LV15301B - Gāzizlādes elektronu lielgabals - Google Patents
Gāzizlādes elektronu lielgabals Download PDFInfo
- Publication number
- LV15301B LV15301B LVP-16-98A LV160098A LV15301B LV 15301 B LV15301 B LV 15301B LV 160098 A LV160098 A LV 160098A LV 15301 B LV15301 B LV 15301B
- Authority
- LV
- Latvia
- Prior art keywords
- electron
- anode
- coils
- cannon
- process chamber
- Prior art date
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 20
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 20
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims description 6
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 5
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 21
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 2
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22B—PRODUCTION AND REFINING OF METALS; PRETREATMENT OF RAW MATERIALS
- C22B9/00—General processes of refining or remelting of metals; Apparatus for electroslag or arc remelting of metals
- C22B9/16—Remelting metals
- C22B9/22—Remelting metals with heating by wave energy or particle radiation
- C22B9/228—Remelting metals with heating by wave energy or particle radiation by particle radiation, e.g. electron beams
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
- H01J37/077—Electron guns using discharge in gases or vapours as electron sources
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/147—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/305—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating, or etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/06—Sources
- H01J2237/063—Electron sources
- H01J2237/06325—Cold-cathode sources
- H01J2237/06366—Gas discharge electron sources
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
Description
Izgudrojuma apraksts [01] Izgudrojums attiecas uz elektrotehniku, konkrētāk, uz gāzizlādes elektronu lielgabalu izstrādi, un šo izgudrojumu ir iespējams izmantot speciālajā elektrometalurģijā, lai aprīkotu lielas jaudas elektronu staru kausēšanas iekārtas, kas ir paredzētas dažāda pielietojuma metālu un sakausējumu kausēšanai un liešanai, galvenokārt, sakausējuma elektromagnētiskā jaukšanas tehnoloģiskā procesa (EMJ) veikšanai, sakausējuma kausēšanas un lietņu vai lietu sagatavju veidošanai.
[02] EMJ tehnoloģiskā procesa īpatnība ir nepieciešamība novietot elektronu staru lielgabalu un kausēšanas tīģeli vai kristalizatoru uz vienas vertikālās ass, lai izvairītos no EMJ sistēmas radīto elektromagnētisko lauku radītās elektronu stara novirzes no sildīšanas zonas. Tomēr, šāds lielgabala novietojums apgrūtina tās ekspluatācijas nosacījumus, jo lielgabala konstrukcijas pamatelementi atrodas tiešas redzamības zonā no sildāmās virsmas, kas nosaka to, ka uz tām nonāk gāzes, metāla tvaiki un pat šļaksti, kā arī izraisa šo elementu pārkāršanu, siltuma starojuma rezultātā no sildāmās virsmas. Šādos ekspluatācijas apstākļos ir lietderīgi tradicionālo aksiālo lielgabalu ar termokatodu vietā izmantot augsta sprieguma mirdzizlādes lielgabalus, kas bieži tiek sauktas arī par lielgabaliem ar auksto katodu, kuru īpatnības ir lielgabalu pamatkonstrukcijas elementu atdzesēšana ar ūdeni, bet katoda-anoda zonā tiek uzturēts augstāks gāzu spiediens nekā tehnoloģiskajā kamerā [1].
Zināmais tehnikas līmenis [03] Ir zināmi augsta sprieguma mirdzizlādes gāzizlādes lielgabali, kuru darbība ir balstīta uz elektriskās izlādes starp aukstajiem katodiem izmantošanu zema spiediena gāzes vidē [2]. Šāda veida lielgabalos konstrukcijas pamatelementi ir katodu mezgls ar elektronu emiteru, anodu mezgls ar caurspīdīgu elektrodu elektronu stara caurlaidībai, darba gāzes padeves sistēma, elektrodu dzesēšanas sistēma, staru vads ar stara fokusēšanas un novirzīšanas sistēmām, tā cauriešanas laikā uz tehnoloģisko kameru. Šajos lielgabalos, katoda virsmas bombardēšanas ar pozitīviem joniem, kas rodas jonu paātrinājuma un pārlādēs katoda potenciāla krituma reģionā, kā arī ar darba gāzes ātrajiem atomiem rezultātā rodas elektronu plūsma. Elektronu reģenerācija un paātrināšana notiek izlādes robežās augstā sprieguma rezultātā, kas tiek nodrošināts starp anodu un katodu. Iegūtais elektronu kūlis nonāk tehnoloģiskajā kamerā pie sildāmās virsmas, caur staru vadu ar stara fokusēšanas un novirzīšanas sistēmām.
