WO1989006320A1 - Molecular vacuum pump - Google Patents

Molecular vacuum pump Download PDF

Info

Publication number
WO1989006320A1
WO1989006320A1 PCT/SU1988/000001 SU8800001W WO8906320A1 WO 1989006320 A1 WO1989006320 A1 WO 1989006320A1 SU 8800001 W SU8800001 W SU 8800001W WO 8906320 A1 WO8906320 A1 WO 8906320A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
gas
hand
sτοροny
ροτορa
κοτορyχ
Prior art date
Application number
PCT/SU1988/000001
Other languages
French (fr)
Russian (ru)
Inventor
Valery Borisovich Sholokhov
Konstantin Evgenievich Demikhov
Vladimir Iliich Vikhrev
Vladimir Pavlovich Sergeev
Sergei Nikolaevich Sharshin
Original Assignee
Sholokhov Valery B
Demikhov Konstantin E
Vikhrev Vladimir I
Sergeev Vladimir P
Sharshin Sergei N
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sholokhov Valery B, Demikhov Konstantin E, Vikhrev Vladimir I, Sergeev Vladimir P, Sharshin Sergei N filed Critical Sholokhov Valery B
Priority to DE883891201T priority Critical patent/DE3891201T1/en
Priority to PCT/SU1988/000001 priority patent/WO1989006320A1/en
Priority to GB8917836A priority patent/GB2221255B/en
Priority to JP63501741A priority patent/JPH02502840A/en
Priority to HU881650A priority patent/HU201985B/en
Priority to FR888804896A priority patent/FR2630167B1/en
Priority to PL27196788A priority patent/PL271967A1/en
Publication of WO1989006320A1 publication Critical patent/WO1989006320A1/en
Priority to FI894157A priority patent/FI894157A0/en

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00Axial-flow pumps
    • F04D19/02Multi-stage pumps
    • F04D19/04Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/046Combinations of two or more different types of pumps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00Axial-flow pumps
    • F04D19/02Multi-stage pumps
    • F04D19/04Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042Turbomolecular vacuum pumps

Definitions

  • the main constituent ⁇ and the elements of the molecular vacuum are polystyrene and ⁇ , found in it from the ground.
  • ⁇ / kan ⁇ / / 15 15 15 15 15 15,,,,,,,. ⁇
  • the principle of the operation of a second-hand consumer electronics is excluded, which means that gas molecules are avoided
  • the white wedges between the participating countries increase the inverse flow of the G338, and the other means that there is no electricity in the kelts power supply.
  • Disposal of the invention in a basic embodiment of the invention is hereby obtained with the use of a small, non-volatile source of electricity, resulting in a loss of electricity.
  • the installation of the non-removable card has a labyrinthine seal between the ..
  • FIG. 3 part of the site in place of location: I
  • the best version of the invention is the invention of a vacant ⁇ power supply system. - 5 - ⁇ I (fig. ⁇ ), in the total absence of 2 on the other hand, by turning on the third one. With this delay 4 on the other hand, there is a 3-hour operating room 5
  • the grooved grooves 7 divide the rotary groove 3 into six sections of 8, 9, 10, 11, 12, 13, the length of the grooves increases to the extent that the pumping flow is not drained
  • the locus of the gas supply has a length greater than the length of section 8, which is connected to the suction gas, which is about 3 times.
  • the depth of the kolkoy kayakaz is 7 more - & - there is a participating part in ⁇ , 9,10, II, or 2, which is for green,
  • disk 23 was secured on the left side of the blade 24, which is located in the center. .. It may be used a ⁇ other well-known version of the performance of the handheld disks, when the free cardholders are free 24
  • the thickness of the portable parts 23 can be different and the total share is dependent on the actual quality of the product. Wrong:, _ ⁇ Vietnamese erie tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct tinct , ⁇ .
  • the peculiar pump pump is as follows;.: Reset.
  • the molecules of the exhaust gas are absent and suction

Abstract

A molecular vacuum pump comprises a hollow stator (1) in the axial opening (2) of which is mounted, with a gap, a rotor (3) the external cylindrical surface (5) of which is provided with at least one annular groove (7) and, on sections (8, 9, 10, 11, 12, 13) between the annular grooves (7), with slots (14) oriented along a screw line and having the depth gradually decreasing in the direction from the suction side to the compression side, whereas the depth of each annular groove (7) is no smaller than the minimum depth of the slots (14) of the neighboring area (8, 9, 10, 11, 12) of the rotor (3) on the suction side. The stator (1) is provided with blade disks (23) fixed to it, the number of which equals the number of the annular grooves (7). The blades (24) of the blade disks (23) are located inside the annular grooves (7) and the gaps between the surfaces of each blade disk (23) facing the surfaces of the corresponding annular groove (7), on the one hand, and said surfaces, on the other hand, are commensurable with the gap (4) between the rotor (3) and the stator (1).

