UA83313U - Газорозрядна електронно-променева гармата - Google Patents

Газорозрядна електронно-променева гармата Download PDF

Info

Publication number
UA83313U
UA83313U UAA201104447U UAA201104447U UA83313U UA 83313 U UA83313 U UA 83313U UA A201104447 U UAA201104447 U UA A201104447U UA A201104447 U UAA201104447 U UA A201104447U UA 83313 U UA83313 U UA 83313U
Authority
UA
Ukraine
Prior art keywords
coils
angle
gas
knee
hole
Prior art date
Application number
UAA201104447U
Other languages
English (en)
Russian (ru)
Inventor
Сергей Васильевич Ладохин
Тамара Владимировна Лапшук
Андрей Сергеевич Гладков
Максим Юрьевич Смирнов
Original Assignee
Физико-Технологический Институт Металлов И Сплавов Нан Украины
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Физико-Технологический Институт Металлов И Сплавов Нан Украины filed Critical Физико-Технологический Институт Металлов И Сплавов Нан Украины
Priority to UAA201104447U priority Critical patent/UA83313U/uk
Publication of UA83313U publication Critical patent/UA83313U/uk

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22BPRODUCTION AND REFINING OF METALS; PRETREATMENT OF RAW MATERIALS
    • C22B9/00General processes of refining or remelting of metals; Apparatus for electroslag or arc remelting of metals
    • C22B9/16Remelting metals
    • C22B9/22Remelting metals with heating by wave energy or particle radiation
    • C22B9/228Remelting metals with heating by wave energy or particle radiation by particle radiation, e.g. electron beams
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/06Electron sources; Electron guns
    • H01J37/077Electron guns using discharge in gases or vapours as electron sources
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/305Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating, or etching

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

Газорозрядна електронна гармата складається з герметичного металевого корпусу, в якому розміщені високовольтний ізолятор, холодний увігнутий катод з розвиненою емісійною поверхнею, співвісний з ним порожнистий анод, донна частина якого виконана у вигляді плити з каналами для охолоджуючої води, до цієї плити співвісно приєднаний магнітний екран, а також герметично приєднаний до корпусу променевід з розміщеними на ньому фокусуючими і відхиляючими котушками, який виконано з двох частин у вигляді коліна, причому фокусуючі котушки розташовано на першій частині променеводу, а котушки відхилення променя - на другій частині променеводу. Друга частина променеводу розміщується безпосередньо в технологічній камері, до якої вона герметично приєднується за допомогою фланця, на якому також герметично встановлено коліно, яке герметично з'єднує обидві частини променеводу, і кут якого дорівнює куту повороту променя, причому на цьому коліні розташовані котушки повороту променя на вказаний кут, а саме коліно виконано з можливістю заміни.

