UA93625C2 - Газорозрядна електронна гармата - Google Patents
Газорозрядна електронна гармата Download PDFInfo
- Publication number
- UA93625C2 UA93625C2 UAA201000799A UAA201000799A UA93625C2 UA 93625 C2 UA93625 C2 UA 93625C2 UA A201000799 A UAA201000799 A UA A201000799A UA A201000799 A UAA201000799 A UA A201000799A UA 93625 C2 UA93625 C2 UA 93625C2
- Authority
- UA
- Ukraine
- Prior art keywords
- gas
- electron
- cathode
- gun
- technological
- Prior art date
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 abstract description 21
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 10
- 210000003127 knee Anatomy 0.000 abstract description 8
- 238000002844 melting Methods 0.000 abstract description 7
- 230000008018 melting Effects 0.000 abstract description 7
- 239000012212 insulator Substances 0.000 abstract description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 7
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 6
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 3
- 244000309464 bull Species 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 241000219112 Cucumis Species 0.000 description 1
- 235000015510 Cucumis melo subsp melo Nutrition 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- FJJCIZWZNKZHII-UHFFFAOYSA-N [4,6-bis(cyanoamino)-1,3,5-triazin-2-yl]cyanamide Chemical compound N#CNC1=NC(NC#N)=NC(NC#N)=N1 FJJCIZWZNKZHII-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 239000003721 gunpowder Substances 0.000 description 1
- 238000003306 harvesting Methods 0.000 description 1
- -1 i.e. Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000011819 refractory material Substances 0.000 description 1
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
- H01J37/077—Electron guns using discharge in gases or vapours as electron sources
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/16—Vessels; Containers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/305—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
Газорозрядна електронна гармата належить до електронної техніки, а саме до газорозрядних електронних гармат технологічного призначення, і може знайти застосування у спеціальній електрометалургії для електронно-променевої плавки металів та сплавів. Газорозрядна електронна гармата складається з герметичного металевого корпусу, в якому розміщені високовольтний ізолятор, холодний увігнутий катод та співвісний з ним порожнистий анод, до корпусу герметично приєднаний променевід з розміщеними на ньому фокусуючими і відхиляючими котушками, який виконано з двох частин у вигляді коліна, кут повороту другої частини променеводу відносно першої вибрано таким, щоб виключити пряму видимість отвору в аноді для проходження електронного променя з тигля, що знаходиться по центру приєднуваної технологічної камери. Запропонована конструкція газорозрядної електронної гармати більш стабільна в роботі при плавці губчастих матеріалів, порошків, тобто матеріалів, які мають високу газонасиченість, ніж традиційні гармати з термокатодом.
Description
електродів, променевід з системами фокусування і жаючи на наявність плити з каналами для прохо- відхилення променю при проходженні його в тех- дження охолоджуючої води. нологічну камеру. В цих гарматах в результаті бо- Найбільш близьким за технічною суттю і ре- мбардування поверхні катода швидкими частками зультатом, що досягається, до рішення, що заяв- (позитивними іонами і швидкими атомами газу), ляється, є газорозрядна електронна гармата, яка що виникають при прискоренні і перезарядженні складається з герметичного металевого корпусу, в іонів в області катодного падіння потенціалу, утво- якому розміщені високовольтний ізолятор, холод- рюється потік електронів. Регенерація | приско- ний увігнутий катод з розвиненою емісійною пове- рення електронів відбувається в межах розряду за рхнею і співвісний з ним порожнистий анод, донна рахунок високої напруги, що підводиться між ано- частина якого виконана у вигляді плити з канала- дом і катодом. Пучок електронів, що утворюється, ми для охолоджуючої води і отвором для прохо- проходить у технологічну камеру до поверхні, яка дження електронного пучка, а також приєднаний обігрівається, через променевід з системами фо- співісно аноду променевід з розміщеними на ньо- кусування і відхилення пучка. му фокусуючими і відхиляючими котушками. Кана-