Description

- 1 - - 1 -
Ϊ..ΟЛΕΚУЛЯΡΗЫл ΒΑΚУУΜΗЫ. ΚΑСΟС Οблзсτъ τеχниκи Ηасτοящее изοбρеτенκе οτнοοиτся κ ροτορны:.: κзсο- сзι: неοбъемнοгο выτесвения газοв ι-_ κεсзеτся нэсοсοв 5 для газοв с οсевым ποτοκοκ для сοздэния глубοκοгο вэ- κуумэ, з именнο ь.οлеκуляρнοгο вэκуумнοгο нэсοсз. Пρедшесτвующий уροвень τеχниκи Сοвρеменнοе ρазвиτие τеχниκи τρебуеτ бοльшοгο κοличесτва τиπορззмеροв κοлеκуляρныχ вэκуумныχ нэсο- 10 сοв, имеющиχ ρазличные οτκэчные χэρаκτеρисτиκи, в чэ- сτнοсτи, сτеπень сжаτия и бысτροτу дейсτвия.Ϊ..ΟЛΕΚУЛЯΡΗЫл ΒΑΚУУΜΗЫ. ΚΑSΟS Οblzsτ τeχniκi Ηasτοyaschee izοbρeτenκe οτnοοiτsya κ ροτορny:.: Κzsο- szι: neοbemnοgο vyτesveniya gazοv ι-_ κεszeτsya nesοsοv 5 for gazοv with οsevym ποτοκοκ for sοzdeniya glubοκοgο ve- κuume, of imennο .οleκulyaρnοgο veκuumnοgο nesοsz. Pρedshesτvuyuschy uροven τeχniκi Sοvρemennοe ρazviτie τeχniκi τρebueτ bοlshοgο κοlichesτva τiπορzzmeροv κοleκulyaρnyχ veκuumnyχ nesο- 10 sοv, imeyuschiχ ρazlichnye οτκechnye χeρaκτeρisτiκi in che- sτnοsτi, sτeπen szhaτiya and bysτροτu deysτviya.
Οοнοвными κοнсτρуκτивныϊν'И элеменτэκи мοлеκуляρ- нοгο ваκуумнοгο нзсοса являюτся ποлыπ сτзτορ и ροτορ, усτзнοвленный в нем с мзлыι. зазοροι.:, πρеπяτсτвующиι/ 15 πеρеτеκвнию гэзэ в сτοροну всэсывэния. ϊιρи эюк ι,ежду ρθΤθρθΜ И СΤЗΤΟрΟΜ θбρЭЗСΒЭΗЫ ΚЗΗЭЛЫ 0ΤΚ8ЧΚИ гэзэ, ρасποлοженные πο винτοвοй линии. Пρинπиπ дейсτвия τэ- κοгο κοлеκуляρнοгο взκуумκοгο нзсοсэ зеκлючаеτся в τοм, чτο мοлеκулы газз πρи οτοлκнοвении с вρэщзющейсяThe main constituent ν and the elements of the molecular vacuum are polystyrene and ροτορ, found in it from the ground. Gag:: π / е π / / / 15 15 15 15 15 15,,,,,,. ϊιρи eyuk ι, ρθΤθρθΜ Τ Τ Τ Τ ΤΟ ΤΟ Η Η Η ΤΚ ΤΚ ΤΚ ΤΚ ΤΚ ΤΚ ΤΚ ΤΚ з τ вин вин вин τ τ τ τ τ τ вин. The principle of the operation of a second-hand consumer electronics is excluded, which means that gas molecules are avoided
20 ποвеρχнοοτыο ροτορа вοвлеκэюτся в дзижение πс κεнεлзν οτ вχοдκοгο κ выχοднοму οτвеρστию, το есτь сο сτοροнь: всэсывэния гэзэ с дззлениеκ гэзз Ρу в еτοροну нэгнеτа- нκя гэзэ с дэвлением Ρ^, πρиοбρеτзя τэнгенπиэльную сο- сτезляющую сκοροсτи в нэπρэвленин вρэщения ροτορз.20 ποveρ χ nοοτyο ροτορa vοvleκeyuτsya in dzizhenie πs κεnεlzν οτ vχοdκοgο κ vyχοdnοmu οτveρστiyu, το esτ sο sτοροn: vsesyveniya geze with dzzlenieκ gezz py in eτοροnu negneτa- nκya geze with devleniem Ρ ^, πρiοbρeτzya τengenπielnuyu sο- sτezlyayuschuyu sκοροsτi in neπρevlenin vρescheniya ροτορz.
25 Сτеπень сжзτия гэзз τаκοгο мοлеκуляρнοгο вэκуумнег-: нэсοсз зависвτ οτ προτяженнοсτπ κэнзлοз οτκачκи гэзε , πο κοτορыκ προχοдиτ οτκэчивэемыл ηοτοκ газз, и сοοτнο- шения πлοщэдей προχοднοгο сечения κэнэлэ нэ егο вχοде и выχοде, сκοροсτи вρащения ροτορа, величины зазορз25 Sτeπen szhzτiya gezz τaκοgο mοleκulyaρnοgο veκuumneg-: nesοsz zavisvτ οτ προτyazhennοsτπ κenzlοz οτκachκi gezε, πο κοτορyκ προχοdiτ οτκechiveemyl ηοτοκ Gazza and sοοτnο- sheniya πlοschedey προχοdnοgο sectional κenele ne egο vχοde and vyχοde, sκοροsτi vρascheniya ροτορa, magnitude zazορz
30 между нзρужнοй ποвеρχнοсτью ροτορа и внуτρенней ποвеρ- χнοсτью сτзτορз. Пρи эτοм в нэπρавлениκ, οбρэτнοι/ οτ- κэчивэемοму ποτοκу гззэ, προχοдиτ οбρэτны: ποτοκ ρэс- сеивэния гэза зэ счеτ τοгο, чτο κвнэл οτκэчκи гэзε οτ- κρыτ с οбеиχ сτοροн и чеι бοльше ρэзнζпэ дззлени.: ?-30 between the external part of the rotor and the internal part of the rotor. Pρi eτοm in neπρavleniκ, οbρeτnοι / οτ- κechiveemοmu ποτοκu gzze, προχοdiτ οbρeτny: ποτοκ ρes- seiveniya gaize ze scheτ τοgο, chτο κvnel οτκechκi gezε οτ- κρyτ with οbeiχ sτοροn and cheι bοlshe ρeznζpe dzzleni .: -?
35 ι. Ρ , τем бοльше ποτοκ ρэссеивзκия гззз.35 ι. Ρ, then more of the essay of the GSS.
Κззесτеκ νοлеκуляρнκ;: вэκуумны.; нэссс ευ ,Α, 58035С), сοдеρжащ::; ποь:;: сτεюρ, в οсевс:.: οτзеροιπ:: κοτοροгο усτэнοвлен с зэзοροι.:, πρеπяτсτзу'.с:ζ;::- ы - 2 - κзнию гэзэ сο сτοροны всэсывзнκя з сτοροκу нεгκеτδκκя , ροτορ , на нэρужнοй ποвеρχнοсτκ κοτοροгο выποлκенκ πз- зы , ρэсποлοженные πο винτοвοй лκниκ , в виде гκοгοзе-Κ ес τ τ τ ν;;:::::::; Ness ευ, Α, 58035С), containing ::; :::: τεε,, в, евевевев::...:.: οτ :: :: :: :: :: :: ::: κ τ ус ус τ ус ус ус лен ус с ус с э зээээ :э::::::::: :ρееесс....сссссссс ζ: ζ; :: ::: :: - s - 2 - In the early days of the Gesu, the all-sufficiency due to the quick load, the drive, is on the outside, the drive is out of focus,
5 χοднοй винτοвοи нэρезκи , οбρззующие с вκуτρенне : πκ- линдρичесκοй ποвеρχнοсτью сτаτορэ κэнзлы οτκэчκκ га- зз , προχοднοе сечение κοτορыχ уκеньшэеτся в нэπρзв- лении сο сτοροны всэсывэния гэзз в сτοροну нзгнеτзнκя. Пеρешчκи между двумя сοседними πззамκ иκеюτ шиρκну ,5 χοdnοy vinτοvοi neρezκi, οbρzzuyuschie with vκuτρenne: πκ- lindρichesκοy ποveρχnοsτyu sτaτορe κenzly οτκechκκ gas-ss, προχοdnοe section κοτορyχ uκensheeτsya in neπρzv- lenii sο sτοροny vsesyveniya gezz in sτοροnu nzgneτznκya. The intersections between the two adjacent locks hike wide,
10 увеличивэющугося в нэπρэвлении οτκачκи , и нэ шиροκиχ κοнπаχ πеρешчеκ выποлнены дοποлниτельные πэзы, πзρзл- лельные οснοвньш , зэκρыгые сο сτсροны всзсывзнκя гззз πеρегοροдκзш. и οτκρыτые сο сτοροны нзгнеτзнκя гэзз . Τэκοе κοнсτρуκτивнοе выποлнение ι/οлеκуляρнοгο взκууг.'-10 increasing in non-disruption of downloads, and not in large part of the craps, in addition to that, additional complements were performed, which are completely excluded. and short-circuiting sites of the not-so-hot gazz. Efficient performance ι / olekulyarnogo vzugug .'-
15 нοгο нзсοса ποзвοляеτ у...еныπиτь οбρаτныζ πсτοκ ρэссе- ивзния газз зэ счеτ егο τуρбулиззπκκ κ задеρ^κκ в дο- ποлниτельныχ πэзэχ.15 nzsessa benefit will ... to get free downloads of gas from the gas station, due to it there is an additional supply of electricity.
Οднэκο нзличие πеρегοροдοκ , πеρеκρывэюιдκχ дοποл- нκτельные πззы сο сτοροны всзсывэния , в свοю οчеρедь ,One difference is that it is inconsequential, that is, it is convenient to re-instate, in particular,
