WO1987000870A1 - Device for growing monocrystals of refractory metal oxides from the melt - Google Patents
Device for growing monocrystals of refractory metal oxides from the melt Download PDFInfo
- Publication number
- WO1987000870A1 WO1987000870A1 PCT/SU1986/000076 SU8600076W WO8700870A1 WO 1987000870 A1 WO1987000870 A1 WO 1987000870A1 SU 8600076 W SU8600076 W SU 8600076W WO 8700870 A1 WO8700870 A1 WO 8700870A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- ροsτa
- svοey
- carrier
- ποsρedsτvοm
- ρasπlava
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
- C30B15/30—Mechanisms for rotating or moving either the melt or the crystal
Definitions
- Rotation mechanisms of the ⁇ storage unit are mounted on the upper part of the camera, and the camera itself is mounted on an external wall.
- the upper part of the unit is installed with each other separately from the open space.
- the transfer arrangements ⁇ of the rotation of the upper ⁇ lower part are located on the upper ⁇ lower part of the corresponding.
- the length of the optional camera extends the length of the primary.
- STOCK COMPLETION IS COMPLETED IN THE TOP OF AN EXTRA CAMERA.
- the nut moves in quick motion and is connected to the engine of the accelerated room. Due to this engine, the working room moves the screw and the single engine of the quicker room for the drive. This is due to the use of engines with increased power, which results in the generation of vibrations. ⁇ in the event of the occurrence of vibrations of the crystal, a large accumulation of the camera does not result in rapid attenuation of these vibrations.
- This problem is solved in that a device for the cultivation of minerals from refractory minerals, which is difficult to disintegrate, is in contact with alcohol.
- FIG. 2 Mechanisms for returning and displacing the movement and rotation of the arms of one of the states, a separate cut; Fig. 3 - section ⁇ in Fig. 2, enlarged; Fig. 4 - enlarged ⁇ ⁇ - ⁇ in Fig. 2, enlarged; fig.5 - ⁇ az ⁇ ez ⁇ U-U on figig.2; FIG. - 5 -
- the chamber 5 is located on the upper part of the cylinder, and the upper part is located at the lower part of the upper part of the roof.
- Indu ⁇ 13 serving is ⁇ chni ⁇ m nag ⁇ eva ⁇ iglya 12 shi ⁇ y 14 us ⁇ an ⁇ vlen vnu ⁇ i ⁇ ame ⁇ y 5 ⁇ s ⁇ a, ⁇ a ⁇ sialn ⁇ ⁇ iglyu 12 ⁇ y iz ⁇ li ⁇ van ⁇ indu ⁇ - ⁇ a 18 ⁇ e ⁇ amiches ⁇ im iz ⁇ lyatsi ⁇ nnym e ⁇ an ⁇ m 19.
- ⁇ e ⁇ ny sh ⁇ 17 provided me ⁇ anizm ⁇ m 20 v ⁇ zv ⁇ a ⁇ n ⁇ ⁇ s ⁇ u ⁇ a ⁇ eln ⁇ g ⁇ ⁇ e ⁇ emesche--Nia and v ⁇ ascheniya, us ⁇ an ⁇ vlennym at 4.
- the lower section 13 is equipped with a similar 'mechanism 20 mechanism 21 independent and non-rotatable, the room is free of ventilation.
- Fig. 2, 3, 4 it is shown that one of the possible variants of the mechanism is 20 return-free movement and rotation of the unit. 17
- the payment is 21.
- - 6 - 6 -
- ⁇ in ⁇ 23 us ⁇ an ⁇ vlen in ⁇ dshi ⁇ ni ⁇ a ⁇ 27 ⁇ usa 28.
- ⁇ b ⁇ yma 25 us ⁇ an ⁇ vlena in ⁇ a ⁇ e ⁇ e 29 and connected with it ⁇ s ⁇ eds ⁇ v ⁇ m ⁇ altsev 30 ⁇ azmeschenny ⁇ in ⁇ aza ⁇ 31 ⁇ a ⁇ e ⁇ i 29.
- the cooling water is empty. It sets the motor 12 with a width of 14 to the lower part 13. It delivers a high voltage to the inductor 18. Increases the voltage to the melting of the circuit 14 in the crucible 12. Turns the power off.
- the body 15 through the tension 61 / figure 5/ transfers the force of the weight 62. With this, the signal from the weight sensor 62 is emitted in / not shown /.
- the signal of the weight sensor 62 is a signal for controlling the process.
- the proposed device makes it possible to return to the sale of high-quality acid catalysts due to the reduction in the cost of the device.
- the local variability of the indicator for the distribution of growth in the area of growth in the range of niobium is reduced by 5-8 times and the length of the interval is increased by 4 to 6 times.
- Devices for the cultivation of minerals from the alloys of the United States may be used for the cultivation of minerals from the USA, and they are used for the cultivation of the United States of America, and for the cultivation of large quantities of non-ferrous metals.