[04] Lielgabala trūkums ir gāzu nonākšana tehnoloģiskajā kamerā no lielgabala katoda-anoda zonas, kur šajā zonā gāzu spiediens ir augstāks, nekā tehnoloģiskajā kamerā atlikušo gāzu spiediens, un katoda un anoda metāla atomu, kuri noteiktā apjomā arī nonāk katoda-anoda zonas atmosfērā augstāk minētās bombardēšanas rezultātā. Tas nosaka norādīto gāzu un metāla atomu nonākšanas no lielgabala konstrukcijas elementiem iespējamību apstrādājamā sakausējumā vai attīrāmajā metālā.
[05] Ir zināms gāzizlādes elektronu lielgabals, ko veido hermētisks metāla korpuss, kurā atrodas augstsprieguma izolators, aukstais liektais katods ar paplašinātu emisijas virsmu un katodam koaksiālais dobais anods, kura dibendaļa ir izveidota plāksnes formā ar kanāliem ūdens dzesēšanai un atvērumiem elektronu staram, darba gāzes padeves un elektrodu dzesēšanas sistēmas, kā arī korpusam pievienoto anodam koaksiālo staru vadu, kas ir aprīkots ar stara fokusēšanas un novirzīšanas spolēm. Ūdens dzesēšanas kanāli ir izveidoti plāksnes korpusā un ir savstarpēji savienoti vienotā sistēmā, kas ir izvietota ap atvērumu stara cauriešanai. Dzesēšanas sistēmu veido četri kanāli, kas ir savstarpēji savienoti kvadrāta vai taisnstūra veidā, un katrs kanāls ir izveidots tā, lai būtu iespējams iziet ārpus hermētiskā korpusa, un aprīkots ar maināmu hermētisku korķi [3].
[06] Neskatoties uz būtiski efektīvāko dzesēšanu, salīdzinot ar citiem zināmajiem augstsprieguma mirdzizlādes lielgabaliem, šī lielgabala trūkums ir tāds pats kā augstāk aprakstītajam lielgabalam, proti, gāzes un metālu atomu nonākšana tehnoloģiskajā kamerā no lielgabala konstrukcijas elementiem, un konsekventi, to nonākšana izkausējamā sakausējumā vai attīrāmajā metālā.
[07] Ir zināms gāzizlādes elektronu lielgabals, kas ir izvēlēts par prototipu, un šo lielgabalu veido hermētisks metāla korpuss, kurā atrodas augstsprieguma izolators, augstais liektais katods ar paplašinātu emisijas virsmu, tam koaksiālais dobais anods, kura dibendaļa ir izveidota plāksnes formā ar ūdens dzesēšanas kanāliem, kas atrodas plāksnes iekšpusē un ir sasaistīti vienā sistēmā, kas ir izvietota ap elektrona stara cauriešanas atvērumu, korpusam hermētiski piestiprināts staru vads ar vienu pagriezienu, veidojot divas daļas, kas ir aprīkots ar stara fokusēšanas un novirzīšanas spolēm, kura pirmā daļa ir pievienota metāla korpusam, bet otrā daļa izveidota ar saslēgšanas iespēju ar tehnoloģisko kameru, staru vada otras daļas pagrieziena leņķis attiecībā pret pirmo daļu ir izvēlēts tā, lai novērstu stara tiešu cauriešanu caur atvērumu anodā uz tīģeli, kas atrodas slēgtās tehnoloģiskās kameras centrā, turklāt fokusēšanas spoles ir izvietotas uz pirmās vada daļas, bet uz otrās vada daļas atrodas stara pagriešanas spoles, kas staru pagriež leņķī, kas ir vienāds ar staru vada otras daļas pagrieziena leņķi un stara novirzīšanas spoles [4].
