UA93625C2 - Газорозрядна електронна гармата - Google Patents

Газорозрядна електронна гармата Download PDF

Info

Publication number
UA93625C2
UA93625C2 UAA201000799A UAA201000799A UA93625C2 UA 93625 C2 UA93625 C2 UA 93625C2 UA A201000799 A UAA201000799 A UA A201000799A UA A201000799 A UAA201000799 A UA A201000799A UA 93625 C2 UA93625 C2 UA 93625C2
Authority
UA
Ukraine
Prior art keywords
gas
electron
cathode
gun
technological
Prior art date
Application number
UAA201000799A
Other languages
English (en)
Russian (ru)
Inventor
Вадим Борисович Чернявский
Сергей Васильевич Ладохин
Валерий Андреевич Семенец
Александр Васильевич Крещук
Владимир Иванович Цветков
Тамара Владимировна Лапшук
Original Assignee
Физико-Технологический Институт Металлов И Сплавов Hah Украины
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Физико-Технологический Институт Металлов И Сплавов Hah Украины filed Critical Физико-Технологический Институт Металлов И Сплавов Hah Украины
Priority to UAA201000799A priority Critical patent/UA93625C2/uk
Publication of UA93625C2 publication Critical patent/UA93625C2/uk

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/06Electron sources; Electron guns
    • H01J37/077Electron guns using discharge in gases or vapours as electron sources
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/16Vessels; Containers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/305Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

Газорозрядна електронна гармата належить до електронної техніки, а саме до газорозрядних електронних гармат технологічного призначення, і може знайти застосування у спеціальній електрометалургії для електронно-променевої плавки металів та сплавів. Газорозрядна електронна гармата складається з герметичного металевого корпусу, в якому розміщені високовольтний ізолятор, холодний увігнутий катод та співвісний з ним порожнистий анод, до корпусу герметично приєднаний променевід з розміщеними на ньому фокусуючими і відхиляючими котушками, який виконано з двох частин у вигляді коліна, кут повороту другої частини променеводу відносно першої вибрано таким, щоб виключити пряму видимість отвору в аноді для проходження електронного променя з тигля, що знаходиться по центру приєднуваної технологічної камери. Запропонована конструкція газорозрядної електронної гармати більш стабільна в роботі при плавці губчастих матеріалів, порошків, тобто матеріалів, які мають високу газонасиченість, ніж традиційні гармати з термокатодом.

