaque (14) de répartition du gaz sur toute la surface principale (8) de l'élément (5) exposée au gaz, cette plaque ayant des dimensions au moins égales à celles de la surface principale de l'élément et étant munie d'une ouverture (17) sensiblement coaxiale au conduit d'amenée du gaz, cette plaque étant disposée entre l'extrémité du tube (1) et la surface (8) de l'élément en s'étendant sensiblement parallèlement à ladite surface (8), caractérisé en ce que ladite plaque est associée à des moyens élastiques (15) qui autorisent son déplacement transversalement à la surface de l'élément et qui sont tarés de manière telle qu'en fonctionnement la plaque soit maintenue en équilibre à distance de la surface de l'élément sous l'action de l'effort de poussée des moyens élastiques et de la réaction dirigée en sens inverse due à la pression du gaz circulant au contact de la surface de l'élément.
2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il est conçu et réglé de telle sorte que l'écoulement -gazeux soit subsonique.
3. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que des doigts d'écartement (18) sont prévus sur la face inférieure de la plaque de manière à maintenir celle-ci écartée de la surface principale de l'élément en l'absence d'écoulement gazeux.
4. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que la plaque est constituée en un matériau thermique¬ ment isolant.
5. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'en outre la face de la plaque tournée vers l'élément est revêtue d'un matériau thermiquement isolant, notamment de mousse de silicone.
6. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que la plaque est mince, mais rigide.
7. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que la plaque est solidaire d'un manchon tubulaire ( 13) monté à libre coulissement sur l'extrémité du conduit d'amenée du gaz.
8. Dispositif selon la revendication 7, caractérisé en ce que les moyens élastiques précités comprennent un ressort de compression en hélice (15) extérieur au conduit d'amenée du gaz et interposé entre un point d'appui fixe (2) et le manchon (13).
10 9. Dispositif selon la revendication 7 ou 8, caractérisé en ce qu'au moins une butée (16) limite la course de coulissement du manchon (13) sur le conduit (1).
10. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que les dimensions de l'ouverture ( 17) pratiquée dans la l -5 plaque sont au plus égales aux dimensions correspondantes minimales de l'élément, notamment du plus petit élément susceptible d'être traité thermiquement.
1 1. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que l'ouverture (17) pratiquée dans la plaque possède une 0 forme correspondant approximativement, de façon générale, à la forme de la surface principale (8) de l'élément susceptible d'être régulé thermique¬ ment, mais avec des dimensions moindres.
12. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 1 1 , caractérisé en ce que la plaque (14) possède une forme correspondant 5 approximativement à la forme de la surface principale (8) de l'élément.
13. Dispositif selon la revendication 12, caractérisé en ce que les dimensions de la plaque (14) sont supérieures d'au moins 10% aux dimensions correspondantes de la surface principale (8) de l'élément.
14. Dispositif selon la revendication 12 ou 13, caractérisé en ° ce que, lorsque la surface principale (8) de l'élément est allongée (longueur relativement grande par rapport à la largeur), les grands côtés de la plaque (14) sont munis de bords tombés.
15. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 14, caractérisé en ce que la plaque (14) est supportée de façon amovible. 5
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS59121920A (ja) * 1982-12-28 1984-07-14 Toshiba Corp 面状対流型ヒ−タ

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