Description

Корисна модель належить до розробки газорозрядних електронних гармат технологічного призначення і може знайти застосування у спеціальній електрометалургії для електронно- променевої плавки металів та сплавів з електромагнітним перемішуванням розплаву у кристалізаторі або тиглі, в тому числі при підвищеному тиску залишкових газів у технологічній камері.
Відомі газорозрядні електронні гармати високовольтного тліючого розряду, які також називають гарматами з холодним катодом, робота яких базується на використанні електричного розряду між холодними електродами в середовищі газу низького тиску (1). Основними конструкційними елементами цих гармат є катодний вузол з емітером електронів, анодний вузол з прозорим електродом для проходження променю, системи подавання робочого газу і охолодження електродів, променевід з системами фокусування і відхилення променю при проходженні його в технологічну камеру. В цих гарматах в результаті бомбардування поверхні катода швидкими частками, що виникають при прискоренні і перезарядженні іонів в області катодного падіння потенціалу, утворюється потік електронів. Регенерація і прискорення електронів відбувається в межах розряду за рахунок високої напруги, що підводиться між анодом і катодом. Пучок електронів, що утворюється, проходить у технологічну камеру до поверхні, яка обігрівається, через променевід, на якому змонтовані котушки систем фокусування і відхилення пучка.
Недоліком гармати є те, що на шляху проходження електронного пучка від променеводу гармати до поверхні, що обігрівається в технологічній камері, має місце суттєва втрата енергії внаслідок взаємодії електронів з залишковими газами, яка залежить від довжини цього шляху і тиску залишкових газів. Недоліком є також те, що з поверхні, яка обігрівається електронним променем, відбувається інтенсивне теплове випромінювання і випаровування металу, які обумовлюють нагрівання поверхні камери в зоні випромінювання і формування на ній конденсату.
При плавці з електромагнітним перемішуванням розплаву гармату необхідно розміщувати на одній вертикальній вісі з об'єктом, який обігрівається в технологічній камері (2), що обумовлює появу додаткових недоліків, які негативно впливають на працездатність гармати.
Такими недоліками є перегрів конструктивних елементів гармати, які знаходяться в зоні прямої
Зо видимості з поверхні, що обігрівається електронним променем в технологічній камері, внаслідок випромінювання з цієї поверхні і попадання у катодний проміжок гармати під час плавки газів, пари металу і іноді навіть бризок.
Відома також газорозрядна електронна гармата, яка складається з герметичного металевого корпусу, в якому розміщені високовольтний ізолятор, холодний увігнутий катод з розвиненою емісійною поверхнею і співвісний з ним порожнистий анод, донна частина якого виконана у вигляді плити з каналами для охолоджуючої води і отвором для проходження електронного пучка, а також приєднаного співвісно аноду променеводу з розміщеними на ньому котушками систем фокусування і відхилення електронного пучка. Канали для охолоджуючої води виконані всередині тіла плити і зв'язані між собою в єдину систему, розташовану навколо отвору для проходження електронного пучка. Охолоджуюча система виконана з чотирьох каналів, з'єднаних між собою у вигляді квадрата або прямокутника, кожний канал виконаний з можливістю виходу з герметичного металевого корпусу і оснащений знімною герметичною пробкою |ЗІ.
Недоліками відомої гармати є те, що на шляху проходження електронного пучка від променеводу гармати до поверхні, що обігрівається, має місце суттєва втрата енергії внаслідок взаємодії електронів з залишковими газами, яка залежить від довжини цього шляху і тиску залишкових газів, а також проходять перегрівання елементів гармати, які знаходяться у зоні прямої видимості з поверхні, яка обігрівається в технологічній камері електронним променем, і попадання у катодний проміжок гармати під час плавки газів, пари металу і бризок, тобто ті ж, що ії у розглянутому вище прикладі. Перегрівання плити має місце, незважаючи на наявність ефективної системи охолодження, оскільки при використанні газорозрядних гармат відстань між катодом і поверхнею, яка обігрівається променем у технологічній камері, менша, ніж у гармат з термокатодом. Зберігається і недолік, який полягає в тому, що з поверхні, яка обігрівається електронним променем, проходять інтенсивне теплове випромінювання, яке витрачається на нагрів поверхні камери, а також випаровування металу з формуванням конденсату на цій поверхні.
Найбільш близьким за технічною суттю і результатом, що досягається, до рішення, що заявляється, є електронно-променева газорозрядна гармата, яка складається з герметичного металевого корпусу, в якому розміщені високовольтний ізолятор і холодний увігнутий катод з бо розвиненою емісійною поверхнею. Співвісно з катодом розміщено порожнистий анод, донна частина якого виконана у вигляді плити з каналами для охолоджуючої води. Канали виконані всередині тіла плити і зв'язані між собою в єдину систему, розташовану навколо отвору для проходження електронного пучка. До цієї плити співвісно приєднаний магнітний екран, мінімальний діаметр отвору в якому збігається з діаметром отвору в аноді. До корпусу герметично приєднаний променевід з розміщеними на ньому фокусуючими і відхиляючими котушками. Променевід виконано з двох частин у вигляді коліна, перша частина якого приєднана до металевого корпусу, а друга виконана з можливістю стикування з технологічною камерою. Кут повороту другої частини променеводу відносно першої вибрано таким, щоб виключити пряме проходження електронного променя через отвір в аноді до тигля, що знаходиться по центру приєднуваної технологічної камери. Друга частина променеводу виконана з можливістю збігання вертикальної осі з центром тигля в приєднуваній технологічній камері, причому фокусуючі котушки розташовано на першій частині променеводу, а на другій частині променеводу розташовані котушки повороту променя на кут повороту другої частини променеводу відносно першої і котушки відхилення (сканування) променя |4).
Недоліками прототипу є ті ж, що і у розглянутих вище гарматах, тобто на шляху проходження електронного пучка від променеводу гармати до поверхні, що обігрівається, має місце суттєва втрата енергії внаслідок взаємодії електронів з залишковими газами, яка залежить від довжини цього шляху і тиску залишкових газів, а з поверхні, яка обігрівається електронним променем, проходять інтенсивне теплове випромінювання і випаровування металу, які обумовлюють нагрів поверхні камери в зоні випромінювання і формування конденсату на цій поверхні. Недоліком є також те, що кут повороту при безпосередньому з'єднанні частин променеводу фіксований і у разі потреби зміни цього кута необхідно виготовляти новий променевід.