Description

електродів, променевід з системами фокусування і жаючи на наявність плити з каналами для прохо- відхилення променю при проходженні його в тех- дження охолоджуючої води. нологічну камеру. В цих гарматах в результаті бо- Найбільш близьким за технічною суттю і ре- мбардування поверхні катода швидкими частками зультатом, що досягається, до рішення, що заяв- (позитивними іонами і швидкими атомами газу), ляється, є газорозрядна електронна гармата, яка що виникають при прискоренні і перезарядженні складається з герметичного металевого корпусу, в іонів в області катодного падіння потенціалу, утво- якому розміщені високовольтний ізолятор, холод- рюється потік електронів. Регенерація | приско- ний увігнутий катод з розвиненою емісійною пове- рення електронів відбувається в межах розряду за рхнею і співвісний з ним порожнистий анод, донна рахунок високої напруги, що підводиться між ано- частина якого виконана у вигляді плити з канала- дом і катодом. Пучок електронів, що утворюється, ми для охолоджуючої води і отвором для прохо- проходить у технологічну камеру до поверхні, яка дження електронного пучка, а також приєднаний обігрівається, через променевід з системами фо- співісно аноду променевід з розміщеними на ньо- кусування і відхилення пучка. му фокусуючими і відхиляючими котушками. Кана-
Недоліками гармати є: ли для охолоджуючої води виконані всередині тіла - одержання електронного пучка обмеженої плити і зв'язані між собою в єдину систему, розта- потужності і з великим кутом сходження, що шовану навколо отвору для проходження елект- ускладнює його транспортування на значну відс- ронного пучка. Охолоджуюча система виконана з тань; чотирьох каналів, з'єднаних між собою у вигляді - залежність геометрії електронного пучка від квадрата або прямокутника, кожний канал викона- регулювання потужності шляхом зміни тиску робо- ний з можливістю виходу з герметичного метале- чого газу. вого корпусу і оснащений знімною герметичною
При розташуванні гармати на одній вертика- пробкою |41. льній осі з об'єктом, що обігрівається в технологіч- Недоліками прототипу є перегрівання елемен- ній камері, додатково появляються ще два недолі- тів гармати, які знаходяться у зоні прямої видимо-
Ки: сті з поверхні, яка обігрівається в технологічній - попадання у катодний проміжок гармати під камері електронним променем, і попадання у ка- час плавки газів, пари металу і навіть бризок, що тодний проміжок гармати під час плавки газів, пари негативно впливає на працездатність гармати; металу і бризок, тобто ті ж, що і у розглянутому - перегрів конструктивних елементів гармати, вище прикладі. Перегрівання плити має місце, які знаходяться в зоні прямої видимості з поверхні, незважаючи на наявність більш ефективної ніж у що обігрівається електронним променем в техно- попередньому випадку системи охолодження, логічній камері, внаслідок випромінювання з цієї оскільки при використанні газорозрядних гармат поверхні. відстань між катодом і поверхнею, яка обігріваєть-
Відома також газорозрядна електронна гарма- ся променем у технологічній камері, менша, ніж у та, що включає герметичний металевий корпус, в гармат з термокатодом. якому розміщені високовольтний ізолятор, холод- Вказані недоліки можна усунути, якщо розміс- ний увігнутий катод з розвиненою емісійною пове- тити гармату таким чином, щоб виключити пряму рхнею і співісний з ним порожнистий анод, донна видимість її конструктивних елементів з поверхні, частина якого виконана у вигляді плити, яка роз- яка обігрівається електронним променем в техно- ташована в середині анода і має канали для про- логічній камері. Однак, як вже вказувалось вище, у ходження охолоджуючої води | отвір для прохо- цьому випадку зникає можливість використання дження електронного пучка, а також приєднаний електромагнітного перемішування розплаву під співвісний аноду променевід з розміщеними на час плавки. ньому фокусуючими і відхиляючими котушками. В основу винаходу покладено прагнення за-
Канали для проходження охолоджуючої води ви- безпечити в гарматі поворот променя на кут, при конані у вигляді кільцевих зовнішніх проточок і якому вказана пряма видимість буде відсутня. Для розташовані по периметру плити. Між анодом і цього запропонована газорозрядна електронна фокусуючою лінзою розташований магнітний ек- гармата, яка складається з герметичного метале- ран з отвором у центрі, діаметр якого збігається з вого корпусу, в якому розміщено високовольтний діаметром отвору в дні анода (ЗІ. ізолятор, холодний увігнутий катод з розвиненою
Завдяки вдало підібраній геометрії і розмірам емісійною поверхнею і співвісний з ним порожнис- конструктивних елементів гармати вона може фо- тий анод, донна частина якого виконана у вигляді рмувати електронний пучок великої потужності (до плити з каналами для охолоджуючої води, які ви- 500 кВт і більше) з стабільними геометричними і конані всередині тіла плити і зв'язані між собою в енергетичними параметрами. Недоліком гармати єдину систему, розташовану навколо отвору для при її розміщенні на одній вертикальній осі з об'єк- проходження електронного пучка, і до якого співві- том, що обігрівається електронним променем в сне приєднаний магнітний екран, мінімальний діа- технологічній камері, залишаються, як і у поперед- метр отвору в якому співпадає з діаметром отвору ньому випадку, попадання у катодний проміжок в аноді, а також герметично приєднаний до корпу- гармати під час плавки газів, пари металу 1 бри- су променевід з розміщеними на ньому фокусую- зок, а також перегрів конструктивних елементів чими і відхиляючими котушками, у якій, згідно з гармати, які знаходяться в зоні прямої видимості з винаходом, променевід виконано у вигляді коліна, поверхні, яка обігрівається електронним променем кут якого вибрано таким, щоб виключити пряму в технологічній камері. Перегрів має місце, незва- видимість отвору для проходження електронного променя з поверхні, що обігрівається електронним ня променю без