2С ведеτ κ увелκченκю сбρзгκοгο ποгοκз ρзссеκвэнκя гззз πρκ сτοлκнοвении πρяκοгο οτκзчивзеκοгο ποτοκз гззз с ЭΤИΪ/Й πеρегοροдκэш.. йзвесτен τэκже ь:οлеκуляρныι: ваκууιгньώ нзсοс ( зυ , Α , 338684-) , сοдеρжэщκι: ποлый сτзτсρ , з οсевοϊ'2C vedeτ κ uvelκchenκyu sbρzgκοgο ποgοκz ρzsseκvenκya gzzz πρκ sτοlκnοvenii πρyaκοgο οτκzchivzeκοgο ποτοκz gzzz with EΤIΪ / Q .. πeρegοροdκesh yzvesτen τeκzhe s: οleκulyaρnyι: vaκuuιgnώ nzsοs (zυ, Α, 338684-), sοdeρzheschκι: ποly sτzτsρ, s οsevοϊ '
25 οτвеρсτии κοτοροгο усτанοвлен с зэзοροι: , πρеπяτсτзу _;•- щиь. πеρеτеκэнию гэзз сο сτοροны нзгнеτзния гззε з сτοροну всэсывзния, ροτορ , нз нэρужнοй шϊлиндρячесκο : ποвеρχнοсτκ κοτοροгο выποлненэ πο υеныπел ь:еρе οднз κοльπевэя κзнавκэ , э нз учэсτκэχ ροτορэ κежду κοлыде-25 In return, it is installed from the factory:, • • • - cabbage. πeρeτeκeniyu gezz sο sτοροny nzgneτzniya gzzε of sτοροnu vsesyvzniya, ροτορ, NC neρuzhnοy shϊlindρyachesκο: ποveρχnοsτκ κοτοροgο vyποlnene πο υenyπel s: eρe οdnz κοlπeveya κznavκe, e NC uchesτκeχ ροτορe κezhdu κοlyde-
30 вοй κэнэвκοй - πэзы, ρзсποлοженные πο вκнτοвοй линиκ , πлοщздь κοτορыχ в сеченκяχ, πеρπендκκуляρныχ зκκτοвοι: линии , уκеньшэеτся οτ учасτκа κ учзсτκу в нεπρэзленκκ с ο сτοροны всзсывэнκя гэза в сτοροну нзгнеτзнκя. Ηε всеχ учзсτκεχ ροτορε глубκнз πэзοв οдκнзκοзз : ρэзκε30 vοy κenevκοy - πezy, ρzsποlοzhennye πο vκnτοvοy liniκ, πlοschzd κοτορyχ in sechenκyaχ, πeρπendκκulyaρnyχ zκκτοvοι: line uκensheeτsya οτ uchasτκa κ uchzsτκu in nεπρezlenκκ with ο sτοροny vszsyvenκya gaize in sτοροnu nzgneτznκya. Ηε all uchsstκεχ ροτορε deep-seated paranoia: phrased
35 глубине κοльπевыχ κзнавοκ между учзсτκзι.':. ροτсρе . Οτ учзсτκε κ учзсτκу у_.:еκы_ϊ8еτся ~ι~~ζъ υιиρκκε πεззι . Ггг зτοι длκнз ЭΤΙΓΧ учесτκοз , шиρинε κзκззοκ κеζ~у н::ι*:: , κοнсτρуκτизные οсοθеκнοστκ κзждοгс гз учεсτκгз , τс - 3 - есτь углы ποдъема винτοвыχ линκй и προφκли πэзοв, мοгуτ быτь ρэзличными, οнκ οπρеделяюτся ρэсчеτным πу- τем в зэвисимοστи οτ τρебуемыχ οτκэчныχ χэρэκτеρисτκκ35 depths of the most famous learning between the parties. ':. ροτсре. Οτ uchzsτκε κ uchzsτκu in eκy_ϊ8eτsya _ .: ~ ι ~~ ζ υιiρκκε πεzzι. GGG zτοι dlκnz EΤΙΓΧ uchesτκοz, shiρinε κzκzzοκ κeζ ~ y n :: ι * ::, κοnsτρuκτiznye οsοθeκnοστκ κzzhdοgs rs uchεsτκgz, Tc - 3 - There are various angles for screw and slot access, which can be different, it is not necessary to disconnect it in any way due to the fact that it is inaccessible
5 мοлеκуляρнοгο вэκуумнοгο нэсοсэ.5 molecular extravaganza.
Κοльπевые κзневκи между учэсτκэмκ ροτορэ увели- чивэюτ οбρэτный ποτοκ ρэссеивэния Г338, Τ8Κ κэκ чвсτь мοлеκул гэзз в κοльцевοй κэнэвκе τеρяеτ κинеτичесκую энеρгию, πρиοбρеτенную πρи движении вдοль πэзэ ροτορзThe white wedges between the participating countries increase the inverse flow of the G338, and the other means that there is no electricity in the kelts power supply.
10 нз учэсгκе, ρэсποлοженнοм πеρед κοльцевοй κэнэвκοй, το есτь нэ учзсτκе, сοседнем с эτοй κοльπевοй κэнзв-10 NZ UE UZSGKE, RESPONSIBLE FORWARD TO THE KOLECA KANEVSKY, THAT IS NOT NON PARTICIPATION, NEIGHBOR WITH THIS KOLPEV KENZEV-
ΚΟЙ И ρЗСПΟЛΟЖеΗΗΟΙ.. СΟ СΤθρθΗЫ ΒСЭСЫΒЗΗΕЯ Г838. Ηэлκ- чие οбρзτнοгο ποτοκэ ρассеивзния гэзэ πρκвοдκτ κ сни- жению сτеπени сжэτия гззэ и бысτροτы дейсτвия мοлеκу-ΚΟTH AND ρЗПΟЛΟЖЕΗΗΟΙ .. СΟ СΤθρθΗЫ ΒСЕСЫΒЗΗΕЯ Г838. The small bypass of the GESE leads to a decrease in the degree of compression of the GZE and the speed of the action of the milk
15 ляρнοгο вэκуумнοгο нзсοсэ .15 summer extravaganza.
Ρзсκρыτие изοбρеτения Β οснοву изοбρеτения ποлοжеκэ зздэче ссздзτь мοлеκуляρный вэκуумный нэсοс , в κοτοροм зэ счеτ сκи- жения οбρзτнοгο ποτοκэ ρэссеивзния οτκзчивэемοгο г&-Disposal of the invention in a basic embodiment of the invention is hereby obtained with the use of a small, non-volatile source of electricity, resulting in a loss of electricity.
20 зз οбесπечизэлοсь бы ποвышенι;е сτеπени сжэτκя гэзэ и бысτροτы дейсτвия мοлеκуляρнοгο вэκуумнοгο нзсοсэ без увеличения егο гзбэρиτοв.20 zz would have been improved; it would have been unable to increase the rate of the geeze and the speed of the action of the molecular non-intensive without increasing its gzberites.
Пοсτзвленнзя зздэчэ ρешенэ τем , чτс мοлеκуляρный вэκуумный нэсοс , сοдеρжзщиκ ποлыιι сτэτсρ , в οсевοг сτ-Due to the fact that there is a molecular vacuum supply, the main source of electricity is in the southern part of the country.
25 веρсτии κοτοροгο усτэнοвлен с зэзοροι.: , πρеπяτсτвующиι,' πеρеτеκэншο гэзэ сο сτοροны нэгнеτэния гезε в сτοροκу всэсывэния , ροτορ , нэ нэρужκοй πκлκндρκчесκοГ: πсвеρχ- нοсτи κοτοροгο выποлненэ πο меныπей меρе οднз κοльπе- вая κэнэвκэ , э нз учэсτκэχ между κοлыιевοκ κанавκοй -25 veρsτii κοτοροgο usτenοvlen with zezοροι .:, πρeπyaτsτvuyuschiι 'πeρeτeκenshο geze sο sτοροny negneτeniya gezε in sτοροκu vsesyveniya, ροτορ, ne neρuzhκοy πκlκndρκchesκοG: πsveρχ- nοsτi κοτοροgο vyποlnene πο menyπey meρe οdnz κοlπe- κenevκe Vai, e NC uchesτκeχ between κοlyιevοκ κanavκοy -
30 πз зы , ρэсποлοженные πο винτοвοй линиκ , πлοщэдь κοτορыχ в сеченκяχ, πеρπендиκуляρныχ винτοвοй линш: , уменыиа- еτся οτ учзсτκэ κ учасτκу в нэπρэвленκи сο сτοροны всзсывэния гэзэ в сτοροну нэгнеτэния , с οглзснο κзοбρе- τеκию , сοдеρжиτ πο κοличесτву κοльцевыχ κзневοκ лοπэ-30 πz PS, ρesποlοzhennye πο vinτοvοy liniκ, πlοsched κοτορyχ in sechenκyaχ, πeρπendiκulyaρnyχ vinτοvοy Lingshui:, umenyia- eτsya οτ uchzsτκe κ uchasτκu in neπρevlenκi sο sτοροny vszsyveniya geze in sτοροnu negneτeniya with οglzsnο κzοbρe- τeκiyu, sοdeρzhiτ πο κοlichesτvu κοltsevyχ κznevοκ lοπe-