[08] Šī lielgabala trūkums ir tāds pats kā augstāk minētajos gadījumos: iespēja, ka tehnoloģiskajā kamerā nonāk gāzes un metālu atomi no lielgabala konstrukcijas elementiem, kuri, var būt pat neskatoties uz staru vada pagrieziena esamību.
Izgudrojuma mērķis un būtība [09] Izgudrojuma mērķis ir novērst metāla atomu nonākšanu tehnoloģiskajā kamerā no lielgabala konstrukcijas elementiem. Lai sasniegtu šo mērķi, tiek piedāvāts gāzizlādes elektronu lielgabals, kuru veido hermētisks metāla korpuss, kurā atrodas augstsprieguma izolators, aukstais liektais katods ar paplašinātu emisijas virsmu, tam koaksiālais dobais anods, kura dibendaļa ir izveidota plāksnes formā ar kanāliem dzesējošajam ūdenim, kas izveidoti plāksnes ķermenī un ir savstarpēji saistīti vienotā sistēmā, kas ir izvietota ap atvērumu elektronu stara cauriešanai, kā arī korpusam hermētiski pievienots staru vads ar diviem pagriezieniem, kuri sadala to trijās daļās, kur pirmā daļa ir piestiprināta pie metāla korpusa, bet staru vada otrās daļas pagrieziena leņķis attiecībā pret pirmo daļu ir izvēlēts tādā veidā, lai izslēgtu elektronu stara tiešu cauriešanu caur atvērumu anodā uz tīģeli, kas atrodas tehnoloģiskajā kamerā, kā arī fokusējošas spoles atrodas uz staru vada pirmās daļas, pagriezienu tuvumā uz staru vada ir izvietotas stara pagriešanas spoles, kas staru pagriež leņķī, kas ir vienāds ar staru vada pagrieziena leņķi bet Staru vada otrs pagrieziens ir izveidots ar tādu pašu leņķi kā pirmajam pagriezienam, bet pretējā virzienā, un abi šie pagriezieni sadala staru vadu trijās daļās, no kurām pirmā ir hermētiski piestiprināta pie lielgabala metāla korpusa, otrā ir starpdaļa, bet trešā ir hermētiski pievienota pie tehnoloģiskās kameras, un pagriezienu tuvumā uz staru vada ir izvietotas stara pagriešanas spoles, kas staru pagriež leņķī, kas ir vienāds ar staru vada pagrieziena leņķi (a), bet stara fokusējošas spoles ir izvietotas uz visām trim staru vada daļām, bet stara novirzīšanas spoles - uz tās daļas, kas savienojas ar tehnoloģisko kameru.
[010] Izgudrojuma butibu paskaidro rasējums, kura ir paradīts shematisks gāzizlādes elektronu lielgabala griezums.
īss rasējumu apraksts [011] Zīm. 1 - gāzizlādes elektronu lielgabala griezums.
Detalizēts izgudrojuma apraksts [012] Metāla korpusā (1) ir izvietots izolators (2), pie kura ir piestiprināts katods (3) ar paplašinātu emisijas virsmu. Koaksiāli katodam (3) korpusā (1) ir uzstādīts dobs anods (4), kura dibendaļa ir izveidota plāksnes (5) veidā, kurā ir iestrādāti kanāli dzesējošajam ūdenim (rasējumā nav parādīti). Kanāli ir izveidoti plāksnes (5) iekšpusē un ir savstarpēji savienoti vienotā sistēmā, kas ir izvietota ap atvērumu (6) elektronu stara (7) cauriešanai. Pie korpusa (1) hermētiski ir pievienots staru vads ar diviem pagriezieniem, kuri sadala to trijās daļās, pirmā no šīm daļām (8) ir savienota ar korpusu (1), otrā (9) ir starpdaļa, trešā daļa (10) ir savienota ar tehnoloģisko kameru. Tehnoloģiskajā kamerā atrodas objekts (11), kurš tiek sildīts ar elektronu staru (7) un atrodas uz vienas vertikālās ass ar staru vada daļu (10), kas izslēdz stara novirzi no uzsildīšanas zonas elektromagnētiskā lauka iedarbības rezultātā, kuru inducē objekta EMJ sistēma (11). Pagriezienu leņķi (a) starp staru vada daļām (8) un (9), un (9) un (10), ir vienādi, bet vērsti pretējos virzienos. Abu pagriezienu tuvumā ir izvietotas stara pagriešanas spole (12), kas staru pagriež leņķī, kas ir vienāds ar staru vada pagrieziena leņķi (a). Fokusējošās spoles (13) ir izvietotas uz visām trim staru vada daļām, bet stara novirzīšanas spoles (14) - uz daļas (10), kas ir savienota ar tehnoloģisko kameru.