В основу корисної моделі поставлена задача забезпечити: - зменшення втрат енергії електронного пучка в технологічній камері внаслідок взаємодії з залишковими газами; - можливість зміни кута повороту променя без заміни променеводу або гармати в цілому; - зменшення теплового випромінювання на поверхню камери і формування конденсату за рахунок екранування поверхні розплаву у тиглі.
Зо Поставлена задача вирішується тим, що газорозрядна електронно-променева гармата, яка складається з герметичного металевого корпусу, в якому розміщені високовольтний ізолятор, холодний увігнутий катод з розвиненою емісійною поверхнею, співвісний з ним порожнистий анод, донна частина якого виконана у вигляді плити з каналами для охолоджуючої води, які виконані всередині тіла плити і зв'язані між собою в єдину систему, розташовану навколо отвору для проходження електронного пучка, і до цієї плити співвісно приєднаний магнітний екран, мінімальний діаметр отвору в якому збігається з діаметром отвору в аноді, а також герметично приєднаного до корпусу променеводу з розміщеними на ньому фокусуючими і відхиляючими котушками, який виконано з двох частин у вигляді коліна, перша частина якого приєднана до металевого корпусу, а друга виконана з можливістю стикування з технологічною камерою, і кут повороту другої частини променеводу відносно першої вибрано таким, щоб виключити пряме проходження електронного променя через отвір в аноді до тигля, що знаходиться в приєднуваній технологічній камері, і друга частина променеводу виконана з можливістю збігання вертикальної осі з центром тигля в приєднуваній технологічній камері, причому фокусуючі котушки розташовано на першій частині променеводу, а котушки відхилення променя; - на другій частині променеводу, що згідно з винаходом розміщується безпосередньо в технологічній камері, до якої вона герметично приєднується за допомогою фланця, на якому також встановлено коліно, яке герметично з'єднує обидві частини променеводу, і кут якого дорівнює куту повороту променя, причому на цьому коліні розташовані котушки повороту променя на вказаний кут, а саме коліно виконано з можливістю заміни. Друга частина променеводу оснащена тепловим екраном з тугоплавкого матеріалу. Також друга частина променеводу і коліно можуть бути футеровані тугоплавким матеріалом або друга частина променеводу може бути виготовлена водоохолоджуваною.
Суть корисної моделі пояснюється кресленнями, де на фіг. 1 наведено схему газорозрядної електронної гармати у розрізі з кутом повороту коліна 15", а на фіг. 2 - схему коліна з кутом повороту 30".
Газорозрядна гармата містить в герметичному металевому корпусі 1 ізолятор 2, на якому закріплений катод З з розвиненою сферичною емісійною поверхнею. Катод З встановлено співвісно з порожнистим анодом 4, донна частина якого виконана у вигляді плити 5 з каналами 60 для охолоджуючої води. Канали виконані всередині тіла плити і зв'язані між собою в єдину систему, розташовану навколо отвору б для проходження електронного пучка. До плити 5 приєднано магнітний екран 7 з феромагнітної сталі, мінімальний діаметр отвору в якому співпадає з діаметром отвору 6 в аноді і який зменшує поперечний розмір пучка в зоні його транспортування, що дозволяє зменшити діаметр каналу, через який пучок транспортується. До корпусу 1 гармати герметично приєднано променевід, який складається з двох частин, перша з яких 8 (на фіг. 1 показано разом з фланцями) герметично з'єднується з корпусом 1 гармати і через коліно 9 (на фіг. 1 і фіг. 2 також показано разом з фланцями) - з другою частиною 10 променеводу, яка розміщується в технологічній камері 11 на одній вертикальній вісі з тиглем 12 з системою електромагнітного перемішування, в якому знаходиться розплав, що обігрівається електронним променем. Кут а коліна 9 між частинами 8 і 10 променеводу вибирають таким, щоб виключити пряму видимість отвору 6 з поверхні розплаву у тиглі 12, і він може змінюватись в залежності від потреби. На фіг. 2 як приклад наведена схема коліна 9 з кутом повороту 30". На коліні 9 розміщують котушки 13 повороту променя на кут «а. Фокусуючі котушки 14 (фіг. 1) встановлено на частині 8 променоводу, що стикується з корпусом 1 гармати, а котушки 15 відхилення променя - на частині 10 променеводу, що розміщується в технологічній камері 11.
Гармата герметично монтується на технологічній камері 11 за допомогою фланця 16, який є елементом частини 10 променеводу і на якому також герметично змонтовано коліно 9. На частині 10 променеводу встановлено тепловий екран 17, який забезпечує захист стінок технологічної камери 11 від випромінювання і утворення на них конденсату. Для попередження перегріву частини 10 променеводу, а також коліна 9, поверхні яких знаходяться у зоні прямої видимості з поверхні розплаву у тиглі 12, що обігрівається променем у технологічній камері, ці поверхні футеровані тугоплавким матеріалом 18.
Запропонована газорозрядна електронна гармата працює таким чином.
Після створення у технологічній камері 11 потрібного вакууму в катодно-анодну порожнину гармати подають робочий газ, а на катод З - прискорюючу постійну напругу 20-30 кВ. При тиску у діапазоні від 1027 Па до одного Па виникає тліючий розряд, сила струму якого регулюється шляхом регулювання тиску робочого газу і який приводить до створення електронного пучка.
Цей пучок поступає у частину 8 променеводу, що стикується з корпусом 1 гармати, і за допомогою фокусуючих котушок 14 направляється у коліно 9, з якого за допомогою котушок
Зо повороту променя 13-у частину 10 променеводу, яка розміщена в технологічній камері 11 на одній вертикальній вісі з тиглем 12. Процесом нагрівання поверхні розплаву у тиглі можна управляти за допомогою котушок 15, які дозволяють створювати різні конфігурації нагріву.
У порівнянні з гарматами, що використовуються в промисловості в даний час, запропонована гармата забезпечує більш ефективний нагрів. Крім того, гармата достатньо проста з точки зору конструктивного виконання, що дає змогу її виготовлення в умовах більшості підприємств без залучення спеціального обладнання.
При необхідності гармата легко переобладнується на гармату без повороту променя.
Джерела інформації: 1. Плазменнье процессьії в технологических злектронньїх пушках / М.А. Завьялов,
Ю.З. Крейндель, А.А. Новиков, Л.П. Шантурин. - М.: Знергоатомиздат, 1989. - С. 97-145. 2. Зпектронно-лучевая плавка в литейном производстве / С.В. Ладохин, Н.И. Левицкий, В.Б.
Чернявский и др. - К.; Изд-во "Сталь", 2007. - С. 102-107. 3. Патент України Мо 83514, МПК 8 НОТУ 37/06, Бюл. Мо 14, 2008 р. 4. Патент України Мо 93625, МПК 8 НО1 37/06, Бюл. Мо 4, 2011 р.