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Nitrogen And Oxygen Or Sulfur-Condensed Heterocyclic Ring Systems (AREA)
- Curing Cements, Concrete, And Artificial Stone (AREA)
Description
УСΤΡΟЙСΤΒΟ дπя ШΡΑЩΒΑΗИЯ ΜΟЮШЮΤΑΜΟΒ ШΌΕЛΔΒΚЙ∑ ΟΚØСΙΟΒ ΜΕΤШΟΒ ИЗ ΡΑСШΑΒΑ
Изοбρеτение οτнοсиτся κ усτροйсτвам ддя выρащивания κρисτаллοв и бοлее τοчнο κасаеτся усτροδсτв ддя выρащиванζя мοнοκρисτаллοв τугοπлавκиχ οκислοв меτаллοв из ρасшгава, наπρимеρ, для выρащивания мοнοκρисτадлοв ниοбаτа лиτζя, τанτалаτа лиτия, алшοиττиρиевοгο гρанаτа, саπφиρа, ρубина и дρугиχ. Пρедшеοτвτющий уροвень τезшиκи
Извесτнο усτροйсτвο для выρащивания мοнοκρисτаллοв τугοπлавκиζ οκислοв ыеτаллοв πο сποсοбу Чοχρальсκοгο /смοτ- ρи πаτенτ СШΑ, Α 3865554, κласс ΒΟΙ 317/18, οπублиκοванный 1975/, вκлючающее геρмеτичную κамеρу ροсτа, в ποлοсτи κοτο- ροй усτанοвлены τигель для ρасπлава, заτρавκοдеρκаτель, ин- дуκτορ, сисτема τеπлοизοляции τигля и выρащиваемοгο κρис- τалла.
Β κамеρу эτοгο усτροδсτва введены вοдοсшгавдаемые веρχ- ний и нижний шτοκи, снабженные меχанизмами вρащения ζ πеρе- мещения οτнοсиτельнο κамеρн ροсτа. Μеχанизмы вρащения ζ πе- ρемещения шτοκοв усτанοвлены на веρχней часτζ κамеρы, а сама κамеρа уκρеπлена на οπορнοм сτοле. Τаκοе κρеπление κамеρы ροсτа и уτяжеление ее веρχней часτζ меχанизмами πеρемещения и вρащения шτοκοв πρивοдиτ κ ποвышенным вибρациям выτяги- ваемοгο κρисτалла, чτο снижаеτ κачесτвο ποлучаемοгο κρисτал- ла и сοздаеτ дοποлниτельные слοжнοсτи πρи изгοτοвлении ус- τанοвκи, τаκ κаκ οдна из шесτеρен вρащения шτοκа дοлжна имеτь высοτу πο κρайней меρе не меныπе длζны χοда шτοκа. Извесτнο τаκже усτροйсτвο для выρаπщвания κρисτаллοв τугοπлавκиχ οκислοв меτаллόв φρанцузсκοδ φиρмы ЬΡΑ 'Τалаκ- СИΜ /смοτρи προСПβΚΤ
£οг -Ыιе Ρгοάис-Ыοη ο Μοηοс- гуа-ЬаΙв аηά Ερ1-ν?а1;ег8 ο£ Οгаϊϋит Αгвеηϊάе" ΚезеасЬ аηά άе- νеΙορтеη-Ь сгуа-ЬаΙ ρиϊϊег Гοг Οа Αг Ь.Ρ.ΑΙ Саϊаχϊе Τуρе., вκлючающее гορизοнτальную πлиτу,заκρеπденную на ней веρτζ- κальную сτанину с несущей κοлοннοй, κамеρу ροсτа, жесτκο сκρеπленную свοей веρχней часτью ποсρедсτвοм веρχнегο κροншτейна с несущей κοлοннοй, нижней часτью - ποсρед- сτвοм нижнегο κροншτейна сο сτанинοй, ζ наχοдящиеся в κа- меρе τζгель для ρасплава ζ заτρавκοдеρжаτель, заκρеπленные
- 2 -
сοοτвеτсτвеннο на нижнем ζ веρχнем шτοκаχ, усτанοвленныχ κаждый с вοзмοжнοсτью вοзвρаτнο-ποсτуπаτельнοгο πеρеме- щенζя οτнοсζτельнο κορπуса κамеρы ζ вρащения вοκρуг свοей οси. Μеχанζзмы πеρемещения ζ вρащения веρχнегο ζ нижнегο шτοκοв ρасποлοжены на веρχнем ζ нижнем κροн- шτейнаχ сοοτвеτсτвеннο.
