WO1986001862A1 - Controlled radial magnetic bearing device - Google Patents

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WO1986001862A1
WO1986001862A1 PCT/JP1985/000159 JP8500159W WO8601862A1 WO 1986001862 A1 WO1986001862 A1 WO 1986001862A1 JP 8500159 W JP8500159 W JP 8500159W WO 8601862 A1 WO8601862 A1 WO 8601862A1
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magnetic bearing
frequency
control
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Inventor
Tsugito Nakazeki
Shoji Furahashi
Original Assignee
Ntn Toyo Bearing Co., Ltd.
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/0444Details of devices to control the actuation of the electromagnets
    • F16C32/0451Details of controllers, i.e. the units determining the power to be supplied, e.g. comparing elements, feedback arrangements with P.I.D. control

Definitions

  • the present invention relates to a magnetic bearing device, and more particularly to a control-type radial magnetic bearing device.
  • the control type radial magnetic bearing device is already known. Such magnetic bearing devices are widely used in bearings for machine tools that rotate at high speeds such as milling spindles because of their advantages of non-contact type and no mechanical friction. However, the rotating shaft can be held at a fixed position in the radial direction by the controlled electromagnetic force.
  • the magnetic bearing device of the species this for detecting the radial position of the electromagnet and the rotating shaft arranged at appropriate intervals on the outer circumference of the rotary shaft to the bearing supporting the rotary shaft good electromagnetic force radially k
  • the electromagnet is composed of a pilot coil and a control coil that generate a main magnetic flux of a magnetic bearing when a constant current is supplied, and a servo circuit is provided between the position sensor and the control coil.
  • the servo circuit supplies a deviation signal to the control coil to return the rotating shaft to the predetermined position.
  • the rotary shaft is kept at a predetermined position in the radial direction by the above.
  • the main shaft has a frequency near its natural frequency 1 due to disturbance generated from the cutter during cutting. (The number of revolutions per second), and there was an inconvenience that sufficient cutting force could not be obtained.
  • Japanese Patent Application No. 1-22753, 1983 applied a gain increase and phase advance to the control circuit in a frequency band corresponding to the natural frequency of the main shaft. To reduce the effects of disturbances in this frequency band by providing a cutting force, which has resulted in a significant increase in cutting capacity compared to conventional machines. Has been obtained.
  • an object of the present invention is to provide a control type radial magnetic bearing device having stable control characteristics by avoiding excessive control of the vibration of the main shaft at the time of load. It is in.
  • another object of the present invention is to eliminate the control output of the frequency components twice and four times the number of revolutions under the above-mentioned load, and to remove the control output of the shaft with respect to such a frequency.
  • the frequency can be reduced to other frequencies lower than fc mainly.
  • an electromagnet arranged at an appropriate interval on the outer periphery of the rotary shaft to support the rotary shaft in a radial direction by electromagnetic force, and a position sensor for detecting a radial position of the rotary shaft.
  • a Le magnetic bearing device and a control circuit for controlling the electromagnet for holding the rotary shaft in response to radial position on the output of the down support and k the location cell down support of the rotary shaft
