UA83313U - Газорозрядна електронно-променева гармата - Google Patents
Газорозрядна електронно-променева гармата Download PDFInfo
- Publication number
- UA83313U UA83313U UAA201104447U UAA201104447U UA83313U UA 83313 U UA83313 U UA 83313U UA A201104447 U UAA201104447 U UA A201104447U UA A201104447 U UAA201104447 U UA A201104447U UA 83313 U UA83313 U UA 83313U
- Authority
- UA
- Ukraine
- Prior art keywords
- coils
- angle
- gas
- knee
- hole
- Prior art date
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 title claims description 25
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims abstract description 6
- 210000003127 knee Anatomy 0.000 claims description 13
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 10
- 239000011819 refractory material Substances 0.000 claims description 5
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000003032 molecular docking Methods 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 5
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 5
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 4
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 2
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 244000309464 bull Species 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000001883 metal evaporation Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22B—PRODUCTION AND REFINING OF METALS; PRETREATMENT OF RAW MATERIALS
- C22B9/00—General processes of refining or remelting of metals; Apparatus for electroslag or arc remelting of metals
- C22B9/16—Remelting metals
- C22B9/22—Remelting metals with heating by wave energy or particle radiation
- C22B9/228—Remelting metals with heating by wave energy or particle radiation by particle radiation, e.g. electron beams
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
- H01J37/077—Electron guns using discharge in gases or vapours as electron sources
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/305—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating, or etching
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
Газорозрядна електронна гармата складається з герметичного металевого корпусу, в якому розміщені високовольтний ізолятор, холодний увігнутий катод з розвиненою емісійною поверхнею, співвісний з ним порожнистий анод, донна частина якого виконана у вигляді плити з каналами для охолоджуючої води, до цієї плити співвісно приєднаний магнітний екран, а також герметично приєднаний до корпусу променевід з розміщеними на ньому фокусуючими і відхиляючими котушками, який виконано з двох частин у вигляді коліна, причому фокусуючі котушки розташовано на першій частині променеводу, а котушки відхилення променя - на другій частині променеводу. Друга частина променеводу розміщується безпосередньо в технологічній камері, до якої вона герметично приєднується за допомогою фланця, на якому також герметично встановлено коліно, яке герметично з'єднує обидві частини променеводу, і кут якого дорівнює куту повороту променя, причому на цьому коліні розташовані котушки повороту променя на вказаний кут, а саме коліно виконано з можливістю заміни.
Description
Корисна модель належить до розробки газорозрядних електронних гармат технологічного призначення і може знайти застосування у спеціальній електрометалургії для електронно- променевої плавки металів та сплавів з електромагнітним перемішуванням розплаву у кристалізаторі або тиглі, в тому числі при підвищеному тиску залишкових газів у технологічній камері.
Відомі газорозрядні електронні гармати високовольтного тліючого розряду, які також називають гарматами з холодним катодом, робота яких базується на використанні електричного розряду між холодними електродами в середовищі газу низького тиску (1). Основними конструкційними елементами цих гармат є катодний вузол з емітером електронів, анодний вузол з прозорим електродом для проходження променю, системи подавання робочого газу і охолодження електродів, променевід з системами фокусування і відхилення променю при проходженні його в технологічну камеру. В цих гарматах в результаті бомбардування поверхні катода швидкими частками, що виникають при прискоренні і перезарядженні іонів в області катодного падіння потенціалу, утворюється потік електронів. Регенерація і прискорення електронів відбувається в межах розряду за рахунок високої напруги, що підводиться між анодом і катодом. Пучок електронів, що утворюється, проходить у технологічну камеру до поверхні, яка обігрівається, через променевід, на якому змонтовані котушки систем фокусування і відхилення пучка.
Недоліком гармати є те, що на шляху проходження електронного пучка від променеводу гармати до поверхні, що обігрівається в технологічній камері, має місце суттєва втрата енергії внаслідок взаємодії електронів з залишковими газами, яка залежить від довжини цього шляху і тиску залишкових газів. Недоліком є також те, що з поверхні, яка обігрівається електронним променем, відбувається інтенсивне теплове випромінювання і випаровування металу, які обумовлюють нагрівання поверхні камери в зоні випромінювання і формування на ній конденсату.
При плавці з електромагнітним перемішуванням розплаву гармату необхідно розміщувати на одній вертикальній вісі з об'єктом, який обігрівається в технологічній камері (2), що обумовлює появу додаткових недоліків, які негативно впливають на працездатність гармати.