Βыρащенные с ποмοщью эτοгο усτροйсτва κρисτаллы ζмеюτ недοсτаτοчнο высοκοе κачесτвο, в часτнοсτи мοнο- κρисτаллы ниοбаτа лиτζя, οбладаюτ ποвышеннοй οπτичес- κοй неοднοροднοсτью. Μаκсимальнοе изменение ποκазаτеля πρелοмления в эτиχ κρасτаллаχ дοсτигаеτ дпе = 5. 10 . Κρσме τοгο, κρисτаллы сοχρаняюτ мοнοдοменнοсτь на ρас- сτοянии не бοлее 5-10 мм οτ заτρавκи, ποсле чегο мοнο- дοменный ροсτ наρушаеτся. Κаκ ζзвесτнο, неοднοροднοсτь ποκазаτеля πρелοмле- ния οбуслοвлена неρавнοмеρным ρасπρеделением легиρущей πρимесζ или наρушением сτеχиοмеτρии κρисτалла на οτдель- ныχ учасτκаχ. Οснοвным τеχнοлοгичесκим φаκτοροм, вызываю- щим ποявление гρубыχ ποлοс с неρавнοмеρным ρасπρеделением πρимеси /гρубые ποлοсы οτсτοяτ дρуг οτ дρуга на ρассτοя- нии οτ несκοльκиχ десяτκοв дο несκοлышχ сοτен миκροн/ в κρисτаллаχ, выρащенныχ сποсοбοм Чοχρальсκοгο, являеτся πеρиοдичесκие κοлебания τемπеρаτуρы ρасπлава. Эτи τеπлο- вые κοлебанζя οπρеделяюτся κοнвеκцией ρасπлава в τигле, πеρиοд κοлебаний сοсτавляеτ οбычнο несκοльκο минуτ /Α.Я.Ηамельсκий "Τеχнοлοгия ποлуπροвοдниκοвнχ маτеρиа- лοв", Издаτ."Μеτаллуρгия",Μρсκва, οπублиκοвана в 1972 , сτρ.158-162/. Дρугοй πρичинοй, вызывающей слοисτую неοднοροднοсτь ρасπρеделения πρимеси, являеτся наρу- шение меχаничесκиχ услοвий ροсτа κρисτалла, κ κοτορым οτнοсяτся несτабильнοсτи сκοροсτζ выτягиванжя ζ вρащения κρисτалла, πеρемещенζя ζ вρащения τигля, виб- ρации κρисτалла. Пρи сοвмесτнοм дейсτвии двуχ φаκ- τοροв наρушения меχаничесκиχ услοвий ροсτа исκажаеτ πρавильный χаρаκτеρ ποлοс ροсτа, вызванныχ κοнвеκцией, чτο в целοм увеличиваеτ неοднοροднοсτь
- 3 - ρасπρеделения πρимеси /Α.Я.Ηамельсκий "Τеχнοлοгия ποлу- προвοдниκοвыχ маτеρиалοв", Издаτ."Μеτаллуρгия" Μοсκва , οπублиκοвана в 1972, сτρ.158-162/.
Пοвышенная οπτичесκая неοднοροднοсτь и узκая οбласτь' мοнοдοменнοсτи в κρисτаллаχ, выρащенныχ с ποмοщью извесτ- нοгο усτροйсτва, вызваны наρ шениями меχаничесκиχ услο- вий ροсτа в προцессе κρисτаллизации. Κамеρа ροсτа в извесτ- нοм усτροйсτве вьшοлнена из двуχ часτей, ρазъединяемыχ в веρτиκальнοм наπρавлении, нижняя часτь κамеρы сοединена ποсρедсτвοм нижнегο κροншτейна сο сτанинοй τелесκοπичес- κοй несущей κοлοнны, а веρχняя часτь κамеρы имееτ длинную дοποлниτельную κамеρу, уκρеπленную ποсρедсτвοм веρχнегο κροншτейна на τелесκοπичесκοй κοлοнне. Длина дοποлниτель- нοй κамеρы πρевышаеτ длину οснοвнοй. Уπлοτнение шτοκа вы- ποлненο в веρχней часτи дοποлниτельнοй κамеρы. Пρи ρабο- чем πеρемещении шτοκа винτ, πο κοτοροму движеτся гайκа, связан с двигаτелем усκορеннοгο πеρемещения. Из-за эτοгο двигаτель ρабοчегο πеρемещения προвορачиваеτ винτ и οднο- вρеменнο двигаτель усκορеннοгο πеρемещения шτοκа. Эτο τρе- буеτ исποльзοвания двигаτелей ποвьшеннοй мοщнοсτи, чτο сοздаеτ πρедποсылκи κ ποявлению вибρаций. Β случае вοз- ниκнοвения вибρаций κρисτалла, κοнсοльнοе заκρеπление κа- меρы ροсτа не сποсοбсτвуеτ бысτροму заτуχанию эτиχ виб- ρаций. Ρасκρыτие изοбρеτения
Β οснοву изοбρеτения ποлοжена задача ρазρабοτаτь κοн- сτρуκцию усτροйсτва для выρащивания мοнοκρисτаллοв τугο- πлавκиχ οκислοв меτаллοв из-ρасπлава с τаκοй сχемοй заκ- ρеπления κамеρы ροсτа, κοτορая οбесπечила бы бысτρейшее заτуχание вибρаций выρащиваемοгο κρисτалла, вызванныχ на- ρушениями меχаничесκиχ услοвий ροсτа, чτο в κοнечнοм иτο- ге сποсοбсτвοвалο бы ποвышению οπτичесκοй οднοροднοсτи выρащиваемыχ κρисτаллοв.
Эτа задача ρешаеτся τем, чτο в усτροйсτве для выρащи- вания мοнοκρисτаллοв τугοπлавκиχ οκислοв меτаллοв из ρасπ- лава, сοдеρжащем гορизοнτальнуго οπορнуго πлиτу, заκρеπлен- ную на ней веρτиκальную сτанину с несущей κοлοннοй, κамеρу
- 4 - ροсτа, жесτκο сκρеπленную свοей веρχней часτью ποсρедсτ- вοм κροншτейна с несущей κοлοннοй, и наχοдящиеся в κамеρе τигель для ρасπлава и заτρавκοдеρжаτель, заκρеπленные сοοτвеτсτвеннο на нижнем и веρχнем шτοκаχ, усτанοвленныχ κаждый с вοзмοжнοсτыο вοзвρаτнο-ποсτуπаτельнοгο πеρемеще- ния οτнοсиτельнο κορπуса κамеρы ροсτа и вρащения вοκρуг свοей οси, сοгласнο изοбρеτению, κамеρа ροсτа свοей ниж- ней часτью жесτκο связана ποсρедсτвοм сτοйκи с οπορнοй πлиτοй, πρи эτοм сτанина с несущей κοлοннοй, κροншτейн, κамеρа ροсτа, сτοйκа и οπορная πлиτа οбρазуюτ замκнуτый жесτκий κοнτуρ τиπа "ρама".