Недоліками гармати є: ли для охолоджуючої води виконані всередині тіла - одержання електронного пучка обмеженої плити і зв'язані між собою в єдину систему, розта- потужності і з великим кутом сходження, що шовану навколо отвору для проходження елект- ускладнює його транспортування на значну відс- ронного пучка. Охолоджуюча система виконана з тань; чотирьох каналів, з'єднаних між собою у вигляді - залежність геометрії електронного пучка від квадрата або прямокутника, кожний канал викона- регулювання потужності шляхом зміни тиску робо- ний з можливістю виходу з герметичного метале- чого газу. вого корпусу і оснащений знімною герметичною
При розташуванні гармати на одній вертика- пробкою |41. льній осі з об'єктом, що обігрівається в технологіч- Недоліками прототипу є перегрівання елемен- ній камері, додатково появляються ще два недолі- тів гармати, які знаходяться у зоні прямої видимо-
Ки: сті з поверхні, яка обігрівається в технологічній - попадання у катодний проміжок гармати під камері електронним променем, і попадання у ка- час плавки газів, пари металу і навіть бризок, що тодний проміжок гармати під час плавки газів, пари негативно впливає на працездатність гармати; металу і бризок, тобто ті ж, що і у розглянутому - перегрів конструктивних елементів гармати, вище прикладі. Перегрівання плити має місце, які знаходяться в зоні прямої видимості з поверхні, незважаючи на наявність більш ефективної ніж у що обігрівається електронним променем в техно- попередньому випадку системи охолодження, логічній камері, внаслідок випромінювання з цієї оскільки при використанні газорозрядних гармат поверхні. відстань між катодом і поверхнею, яка обігріваєть-
Відома також газорозрядна електронна гарма- ся променем у технологічній камері, менша, ніж у та, що включає герметичний металевий корпус, в гармат з термокатодом. якому розміщені високовольтний ізолятор, холод- Вказані недоліки можна усунути, якщо розміс- ний увігнутий катод з розвиненою емісійною пове- тити гармату таким чином, щоб виключити пряму рхнею і співісний з ним порожнистий анод, донна видимість її конструктивних елементів з поверхні, частина якого виконана у вигляді плити, яка роз- яка обігрівається електронним променем в техно- ташована в середині анода і має канали для про- логічній камері. Однак, як вже вказувалось вище, у ходження охолоджуючої води | отвір для прохо- цьому випадку зникає можливість використання дження електронного пучка, а також приєднаний електромагнітного перемішування розплаву під співвісний аноду променевід з розміщеними на час плавки. ньому фокусуючими і відхиляючими котушками. В основу винаходу покладено прагнення за-
Канали для проходження охолоджуючої води ви- безпечити в гарматі поворот променя на кут, при конані у вигляді кільцевих зовнішніх проточок і якому вказана пряма видимість буде відсутня. Для розташовані по периметру плити. Між анодом і цього запропонована газорозрядна електронна фокусуючою лінзою розташований магнітний ек- гармата, яка складається з герметичного метале- ран з отвором у центрі, діаметр якого збігається з вого корпусу, в якому розміщено високовольтний діаметром отвору в дні анода (ЗІ. ізолятор, холодний увігнутий катод з розвиненою
Завдяки вдало підібраній геометрії і розмірам емісійною поверхнею і співвісний з ним порожнис- конструктивних елементів гармати вона може фо- тий анод, донна частина якого виконана у вигляді рмувати електронний пучок великої потужності (до плити з каналами для охолоджуючої води, які ви- 500 кВт і більше) з стабільними геометричними і конані всередині тіла плити і зв'язані між собою в енергетичними параметрами. Недоліком гармати єдину систему, розташовану навколо отвору для при її розміщенні на одній вертикальній осі з об'єк- проходження електронного пучка, і до якого співві- том, що обігрівається електронним променем в сне приєднаний магнітний екран, мінімальний діа- технологічній камері, залишаються, як і у поперед- метр отвору в якому співпадає з діаметром отвору ньому випадку, попадання у катодний проміжок в аноді, а також герметично приєднаний до корпу- гармати під час плавки газів, пари металу 1 бри- су променевід з розміщеними на ньому фокусую- зок, а також перегрів конструктивних елементів чими і відхиляючими котушками, у якій, згідно з гармати, які знаходяться в зоні прямої видимості з винаходом, променевід виконано у вигляді коліна, поверхні, яка обігрівається електронним променем кут якого вибрано таким, щоб виключити пряму в технологічній камері. Перегрів має місце, незва- видимість отвору для проходження електронного променя з поверхні, що обігрівається електронним ня променю без торкання стінок променевіда. променем в технологічній камері, і оснащено ко- Стрижні 11 електричне ізольовані від променевіда тушками повороту променю на цій кут, і частину і з зовнішнього боку з'єднані між собою гнучким променевіда, що стикується з технологічною каме- зв'язком з струмознімачем. Фокусуючі котушки 12 рою, змонтовано на одній вертикальній вісі з