35 τ οчные дисκи , ззκρеπленные нэ сτэτορе , лοπэτκ:; κοτορыχ ρзсποлοжены в κοлъцевыχ κεнэвκεχ ποд углοι»: κ πлοсκοс- τи , πеρπендκκуляρнοй οсκ ροτορэ , κ нэπρзвлень: προτκзο- ποлοжнο наπρавленΕϊ-: ΠЗ ЗΟБ , πρκ зτсι: глубκκа ΠЗ БСΒ нε _ ц. . κэждοм учэсτκе πлавнο уменыпаеτся в нзπρзвлении сο сτοροны ΒСЭСЫΒ8ΗИ газз в сτοροну нэгнеτэκия И ΚΕΗΕ- мзльнэя глубинз κэждοй κοльπевοй κэнзвκи не меньше35 τ e-disks, not partitioned, laptop :; They are in good condition: “quick, quick, easy to use,” _ c. . Each part is smoothly diminished in the wake of the SESYΒ8Η and gas stations in the state of neglect and ΚΕΗΕ - free depths of every smaller kenzvy
5 минимэльнοй глубины πазοв сοседнегο с ней учзсτκа ρο- τορз , ρасποлοженнοгο сο сτοροны всэсывзния гззэ , з диамеτρ οτвеρсτия κзждοгο лοπзτοчнοгο дисκэ и егο τοлщинз τэκοвы, чτο зэзορы между ποвеρχнοсτями лοπэ- τοчнοгο дисκз , οбρащенными κ ποвеρχнοсτям сοοτвеτсτ-5 minimelnοy depth πazοv sοsednegο it uchzsτκa ρο- τορz, ρasποlοzhennοgο sο sτοροny vsesyvzniya gzze, s diameτρ οτveρsτiya κzzhdοgο lοπzτοchnοgο disκe and egο τοlschinz τeκοvy, chτο zezορy between ποveρχnοsτyami lοπe- τοchnοgο disκz, οbρaschennymi κ ποveρχnοsτyam sοοτveτsτ-
10 вующей κοльцевοй κзнавκи , и эτими ηοвеρχнοсгяыи сοиз- меρимы с зазοροκ между ροτοροм и сτзτοροм.10 knowing ring tricks, and these are completely compatible with the gap between the terminal and the terminal.
Усτβнοвκа нз сτэгορе лοπзτοчныχ днсκοв сοздэеτ лабиρинτнοе уπлοτнение между κροмκэ..:и лοπаτοκ и πο- веρχнοсτями κοльπевыχ κэнэвοκ ροτορэ , в κοτορыχ οκι:The installation of the non-removable card has a labyrinthine seal between the ..
15 ρэсποлοжены. Эτο лэбκρинτнοе уπлοτκенκе уκеньπэеτ οθ- ρзτный ποτοκ ρзссеивэния гэзэ . Зτοτ οбρэτный ποτοκ ρзссеивэнйя гззэ умевыπэеτся τэκже зз счеτ τοгс , чτο лοπзτκи лοπаτοчнοгο дисκэ нэκлοнены в сτοροну , προτи- вοποлοжную нзπρзвлению винτοвοй линκи πззοв сτэτορз .15 are available. This easy-to-use and easy-to-use low-frequency discharge of the geze. This negative result is that the user is able to do so, and that the result is that the patient is impaired, the patient is not resistant to
20 Τэκοе κοнсτρуκτивнοе выποлκение мοлеκуляρκοгο вэκуум- нοгο нзсοсз πρи οднοм лοπэτοчнοм дисκе , ззκρеπлеκκοι: нэ сτзτορе , ποзвοляеτ ποвысиτь сτеπеκь ензτия гзза πο меньшей меρе в πяτь ρэз , и .следοвэτельнс , увеличиτь бысτροτу дейсτвия нзсοсз .20 Τeκοe κοnsτρuκτivnοe vyποlκenie mοleκulyaρκοgο veκuum- nοgο nzsοsz πρi οdnοm lοπeτοchnοm disκe, zzκρeπleκκοι: ne sτzτορe, ποzvοlyaeτ ποvysiτ sτeπeκ enzτiya gzza πο at meρe in πyaτ ρez and .sledοveτelns, uvelichiτ bysτροτu deysτviya nzsοsz.
25 Κρзτκοе οπисэние чеρτежей25 Quick Start Drawing
3 дзльнейшем изοбρеτение ποясняеτся сπисэκием κοнκρеτнοгο взρизнτэ егο выποлнения и πρилεгземымκ чеρτежэми , нэ κοτορыχ: φиг.Ι изοбρзжэеτ οбщий вид мοлеκуляρнοгο ваκуум-3 In the following, the invention is explained with a delay in the performance of the device and the use of earth, but does not display the video.
30 нοгο нэсοсз (προдοльный ρззρез) , сοглзснс изοбρеτению; φиг.2 - ροτορ мοлеκуляρнοгο взκуумнсгο нэсοсз с ПЭ38ΜИ и κэнзвκэми , ρзсποлοженными κа егο наρужнοй ποвеρχнοсτи часτичный προдοльный ρэзρез) , сοгласнο изοбρеτению;30 nesogo nessesz (pruzodnomu rzzzrez), according to the invention; φig.2 - ροτορ mοleκulyaρnοgο vzκuumnsgο nesοsz with PE38ΜI and κenzvκemi, ρzsποlοzhennymi κa egο naρuzhnοy ποveρ χ nοsτi chasτichny προdοlny ρezρez) sοglasnο izοbρeτeniyu;
35 φиг.З - чэсτь ροτορэ в месτе ρасποлοκен:_я πэзз35 FIG. 3 - part of the site in place of location: I
Сρэзρез .нэ .φΕГ.2 в нэπρэвлеκι.и лини;: Ш-Ш) .Srez. Ne.
Лучπгий ΒЗΡИЗΗΤ οсνщесτвдения изοбρеτенз.я Μοлеκуляρный вэκуумныζ нэсοс сοдеρжиτ ποлы сτэ- - 5 - τορ I (φиг. Ι) , в οсевοм οτвеρсτия 2 κοτοροгο усτанο- влея ροτορ 3. Пρи эτοм зазορ 4 меκду наρ ^ο:: цилин- дачесκοм ποвеρχнοсτью 5 ροτορа 3 ζ зяуτρеяяей цилин-The best version of the invention is the invention of a vacant ζ power supply system. - 5 - τ I (fig. Ι), in the total absence of 2 on the other hand, by turning on the third one. With this delay 4 on the other hand, there is a 3-hour operating room 5
5 дачесκοй ποвеρχнοсτью β сτаτορа I дοсτаτοчнο мал; κаκ извесτяο, οн сοсτавляеτ οτ 0, 15 дο 0, 03 ш и сο- здаеτ сρавняτельяο бοлыποе сοπροτивлеяие ποτοκу газа , το есτь πρеπяτсτвуеτ πеρеτеκанию газа в сτοροяу ν (на чеρτежаχ οбοзначена сτρелκοй) всасывания газа .5 cottage property β of the station I is quite small; As it is known, it supplies 0, 15 to 0, 03 w and it is compatible with the exhaust gas, it is gas-free
10 Ηа наρуанοй цилиядачесκοй ποвеρχнοсτπ 5 (φиг. 1,2) ροτορа 3 выποлнена πο меяыηеζ меρе οдна κοльцевая κа- навκа. Β οπясываемοм ваρиаяτе τаκиχ κοльцевκχ κанавοκ 7 πяτь. Βсе κοльцевые κаяавκи 7 имеюτ οдаяаκοвую ши- ρяну а . Οднаκο мοжнο выποлниτь иχ ~ ρазлϋчяοй ши-10 On the other hand, on the other hand, 5 (Fig. 1, 2) section 3 was performed on the base ring. Ываем We explain the variation of the Koltsev Canal 7 five. All ring kayavki 7 have a sacrifice and ayana a. However, you can perform χ ~ different
15 ρины.15 ρins.
Κοльцевые κанавκи 7 деляτ ροτορ 3 на шесτь учасτ- κοв 8, 9, 10, 11, 12, 13, длина κοτορыχ увелсчизаеτся в нэ- πρавленив οτκачκи сο сτοροны ν всасывашзя газа в сτοροну Ν (на чеρτежаχ οбοзначена сτρелκοй) нагне-The grooved grooves 7 divide the rotary groove 3 into six sections of 8, 9, 10, 11, 12, 13, the length of the grooves increases to the extent that the pumping flow is not drained
20 τания. Учасτοκ 13, ρасποлοκенный сο сτοροны κ ΗЭΓ- неτания газа , имееτ длину бοльше длины учасτκа 8, ρа- сποлοκеянοгο сο сτοροны ν всасывания газа , πρимеρ- нο в 3 ρаза .20 tania. Part 13, the locus of the gas supply, has a length greater than the length of section 8, which is connected to the suction gas, which is about 3 times.
Βз наρуκнοй ποвеρχнοсτи 5 ροτορа 3 на учзсτκаχFrom outside of the 5th district 3 to the campus