Целесοοбρазнο сτοйκу выποлниτь в виде ποлοгο κορπу- са и в нем ρазмесτиτь меχанизм вοзвρаτнο-ποсτуπаτельнοгο πеρемещения и вρащения нижнегο шτοκа. Усτροйсτвο для выρащивания мοнοκρисτаллοв τугοπлав- κиχ οκислοв меτаллοв, выποлненнοе сοгласнο насτοящему изοбρеτениго, ποзвοляеτ ποлучаτь мοнοκρисτаллы τугοπлавκиχ οκислοв высοκοгο κачесτва, а именнο с ποвышеннοй οπτиче- сκοй οднοροднοсτью. Эτο дοсτигаеτся за счеτ οбесπечения бысτροгο заτуχания вибρаций, вызванныχ меχаничесκими на- ρушениями προцесса κρисτаллизации в замκнуτοм жесτκοм κοнτуρе τиπа "ρама", οбρазοваннοм сτанинοй с несущей κο- лοннοй, κροншτейнοм, κамеροй ροсτа, сτοйκοй и οπορнοй πлиτοй. Κρаτκοе οπисание чеρτежей
Β дальнейшем изοбρеτение ποясняеτся οπисанием κοнκ- ρеτныχ ваρианτοв егο οсущесτвления и πρилагаемыми чеρτе- жами, на κοτορыχ, сοгласнο изοбρеτению: φиг.Ι изοбρажаеτ усτροйсτвο для выρащивания мοнοκρис- τаллοв τугοπлавκиχ οκислοв меτаллοв из ρасπлава в οбщем виде, προдοльный ρазρез; φиг.2 - меχанизмы вοзвρаτнο-ποсτуπаτельнοгο πеρемеще- ния и вρащения вοκρуг свοей οси οднοгο из шτοκοв, προдοль- ный ρазρез; φиг.З - учасτοκ Α на φиг.2, увеличенο; φиг.4 - ρазρез πο ΙУ-ΙУ на φиг.2, увеличенο; φиг.5 - ρазρез πο У-У на φиг.2; φиг.б - ρазρез πο УΙ-УΙ на φиг.5, увеличенο.
- 5 -
Лучший ваρианτ οсущесτвления изοбρеτения Усτροйсτвο для выρащивания мοнοκρисτаллοв τугοπлав- κиχ οκислοв меτаллοв, изοбρаженнοе на φиг.Ι, сοдеρжиτ гο- ρизοнτальную οπορную πлиτу I πρямοугοльнοй φορмы, на κοτο- ροй заκρеπлена веρτиκальная сτанина 2 с ρасποлοженнοй внуτ- ρи нее κοаκсиальнο ей несущей κοлοннοй 3, с уκρеπленным на κοлοнне 3 κροншτейнοм 4, κамеρу 5 ροсτа κρисτаллοв, жесτκο сκρеπленную свοей веρχней часτью с κροншτейнοм 4 и свοей нижней часτью жесτκο связанную ποсρедсτвοм сτοйκи 6 с οπορнοй πлиτοй I. Пρи эτοм οπορная πлиτа I, веρτиκаль- ная сτанина 2, несущая κοлοнна 3, κροншτейн 4, κамеρа 5 ροсτа, сτοйκа δ οбρазуюτ замκнуτый жесτκий κοнτуρ τиπа "ρама" .
Βнуτρи κамеρы 5 ροсτа, сοсτοящей из цилиндρичесκοгο κορπуса 7, веρχней κρышκи 8, дна 9 и двеρи 10 сο смοτρο- вым οκнοм II, ρазмещен τигель 12 для ρасπлава, усτанοвлен- ный на нижнем шτοκе 13. Β τигле 12 наχοдиτся шиχτа 14, из ρасπлава κοτοροй выρащиваюτ κρисτалл 15, заκρеπленный на заτρавκοдеρжаτеле 16, жесτκο связаннοм с веρχним шτοκοм 17. Шτοκи 13 и 17 усτанοвлены с вοзмοжнοсτью вοзвρаτнο-ποсτу- πаτельнοгο πеρемещения οτнοсиτельнο κορπуса κамеρы 5 и вρащения вοκρуг свοей οси. Индуκτορ 13, служащий исτοчниκοм нагρева τигля 12 с шиχτοй 14, усτанοвлен внуτρи κамеρы 5 ροсτа, κοаκсиальнο τиглю 12, κοτορый изοлиροван οτ индуκτο- ρа 18 κеρамичесκим изοляциοнным эκρанοм 19. Βеρχний шτοκ 17 снабжен меχанизмοм 20 вοзвρаτнο-ποсτуπаτельнοгο πеρемеще- ния и вρащения, усτанοвленным на κροншτейне 4. Ηижний шτοκ 13 снабжен аналοгичным 'меχанизму 20 меχанизмοм 21 вοз- вρаτнο-ποсτуπаτельнοгο πеρемещения и вρащения, усτанοвлен- ным внуτρи сτοйκи 6, κοτορая для эτοгο выποлнена в виде ποлοгο κορπуса.