  • a control-type radial magnetic bearing device characterized in that a band elimination filter having a center frequency of twice the frequency fc or twice and four times the rotation speed is introduced into the control circuit. I will provide a.
  • the rotating shaft used as the main shaft of the machine tool or the like vibrates at a frequency of twice or four times the number of rotations at the time of a load.
  • the band elimination filter removes the frequency component of the control output caused by these vibrations in the control circuit and prevents voltage saturation of the control power output section to the electromagnet. .
  • the main shaft of the machine oscillates at a frequency fn equal to the number of rotations as shown in Fig. 2a during no-load rotation, and during rotation due to cutting, etc., as shown in Fig. 2b. It is known from the frequency analysis of the output of the position sensor that a vibration including a vibration component of a double frequency and a vibration component of a quadruple frequency is generated.
  • FIG. 1 shows the control-type radial magnetic bearing device of the present invention.
  • FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of one embodiment.
  • - Figures 2a and 2b are waveform diagrams showing an example of the frequency analysis results of the periodic displacement in the radial direction of the conventional magnetic bearing.
  • a rotating shaft 1 used as a main shaft of a machine tool is composed of an X-axis electromagnet 2 arranged in X- and Y- directions perpendicular to each other in a plane perpendicular to the axis.
  • the magnetic bearing is radially supported by the radial magnetic bearing 2 having the X and Y axis electromagnets 2 Y, and is rotated in the direction of arrow B by the fc motor 3.
  • Reference numeral 4 denotes a thrust magnetic bearing for preventing displacement of the rotating shaft 1 in the axial direction (z direction).
  • Two or more magnetic bearings 2 are usually used at appropriate positions in the axial direction, such as near the end of the rotating shaft 1.
  • X — axis and Y On the axis, there are 12 X axis position sensors 5 X and Y axis position sensors 5 Y.
  • X — axis and Y with respect to the reference position of fc rotation axis 1 Detects axial displacement and generates an output according to the displacement.
  • These electromagnets 2 X and 2 Y each decrease the electromagnetic force.
  • the control windings 6 X and 6 ⁇ are used, and the exciting currents of these control windings are controlled by an X-axis control circuit 7 X and a ⁇ -axis control circuit 7 ⁇ ⁇ to be described later, respectively.
  • X-axis and ⁇ -axis control circuit for controlling c the X-axis are provided in the same manner all Ku in La dialkyloyl magnetic bearing of the lower end of the rotary shaft 1 circuit 7 X is the rotary shaft 1
  • the output signal of the phase compensating circuit 9 increases the rotational speed twice and four times according to the output of the rotational speed detecting means 12 which receives the force and compensates for the phase advance or delay of the control system.
  • the rotation speed detecting means 12 generates an output corresponding to the rotation speed of the k rotation shaft 1, and is configured so that the erasing filter 10 removes the specific frequency component according to the output fc .
  • the erasing filter 10 has a rotation speed of about 0.7 times the maximum rotation speed of the rotation shaft 1 at a predetermined load of n 0 rotation Z seconds :). It is desirable to fix the center frequency to 2 n 0 at rotation speeds lower than the operating person. This is because operating the elimination filter 10 at a rotation speed of n 0 or less reduces the damping effect on the natural vibration component.