[013] Piedāvātais elektronu stara lielgabals funkcionē sekojošā veidā. Pēc tam, kad tehnoloģiskajā kamerā ir izveidots nepieciešamais vakuums, lielgabala katoda-anoda zonā tiek padota darba gāze, bet uz katodu (3) tiek padots paātrinošais spriegums 2030 kV apmērā. Pie darba gāzes spiediena ap 1 Pa veidojas mirdzizlādes lādiņš, kura strāvas jauda tiek regulēta, regulējot darba gāzes spiedienu, un tā klātbūtne izraisa elektronu kūļa veidošanos. Šis kūlis nonāk staru vada daļā (8), kura savienojās ar lielgabala korpusu (1), un ar fokusējošo spoļu (13) palīdzību tiek virzīts uz pagriezienu starp staru vada daļām (8) un (9), no kura ar stara pagriešanas spolēm (12) vispirms tiek virzīts uz staru vada daļu (9), bet pēc tam caur pagriezienu starp daļām (9) un (10) uz staru vada daļu (10), kas ir savienota ar tehnoloģisko kameru un atrodas uz vienas vertikālās ass ar sildāmo objektu (11). Objekta (11) uzsildīšanas procesu ir iespējams regulēt ar spoļu (14) palīdzību, kuru esamība nodrošina objekta (11) virsmas uzsildīšanai nepieciešamā stara konfigurāciju.
[014] Piedāvātā elektronu lielgabala priekšrocība ir tāda, ka tā izslēdz to, ka lielgabala konstrukcijas elementu metāla atomi nonāks tehnoloģiskajā kamerā pateicoties tam, ka elektronu stars tiek divkārtīgi pagriezts staru vadā. Šis risinājums ļauj nodrošināt augstākas tīrības pakāpes metālu un/vai sakausējumu iegūšanu.
[015] Atsauces:
1. Электронно-лучевая плавка в литейном производстве / Redak.. С.В. Ладохина. Kieva: Izdevniecība «Staļ», 2007. - lpp. 102-107.
2. Плазменные процессы в технологических электронных пушках / М.А. Завьялов, Ю.Э. Крейндель, А.А. Новиков, Л.П. Шатурин. - М.: Энергоатомиздат, 1989. - lpp. 97-145.
3. Patents Nr. 83514 (UA), SPK HOU 37/06. Bil. Nr. 14, 2008.
4. Patents Nr. 93625 (UA), SPK HOU 37/06. Газорозрядна електронна гармата. Publ. 25.02. 2011. Bil. Nr. 4, 2011.
Claims (1)
- PRETENZIJAS1. Gāzizlādes elektronu lielgabals, sastāvošs no hermētiska metāla korpusa (1), kurā atrodas augstsprieguma izolators (2), aukstais liektais katods (3) ar paplašinātu emisijas virsmu, tam koaksiāls dobs anods (4), kura dibendaļa ir izveidota plāksnes (5) veidā ar kanāliem dzesējošajam ūdenim, kuri ir izveidoti plāksnes (5) ķermeņa iekšpusē un ir savstarpēji saistīti vienotā sistēmā, kas ir izvietota ap elektronu stara (7) cauriešanas atvērumu (6), turklāt korpusam (1) hermētiski pievienots staru vads, kas ir aprīkots ar stara fokusēšanas (13), pagriešanas (12) un novirzīšanas (14) spolēm, kas atšķiras ar to, ka staru vads ir izveidots ar diviem pagriezieniem, kur otrais pagrieziens ir ar tādu pašu leņķi (a) kā pirmais pagrieziens, bet pretējā virzienā, kas izvēlēts tādā veidā, ka izslēdz elektronu stara (7) tiešu cauriešanu caur atvērumu anodā uz tīģeli, kas atrodas tehnoloģiskajā kamerā, un abi šie pagriezieni sadala staru vadu trijās daļās, no kurām pirmā daļa (8) ir hermētiski piestiprināta pie lielgabala metāla korpusa (1), otrā daļa (9) ir starpdaļa, bet trešā daļa (10) ir hermētiski pievienota pie tehnoloģiskās kameras, un uz staru vada pagriezienu tuvumā ir izvietotas stara pagriešanas spoles (12), kas staru pagriež leņķī, kas ir vienāds ar staru vada pagrieziena leņķi (a), stara fokusēšanas spoles (13) ir izvietotas uz visām trim staru vada daļām, turklāt stara novirzīšanas spole (14) ir ierīkota uz staru vada trešās daļas (10) vietā, kur tā savienojās ar tehnoloģisko kameru.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| LVP-16-98A LV15301B (lv) | 2016-12-09 | 2016-12-09 | Gāzizlādes elektronu lielgabals |