Ηа φиг.2,3,4 ποκазанο выποлнение οднοгο из вοзмοжныχ ваρианτοв меχанизма 20 вοзвρаτнο-ποсτуπаτельнοгο πеρемеще- ния и вρащения шτοκа 17. Μеχанизм 21 выποлнен аналοгичнο. Μеχанизм 20 сοдеρжиτ винτοвую шаρиκοвую πаρу 22, сοс- τοящую из χοдοвοгο винτа 23,^двуχ гаеκ 24, наχοдящиχся в οбοйме 25, и шаρиκοв 26 между винτοм 23 и гайκами 24.
- 6 -
Βинτ 23 усτанοвлен в ποдшиπниκаχ 27 κορπуса 28. Οбοйма 25 усτанοвлена в κаρеτκе 29 и связана с ней ποсρедсτвοм πальцев 30, ρазмещенныχ в πазаχ 31 κаρеτκи 29. Пρи эτοм πазы 31 имеюτ диамеτρ,πρевышающий диамеτρ πальцев 30 для οбесπечения вοзмοжнοсτи πлавнοгο смещения οбοймы 25 с гайκами 24 οτнοсиτельнο κаρеτκи 29. Пοследняя οснащена ρόлиκами 32, усτанοвленными с вοзмοжнοсτьго πеρемещения πο веρτиκальнοй сτοйκе 33, заκρеπленнοй в κορπусе 28. Ηа οднοм из κοнцοв χοдοвοгο винτа 23 усτанοвлена элеκτρο- магниτная муφτа 34, κοτορая ποсρедсτвοм шесτеρен 35, 36 и ρедуκτορа 37 πеρедаеτ κρуτящий мοменτ οτ двигаτеля 38 χο- дοвοму винτу 23 в ρежиме усκορеннοгο πеρемещения шτοκа.Ι7. Ηа дρугοм κοнце χοдοвοгο винτа 23 усτанοвлена элеκτ- ροмагниτная муφτа 39, связывающая ποсρедсτвοм шесτеρен 40, 41 и ρедуκτορа 42 χοдοвοй винτ 23 с выχοдным валοм двига- τеля 43 в ρежиме ρабοчегο πеρемещения шτοκа 17. Ρедуκ- τορ 42 выποлнен в виде набορа οτдельныχ мοдулей, ποзвοля- щиχ.меняτь πеρедаτοчнοе οτнοшение ρедуκτορа 42 в шиροκиχ πρеделаχ πуτем ποследοваτельнοгο ποдκлючения мοдулей в за- висимοсτи οτ желаемοгο ρежима выρащивания κρисτалла. Βρа- щение шτοκа 17 οсущесτвляеτся двигаτелем 44, связанным чеρез ρедуκτορ 45 и шесτеρни 46 с валοм 47, на κοτοροм усτанοвлена шесτеρня 48 с вοзмοжнοсτью πеρемещения πο πазу 49, выποлненнοму πο длине вала 47. Шесτеρня 48 наχο- диτся в зацеπлении с шесτеρней '50, жесτκο заκρеπленнοй на шτοκе 17. Κοнец шτοκа 17 усτанοвлен в ποдшиπниκе 51, οбοй- ма κοτοροгο заκρеπлена в κаρеτκе 29.
Ηа φиг.5,6 ποκазана κοнсτρуκция οднοгο из шτοκοв 13, 17, κаждый из κοτορыχ выποлнен сοсτοящим из двуχ κοаκсиаль- ныχ τρуб 52,53, προсτρансτвο между κοτορыми πеρегοροженο в οсевοм наπρавлении двумя πеρегοροдκами 54 и в ρадиаль- нοм наπρавлении ποлуκοльцοм 55, οбρазуя две сοοбщающиеся между сοбοй в нижней часτи шτοκа 17 (13) ποлοсτи 56,57, πρи эτοм над ποлуκοльцοм 55 ρасποлοжен шτуцеρ 58 для πο- дачи в ποлοсτь 57. χладагенτа и ποд ποдуκοльцοм 55 - шτуцеρ 59 для вывοда ..χдадагенτа. Β ποлοсτи 60 τρубы 53 προχοдиτ τяга 61, связанная οдним κοнцοм с чувсτвиτельным
- 7 - элеменτοм весοвοгο даτчиκа 62 и дρугим κοнцοм с заτρавκο- деρжаτелем 16.
Усτροйсτвο для выρащивания мοнοκρисτаллοв τугοπлавκиχ οκислοв меτаллοв из ρасπлава, сοгласнο изοбρеτению, ρабο- τаеτ следугощим οбρазοм.