крис- встановлено на частині 7 променовіда, що стику- талізатором або тиглем в цій камері, причому фо- ється з корпусом гармати, а котушки 13 відхилення кусуючі котушки розташовано на частині променю - на частині 8 променевіда, що стикуєть- променевіда, що стикується з герметичним корпу- ся з технологічною камерою. Для попередження сом гармати, а котушки повороту променю на кут перегріву частини променевіда, поверхня якого коліна і котушки відхилення променю розташовано знаходиться у зоні прямої видимості з поверхні на частині променевіда, що стикується з техноло- об'єкта 9, що обігрівається променем у технологіч- гічною камерою, на цій же частині променевіда ній камері, ця поверхня променевіда футерована поблизу коліна встановлено стрижні з тугоплавко- тугоплавким матеріалом 14. го металу, які електричне ізольовані від промене- Запропонована газорозрядна електронна гар- віда і з зовнішнього боку з'єднані між собою гнуч- мата працює таким чином. Після створення у тех- ким зв'язком з 0 струмознімачем. Частину нологічній камері потрібного вакууму в катодно- променевіда, яка знаходиться у зоні прямої види- анодну порожнину гармати подають робочий газ, а мості з поверхні, що обігрівається електронним на катод 2 - прискорюючу постійну напругу у 20-30 променем в технологічній камері, футерована ту- КВ. При тиску у діапазоні 1072-1 Па виникає тліючий гоплавким матеріалом. розряд, сила струму якого регулюється шляхом
Суть винаходу пояснюється кресленням, на регулювання тиску робочого газу і який приводить якому наведений схематичний розріз газорозряд- до створення електронного пучка. Цей пучок за ної електронної гармати. допомогою фокусуючих котушок 12 поступає у
Газорозрядна гармата містить в герметичному частину променевіда 7, що стикується з камерою металевому корпусі ізолятор 1, на якому закріпле- гармати, а за допомогою котушок повороту проме- ний катод 2 з розвиненою сферичною емісійною ню 10-у частину променевіда 8, що стикується з поверхнею. Катод 2 встановлено співвісне з поро- технологічною камерою. Положення променю ре- жнистим анодом 3, донна частина якого виконана гулюють за допомогою сигналів, які отримують з у вигляді плити 4 з каналами для охолоджуючої стрижнів 11.3 частини 8 променевіда пучок виво- води. Канали зроблені всередині тіла плити і зв'я- диться у технологічну камеру і фокусується на зані між собою в єдину систему, розташовану на- поверхні об'єкта 9, що нагрівається. Процесом вколо отвору 5 для проходження електронного нагрівання поверхні об'єкту 9 можна управляти за пучка. До плити 4 приєднано магнітний екран 6 з допомогою котушок 13, які дозволяють створювати феромагнітної сталі, мінімальний діаметр отвору в різні конфігурації нагріву. якому співпадає з діаметром отвору 5 в аноді і Перевагою запропонованої гармати перед ти- який зменшує поперечний розмір пучка в зоні його ми, що використовуються в промисловості в даний транспортування, що дозволяє зменшити діаметр час, є більша стабільність в роботі при плавці від- каналу, через який пучок транспортується. До кор- ходів виробництва, губчастих матеріалів, порош- пусу гармати герметично приєднано променевід, ків, тобто матеріалів, які мають високу газонасиче- який виконано у вигляді коліна, що складається з ність. Крім того, гармата достатньо проста з точки двох частин, одна з яких 7 з'єднується з корпусом зору конструктивного виконання, що дає змогу її гармати, а друга 8-з технологічною камерою (не виготовлення в умовах більшості підприємств без показано) таким чином, що поверхня об'єкта 9, яка залучення спеціального обладання. обігрівається електронним променем в технологіч- Література ній камері, розташована на одній вертикальній осі 1. Злектронно-лучевая плавка в литейном з частиною 8 променевіда. Кут коліна с між части- производстве / С.В. Ладохин, Н.И. Левицкий, В.Б. нами 7 і 8 променевіда вибирають таким, щоб ви- Чернявский и др. - К.; Изд-во «Сталь», 2007. - С. ключити пряму видимість отвору 5 з поверхні 9, 102-107. яка обігрівається електронним променем в техно- 2. Плазменньюе процессь в технологических логічній камері. Поблизу коліна розміщують котуш- злектронньїх пушках / М.А.Завьялов, Ю.З. Крейн- ки 10 повороту променя на кут с. Для фіксації по- дель, А.А. Новиков, Л.П. Шантурин. "- ложення променю при повороті на кут о в частині М.:Знергоатомиздат, 1989. - С. 97-145. променевіда 8, що стикується з технологічною 3. Патент України Ме 38451, МПК 7 НОТ 37/06, камерою, поблизу коліна встановлено стрижні 11 з Бюл. Мо 1,2004 р. тугоплавкого металу. Кількість і розміщення стри- 4. Патент України Ме 83514, МПК 8 НО1.) 37/06, жнів вибирають з умови забезпечення проходжен- Бюл. Ме 14, 2008 р.