Такими недоліками є перегрів конструктивних елементів гармати, які знаходяться в зоні прямої
Зо видимості з поверхні, що обігрівається електронним променем в технологічній камері, внаслідок випромінювання з цієї поверхні і попадання у катодний проміжок гармати під час плавки газів, пари металу і іноді навіть бризок.
Відома також газорозрядна електронна гармата, яка складається з герметичного металевого корпусу, в якому розміщені високовольтний ізолятор, холодний увігнутий катод з розвиненою емісійною поверхнею і співвісний з ним порожнистий анод, донна частина якого виконана у вигляді плити з каналами для охолоджуючої води і отвором для проходження електронного пучка, а також приєднаного співвісно аноду променеводу з розміщеними на ньому котушками систем фокусування і відхилення електронного пучка. Канали для охолоджуючої води виконані всередині тіла плити і зв'язані між собою в єдину систему, розташовану навколо отвору для проходження електронного пучка. Охолоджуюча система виконана з чотирьох каналів, з'єднаних між собою у вигляді квадрата або прямокутника, кожний канал виконаний з можливістю виходу з герметичного металевого корпусу і оснащений знімною герметичною пробкою |ЗІ.
Недоліками відомої гармати є те, що на шляху проходження електронного пучка від променеводу гармати до поверхні, що обігрівається, має місце суттєва втрата енергії внаслідок взаємодії електронів з залишковими газами, яка залежить від довжини цього шляху і тиску залишкових газів, а також проходять перегрівання елементів гармати, які знаходяться у зоні прямої видимості з поверхні, яка обігрівається в технологічній камері електронним променем, і попадання у катодний проміжок гармати під час плавки газів, пари металу і бризок, тобто ті ж, що ії у розглянутому вище прикладі. Перегрівання плити має місце, незважаючи на наявність ефективної системи охолодження, оскільки при використанні газорозрядних гармат відстань між катодом і поверхнею, яка обігрівається променем у технологічній камері, менша, ніж у гармат з термокатодом. Зберігається і недолік, який полягає в тому, що з поверхні, яка обігрівається електронним променем, проходять інтенсивне теплове випромінювання, яке витрачається на нагрів поверхні камери, а також випаровування металу з формуванням конденсату на цій поверхні.
Найбільш близьким за технічною суттю і результатом, що досягається, до рішення, що заявляється, є електронно-променева газорозрядна гармата, яка складається з герметичного металевого корпусу, в якому розміщені високовольтний ізолятор і холодний увігнутий катод з бо розвиненою емісійною поверхнею. Співвісно з катодом розміщено порожнистий анод, донна частина якого виконана у вигляді плити з каналами для охолоджуючої води. Канали виконані всередині тіла плити і зв'язані між собою в єдину систему, розташовану навколо отвору для проходження електронного пучка. До цієї плити співвісно приєднаний магнітний екран, мінімальний діаметр отвору в якому збігається з діаметром отвору в аноді. До корпусу герметично приєднаний променевід з розміщеними на ньому фокусуючими і відхиляючими котушками. Променевід виконано з двох частин у вигляді коліна, перша частина якого приєднана до металевого корпусу, а друга виконана з можливістю стикування з технологічною камерою. Кут повороту другої частини променеводу відносно першої вибрано таким, щоб виключити пряме проходження електронного променя через отвір в аноді до тигля, що знаходиться по центру приєднуваної технологічної камери. Друга частина променеводу виконана з можливістю збігання вертикальної осі з центром тигля в приєднуваній технологічній камері, причому фокусуючі котушки розташовано на першій частині променеводу, а на другій частині променеводу розташовані котушки повороту променя на кут повороту другої частини променеводу відносно першої і котушки відхилення (сканування) променя |4).
Недоліками прототипу є ті ж, що і у розглянутих вище гарматах, тобто на шляху проходження електронного пучка від променеводу гармати до поверхні, що обігрівається, має місце суттєва втрата енергії внаслідок взаємодії електронів з залишковими газами, яка залежить від довжини цього шляху і тиску залишкових газів, а з поверхні, яка обігрівається електронним променем, проходять інтенсивне теплове випромінювання і випаровування металу, які обумовлюють нагрів поверхні камери в зоні випромінювання і формування конденсату на цій поверхні. Недоліком є також те, що кут повороту при безпосередньому з'єднанні частин променеводу фіксований і у разі потреби зміни цього кута необхідно виготовляти новий променевід.