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Description

明 細 書 制御式ラ ジア ル磁気軸受装置 技術分野
こ の発明は 磁気軸受装置、 特に制御式 ラ ジ ア ル 磁気軸受装置に関する。
背景技術
前記制御式ラ ジア ル磁気軸受装置は既に公知であ る。 か ゝ る磁気軸受装置は、 非接触式で機械的摩擦 がないと い う 利点か ら ミ リ ン グス ピ ン ド ル等の輊負 荷髙速回転の工作機械用軸受に多用 されてお り 、 制 御さ れた電磁力 によって回転軸をその半径方向の一 定位置に保持する こ とができ る。
こ の種 の磁気軸受装置は k 一般に電磁力 によ て 回転軸を半径方向に軸受支持する ため回転軸の外周 上に適宜の間隔で配置 した電磁石と 回転軸の半径 方向の位置を検出するための位置セ ン サ と 該位置 セ ン サ の出力に応 じて回転軸を半径方向所定位置に 保持するため該電磁石を制御する制御回路とを傭え ている。 該電磁石は一定電流の通電によって磁気軸受の主 磁束を発生するパイ ァ ス コ ィ ル と制御コ ィ ルか ら成 り 該位置セ ンサ と該制御コ イ ル と の間にはサーボ 回路が設け られ 回転軸が所定位置か らずれたこ と を位置セ ン サ が検知する と サーボ回路によ っ て回 転軸をその所定位置に戻すよ う な偏差信号が制御コ ィ ル に供給 され こ れに よ つ て回転軸を半径方向所 定位置に保持する 。
特に工作機械の主軸用 の軸受と してか 、 る ラ ジ ア ル磁気軸受を用いる場合、 切削時にカ ッ タ ーか ら生 'ずる外乱のため、 主軸がその固有振動数付近の振動 数 1 秒当 り の回転数 ) で振動 し 、 十分な切削力が 得られない と い う不都合があった。 そこで日 本国特 許出願昭和 5 8年第 1 2 2 7 5 3 号では こ のよ う な不都合を解決する ため主軸の固有振動数に対応 し た周波数帯域で制御回路にゲイ ン増加と位相進みを 与える こ と によ り この周波数帯での外乱の作用を減 衰させ.る ことを提案してお り このため従来の機械 に比して切削能力が飛躍的に増加する と い う成果が 得 られている 。 しか しなが ら 、 か る制御式ラ ジ ア ル磁気軸受を 用 いた場合 k 回転軸の固有振動数帯域での回転にお ける外乱作用を効果的に減衰させる こ と はで き るが, 切削深さ等が大き い髙負荷切削時には主軸回転数の 2倍 , 4倍等の整数倍の外乱周波数で主軸が振動す る ため、 これを電磁力で抑制 しょ う とする と制御電 力出力部の電圧飽和を引き起 し、 制御不能に陥る と い う問題があった。
そこで、 本発明の目 的は髙負荷時における 上記主 軸の振動に対 して無理な制御をする こ とを回避 し 安定 した制御特性を有する制御'式ラ ジ ア ル磁気軸受 装置を提供する にあ る。
さ らに、 本発明のも う 1 つの目的は前記髙負荷時 における 回転数の 2倍および 4倍の周波数成分の制 御出力を除去 し、 こ の よ う な周波数に対 しては軸の 慣性力によって得 られる剛性のみと し、 こ の よ う な 周波数によ る制御系の電圧飽和が生 じないよ う にす る こと によ り fc 主と してこれよ り低い他の周波数に 対する制御機能を保持する こ と のでき る制御式ラ ジ ア ル磁気軸受装置を提供する にあ る 0 発明の開示
本発明によ る と 電磁力によって回転軸を半径方 向に軸受支持する ため回転軸の外周上に適宜の間隔 で配置 した電磁石 と、 回転軸の半径方向の位置を検 出するための位置セ ン サ と k 該位置セ ン サ の出力 に 応答 して回転軸を半径方向所定位置に保持する ため 該電磁石を制御する制御回路とを備えた制御式ラ ジ ア ル磁気軸受装置において 回転軸の回転数の 2倍 fc ある いは 2倍および 4倍の周波数を中心周波数とす る帯域消去フ ィ ル タ を該制御回路に揷入 した こ とを 特徵とする制御式ラ ジア ル磁気軸受装置を提供する。
こ の よ う に構成された本発明の磁気軸受装置では、 工作機械の主軸等と して用 い られる回転軸が髙負荷. 時に回転数の 2倍及び 4倍の周波数で振動 し、 その 振動を位置セ ンサ によ り検出する と 該帯域消去フ ィ ノレタ は制御回路においてこれ ら振動に起因する制 御出力の周波数成分を除去 し、 電磁石への制御電力 出力部の電圧飽和を防 ぐ。 .
