WO1990003560A3 - Fabrication de microstructures a face frontale en oxynitrure - Google Patents
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- G01L9/0042—Constructional details associated with semiconductive diaphragm sensors, e.g. etching, or constructional details of non-semiconductive diaphragms
Abstract
Le procédé décrit sert à produire une microstructure en oxynitrure à faible contrainte sur un substrat semiconducteur à des températures ne dépassant pas 500°C. Ledit procédé est particulièrement adapté pour fabriquer des capteurs en silicium intégrés, dans lesquels la microstrucutre en oxynitrure est formée sur un substrat dans des conditions n'affectant pas les éléments électroniques du circuit intégré.
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- 1989-09-18 WO PCT/EP1989/001082 patent/WO1990003560A2/fr unknown
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Also Published As
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