В основу корисної моделі поставлена задача забезпечити: - зменшення втрат енергії електронного пучка в технологічній камері внаслідок взаємодії з залишковими газами; - можливість зміни кута повороту променя без заміни променеводу або гармати в цілому; - зменшення теплового випромінювання на поверхню камери і формування конденсату за рахунок екранування поверхні розплаву у тиглі.
Зо Поставлена задача вирішується тим, що газорозрядна електронно-променева гармата, яка складається з герметичного металевого корпусу, в якому розміщені високовольтний ізолятор, холодний увігнутий катод з розвиненою емісійною поверхнею, співвісний з ним порожнистий анод, донна частина якого виконана у вигляді плити з каналами для охолоджуючої води, які виконані всередині тіла плити і зв'язані між собою в єдину систему, розташовану навколо отвору для проходження електронного пучка, і до цієї плити співвісно приєднаний магнітний екран, мінімальний діаметр отвору в якому збігається з діаметром отвору в аноді, а також герметично приєднаного до корпусу променеводу з розміщеними на ньому фокусуючими і відхиляючими котушками, який виконано з двох частин у вигляді коліна, перша частина якого приєднана до металевого корпусу, а друга виконана з можливістю стикування з технологічною камерою, і кут повороту другої частини променеводу відносно першої вибрано таким, щоб виключити пряме проходження електронного променя через отвір в аноді до тигля, що знаходиться в приєднуваній технологічній камері, і друга частина променеводу виконана з можливістю збігання вертикальної осі з центром тигля в приєднуваній технологічній камері, причому фокусуючі котушки розташовано на першій частині променеводу, а котушки відхилення променя; - на другій частині променеводу, що згідно з винаходом розміщується безпосередньо в технологічній камері, до якої вона герметично приєднується за допомогою фланця, на якому також встановлено коліно, яке герметично з'єднує обидві частини променеводу, і кут якого дорівнює куту повороту променя, причому на цьому коліні розташовані котушки повороту променя на вказаний кут, а саме коліно виконано з можливістю заміни. Друга частина променеводу оснащена тепловим екраном з тугоплавкого матеріалу. Також друга частина променеводу і коліно можуть бути футеровані тугоплавким матеріалом або друга частина променеводу може бути виготовлена водоохолоджуваною.
Суть корисної моделі пояснюється кресленнями, де на фіг. 1 наведено схему газорозрядної електронної гармати у розрізі з кутом повороту коліна 15", а на фіг. 2 - схему коліна з кутом повороту 30".
Газорозрядна гармата містить в герметичному металевому корпусі 1 ізолятор 2, на якому закріплений катод З з розвиненою сферичною емісійною поверхнею. Катод З встановлено співвісно з порожнистим анодом 4, донна частина якого виконана у вигляді плити 5 з каналами 60 для охолоджуючої води. Канали виконані всередині тіла плити і зв'язані між собою в єдину систему, розташовану навколо отвору б для проходження електронного пучка. До плити 5 приєднано магнітний екран 7 з феромагнітної сталі, мінімальний діаметр отвору в якому співпадає з діаметром отвору 6 в аноді і який зменшує поперечний розмір пучка в зоні його транспортування, що дозволяє зменшити діаметр каналу, через який пучок транспортується. До корпусу 1 гармати герметично приєднано променевід, який складається з двох частин, перша з яких 8 (на фіг. 1 показано разом з фланцями) герметично з'єднується з корпусом 1 гармати і через коліно 9 (на фіг. 1 і фіг. 2 також показано разом з фланцями) - з другою частиною 10 променеводу, яка розміщується в технологічній камері 11 на одній вертикальній вісі з тиглем 12 з системою електромагнітного перемішування, в якому знаходиться розплав, що обігрівається електронним променем. Кут а коліна 9 між частинами 8 і 10 променеводу вибирають таким, щоб виключити пряму видимість отвору 6 з поверхні розплаву у тиглі 12, і він може змінюватись в залежності від потреби. На фіг. 2 як приклад наведена схема коліна 9 з кутом повороту 30". На коліні 9 розміщують котушки 13 повороту променя на кут «а. Фокусуючі котушки 14 (фіг. 1) встановлено на частині 8 променоводу, що стикується з корпусом 1 гармати, а котушки 15 відхилення променя - на частині 10 променеводу, що розміщується в технологічній камері 11.