このよ う な帯域消去フ ィ ルタ を有し ない制御回路 により制御される従来の磁気軸受装置を用 いたェ作 機械の主軸は 無負荷回転時には第 2 図 a に示すよ う に回転数に等 しい周波数 f n で振動 し、 切削等に よ る髙負荷回転時には第 2 図 b に示すよ う に、 回転 数の 2 倍の周波数 及び 4倍の周波数 の振動 成分を含む振動をする こ とが、 位置セ ン サ出力の阛 波数分析によって知られている。 この場合、 これ ら 特定の周波数で制御系の出力部の電圧飽和が生 じ る こ とがあ るが、 本発明では制御回路に周波数 f a n又 は £ a n と £ 4 ηを中心周波数とする帯域消去フ ィ ル タ を備えているか ら これ ら周波数成分によ る制御零 力出力部の電圧飽和は防止さ れる 。 この場合 周波 数 £ η の振動成分も勿論存在する が、 ピー ク 値の変 化が他の周波数の振動に比 して小さ く 、 制御'回路の 制御電力出力部の電圧のゲイ ン も低いため こ の周 波数出力で電圧鉋和を引き起すこ と はない。
本発明の他の特徵 , 目 的 , 及び利点については添 付図を参照 して説明する以下の実施例についての記 述によ り 明 らかと なるであろ う。
図面の簡単な説明
笫 1 図はこの発明の制御式ラ ジアル磁気軸受装置 の一実施例の構成を示すブ ロ ッ ク 図である。 - 第 2 図 a 及び b は従来の磁気軸受の半径方向の周 期性変位の周波数分析結果の一例を示す波形図であ る O
発明を実施する ための最良の形態
第 1 図について説明する と 工作機械の主軸等に 用い られる回転軸 1 は、 その.軸線に直角な平面内で 互いに直交する X — , Y —両 tt方向に配置さ れた X 軸用電磁石 2 X及び Y軸用電磁石 2 Yを有する ラ ジ ア ル磁気軸受 2 に よって半径方向に磁気軸受けさ れ fc モー タ 3 に よ って矢印 B の方向に回転する。 符号 4 は回転軸 1 の軸方向 z 方向 ) の変位を阻止する た めのス ラ ス ト磁気軸受である。 該磁気軸受 2は、 通 常回転軸 1 の端部近傍等、 軸方向適宜の位置に 2 つ 以上用 い られる 。
X —軸及び Y —軸上には X軸用位置セ ン サ 5 X及 び Y軸用位置セ ン サ 5 Y が 12置さ れており fc 回転軸 1 の基準位置に対する X —軸及び Y —軸方向の変位 を検出 し 変位量に応 じた出力を発生する 。 これ ら 電磁石 2 X及び 2 Y はそれぞれ電磁力を増滅する た め の制御卷線 6 X及び 6 Υを有 し こ れ ら の制御巻 線の励磁電流はそれぞれ後述する X軸用制御回路 7 X及び Υ軸用制御回路 7 Υ によって制御さ れる。 こ れ ら X軸用及び Υ軸用制御回路は回転軸 1 の下端部 の ラ ジ アル磁気軸受に も全 く 同様に備え られている c 該 X軸用制御回路 7 X は、 回転軸 1 の X軸方向基 準位置を示す一定の基準電圧 Vox と X軸用位置セ ン サ 5 X の出力 と の差を表わす偏差信号 を増幅す る偏差信号増幅器 8 と 、 こ の偏差信号増幅器 8の 出 力を受けて制御系の位相進み又は遅れを補儻する位 債回路 9 と 後述する 回転数検出手段 1 2の出 力に従って位相補償回路 9の出力信号よ り 回転数の 2倍及び 4倍の周波数の成分を除去する可変帯域消 去フ ィ ル タ 1 0 と k その出力を増幅する電力増幅器 1 1 とか ら成る。 従って、 上記周波数成分は該消去 フ ィ ル タ 1 0 によって除去されて k 電力増幅器 1 1 の電圧鉋和が阻止される 。
上記回転数検出手段 1 2は k 回転軸 1 の回転数に 応 じた出力を発生し fc こ の出力に従って該消去ブ イ ル タ 1 0が上記特定周波数成分を除去する よ う に設 け られているが、 こ の場合該消去フ ィ ル タ 1 0は回 転軸 1 の所定負荷時の最髙回転速度の約 0. 7 倍の回 転速度 n0 回転 Z秒 :) か ら作動させ人 それ以下の回 転数では中心周波数を 2 n0に固定する のが望ま しい。 これは、 該消去フ ィ ル タ 1 0を n0以下の回転数で作 動させる と 、 固有振動成分に対する減衰効果が減殺 されるか らであ る
産業上の利用可能性
1上説明 したよ う に の発明の制御式ラ ジア ル 磁気軸受装置によれば、 工作機械主軸等の髙負荷回 転時において も、 制御電力出力部の電圧飽和が生 じ る な く 、 比較的低い電源電圧を用いて安定な制 御特性を得る こ とができ k 従って種々 の産業機械の 主軸等に広 く 利用する こ とができ る 。