25 8, 9, 10, 11, 12, 13 между κοльцевымι; κаяэвκамн 7 выποлне- ны πазы 14, ρасποлοженные πο вияτοвοй линш в виде мяοгοзаχοдяοζ наρезκи πρямοугοльнοгο дροφялБ. 3 οιшсы- ваемοм ваρяаяτе κοличесτвο πазοв 14 - двэддаτь чеτыρе . Пρя эτοм угοл ψ (φиг.2) ποдъема винτοзοй ЛИЯИΙΪ , ΒДΟЛЬ25 8, 9, 10, 11, 12, 13 between the kolcevs; Kayevkamn 7 completed steps 14, located at the front of the lynch in the form of a mnogoazhedyaza ryazyka rypuguglouglyadly drubufyalB. 3 There are a number of variations of 14 - twelve. For this, the angle ψ (Fig. 2) of the screw terminal LIIIAΙΪ
30 κοτοροй гасποлοаены ηазы 14, οдинаκοв для всеχ учасτ- κοв 8,9, 10, 11, 12, 13. 3 οπисываемοм ваρианτе οн ρавея πρимеρнο 25°. Угοл ι мοεеτ быτь ρазличяым и сοсτа- вляеτ οτ 5 дο 50°, κаκ и з дρугиχ нзвесτныχ κοнсτρуκ- цияχ мοлеκуляρныχ ваκуумныχ насοсοв. ΙΙаρина ъ (φиг . З)On the 30th, there are a total of 14 rooms, the same for all participants at 8.9, 10, 11, 12, 13. The 3 described variant is at the end of 25 °. The angle is different and makes up to 5 to 50 °, as well as for other low-pressure vacuum pumps. Karina b (φig. W)
35 ηазοв 14 в сеченияχ, πеρдеядиκуляρныχ вянτοвο:; линяι: , здοль κοτοροй θ ζ ρасποлοκеяы, на Εзеχ учεсτκаχ 8 (φнг. ,2) , 9, 10, II, 2, 13, το есτь πο зсе:*: длϊ'.не ρсτορа 3, οдннаκοза . ϊии янэ ъ πззοз 14 ι.:οεег быτь :: ρззш.ч- - ο - яοζ, κаκ в дρугвχ иззесτяыχ κοнсτρуκπдяχ мοдег.уяяρяыχ ваκуумяыχ насοсοв. 3 οιшсываемο:.. заρ анτе жρина ъ πазοв 14 πρимеρнο ρавяа шиρине а κοяьцевыχ κанавοκ35 Chapter 14 in section χ, front door:; line VI:, which is located on the left side of the road, at the next stage 8 (fng., 2), 9, 10, II, 2, 13, there is only one: *: for no reason 3, but for one ϊii yane π з 14 14 14 14 14 14 14: - ο - yaοζ, κaκ in dρugvχ izzesτyayχ κοnsτρuκπdyaχ mοdeg.uyayaρyayχ vaκuumyayχ nasοsοv. 3 awesome: .. for the Anthropology at the time of 14th date of the first and foremost channel of the Canal
5 7. ΙСοличесτвο πазοв 14, ρавнοе κοличесτву заχοдοв вияτοвοй яаρезκπ, мοгеτ οыτь ρазличнш, κаκ и в дρу- ΓΕΧ ззвесτныχ κοнсτρуκцияχ мοлеκуляρнκχ ваκуумяыχ на- сοсοв; οнο завйсиτ οτ угла ψ ποдьеш винτοвοй линиζ, здοль κοτοροй
Figure imgf000008_0001
πазы 14, шиρины ъ эτиχ
5 7. In case of a loss of 14, the same amount of expenses as possible, it may be different, and in other cases, there is a risk of loss of interest; It depends on the angle ψ to the helix ζ, the door is
Figure imgf000008_0001
steps 14, widths for these
ΙС πазοв 14, диамеτρа ροτορа 3. Гяубнна ъ (φиг.З) πа- зοв 14 уменышеτся οτ учасτκа κ учасτκу в яадρавлеяиζ сο сτοροны ν всасывания газа κ сτοροяе И нагяε- τаяия газа, το есτь на κаκдыχ дзуχ сοседниχ учасτκаχ δ (φиг.1,2) ш 3, 3 и ΙС, 10 н II, II и 12, 12 ζ 13With a step of 14, the diameter of the discharge 3. The gas discharge (Fig. 3) will decrease by 14, and the participation in the gas is inaccessible to gas due to gas flow. 1.2) w 3, 3 and ΙС, 10 n II, II and 12, 12 ζ 13
15 глубияа Ъ πазοв 14 яа κавдοы из учасτκοв 8,3,10,1 , 12, ρасποлο&еяныχ сο сτοροяы ν всасывания газа, бοльше глубины πазοз 14,
Figure imgf000008_0002
на сοοτ- веτсτвущем сοседнем с яим учасζгκе 9,10,11,12 ИЛΕ 13, ρасποлοженнοм сο сτοροны Ν нагяеτания газа. Гду и-
15 depths at the end of the 14th; on the other hand, from sections 8, 3, 10, 1, 12, there are large gas suction rates, more than the depth of 14,
Figure imgf000008_0002
on the neighboring seat with the gas station on October 9, 10, 11, 12, 13, it is a convenient gas pumping unit. Where and
20 на Ъ πазοв 14 ροτορа 3 яа κандοм из учасτκοв 8,3, 10,11,12,13 πлавнο умеиываеτея οτ маκсимальнοл дο ми- нимальяοй зелπчины в яаπρзвяении οτκачκζ.20 at the end of October 14th on the 3rd stage from the participants of the 8.3, 10,11,12,13 smoothly knowing that there is a maximum of minimal greens in the process of downloading.
Пρаκτ_ичесκи дяο 15 κаждοгο из πазοз 14, зыποяяея- ныχ на всеχ учасτκаχ 8,3,10,11,12,13 ροτορа 3, лежиτAlmost 15 of each of 14, all of which are open for all areas 8,3,10,11,12,13 of group 3, lie
25 на οднοй κοничесκοй ποзеρχяοсτи. Пρπ еτοг.: глубияэ е κаκдοй из κοльцевыχ κаназοκ 7 дοяκна быτь не менее мвяишльнοй глубины щϊη πазοв 14 сοседнегο с яеχ сοοτзеτсτвеннο учасτκа 8,9,10, II ЯЛΕ 12, ρасποлοεен- яοгο сο сτοροны ν всасывания газа. Днο 16 (φиг.2)25 at the other end of the day. Pρπ eτοg .: glubiyae e κaκdοy of κοltsevyχ κanazοκ 7 dοyaκna byτ least mvyaishlnοy depth ϊ η ni πazοv 14 sοsednegο with yaeχ sοοτzeτsτvennο uchasτκa 8,9,10, II YALΕ 12 ρasποlοεen- yaοgο sο sτοροny ν suction gas. Day 16 (Fig. 2)
30 κаадοй κοльцевοζ κаяазκи 7 леκζτ яа цижндρичесκοζ ποзеρχяοсτИ30 kaadoy koltsegoza kazaski 7 lekzta ya tsizhndricheskoz ζ at a loss
Β οπисаннοм заρианτе глубияа е κаικдοχ κοльце- зοй κаяавκζ 7 бοльше --&- еοοτзеτсτзующегο учасτ- κа δ, 9,10, II, илζ 2 дρимеρяο на зелζчину, ρазяую шπ-Β According to the written word, the depth of the kolkoy kayakaz is 7 more - & - there is a participating part in δ, 9,10, II, or 2, which is for green,
35 ρйне а зτοй κοяьцевοζ κаяавκи 7. дяο 15 (φπг.Ι) κаκдοгο ζз πазοз Ι-τ, ρасποяοκвя- ныχ яа οдяοιл нз учзсτκοз 8,3,10, 1, 2 ил.~ 13, леаиτ на дοзеρχяοсτζ усечеяяыχ κοнусοз, дπа^есρ :.:еньζг.χ οс- - 7 - нοваний κοτορыχ οбρащен в сτοροну ν зсасызанζя гэ- за , πρи эτοм диамеτρы меныиπχ οснοзаниχ κοнусοв на учасτκаχ 9, 10, 11, 12, 13 бοлыие диамеτροз бοлыш:χ οснο-35 international price 7. 7. 15 (π г Ι Ι) κ κ τ τ τ τ τ τ τ τ τ τ τ τ τ τ τ τ τ τ τ 8 8 8 8 8 8 8 8 8 8 8 8 ,3 8 8 8. ~ 13, leyite on dozheksti truncating truncated cones, dpa ^ esr:.: Enzg.χ os- - 7 - novations of the community have been converted to the territory of the Commonwealth of Independent States, and with this, the diameters of the menus are greater than the accidents at 9, 10, 11, 12, 13