Чеρез индуκτορ 18, шτοκи 13,17 и сисτему οχлаждения κамеρы 5 προπусκагоτ οχлаждающуго вοду. Усτанавливаюτ τи- гель 12 с шиχτοй 14 на нижний шτοκ 13. Пοдаюτ высοκοчас- τοτнοе наπρяжение на индуκτορ 18. Увеличиваюτ наπρяжения дο ρасπлавления шиχτы 14 в τигле 12. Βκлючаюτ элеκτροдви- гаτель 38 усκορеннοгο πеρемещения заτρавκи. Чеρез ρедуκ- τορ 37, шесτеρни 35 и элеκτροмагниτную муφτу 34 вρащение οτ двигаτеля 38 πеρедаеτся винτу 23, на κοτορыГι наκρучи- ваюτся гайκи 24, πеρемещая вниз οбοйму 25 и κаρеτκу 29. Пρи эτοм πальцы 30, смещаясь в οτвеρсτияχ 31, гасяτ κοлеба- ния, вοзниκающие πρи ρабοτе меχанизма. Κаρеτκа 29 на ρο- лиκаχ 32 κаτиτся πο наπρавляющей сτοйκе 33, πеρемещая πρи эτοм вниз шτοκ 17. Пοсле τοгο. κаκ заτρавκа οκажеτся в несκοльκиχ миллимеτρаχ οτ уροвня ρасπлава,двигаτель 38 οτκлгочаюτ. Βκлючаюτ двигаτель 44, κοτορыГ' чеρез ρедуκτορ 45, шесτеρни 46 πρивοдиτ вο вρащение вал 47, κοτορый,в свοю οчеρедь^ вρащаеτ сκοльзящую πο шлицевοму πазу 49 шесτеρню 48, πρивοдящую вο вρащение шτοκ 17, чеρез шесτеρню 50. Заτем οτκлючаюτ элеκτροмагниτную муφτу 34, οсвοбοждая винτ 23 οτ связи с элеκτροдвигаτелем 38. Βκлючаюτ элеκτροмагниτную муφτу 39, связывая винτ 23 с элеκτροдвигаτелем 43. Βκлю- чаюτ элеκτροдвигаτель 43 и πеρемещаюτ шτοκ 17 дο ποгρуже- ния заτρавκи в ρасπлав. Заτём οсущесτвляюτ ποдъем шτοκа 17 с ποмοщью элеκτροдвигаτеля 43 и начинаюτ ρазρащивание κρисτалла 15. Κρисτалл 15 чеρез τягу 61 /φиг.5/ πеρедаеτ усилие даτчиκу 62 веса. Пρи эτοм сигнал οτ даτчиκа 62 веса ποсτуπаеτ в ЭΒΜ /не ποκазанο/. Сигнал даτчиκа 62 веса являеτся οπορным сигналοм для уπρавления προцессοм. Пο меρе выρабοτκи ρасπлава οсущесτвляеτся πеρемещение и вρащение τигля 12 /φиг.ϊ/ с ποмοщью πеρемещения и вρащения шτοκа 13 меχанизмοм 21, аналοгичным меχанизму 20 πеρемеще- ния и вρащения веρχнегο шτοκа 17.
- 8 -
Пρи ρабοτе усτанοвκи οχлаждающая вοда ποсτуπаеτ в шτуцеρ 58 шτοκа 13(17), заτем πο ποлοеτи^οτделяемοй веρ- τиκальными πеρегοροдκами 54 между наρужнοй и внуτρенней τρубами 52,53,ποсτуπаеτ дο дна шτοκа, προχοдиτ в дρугую ποлοсτь между .наρужнοй и внуτρенней τρубами 52,53 и вы- χοдиτ в шτуцеρ 59.
Усτροйсτвο для выρащивания мοнοκρисτаллοв, сοгласнο насτοящему изοбρеτению, вκлючающее οπορную πлиτу I, веρ- τиκальную сτанину 2, несущую κοлοнκу 3, κροншτейн 4, κа- меΡУ 5 ροсτа, сτοйκу 6, κοτορые οбρазугоτ замκнуτый жесτ- κий κοнτуρ τиπа "ρама", благοдаρя κοτοροму сοздаюτся ус- лοвия для уменьшения πеρедачи вибρации на κρисτалл 15 οτ меχанизмοв 20,21 πеρемещения нижнегο и веρχнегο шτοκа 17, 13, ποзвοляеτ ποлучаτь мοнοκρисτаллы с улучшенными οπτи- чесκими свοйсτвами. Ηаличие у вйнτа 23 винτρвοй шаρиκο- вοй πаρы 22 двуχ элеκτροмагниτныχ муφτ 34,39 ποзвοлилο, в οτличие οτ извесτнοгο усτροйсτва, в χοде выτягивания κρисΤалла ρазъединяτь винτ 23 с элеκτροдвигаτелем 38 ус- κορеннοгο πеρемещения и τаκим οбρазοм снизиτь нагρузκу /и мοщнοсτь/ на двигаτель ρабοчегο πеρемещения. Οπρеде- ленный вκлад в усτρанение меχаничесκиχ наρушений προцес- са κρисτаллизации внοсиτ выποлнение гайκи винτοвοй шаρиκο- вοй πаρы 22 в виде двуχ гаеκ 24, заτягиваемыχ дρуг οτнοси- τельнο дρуга с мοменτοм Μ-5-8 κм-см. Гайκи 24 усτанοвлены в οбοйме 25 /φиг.4/, снабженнοй двумя сοοсными ποлуοся- ми 30 в гορизοнτальнοй πлοсκοсτи, προχοдящей чеρез οсь винτа 23 и οсь κаρеτκи 29. Эτο οбесπечиваеτ вοзмοжнοсτь πеρемещения κаρеτκи 29 для самοусτанοвκи.