Claims

請求の範囲
1. 電磁力によって回転軸を半径方向に軸受支持す る ため回転軸の外周上に適宜間隔で配置さ れた電 磁石 と 、 回転軸の半径方向の位置を検出する ため の位置セ ン サ と 該位置セ ン サ の出力に応 じて回 転軸を半径方向所定位置に保持する ため該電磁石 を制御する制御回路を備えた制御式ラ ジ ア ル磁気 軸受装置において、 回転軸の回転数を検出する た め の回転数検出手段と 該検出手段によ って検出 された回転数の 2倍の周波数ある いは 2倍及び 4 倍の周波数を中心周波数とする帯域消丟フ ィ ル タ を上記制御回路に揷入 したこ とを特徵とする制御 式ラ ジ ア ル磁気軸受装置。
2. 前記制御回路が、 回転軸の X軸方向基準位置を 示す一定の基準電圧 Vox と X軸用位置セ ンサ の出 力 との差を表わす偏差信号 を増幅する偏差信 号増幅器と こ の偏差信号増幅器の出力を受けて 制御系の位相進み又は遅れを補僙する位相補償回 路と 前記回転数検出手段によって検出 さ れる回 転軸の回転数の 2倍ある いは 2倍及び 4倍の周波 数を中心周波数とする帯域消去フ ィ ル タ と 、 そ の 出力を増幅する電力増幅器とを備えてい る こ とを 特徵 とする請求の範囲第 1 項に記載の磁気軸受装 3. 前記帯域消去フ ィ ル タ が前記回転数検出手段の 出力に応動 して中心周波数が変化する可変帯域消 去フ ィ ル タ であ る こ とを特徵とする請求の範囲第
1 項又は第 2項に記載の磁気軸受装置。
4. 前記帯域消去フ ィ ル タ は回転軸の所定負荷時の 最髙回転速度の約 0. 7 倍の回転速度 n0 ( 回転/秒
:) か ら作動させ、 それ以下の回転数では中心周波 数を 2 n0に固定する こ とを特徵とする請求の範囲 第 1 項乃至第 3項のいずれかに記載の磁気軸受装
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JP59/188745 1984-09-08
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4928561A (en) * 1986-11-13 1990-05-29 S.A.: Societe Europeenne De Propulsion Method and apparatus for ultra-precise machining applied to executing atypical surfaces of revolution and to servo-controlled machining

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0637895B2 (ja) * 1986-09-12 1994-05-18 株式会社日立製作所 電磁軸受制御装置
JPH01116318A (ja) * 1987-10-28 1989-05-09 Natl Aerospace Lab 能動形磁気軸受
JPH0787681B2 (ja) * 1988-07-21 1995-09-20 セイコー電子工業株式会社 磁気軸受の制御装置
US5144549A (en) * 1990-06-29 1992-09-01 Massachusetts Institute Of Technology Time delay controlled processes
DE4022523A1 (de) * 1990-07-16 1992-01-23 Pfeiffer Vakuumtechnik Einrichtung zum fluten von schnell rotierenden vakuumpumpen
US5314868A (en) * 1991-08-06 1994-05-24 Koyo Seiko Co., Ltd. Bearing device
JP3083242B2 (ja) * 1995-04-27 2000-09-04 核燃料サイクル開発機構 回転体の静止場での振動評価方法
JPH1082420A (ja) * 1996-09-09 1998-03-31 Ntn Corp 磁気軸受スピンドルのディジタル制御方法および制御装置
JP3701115B2 (ja) 1998-02-12 2005-09-28 株式会社荏原製作所 磁気軸受制御装置
JP4036567B2 (ja) 1999-01-27 2008-01-23 株式会社荏原製作所 制御形磁気軸受装置
JP3901897B2 (ja) 1999-08-25 2007-04-04 株式会社荏原製作所 磁気軸受装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05293853A (ja) * 1992-04-23 1993-11-09 Fujitsu Ltd インモールドガス注入ノズル

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2417797A1 (fr) * 1978-02-20 1979-09-14 Europ Propulsion Dispositif de compensation du grain d'un circuit asservi par contre-reaction en courant
DE3148944A1 (de) * 1981-12-10 1983-08-04 Teldix Gmbh, 6900 Heidelberg Vorrichtung zur magnetischen lagerung eines koerpers

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05293853A (ja) * 1992-04-23 1993-11-09 Fujitsu Ltd インモールドガス注入ノズル

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP0193609A4 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4928561A (en) * 1986-11-13 1990-05-29 S.A.: Societe Europeenne De Propulsion Method and apparatus for ultra-precise machining applied to executing atypical surfaces of revolution and to servo-controlled machining

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6166540A (ja) 1986-04-05
EP0193609A1 (en) 1986-09-10
GB8610407D0 (en) 1986-06-04
GB2176317A (en) 1986-12-17
EP0193609A4 (en) 1988-05-10

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