Claims (4)

ФОРМУЛА КОРИСНОЇ МОДЕЛІ
1. Газорозрядна електронна гармата, яка складається з герметичного металевого корпусу, в якому розміщені високовольтний ізолятор, холодний увігнутий катод з розвиненою емісійною поверхнею, співвісний з ним порожнистий анод, донна частина якого виконана у вигляді плити з каналами для охолоджуючої води, які виконані всередині тіла плити і зв'язані між собою в єдину систему, розташовану навколо отвору для проходження електронного пучка, і до цієї плити співвісно приєднаний магнітний екран, мінімальний діаметр отвору в якому збігається з діаметром отвору в аноді, а також герметично приєднаний до корпусу променевід з розміщеними на ньому фокусуючими і відхиляючими котушками, який виконано з двох частин у вигляді коліна, перша частина якого приєднана до металевого корпусу, а друга виконана з можливістю стикування з технологічною камерою, і кут повороту другої частини променеводу відносно першої вибрано таким, щоб виключити пряме проходження електронного променя через отвір в аноді до тигля, що знаходиться в приєднуваній технологічній камері, і друга 60 частина променеводу виконана з можливістю збігання вертикальної осі з центром тигля в приєднуваній технологічній камері, причому фокусуючі котушки розташовано на першій частині променеводу, а котушки відхилення променя - на другій частині променеводу, яка відрізняється тим, що друга частина променеводу розміщується безпосередньо в технологічній камері, до якої вона герметично приєднується за допомогою фланця, на якому також герметично встановлено коліно, яке герметично з'єднує обидві частини променеводу, і кут якого дорівнює куту повороту променя, причому на цьому коліні розташовані котушки повороту променя на вказаний кут, а саме коліно виконано з можливістю заміни.
2. Газорозрядна електронна гармата за п. 1, яка відрізняється тим, що друга частина променеводу оснащена тепловим екраном з тугоплавкого матеріалу.
3. Газорозрядна електронна гармата за пп. 1 і 2, яка відрізняється тим, що друга частина променеводу і коліно футеровані тугоплавким матеріалом.
4. Газорозрядна електронна гармата за пп. 1, 2 і 3, яка відрізняється тим, що друга частина променеводу виготовлена водоохолоджуваною. ї ? г Я і Я ж Е ; ї я і Кя Ж знаті один т, Я о. Й т ЗК й хх сек КК, Ф г й пк: Що Я с ще Б у ак Шин 8 ай як. ї Г ко кити сон Кс З ше - Я еВ сива і за она че ній М КК й ченка ГКУ НЕ Канни днини нині ще аа нн: Ер ення щ- ен ВИ Кн ЧЕ жк мо З чл ї й : ще Тож ї їх : ак : с ек, ї зе ру ; вч от х пед, КА И Й теці жу х АК ТИ МК Мис чи ї ЯК у й «В па 4 Її о Ве КІ і ! ді з я З ОК Й і і ке е же Вся М ; Дню | й
Фіг. 1
UAA201104447U 2011-04-11 2011-04-11 Газорозрядна електронно-променева гармата UA83313U (uk)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UAA201104447U UA83313U (uk) 2011-04-11 2011-04-11 Газорозрядна електронно-променева гармата