5 ваний усеченныχ κοнусοв сοοτзеτсτзеннο на учаеτκаχ 8, 9, 10, 11, 12. Τаκ κаκ днοм 16 (φиг . 2 ) κοльцезοι'ι κз- навκн 7 являеτся цилиндρичесκая ποвеρχнοсτь с диамеτ- ροм не меньше диамеτρа бοльшегο οснοзаяия усечеяяοгο κοяуса , οбρазοваннοгο днοм 15 (φиг. Ι) πаза 14 на κа κ-5 vany usechennyχ κοnusοv sοοτzeτsτzennο on uchaeτκaχ 8, 9, 10, 11, 12. Τaκ κaκ dnοm 16 (φig. 2) κοltsezοι'ι κz- navκn 7 yavlyaeτsya tsilindρichesκaya ποveρχnοsτ with diameτ- ροm not less diameτρa bοlshegο οsnοzayaiya usecheyayaοgο κοyausa, οbρazοvannοgο dnοm 15 (игig. Ι) πase 14 on κа κ-
10 дοм πз учасτκοв 8, 9, 10, 11, 12, το κа κдая κοльцевая κа- навκа 7 οбρазуеτ на κοяичесκοδ ποзеρχяοсτи дна Ιδ πа- за 14 ροτορа 3, το есτь на дне 15 эτοгο πа за 14, уг- лу блеяие . Чем бοльше шиρина а π глубияз е κοль- цевοй κанавκи 7 , τем бοлыπе эτο углу бление .10 before the participation of 8, 9, 10, 11, 12, so that every ring 7 will take advantage of the bottom for 14 days, then it will be necessary to pay for it on October 3, The larger the width and the depth of the ring groove 7, the larger the angle.
15 Ροτορ 3 (φиг . Ι) усτанοзлен нз залу 17 ι: заκρеπ- лен на οднοм егο κοнце с ποмοщью вняτа 18. дρугοй κο- нец валэ 17 связан с элеκτροдзигаτелем (нз чеρτеκе не ηοκазан) . Сτаτορ I сοдеρκиτ κορπус 19, заκρеπленный с ποмοщью ρезьбοвοгο сοедияенπя на ωланце 20. Βа φлаяце15 June 3 (Fig. Ι) was installed in Hall 17 ι: secured on the other end with a heed of 18. Another other shaft 17 is connected to an electric charger (not connected). Status I includes a compartment 19, which is secured with a threaded joint on a flange 20. On the fly
20 20 имееτся οτвеρсτие 21, сοοснο с κοτορы... нз φлзяце 20 сο сτοροны κ нагнеτания газа заκρеπлен πаτρубοκ 22 для сοединения с τρу бοπροвοдοм (нз чеρτеεе не ποκа- зан) φορваκуумяοй οτκачκи газа .20 20 there is a failure of 21, which is connected to the drive ... except that 20 are connected to the gas discharge pipe 22 and is connected to the gas connection (there is no gas bypass).
Ыз внуτρеяней ποвеρχнοсτи κορπуса 19 заκρеπленыSince the interior of the building has been secured, 19
25 лοπаτοчные дисκн 23, κοлøчесτвс κοτορыχ ρавнο κοличе- сτву κοльцевыχ κанавοκ 7 , выποлненныχ нз ροτορе 3. Лοπаτοчные дисκн 23 в οπисываемοм ваρианτе выποлнены τаκ , чτο свοбοдные κοнцы лοπаτοκ 24 οбρащены κ πеρπφе- ρиπ лοπаτοчнοгο дисκа 23, το есτь сτуπиπа 25 лοπаτοч-25 lοπaτοchnye disκn 23 κοløchesτvs κοτορyχ ρavnο κοliche- sτvu κοltsevyχ κanavοκ 7, NZ vyποlnennyχ ροτορe 3. Lοπaτοchnye disκn 23 οπisyvaemοm vaρianτe vyποlneny τaκ, chτο svοbοdnye κοntsy lοπaτοκ 24 οbρascheny κ πeρπφe- ρiπ lοπaτοchnοgο disκa 23, το esτ sτuπiπa 25 lοπaτοch-
30 нοгο дисκа 23, на κοτοροй заκρеπлены лοπаτκπ 24, ρас- ποлοжеяа в ценτρе. ..Ιοжеτ быτь исποльзοван ζ дρугοй извесτный ваρианτ выποлнения лοπаτοчныχ дисκοз, κοгда свοбοдные κοнцы лοπаτοκ 24 οбρащены κ ценτρу лοπаτοч- нοгο дисκа , а сτуπвд ρзсποлοεена снаρуεс лοπаτοчнοгοOn November 30th, disk 23 was secured on the left side of the blade 24, which is located in the center. .. It may be used a ζ other well-known version of the performance of the handheld disks, when the free cardholders are free 24
35 дисκа . Лοπаτκπ 24 κаκдοгο из лοπаτοчяыχ дζсκοз 23 ус- τанοзлены в сοοτзеτсτзующπχ κοдьπ.езыχ κаяззκзχ 7 дсд углοм κ πлοсκοсτι: , πеρπендиκулнρнο : οсι: ροτορз 3, н нзποавлеяы ποοτι-звοποлοεнο язπсавлеяню в :нτοзз_: л:_н;:;: - 8 - πазοв 14*.35 disc. Lοπaτκπ 24 κaκdοgο of lοπaτοchyayχ dζsκοz 23 INSTALLS τanοzleny in sοοτzeτsτzuyuschπχ κοdπ.ezyχ κayazzκzχ 7 DBD uglοm κ πlοsκοsτι:, πeρπendiκulnρnο: οsι: ροτορz 3, n nzποavleyay ποοτι-zvοποlοεnο yazπsavleyanyu location nτοzz_: l: _n;:;: - 8 - at 14 *.
Β οсезοм οτвеρсτиπ 2 сτаτορа I κοаκсиадьнο κаε- дοму 153 учасτκοв 8, 3, 10, 11, 12 усτанοздены κοльда 26, 27,28,29, 30, сοοτвеτсτвеннο имеющве ш~~ , сοοτвеτ- сτвующую длине учасτκοв 8, 9, 10, 11, 12, κοаκсиальнο с κοτορым οни усτанοвлены. Пρи эτοм свοбοдный κοнец лο- πаτοчнοгο дисκа 23, усτанοвленнοгο в κοльцевοй κанав- κе 7 мевду учасτκами 12 ~ 13 ροτορа 3, за∑^τ мевду буρτοм 31, выποлненныы з κορπусе 19 ροτορа 3, ш κοль- цοм 30» Свοбοдные κοяπц οсτальныχ лοπаτοчныχ дисκοз 23 зашτы мевду сοседними κοяьдамπ 30 и 23, 29 π 28, 28 и 27 , 27 и 26. Μевду κοльцοм 26 ш буρτοм 32 в κсρ- πусе 19 сτаτορа I усτанοвлены πρуκияы 33 сжаτия. диамеτρ - οτвеρсτия сτуιшцы 25 κавдοгο лοπа- τοчнοгο дисκа 23, усτанοвленнοгο в сοοτзеτсτзующеδ κοяьцевοй κанавκе 7, и τοлщина н яοπаτοчныχ двсκοз 25 τаκοвы, чτο зазορκ ϊ-ι , 12 , ~> мевду ποвеρχнοс- τями κавдοгο из лοπаτοчныχ дисκοз 23, οбρащенныχ κ ποзеρχнοсτям κοльцевοй κаяавκи 7 , з κοτοροй οн усτа- нοзлен, сοизмеρимы с величияοй зазορа 4- мевду ροτοροм 3 и сτаτοροм I. Οни мοгуτ быτь οτ 0, 15 дο 0, 03 ш~ .Β οsezοm οτveρsτiπ 2 sτaτορa I κοaκsiadnο κaε- dοmu 153 uchasτκοv 8, 3, 10, 11, 12 usτanοzdeny κοlda 26, 27,28,29, 30, sοοτveτsτvennο imeyuschve w ~ rj ~ sοοτveτ- sτvuyuschuyu uchasτκοv length 8, 9, 10, 11, 12, which are optionally installed. Pρi eτοm svοbοdny κοnets lο- πaτοchnοgο disκa 23 usτanοvlennοgο in κοltsevοy κanav- κe 7 LKAU uchasτκami 12 ~ 13 ροτορa 3 zaΣ ^ τ LKAU buρτοm 31 vyποlnennyy of κορπuse 19 ροτορa 3, br κοl- tsοm 30 "Svοbοdnye κοyaπts οsτalnyχ lοπaτοchnyχ Disc 23 of the Meuda with the neighboring Koyadam 30 and 23, 29 π 28, 28 and 27, 27 and 26. Each of the 26th and 32th on 32 October 19th, I installed 33 compression. diameτρ - οτveρsτiya sτuιshtsy 25 κavdοgο lοπa- τοchnοgο disκa 23 usτanοvlennοgο in sοοτzeτsτzuyuscheδ κοyatsevοy κanavκe 7 and n τοlschina yaοπaτοchnyχ dvsκοz 25 τaκοvy, chτο zazορκ ϊ-ι, 12 ~ -s> LKAU ποveρχnοs- τyami κavdοgο of lοπaτοchnyχ disκοz 23 οbρaschennyχ κ ποzeρχnοsτyam κοltsevοy κayaavκi 7, s κοτοροy οn usτa- nοzlen, sοizmeρimy with velichiyaοy zazορa 4- LKAU ροτοροm 3 and sτaτοροm I. Οni mοguτ byτ οτ 0 dο 15 0, 03 m ~.
Зазορы ϊη ,
Figure imgf000010_0001
~ эτ0 за зοΡκ меВД' κροмκамн лοπаτοκ 24 н ποзеρχяοсτямл сτуπиπы 25, οбρащеянымπ κ ποзеρχнοсτям κοльцевыχ κанавοκ 7.
Clearances ϊη,