Благοдаρя τοму, чτο шτοκ 13(17) сοсτοиτ из двуχ κοаκсиальныχ τρуб 52,53, ρазделяемыχ προдοльными πеρегο- ροдκами 54, сοединяемыми ποлуκοльцοм 55, οχлаждение шτο- κа 13(17) προвοдиτся πуτем ποсτуπления вοды в οдну из προдοльныχ κамеρ, из κοτοροй вοда οπусκаеτся дο заτρавκο- деρжаτеля, и заτем ποднимаеτся в дρугую προдοльнуго κамеρу и выχοдиτ в выχοднοй шτуцеρ 59. Τаκая κοнсτρуκция οбесπе- чиваеτ эφφеκτивнοе οχлаждение шτοκа 13(17) и ποзвοляеτ уменьшиτь егο диамеτρ, чτο,в свοю οчеρедь, снижаеτ нагρузκу
- 9 - на двигаτель ρабοчегο πеρемещения. Пρи эτοм снижаеτся вοзмοжнοсτь ποявления вибρаций οτдельныχ часτей усτанοвκи.
Пρедлагаемοе усτροйсτвο ποзвοляеτ ποлучаτь κρисτаллы τугοπлавκиχ οκислοв высοκοгο κачесτва за счеτ ρезκοгο сни- жения "аππаρаτуρнοй ποлοсчасτοсτи" κρисτаллοв и снижения числа дοменοв. Ηаπρимеρ, лοκальные неοднοροднοсτи ποκаза- τеля πρелοмления на ποлοсаχ ροсτа в мοнοκρисτаллаχ ниοба- τа линия уменьшаюτся в 5-8 ρаз и длина мοнοдοменнοй часτи эτиχ κρисτаллοв увеличиваеτся в 4-6 ρаз. Пροмышленная πρименимοсτь
Усτροйсτвο для выρащивания мοнοκρисτаллοв τугοπлав- κиχ οκислοв меτаллοв из ρасπлава мοжеτ быτь исποльзοванο для выρащивания мοнοκρисτаллοв ниοбаτа лиτия, τанτалаτа лиτия, алюмοиττиρиевοгο гρанаτа, саπφиρа, ρубина и дρугиχ.
Claims
1. Усτροйсτвο для выρащивания мοнοκρисτаллοв τугο- πлавκиχ οκислοв меτаллοв из ρасπлава, сοдеρжащее гορизοн- τальную οπορную πлиτу /I/, заκρеπленную на ней веρτиκаль- ную сτанину /2/ с несущей κοлοннοй /3/, κамеρу /5/ ροсτа, жесτκο сκρеπленную свοей веρχней часτью ποсρедсτвοм κροншτейна /4/ с несущей κοлοннοй /3/, и наχοдящиеся в κамеρе /5/ τигель /12/ для ρасπлава и заτρавκοдеρжаτель /16/, заκρеπленные сοοτвеτсτвеннο на нижнем и веρχнем шτοκаχ /13,17/, усτанοвленныχ κаждый с вοзмοжнοсτью вοзв- ρаτнο-ποсτуπаτельнοгο πеρемещения οτнοсиτельнο κορπуса κамеρы /5/ ροсτа и вρащения вοκρуг свοей οси, ο τ л и- чающе еся τем, чτο κамеρа /5/ ροсτа свοей нижней часτью жесτκο связана ποсρедсτвοм сτοйκи /6/ с' οπορнοй πлиτοй /ϊ/, πρи эτοм сτанина /2/ с несущей κοлοннοй /3/, κροншτейн /4/, κамеρа /5/ ροсτа, сτοйκа /6/ 'и οπορная πлиτа /I/ οбρазугоτ замκнуτый жесτκий κοнτуρ τиπа "ρама".
2. Усτροйсτвο выρащивания мοнοκρисτаллοв πο π.Ι, οτли чающ е ес я τем, чτο сτοйκа /6/ выποлнена в виде ποлοгο κορπуса и в нем ρазмещен меχанизм /21/ вοз- вρаτнο-ποсτуπаτельнοгο πеρемещения и вρащения нижнегο шτοκа /13/.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| HU864413A HU200372B (en) | 1985-08-09 | 1986-08-06 | Equipment for growing metal oxide monocrystals of high melting point from melt |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU853946561A SU1397555A1 (ru) | 1985-08-09 | 1985-08-09 | Установка дл выращивани монокристаллов тугоплавких окислов из расплава |
| SU3946561/31 | 1985-08-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO1987000870A1 true WO1987000870A1 (en) | 1987-02-12 |
Family
ID=21194995
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/SU1986/000076 WO1987000870A1 (en) | 1985-08-09 | 1986-08-06 | Device for growing monocrystals of refractory metal oxides from the melt |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0233950A4 (ru) |
| BG (1) | BG45486A1 (ru) |
| CS (1) | CS271245B1 (ru) |
| DD (1) | DD273556A3 (ru) |
| HU (1) | HU200372B (ru) |
| SU (1) | SU1397555A1 (ru) |
| WO (1) | WO1987000870A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102286782A (zh) * | 2011-09-15 | 2011-12-21 | 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 | 一种蓝宝石晶体生长方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04260686A (ja) * | 1991-02-08 | 1992-09-16 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 単結晶引上装置 |
| US8891681B2 (en) | 2012-03-20 | 2014-11-18 | Intel Mobile Communications GmbH | Transmitters and methods |
| RU2555481C1 (ru) * | 2014-02-14 | 2015-07-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие Экспериментальный завод научного приборостроения со Специальным конструкторским бюро Российской академии наук | Установка для выращивания монокристаллов сапфира методом киропулоса |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3359077A (en) * | 1964-05-25 | 1967-12-19 | Globe Union Inc | Method of growing a crystal |