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UAA201104447U UA83313U (uk) 2011-04-11 2011-04-11 Газорозрядна електронно-променева гармата

Publications (1)

Publication Number Publication Date
UA83313U true UA83313U (uk) 2013-09-10

Family

ID=52339347

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
UAA201104447U UA83313U (uk) 2011-04-11 2011-04-11 Газорозрядна електронно-променева гармата

Country Status (1)

Country Link
UA (1) UA83313U (uk)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017155495A1 (en) * 2016-10-31 2017-09-14 State Enterprise "International Center For Electron Beam Technologies Of E.O. Paton Electric Welding Institute Of National Academy Of Sciences Of Ukraine" Electron beam projector with linear thermal cathode
EP3333878A1 (en) * 2016-12-09 2018-06-13 Sia "Kepp Eu" Gas-discharge electron gun

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017155495A1 (en) * 2016-10-31 2017-09-14 State Enterprise "International Center For Electron Beam Technologies Of E.O. Paton Electric Welding Institute Of National Academy Of Sciences Of Ukraine" Electron beam projector with linear thermal cathode
EP3333878A1 (en) * 2016-12-09 2018-06-13 Sia "Kepp Eu" Gas-discharge electron gun
LV15301B (lv) * 2016-12-09 2019-01-20 Kepp Eu, Sia Gāzizlādes elektronu lielgabals

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5781710B2 (ja) 鋳造又は噴霧されて粉末になる処理材料を製造する方法
US8878422B2 (en) Device for producing an electron beam
US3046936A (en) Improvement in vacuum coating apparatus comprising an ion trap for the electron gun thereof
RU2016117814A (ru) Процессы с использованием удаленной плазмы дугового разряда
EP2540859B1 (en) Electron beam vacuum processing device
SG178528A1 (en) Ion plasma electron emitters for a melting furnace
Shchukin et al. High-efficiency electron source with a hollow cathode in technologies of thin film deposition and surface treatment under forevacuum pressures
UA83313U (uk) Газорозрядна електронно-променева гармата
US3177535A (en) Electron beam furnace with low beam source
US3409729A (en) Electron beam furnace and method for heating a target therein
GB1509834A (en) Electron gun for heating melting and vaporising materials
EP3333878B1 (en) Gas-discharge electron gun
UA93625C2 (uk) Газорозрядна електронна гармата
US20180233316A1 (en) Electron beam projector with linear thermal cathode
LV14938B (lv) Gāzizlādes elektronu lielgabals
US3869675A (en) Heating arrangement with focused electron beams under vacuum
CN208208709U (zh) 具有线性热阴极的电子束投射器
CN102296274A (zh) 用于阴极弧金属离子源的屏蔽装置
JPH11224797A (ja) プラズマ発生装置及び薄膜形成装置
US10636617B2 (en) Axial electron gun
JPS588104B2 (ja) 加熱、溶解及び乾燥のための電子銃
UA79171U (uk) Газорозрядна електронна гармата
US3412196A (en) Electron beam vacuum melting furnace
US3857014A (en) Electron beam generator
UA121970C2 (uk) Газорозрядна електронна гармата