Figure imgf000010_0001
~ Eτ0 for zο Ρ κ IU VD 'κροmκamn lοπaτοκ 24 n ποzeρχyaοsτyaml sτuπiπy 25 οbρascheyanymπ κ ποzeρχnοsτyam κοltsevyχ κanavοκ 7.
3 сяучае всποльзοвзния лοπаτοчныχ двсκοз 7 , у κο- τορыχ сзοбοдные κοнцы лοπаτοκ οбρащены Ε ценτρ, зазορы 1^ , 12 π Ι3 - эτο зазορы мевду κροмκамн лοπаτοκ , οбρащенными κ ποвеρχнοсτям κοльπевыχ κаназοκ 7. Зазορы ϊι , 12 и ϊ- в углу блеяияχ οбρа зуюτ яз блρияτнοе уπлοτнение. Ιοлщина н лοπаτοчныχ дссκοз 23 мοжеτ οыτь ρазличнοй н οπρεделяеτся ρасчеτяым πуτем в зависимοсτи οτ τρебуемыχ οτκачныχ χаρаκτеρπсτπκ мο- леκуляρнοгο ваκуумнοгο насοса . Зρπ зτο:,_ πζρπне а κοльцевыχ κанавοκ 7 зазисπτ οτ τοдшияы лοπаτοчныχ дκ- сκοз 23. Κοличесτзз яοπаτοчныχ дисκοз 25 :. сοοτзеτсτ- зеннο κсличесτзο κοльдезыχ κаназοκ 7 зависι-τ τаκζе οτ οτκачныχ χаρаκτеοπсτπκ ιлэяеκуляэнсгο з5κу:."»ϊ-зсгс нзсοса . - 9 - Μοлеκуляρный заκуумяыы насοс ρа οτаеτ следующи;.: οбρззοм. Цρи зρащения ροτορа 3 (φиг. Ι) мοлеκулы οτκз- чиваемοгο газа сο сτοροны ν всасывания , ποπазшие3 syauchae vsποlzοvzniya lοπaτοchnyχ dvsκοz 7, y κο- τορyχ szοbοdnye κοntsy lοπaτοκ οbρascheny Ε tsenτρ, zazορy ^ 1, 1 February π Ι3 - eτο zazορy LKAU κροmκamn lοπaτοκ, οbρaschennymi κ ποveρχnοsτyam κοlπevyχ κanazοκ 7. Zazορy ϊι, 2 and 1 in the corner ϊ- The bleating is an indispensable compaction. The thickness of the portable parts 23 can be different and the total share is dependent on the actual quality of the product. Wrong:, _ ζ не не а а а а 7 7 7 7 7 7 7 7 7 7 7 7 7 7 23. 7 23. 7 23.. There is a compulsory complication of the rule 7 of the dependence on the return of the product code:. "" с-ssgzzz. - 9 - The peculiar pump pump is as follows;.: Reset. In addition to the exhaust gas 3 (Fig. Ι), the molecules of the exhaust gas are absent and suction
5 в οсезοе οτвеρсτие 2 сτаτορа I мοлеκуляρяοгο ваκуум- нοгο насοса , заχваτываюτся винτοзοй ποвеρχяοсτью πа- зοв 14, οбρащеннοй в сτοροяу ν всасывания , н зοв- леκаюτся в движение здοль πазοз 14, πρи οбρеτая τанг'ен- циальную сοсτавляюш ю сκοροсτи в наπρавленин зρащения5 οsezοe οτveρsτie 2 sτaτορa I mοleκulyaρyaοgο vaκuum- nοgο nasοsa, zaχvaτyvayuτsya vinτοzοy ποveρχyaοsτyu πa- zοv 14 οbρaschennοy in sτοροyau suction ν, n zοv- leκayuτsya in motion zdοl πazοz 14 πρi οbρeτaya τang'en- cially sοsτavlyayush w sκοροsτi in naπρavlenin zρascheniya
10 ροτορа 3. Пροχοдя πο πазам 14 учасτκа 8, мοлеκулы га- за , ποπадая на лοπаτκи 24 лοπаτοчнοгο дисκа 23, наπ- ρазляюτся на учасτοκ 3 н далее προχοдяτ οτ учасτκа 9 чеρез учасτκи 10, 11, 12 κ учасτκу 13 з πаτρ οκ 22. _,ϊοлеκулы οτκачиваемοгο газа , κаκ π звесτнο, зследсτвπе10 hours 3. After a period of 14 part 8, gas molecules, falling to the blades 24 of the main disk 23, is taken into account for a period of 3, not taking into account 11 . _, gas pumped gas, as starter, then
15 ρазнигιы дазленππ газа на сτοροне ν зсасывания и нз сτοροне κ нагнеτания чеρез зазορы 4 ме ду ροτορο:,-: 3 н сτаτοροм I сτρемяτся вοззρаτπτься на сτ οροяу ν всасызания, уведичивая οбρаτньв-ι ποτοκ ρассеивзяня га- за .15 Discharges of gas to the ground at the point of suction and not at the moment of discharge through the charge 4 between:, -: 3 of the charge I will be discharged.
20 Пρн свοеы движении мοлеκулы οбρаτнοгο ποτοκа ρас- сеяваяπя газа ποπадаюτ на лοπаτκи 24 лοπаτοчныχ дис- κ οз 23 н наπρазляюτся ими в πазы 14 ροτορз 3, где πρн- οбρеτаюτ τангенциальную сοсτавляющую сκοροсτπ з наπρа- злениπ οτκачκи . Часτь мοлеκул, не ποлаз_иая яз лсπаτοч-20 In the event of the movement of the molecule, the by-product flow dissipating gas is lost to the blades of the 24 blades, 23 of which are irrelevant to the product are in contact with the product and the product is in contact with the patient. Part of the molecule, not the language of the lungs
25 ные дисκн 23, задеρшваеτся з зазορаχ .ц , 12 , ϊ^ , язяяющиχся да бяρянτяы:.- уπлοτнением , чτс уменьπнеτ οб- ρаτяый ποτοκ ρассеивания газа . Пρи зτοм сτеπень сжа- τия газа в мοлеκуляρнοм ваκуумнοм на сοсе ποвышаеτся πρи исποльзοвании οднοгο лοπаτοчнοгο дисκа πο меяьше::25 discs 23, it is delayed due to charges, 1 2 , ϊ ^, which are obvious and bothersome: .- compaction, which will reduce the waste flow of gas dispersion. However, gas compression in the small vacuum in the system rises by using one more portable disk less than ::
30 меρе з πяτь ρаз . для увеличения сτеπени с яаτля газа целесοοбρазнο увеличиваτь κοличесτвο лοлаτοчныχ ДИСΚΟΞ 23, πρи зτοм мοжнο дοсτигнуτь увеличения сτеπени сш- τия газа з 100 и бοлее ρаз .30 minutes later in order to increase the degree of gas supply, it is advisable to increase the number of large disks 23, while it is possible to achieve an increase in the degree of gas compression by 100 or more times.
Пэοмышленяая πρименимοсτ ьIndispensable
35 Пρедлагаемыи мοлеκуляρяιώ заκуумны- насοс мοжеτ биτь исποльзοззн з ρазяг.чяыχ τеχяοдοгπчесκπ∑ усτаяοз- κаχ для сοздаяπя н лοддеρааяйя ваκуум≥ с οсτа οчяы:.: дазлеяяег.: га за οτ ΙЭ~ Па дο ΙΖ~ ' Ш , яаπρπмερ , з зле- - 10 - κτροниκе πρΕ изгοτοзлешш шκροсχеι.;, πρг выρащζваяиг всκусеτзенныχ κρясτаллοз, а τаκκе в ρазявчяыχ вссяе- дοзаτельсκΕχ усτанοвκаχ в πρвбορаχ, κοτορые ρа бοτаюτ с дсποльзοванием ваκуума , наπρямеρ, в уеκορвτеляχ элеменτаρныχ часτвц, в масс-сπеκτροмеτρаχ, элеκτροн- яыχ мнκροсκοπаχ. 35 Pρedlagaemyi mοleκulyaρyaιώ zaκuumny- nasοs mοzheτ biτ isποlzοzzn of ρazyag.chyayχ τeχyaοdοgπchesκπΣ usτayaοz- κaχ for sοzdayaπya n lοddeρaayayya vaκuum≥ with οsτa οchyay:.: Dazleyayaeg .: ha for οτ ΙE ~ Pa dο ΙΖ ~ 'W, yaaπρπmερ, s zle- - 10 - κτροniκe πρΕ izgοτοzleshsh shκροsχeι;., Πρg vyρaschζvayaig vsκuseτzennyχ κρyasτallοz and τaκκe in ρazyavchyayχ vssyae- dοzaτelsκΕχ usτanοvκaχ in πρvbορaχ, κοτορye ρa bοτayuτ with dsποlzοvaniem vaκuuma, naπρyameρ in ueκορvτelyaχ elemenτaρnyχ chasτvts in mass sπeκτροmeτρaχ, eleκτροn- yayχ mnκροsκοπaχ.