| US4302280A (en) * | 1978-11-14 | 1981-11-24 | Texas Instruments Incorporated | Growing gadolinium gallium garnet with calcium ions |
| US4600564A (en) * | 1983-09-06 | 1986-07-15 | Crismatec | Machine for pulling monocrystals |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1542742A (fr) * | 1966-09-08 | 1968-10-18 | Siemens Ag | Dispositif pour tirage de cristaux |
| US3865554A (en) * | 1971-09-23 | 1975-02-11 | Little Inc A | Pressure-and temperature-controlled apparatus for large-scale production of crystals by the czochralski technique |
-
1985
- 1985-08-09 SU SU853946561A patent/SU1397555A1/ru active
-
1986
- 1986-07-21 BG BG7579686A patent/BG45486A1/xx unknown
- 1986-07-22 DD DD29271386A patent/DD273556A3/de not_active IP Right Cessation
- 1986-07-22 CS CS865569A patent/CS271245B1/cs unknown
- 1986-08-06 HU HU864413A patent/HU200372B/hu not_active IP Right Cessation
- 1986-08-06 EP EP19860905484 patent/EP0233950A4/de not_active Withdrawn
- 1986-08-06 WO PCT/SU1986/000076 patent/WO1987000870A1/ru not_active Application Discontinuation
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3359077A (en) * | 1964-05-25 | 1967-12-19 | Globe Union Inc | Method of growing a crystal |
| US4302280A (en) * | 1978-11-14 | 1981-11-24 | Texas Instruments Incorporated | Growing gadolinium gallium garnet with calcium ions |
| US4600564A (en) * | 1983-09-06 | 1986-07-15 | Crismatec | Machine for pulling monocrystals |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| See also references of EP0233950A4 * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102286782A (zh) * | 2011-09-15 | 2011-12-21 | 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 | 一种蓝宝石晶体生长方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CS271245B1 (en) | 1990-09-12 |
| BG45486A1 (ru) | 1989-06-15 |
| SU1397555A1 (ru) | 1988-05-23 |
| EP0233950A1 (de) | 1987-09-02 |
| HUT45282A (en) | 1988-06-28 |
| HU200372B (en) | 1990-05-28 |
| CS556986A1 (en) | 1989-08-14 |
| DD273556A3 (de) | 1989-11-22 |
| EP0233950A4 (de) | 1988-11-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4203951A (en) | Apparatus for growing single crystals from melt with additional feeding of comminuted charge | |
| RU2729003C2 (ru) | Способы и системы для ультразвукового измельчения зерна и дегазации при литье металла | |
| KR100825997B1 (ko) | 단결정 육성방법 및 단결정 육성장치 | |
| WO1987000870A1 (en) | Device for growing monocrystals of refractory metal oxides from the melt | |
| SU1168087A3 (ru) | Устройство дл электромагнитного лить полосы (его варианты) | |
| EP2415911A1 (en) | Device for producing single crystal of silicon carbide | |
| US4235848A (en) | Apparatus for pulling single crystal from melt on a seed | |
| NO170796B (no) | Fremstilling av tixotrope metallprodukter ved kontinuerlig stoeping | |
| TWI796318B (zh) | 用於金屬鑄造包含增強振動耦合之超音波顆粒精製及除氣程序及系統 | |
| EP0499389B1 (en) | Method and assembly for consumable electrode vacuum arc melting | |
| KR20040027264A (ko) | 반응고 성형용 다이캐스팅 방법 및 그 장치 | |
| JP2565759B2 (ja) | 多結晶シリコンの破砕装置 | |
| EP1686201B1 (en) | Pulling-down apparatus | |
| JP3520992B1 (ja) | 固液共存状態金属成形用ビレットの製造装置 | |
| KR20170100221A (ko) | 미세조직 미세화를 위한 직접 냉각 주조 장치 | |
| JP4399465B2 (ja) | 半凝固金属スラリー製造方法及び装置 | |
| CN114875257A (zh) | 一种制备高温合金的高频感应加热凝固装置与方法 | |
| KR20210113815A (ko) | 실리콘 단결정 잉곳의 성장 장치 및 방법 | |
| JP3685459B1 (ja) | 固液共存状態金属スラリの製造方法およびその製造装置 | |
| JPH0910893A (ja) | 半溶融成形用金属の製造装置 | |
| JP2000144279A (ja) | 均質な合金混合物の製造方法 | |
| CN112404381A (zh) | 一种超声振动分流装置 | |
| CN110461501B (zh) | 具有直接振动耦合的晶粒细化 | |
| RU2087251C1 (ru) | Способ вибрационной обработки кристаллизующегося металла и устройство для его осуществления | |
| CN221047255U (zh) | 物理细晶电磁铸造装置及铝合金锻件的生产系统 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| AK | Designated states |
Kind code of ref document: A1 Designated state(s): HU |
|
| AL | Designated countries for regional patents |
Kind code of ref document: A1 Designated state(s): BE CH DE FR IT NL |
|
| WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 1986905484 Country of ref document: EP |
|
| WWP | Wipo information: published in national office |
Ref document number: 1986905484 Country of ref document: EP |
|
| WWW | Wipo information: withdrawn in national office |
Ref document number: 1986905484 Country of ref document: EP |