лек ї Хм. й шо х Ж о Ей пон ту Я У ар я ве че дух що Р, й
Меч ви - но Еву К ! їй їй СК дл с ше лоді І ШИ
Ж я, А В й шо У шия чи а -2 3
Шо я вет йт я КУ со тен АЙ й Ше У ую я 7 г Її з ти пд Шок Б иа ех ння тА ес я «т ИН ря ЖЖ. Ши
ПД ши ви ИН ня мин ан» Я в ни кі Мкегя
Я нн, Ше зи. х я Я се й б сто шо ше ж жо вн
Шин со! Га нн НГ пн АН к З Й ! ; й Ши ох рн) ШИНИ | в стро Ма у, лобобоння Ва Ши шк мем пня зИМднея ДЯ я щ
Н її й; її диня
НІ - ін к-т
Фіг. 1
Комп'ютерна верстка І. Скворцова Підписне Тираж 23 прим.
Міністерство освіти і науки України
Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна
ДП "Український інститут промислової власності", вул. Глазунова, 1, м. Київ - 42, 01601
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
UAA201000799A UA93625C2 (uk) | 2010-01-27 | 2010-01-27 | Газорозрядна електронна гармата |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
UAA201000799A UA93625C2 (uk) | 2010-01-27 | 2010-01-27 | Газорозрядна електронна гармата |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
UA93625C2 true UA93625C2 (uk) | 2011-02-25 |
Family
ID=50830753
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
UAA201000799A UA93625C2 (uk) | 2010-01-27 | 2010-01-27 | Газорозрядна електронна гармата |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
UA (1) | UA93625C2 (uk) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017155495A1 (en) * | 2016-10-31 | 2017-09-14 | State Enterprise "International Center For Electron Beam Technologies Of E.O. Paton Electric Welding Institute Of National Academy Of Sciences Of Ukraine" | Electron beam projector with linear thermal cathode |
EP3333878A1 (en) * | 2016-12-09 | 2018-06-13 | Sia "Kepp Eu" | Gas-discharge electron gun |
-
2010
- 2010-01-27 UA UAA201000799A patent/UA93625C2/uk unknown
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017155495A1 (en) * | 2016-10-31 | 2017-09-14 | State Enterprise "International Center For Electron Beam Technologies Of E.O. Paton Electric Welding Institute Of National Academy Of Sciences Of Ukraine" | Electron beam projector with linear thermal cathode |
EP3333878A1 (en) * | 2016-12-09 | 2018-06-13 | Sia "Kepp Eu" | Gas-discharge electron gun |
LV15301B (lv) * | 2016-12-09 | 2019-01-20 | Kepp Eu, Sia | Gāzizlādes elektronu lielgabals |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5781710B2 (ja) | 鋳造又は噴霧されて粉末になる処理材料を製造する方法 | |
CN103299390B (zh) | 用于产生电子束的设备 | |
US9214313B2 (en) | Ion source with independent power supplies | |
RU2012111218A (ru) | Ионно-плазменные излучатели электронов для плавильной печи | |
US7304319B2 (en) | Wafer charge compensation device and ion implantation system having the same | |
JP5616426B2 (ja) | 真空処理装置 | |
US4122347A (en) | Ion source | |
JP2013503259A5 (uk) | ||
RU2016117814A (ru) | Процессы с использованием удаленной плазмы дугового разряда | |
US3450824A (en) | Method and apparatus for producing and directing an electron beam | |
UA93625C2 (uk) | Газорозрядна електронна гармата | |
US3177535A (en) | Electron beam furnace with low beam source | |
US3268648A (en) | Apparatus for vaporizing materials by an electron beam | |
EP1783810A2 (en) | Electron Gun | |
US3409729A (en) | Electron beam furnace and method for heating a target therein | |
EP3333878B1 (en) | Gas-discharge electron gun | |
UA83313U (uk) | Газорозрядна електронно-променева гармата | |
RU2323502C1 (ru) | Газоразрядная электронная пушка | |
US3475542A (en) | Apparatus for heating a target in an electron beam furnace | |
CN205992996U (zh) | 一种充氩气的电子束熔炼炉用电子枪室 | |
CN202443946U (zh) | 用于电子束炉的电子枪 | |
CN106231713A (zh) | 一种充氩气的电子束熔炼炉用电子枪室 | |
CN111133551B (zh) | 离子源装置 | |
UA79171U (uk) | Газорозрядна електронна гармата | |
UA121970C2 (uk) | Газорозрядна електронна гармата |