Гармата герметично монтується на технологічній камері 11 за допомогою фланця 16, який є елементом частини 10 променеводу і на якому також герметично змонтовано коліно 9. На частині 10 променеводу встановлено тепловий екран 17, який забезпечує захист стінок технологічної камери 11 від випромінювання і утворення на них конденсату. Для попередження перегріву частини 10 променеводу, а також коліна 9, поверхні яких знаходяться у зоні прямої видимості з поверхні розплаву у тиглі 12, що обігрівається променем у технологічній камері, ці поверхні футеровані тугоплавким матеріалом 18.
Запропонована газорозрядна електронна гармата працює таким чином.
Після створення у технологічній камері 11 потрібного вакууму в катодно-анодну порожнину гармати подають робочий газ, а на катод З - прискорюючу постійну напругу 20-30 кВ. При тиску у діапазоні від 1027 Па до одного Па виникає тліючий розряд, сила струму якого регулюється шляхом регулювання тиску робочого газу і який приводить до створення електронного пучка.
Цей пучок поступає у частину 8 променеводу, що стикується з корпусом 1 гармати, і за допомогою фокусуючих котушок 14 направляється у коліно 9, з якого за допомогою котушок
Зо повороту променя 13-у частину 10 променеводу, яка розміщена в технологічній камері 11 на одній вертикальній вісі з тиглем 12. Процесом нагрівання поверхні розплаву у тиглі можна управляти за допомогою котушок 15, які дозволяють створювати різні конфігурації нагріву.
У порівнянні з гарматами, що використовуються в промисловості в даний час, запропонована гармата забезпечує більш ефективний нагрів. Крім того, гармата достатньо проста з точки зору конструктивного виконання, що дає змогу її виготовлення в умовах більшості підприємств без залучення спеціального обладнання.
При необхідності гармата легко переобладнується на гармату без повороту променя.
Джерела інформації: 1. Плазменнье процессьії в технологических злектронньїх пушках / М.А. Завьялов,
Ю.З. Крейндель, А.А. Новиков, Л.П. Шантурин. - М.: Знергоатомиздат, 1989. - С. 97-145. 2. Зпектронно-лучевая плавка в литейном производстве / С.В. Ладохин, Н.И. Левицкий, В.Б.
Чернявский и др. - К.; Изд-во "Сталь", 2007. - С. 102-107. 3. Патент України Мо 83514, МПК 8 НОТУ 37/06, Бюл. Мо 14, 2008 р. 4. Патент України Мо 93625, МПК 8 НО1 37/06, Бюл. Мо 4, 2011 р.
Claims (4)
1. Газорозрядна електронна гармата, яка складається з герметичного металевого корпусу, в якому розміщені високовольтний ізолятор, холодний увігнутий катод з розвиненою емісійною поверхнею, співвісний з ним порожнистий анод, донна частина якого виконана у вигляді плити з каналами для охолоджуючої води, які виконані всередині тіла плити і зв'язані між собою в єдину систему, розташовану навколо отвору для проходження електронного пучка, і до цієї плити співвісно приєднаний магнітний екран, мінімальний діаметр отвору в якому збігається з діаметром отвору в аноді, а також герметично приєднаний до корпусу променевід з розміщеними на ньому фокусуючими і відхиляючими котушками, який виконано з двох частин у вигляді коліна, перша частина якого приєднана до металевого корпусу, а друга виконана з можливістю стикування з технологічною камерою, і кут повороту другої частини променеводу відносно першої вибрано таким, щоб виключити пряме проходження електронного променя через отвір в аноді до тигля, що знаходиться в приєднуваній технологічній камері, і друга 60 частина променеводу виконана з можливістю збігання вертикальної осі з центром тигля в приєднуваній технологічній камері, причому фокусуючі котушки розташовано на першій частині променеводу, а котушки відхилення променя - на другій частині променеводу, яка відрізняється тим, що друга частина променеводу розміщується безпосередньо в технологічній камері, до якої вона герметично приєднується за допомогою фланця, на якому також герметично встановлено коліно, яке герметично з'єднує обидві частини променеводу, і кут якого дорівнює куту повороту променя, причому на цьому коліні розташовані котушки повороту променя на вказаний кут, а саме коліно виконано з можливістю заміни.
2. Газорозрядна електронна гармата за п. 1, яка відрізняється тим, що друга частина променеводу оснащена тепловим екраном з тугоплавкого матеріалу.
3. Газорозрядна електронна гармата за пп. 1 і 2, яка відрізняється тим, що друга частина променеводу і коліно футеровані тугоплавким матеріалом.