торкання стінок променевіда. променем в технологічній камері, і оснащено ко- Стрижні 11 електричне ізольовані від променевіда тушками повороту променю на цій кут, і частину і з зовнішнього боку з'єднані між собою гнучким променевіда, що стикується з технологічною каме- зв'язком з струмознімачем. Фокусуючі котушки 12 рою, змонтовано на одній вертикальній вісі з крис- встановлено на частині 7 променовіда, що стику- талізатором або тиглем в цій камері, причому фо- ється з корпусом гармати, а котушки 13 відхилення кусуючі котушки розташовано на частині променю - на частині 8 променевіда, що стикуєть- променевіда, що стикується з герметичним корпу- ся з технологічною камерою. Для попередження сом гармати, а котушки повороту променю на кут перегріву частини променевіда, поверхня якого коліна і котушки відхилення променю розташовано знаходиться у зоні прямої видимості з поверхні на частині променевіда, що стикується з техноло- об'єкта 9, що обігрівається променем у технологіч- гічною камерою, на цій же частині променевіда ній камері, ця поверхня променевіда футерована поблизу коліна встановлено стрижні з тугоплавко- тугоплавким матеріалом 14. го металу, які електричне ізольовані від промене- Запропонована газорозрядна електронна гар- віда і з зовнішнього боку з'єднані між собою гнуч- мата працює таким чином. Після створення у тех- ким зв'язком з 0 струмознімачем. Частину нологічній камері потрібного вакууму в катодно- променевіда, яка знаходиться у зоні прямої види- анодну порожнину гармати подають робочий газ, а мості з поверхні, що обігрівається електронним на катод 2 - прискорюючу постійну напругу у 20-30 променем в технологічній камері, футерована ту- КВ. При тиску у діапазоні 1072-1 Па виникає тліючий гоплавким матеріалом. розряд, сила струму якого регулюється шляхом
Суть винаходу пояснюється кресленням, на регулювання тиску робочого газу і який приводить якому наведений схематичний розріз газорозряд- до створення електронного пучка. Цей пучок за ної електронної гармати. допомогою фокусуючих котушок 12 поступає у
Газорозрядна гармата містить в герметичному частину променевіда 7, що стикується з камерою металевому корпусі ізолятор 1, на якому закріпле- гармати, а за допомогою котушок повороту проме- ний катод 2 з розвиненою сферичною емісійною ню 10-у частину променевіда 8, що стикується з поверхнею. Катод 2 встановлено співвісне з поро- технологічною камерою. Положення променю ре- жнистим анодом 3, донна частина якого виконана гулюють за допомогою сигналів, які отримують з у вигляді плити 4 з каналами для охолоджуючої стрижнів 11.3 частини 8 променевіда пучок виво- води. Канали зроблені всередині тіла плити і зв'я- диться у технологічну камеру і фокусується на зані між собою в єдину систему, розташовану на- поверхні об'єкта 9, що нагрівається. Процесом вколо отвору 5 для проходження електронного нагрівання поверхні об'єкту 9 можна управляти за пучка. До плити 4 приєднано магнітний екран 6 з допомогою котушок 13, які дозволяють створювати феромагнітної сталі, мінімальний діаметр отвору в різні конфігурації нагріву. якому співпадає з діаметром отвору 5 в аноді і Перевагою запропонованої гармати перед ти- який зменшує поперечний розмір пучка в зоні його ми, що використовуються в промисловості в даний транспортування, що дозволяє зменшити діаметр час, є більша стабільність в роботі при плавці від- каналу, через який пучок транспортується. До кор- ходів виробництва, губчастих матеріалів, порош- пусу гармати герметично приєднано променевід, ків, тобто матеріалів, які мають високу газонасиче- який виконано у вигляді коліна, що складається з ність. Крім того, гармата достатньо проста з точки двох частин, одна з яких 7 з'єднується з корпусом зору конструктивного виконання, що дає змогу її гармати, а друга 8-з технологічною камерою (не виготовлення в умовах більшості підприємств без показано) таким чином, що поверхня об'єкта 9, яка залучення спеціального обладання. обігрівається електронним променем в технологіч- Література ній камері, розташована на одній вертикальній осі 1. Злектронно-лучевая плавка в литейном з частиною 8 променевіда. Кут коліна с між части- производстве / С.В. Ладохин, Н.И. Левицкий, В.Б. нами 7 і 8 променевіда вибирають таким, щоб ви- Чернявский и др. - К.; Изд-во «Сталь», 2007. - С. ключити пряму видимість отвору 5 з поверхні 9, 102-107. яка обігрівається електронним променем в техно- 2. Плазменньюе процессь в технологических логічній камері. Поблизу коліна розміщують котуш- злектронньїх пушках / М.А.Завьялов, Ю.З. Крейн- ки 10 повороту променя на кут с. Для фіксації по- дель, А.А. Новиков, Л.П. Шантурин. "- ложення променю при повороті на кут о в частині М.:Знергоатомиздат, 1989. - С. 97-145. променевіда 8, що стикується з технологічною 3. Патент України Ме 38451, МПК 7 НОТ 37/06, камерою, поблизу коліна встановлено стрижні 11 з Бюл. Мо 1,2004 р. тугоплавкого металу. Кількість і розміщення стри- 4. Патент України Ме 83514, МПК 8 НО1.) 37/06, жнів вибирають з умови забезпечення проходжен- Бюл. Ме 14, 2008 р.
лек ї Хм. й шо х Ж о Ей пон ту Я У ар я ве че дух що Р, й
Меч ви - но Еву К ! їй їй СК дл с ше лоді І ШИ
Ж я, А В й шо У шия чи а -2 3
Шо я вет йт я КУ со тен АЙ й Ше У ую я 7 г Її з ти пд Шок Б иа ех ння тА ес я «т ИН ря ЖЖ. Ши
ПД ши ви ИН ня мин ан» Я в ни кі Мкегя
Я нн, Ше зи. х я Я се й б сто шо ше ж жо вн
Шин со! Га нн НГ пн АН к З Й ! ; й Ши ох рн) ШИНИ | в стро Ма у, лобобоння Ва Ши шк мем пня зИМднея ДЯ я щ
Н її й; її диня
НІ - ін к-т
Фіг. 1
Комп'ютерна верстка І. Скворцова Підписне Тираж 23 прим.
Міністерство освіти і науки України
Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна
ДП "Український інститут промислової власності", вул. Глазунова, 1, м. Київ - 42, 01601
UAA201000799A 2010-01-27 2010-01-27 Газорозрядна електронна гармата UA93625C2 (uk)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UAA201000799A UA93625C2 (uk) 2010-01-27 2010-01-27 Газорозрядна електронна гармата