Claims

- II -- II -
ΦΟΕШΑ ИЗΟБΡΕΤΕΗИЯ Μοлеκуляρянй ваκуумяый насοс, сοдеρшщий ποльс': сτаτορ (I), з οсевοм οτвеρсτил (2) κοτοροгο усτанοз- лея с зазοροм (4), πρеπяτсτзующим деρеτеκаяню газа сοΦΟΕSHΑ IZΟBΡΕΤΕΗIYA Μοleκulyaρyany vaκuumyay nasοs, sοdeρshschy ποls': sτaτορ (I), of οsevοm οτveρsτil (2) κοτοροgο usτanοz- leu with zazοροm (4) πρeπyaτsτzuyuschim deρeτeκayanyu gas sο
5 сτοροны ( Ν ) нагнеτания газа в сτοροну ( V ) всасы- вания, ροτορ (3), на шρу-κнοй'цøяиядρячесκοз. ποвеρχ- нοсτи (5) κοτοροгο выποляеяа πο г..еньшей меρе οдна κο- льцевая κанавκа (7), а на учасτκаχ (8,9,10,11, 2,13) мевду κοльцевαй κаназκοй (7) - πазы (14), ρасπэлοεея-5 stages (Ν) of gas injection to the suction line (V), ροτορ (3), on the other hand , to the core. The turnaround (5) is more attractive for the smaller city (7), and on the road (8,9,10,11, 2,13) in front of the road (7th) , ρасπelοεei-
10 ные πο вянτοвαй лияяи, πлοщадь κοτορыχ в сеченияχ, πеρπендиκуляρныχ вянτοвαй лвяиπ, уменьшаеτся οτ учас- τκа (8) κ учасτκу (Ι3)в яаπρавяения сο сτοροны ( ν ) зсасывания газа в сτοροну ( Ν ) нагяеτаяия, ο τ л ~ - ч а ю щи й с я τем, чτο сοдеρ?ш_τ πο κοличесτву κοль-10 nye πο vyanτοvαy liyayai, πlοschad κοτορyχ in secheniyaχ, πeρπendiκulyaρnyχ vyanτοvαy lvyaiπ, umenshaeτsya οτ uchas- τκa (8) κ uchasτκu (Ι3) in yaaπρavyaeniya sο sτοροny (ν) zsasyvaniya gas in sτοροnu (Ν) nagyaeτayaiya, ο τ ~ l - h And with me, what is the matter? sh_τ for the most part
Ιδ цевыχ κаназοκ (7) лοπаτοчяые дисκи (23), заκρеπлеаные на сτаτορе (I), лοдаτди (24) κοτορыχ ρасποлοκены в κοльцевыχ κашзκаχ (7) ποд углοм κ πлοсκοсτи, πеρπен- диκуляρяοй οси вρащеняя ροτορа (3), я шπρзвлены προ- τявοποлοншο шπρавяению шзοв (14), πρн эτοгл гдубишΙδ tsevyχ κanazοκ (7) lοπaτοchyaye disκi (23) on zaκρeπleanye sτaτορe (I), lοdaτdi (24) in κοτορyχ ρasποlοκeny κοltsevyχ κashzκaχ (7) ποd uglοm κ πlοsκοsτi, πeρπen- diκulyaρyaοy οsi vρaschenyaya ροτορa (3), I shπρzvleny προ- They are more interested in the development of shvazov (14), on this e-mail
20 ( ь. ) πазοз (14) на κавдοм учасτκе (8,9,10,11, 2,13) πшвяο уменыπаеτся з яаπρавлении сο сτοροны ( ν ) вса- сываяия газа в сτοροяу ( Ν ) яагнеτания и гдубина κаκ- дοй κοльцевοй κанавκи (7) не меньше мияямаяьяο:' глуби- яκ шзοв ( 4) сοседнегο с яе*: учзсτκа (8,9,10, ,12)20 (b) on the part of (8,9,10,11, 2,13) on the other hand, most of the time is reduced by the flow of gas (ν) of the gas suction to the gas supply and the gas supply. grooves (7) no less than miyayamayaya: ' deep shzovs (4) adjacent to me * : school (8,9,10,, 12)
2δ ροτορа (3), ρасποлοженяοгο сο сτοροны (ν ) зсаеыва- ния газа, а диамеτρ ( ъ ) οτвеρсτия κавдοгο лοшτοч- яοгο дисκа (23) и егο τοлщина τаκοвы, чτο зазορы С , 12 .1- ) ωевду ποвеρχяοсτями лοшτοчнοгο дисκа (23), οбρащеяяымя κ ποвеρχнοсτям сοοτвеτсτвующей κοльцезοй2δ ροτορa (3) ρasποlοzhenyaοgο sο sτοροny (ν) zsaeyva- Nia gas and diameτρ (b) οτveρsτiya κavdοgο lοshτοch- yaοgο disκa (23) and egο τοlschina τaκοvy, chτο zazορy C, 1 February .1-) ωevdu ποveρχyaοsτyami lοshτοchnοgο disκa (23) which is generally respected by the public
30 κававκи (7), и эτими ποвеρχяοсτями сοизмеρимы с зазο- ροϊν. (4) мевду ροτορα. (3) и сτаτэροм (I). 30 quotes (7), and these imperfections are commensurate with the gap. (4) Mevdu ροτορα. (3) and state (I).
PCT/SU1988/000001 1988-01-05 1988-01-05 Molecular vacuum pump WO1989006320A1 (en)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE883891201T DE3891201T1 (en) 1988-01-05 1988-01-05 VACUUM MOLECULAR PUMP
PCT/SU1988/000001 WO1989006320A1 (en) 1988-01-05 1988-01-05 Molecular vacuum pump
GB8917836A GB2221255B (en) 1988-01-05 1988-01-05 Molecular vacuum pump
JP63501741A JPH02502840A (en) 1988-01-05 1988-01-05 molecular vacuum pump
HU881650A HU201985B (en) 1988-01-05 1988-01-05 Molecular vacuum pump
FR888804896A FR2630167B1 (en) 1988-01-05 1988-04-13 MOLECULAR VACUUM PUMP
PL27196788A PL271967A1 (en) 1988-01-05 1988-04-21 Molecular vacuum pump
FI894157A FI894157A0 (en) 1988-01-05 1989-09-04 MOLEKYLVAKUUMPUMP.

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/SU1988/000001 WO1989006320A1 (en) 1988-01-05 1988-01-05 Molecular vacuum pump

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO1989006320A1 true WO1989006320A1 (en) 1989-07-13

Family

ID=21617173

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/SU1988/000001 WO1989006320A1 (en) 1988-01-05 1988-01-05 Molecular vacuum pump

Country Status (6)

Country Link
JP (1) JPH02502840A (en)
DE (1) DE3891201T1 (en)
FI (1) FI894157A0 (en)
FR (1) FR2630167B1 (en)
GB (1) GB2221255B (en)
WO (1) WO1989006320A1 (en)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1238201B (en) * 1989-11-03 1993-07-09 Varian Spa METHOD OF MANUFACTURE BY ELECTROEROSION OF A IMPELLER OR A ROTOR TO ONE OR MORE IMPELLERS OF A TURBO PUMP, PARTICULARLY OF A TURBOMOLECULAR PUMP, AND PRODUCTS SO OBTAINED.
DE4216237A1 (en) * 1992-05-16 1993-11-18 Leybold Ag Gas friction vacuum pump
DE19846188A1 (en) 1998-10-07 2000-04-13 Leybold Vakuum Gmbh Friction vacuum pump with stator and rotor
DE19937392A1 (en) * 1999-08-07 2001-02-08 Leybold Vakuum Gmbh Friction vacuum pump with active pump elements

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2244370A5 (en) * 1973-09-14 1975-04-11 Cit Alcatel
DE2255618C2 (en) * 1971-11-16 1982-12-23 Compagnie Industrielle Des Telecommunications Cit-Alcatel S.A., 75008 Paris Molecular vacuum pump
EP0081890B1 (en) * 1981-12-14 1985-10-09 Ultra-Centrifuge Nederland N.V. High-vacuum molecular pump
DE3613344A1 (en) * 1986-04-19 1987-10-22 Pfeiffer Vakuumtechnik TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP FOR HIGHER PRESSURE

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1626621A (en) * 1925-08-28 1927-05-03 Middendorf George Compressor for refrigerators or the like
FR1293546A (en) * 1961-02-09 1962-05-18 Alsacienne Constr Meca Improvements to rotary molecular pumps
JPS6341695A (en) * 1986-08-07 1988-02-22 Seiko Seiki Co Ltd Turbo-molecular pump

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2255618C2 (en) * 1971-11-16 1982-12-23 Compagnie Industrielle Des Telecommunications Cit-Alcatel S.A., 75008 Paris Molecular vacuum pump
FR2244370A5 (en) * 1973-09-14 1975-04-11 Cit Alcatel
EP0081890B1 (en) * 1981-12-14 1985-10-09 Ultra-Centrifuge Nederland N.V. High-vacuum molecular pump
DE3613344A1 (en) * 1986-04-19 1987-10-22 Pfeiffer Vakuumtechnik TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP FOR HIGHER PRESSURE

Also Published As

Publication number Publication date
FR2630167B1 (en) 1990-08-31
FR2630167A1 (en) 1989-10-20
GB2221255A (en) 1990-01-31
GB8917836D0 (en) 1989-11-01
JPH02502840A (en) 1990-09-06
DE3891201T1 (en) 1990-01-11
GB2221255B (en) 1991-10-16
FI894157A0 (en) 1989-09-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4857910B2 (en) Electric motor and electric compressor
US6917133B2 (en) Air conditioner having permanent magnet rotating electric machine
EP1217219A3 (en) Direct drive compressor assembly
WO2002068826A3 (en) Fluid flow controller
WO1989006320A1 (en) Molecular vacuum pump
WO2002090776A3 (en) Rotor disk
WO1989006319A1 (en) Molecular vacuum pump
US5690519A (en) Underwater propulsive device
US20150093267A1 (en) Centrifugal Impeller and Centrifugal Blower
EP1277965A3 (en) Centrifugal pump
EP2284400B1 (en) Turbo-molecular pump
CA2548136A1 (en) Pump insert and assembly
US20050013710A1 (en) Turbomolecular pump
JP2006316792A (en) Improved type hybrid turbo molecular vacuum pump
US7040860B2 (en) Uni-directional impeller, and impeller and rotor assembly
AU2020201733B2 (en) Fan Motor
WO2016157448A1 (en) Motor-integrated compressor
US20190040874A1 (en) Centrifugal Impeller and Centrifugal Blower
JP2009281579A (en) Electromagnetic clutch
RU2120568C1 (en) Centrifugal compressor impeller
KR20050078845A (en) Moter structure of rotary compressor
SU1023141A1 (en) Turbo-molecular vacuum pump
JP2005163678A (en) Impeller rotary body, fluid pump device and manufacturing method for impeller rotary body
JP6716656B2 (en) Turbo molecular vacuum pump
JP6118829B2 (en) Stator disk

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): CH DE FI GB HU JP US

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 894157

Country of ref document: FI

RET De translation (de og part 6b)

Ref document number: 3891201

Country of ref document: DE

Date of ref document: 19900111

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 3891201

Country of ref document: DE