4. Газорозрядна електронна гармата за пп. 1, 2 і 3, яка відрізняється тим, що друга частина променеводу виготовлена водоохолоджуваною. ї ? г Я і Я ж Е ; ї я і Кя Ж знаті один т, Я о. Й т ЗК й хх сек КК, Ф г й пк: Що Я с ще Б у ак Шин 8 ай як. ї Г ко кити сон Кс З ше - Я еВ сива і за она че ній М КК й ченка ГКУ НЕ Канни днини нині ще аа нн: Ер ення щ- ен ВИ Кн ЧЕ жк мо З чл ї й : ще Тож ї їх : ак : с ек, ї зе ру ; вч от х пед, КА И Й теці жу х АК ТИ МК Мис чи ї ЯК у й «В па 4 Її о Ве КІ і ! ді з я З ОК Й і і ке е же Вся М ; Дню | й
Фіг. 1
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
UAA201104447U UA83313U (uk) | 2011-04-11 | 2011-04-11 | Газорозрядна електронно-променева гармата |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
UAA201104447U UA83313U (uk) | 2011-04-11 | 2011-04-11 | Газорозрядна електронно-променева гармата |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
UA83313U true UA83313U (uk) | 2013-09-10 |
Family
ID=52339347
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
UAA201104447U UA83313U (uk) | 2011-04-11 | 2011-04-11 | Газорозрядна електронно-променева гармата |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
UA (1) | UA83313U (uk) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017155495A1 (en) * | 2016-10-31 | 2017-09-14 | State Enterprise "International Center For Electron Beam Technologies Of E.O. Paton Electric Welding Institute Of National Academy Of Sciences Of Ukraine" | Electron beam projector with linear thermal cathode |
EP3333878A1 (en) * | 2016-12-09 | 2018-06-13 | Sia "Kepp Eu" | Gas-discharge electron gun |
-
2011
- 2011-04-11 UA UAA201104447U patent/UA83313U/uk unknown
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017155495A1 (en) * | 2016-10-31 | 2017-09-14 | State Enterprise "International Center For Electron Beam Technologies Of E.O. Paton Electric Welding Institute Of National Academy Of Sciences Of Ukraine" | Electron beam projector with linear thermal cathode |
EP3333878A1 (en) * | 2016-12-09 | 2018-06-13 | Sia "Kepp Eu" | Gas-discharge electron gun |
LV15301B (lv) * | 2016-12-09 | 2019-01-20 | Kepp Eu, Sia | Gāzizlādes elektronu lielgabals |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5781710B2 (ja) | 鋳造又は噴霧されて粉末になる処理材料を製造する方法 | |
US8878422B2 (en) | Device for producing an electron beam | |
US3046936A (en) | Improvement in vacuum coating apparatus comprising an ion trap for the electron gun thereof | |
RU2016117814A (ru) | Процессы с использованием удаленной плазмы дугового разряда | |
EP2540859B1 (en) | Electron beam vacuum processing device | |
SG178528A1 (en) | Ion plasma electron emitters for a melting furnace | |
Shchukin et al. | High-efficiency electron source with a hollow cathode in technologies of thin film deposition and surface treatment under forevacuum pressures | |
UA83313U (uk) | Газорозрядна електронно-променева гармата | |
US3177535A (en) | Electron beam furnace with low beam source | |
US3409729A (en) | Electron beam furnace and method for heating a target therein | |
GB1509834A (en) | Electron gun for heating melting and vaporising materials | |
EP3333878B1 (en) | Gas-discharge electron gun | |
UA93625C2 (uk) | Газорозрядна електронна гармата | |
US20180233316A1 (en) | Electron beam projector with linear thermal cathode | |
LV14938B (lv) | Gāzizlādes elektronu lielgabals | |
US3869675A (en) | Heating arrangement with focused electron beams under vacuum | |
CN208208709U (zh) | 具有线性热阴极的电子束投射器 | |
CN102296274A (zh) | 用于阴极弧金属离子源的屏蔽装置 | |
JPH11224797A (ja) | プラズマ発生装置及び薄膜形成装置 | |
US10636617B2 (en) | Axial electron gun | |
JPS588104B2 (ja) | 加熱、溶解及び乾燥のための電子銃 | |
UA79171U (uk) | Газорозрядна електронна гармата | |
US3412196A (en) | Electron beam vacuum melting furnace | |
US3857014A (en) | Electron beam generator | |
UA121970C2 (uk) | Газорозрядна електронна гармата |