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UAA201000799A UA93625C2 (uk) 2010-01-27 2010-01-27 Газорозрядна електронна гармата

Publications (1)

Publication Number Publication Date
UA93625C2 true UA93625C2 (uk) 2011-02-25

Family

ID=50830753

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
UAA201000799A UA93625C2 (uk) 2010-01-27 2010-01-27 Газорозрядна електронна гармата

Country Status (1)

Country Link
UA (1) UA93625C2 (uk)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017155495A1 (en) * 2016-10-31 2017-09-14 State Enterprise "International Center For Electron Beam Technologies Of E.O. Paton Electric Welding Institute Of National Academy Of Sciences Of Ukraine" Electron beam projector with linear thermal cathode
EP3333878A1 (en) * 2016-12-09 2018-06-13 Sia "Kepp Eu" Gas-discharge electron gun

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017155495A1 (en) * 2016-10-31 2017-09-14 State Enterprise "International Center For Electron Beam Technologies Of E.O. Paton Electric Welding Institute Of National Academy Of Sciences Of Ukraine" Electron beam projector with linear thermal cathode
EP3333878A1 (en) * 2016-12-09 2018-06-13 Sia "Kepp Eu" Gas-discharge electron gun
LV15301B (lv) * 2016-12-09 2019-01-20 Kepp Eu, Sia Gāzizlādes elektronu lielgabals

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5781710B2 (ja) 鋳造又は噴霧されて粉末になる処理材料を製造する方法
CN103299390B (zh) 用于产生电子束的设备
US9214313B2 (en) Ion source with independent power supplies
RU2012111218A (ru) Ионно-плазменные излучатели электронов для плавильной печи
US7304319B2 (en) Wafer charge compensation device and ion implantation system having the same
JP5616426B2 (ja) 真空処理装置
US4122347A (en) Ion source
JP2013503259A5 (uk)
RU2016117814A (ru) Процессы с использованием удаленной плазмы дугового разряда
US3450824A (en) Method and apparatus for producing and directing an electron beam
UA93625C2 (uk) Газорозрядна електронна гармата
US3177535A (en) Electron beam furnace with low beam source
US3268648A (en) Apparatus for vaporizing materials by an electron beam
EP1783810A2 (en) Electron Gun
US3409729A (en) Electron beam furnace and method for heating a target therein
EP3333878B1 (en) Gas-discharge electron gun
UA83313U (uk) Газорозрядна електронно-променева гармата
RU2323502C1 (ru) Газоразрядная электронная пушка
US3475542A (en) Apparatus for heating a target in an electron beam furnace
CN205992996U (zh) 一种充氩气的电子束熔炼炉用电子枪室
CN202443946U (zh) 用于电子束炉的电子枪
CN106231713A (zh) 一种充氩气的电子束熔炼炉用电子枪室
CN111133551B (zh) 离子源装置
UA79171U (uk) Газорозрядна електронна гармата
UA121970C2 (uk) Газорозрядна електронна гармата