| EP17206077.4A EP3333878B1 (en) | 2016-12-09 | 2017-12-08 | Gas-discharge electron gun |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| LVP-16-98A LV15301B (lv) | 2016-12-09 | 2016-12-09 | Gāzizlādes elektronu lielgabals |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| LV15301A LV15301A (lv) | 2018-01-20 |
| LV15301B true LV15301B (lv) | 2019-01-20 |
Family
ID=58044121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| LVP-16-98A LV15301B (lv) | 2016-12-09 | 2016-12-09 | Gāzizlādes elektronu lielgabals |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP3333878B1 (lv) |
| LV (1) | LV15301B (lv) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107622932B (zh) * | 2017-09-14 | 2019-04-30 | 宁波鑫利成真空科技有限公司 | 一种轴向电子束枪用偏转接头及其使用方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1112437A1 (ru) * | 1983-05-23 | 1984-09-07 | Всесоюзный Электротехнический Институт Им.В.И.Ленина | Электронно-лучева установка |
| UA93625C2 (uk) * | 2010-01-27 | 2011-02-25 | Физико-Технологический Институт Металлов И Сплавов Hah Украины | Газорозрядна електронна гармата |
| UA83313U (uk) * | 2011-04-11 | 2013-09-10 | Физико-Технологический Институт Металлов И Сплавов Нан Украины | Газорозрядна електронно-променева гармата |
| CN105590816A (zh) * | 2016-02-02 | 2016-05-18 | 赵文天 | 一种冷阴极大功率电子束枪 |
| CN205428866U (zh) * | 2016-02-02 | 2016-08-03 | 赵文天 | 一种冷阴极大功率电子束枪 |
-
2016
- 2016-12-09 LV LVP-16-98A patent/LV15301B/lv unknown
-
2017
- 2017-12-08 EP EP17206077.4A patent/EP3333878B1/en active Active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1112437A1 (ru) * | 1983-05-23 | 1984-09-07 | Всесоюзный Электротехнический Институт Им.В.И.Ленина | Электронно-лучева установка |
| UA93625C2 (uk) * | 2010-01-27 | 2011-02-25 | Физико-Технологический Институт Металлов И Сплавов Hah Украины | Газорозрядна електронна гармата |
| UA83313U (uk) * | 2011-04-11 | 2013-09-10 | Физико-Технологический Институт Металлов И Сплавов Нан Украины | Газорозрядна електронно-променева гармата |
| CN105590816A (zh) * | 2016-02-02 | 2016-05-18 | 赵文天 | 一种冷阴极大功率电子束枪 |
| CN205428866U (zh) * | 2016-02-02 | 2016-08-03 | 赵文天 | 一种冷阴极大功率电子束枪 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| LV15301A (lv) | 2018-01-20 |
| EP3333878A1 (en) | 2018-06-13 |
| EP3333878B1 (en) | 2019-10-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Karpov | Cathodic arc sources and macroparticle filtering | |
| EP2633543B1 (de) | Vorrichtung zum erzeugen eines elektronenstrahls | |
| US9453681B2 (en) | Melting furnace including wire-discharge ion plasma electron emitter | |
| US8748773B2 (en) | Ion plasma electron emitters for a melting furnace | |
| JPWO2008050670A1 (ja) | ピアス式電子銃の電子ビーム集束の制御方法及び制御装置 | |
| RU2016117814A (ru) | Процессы с использованием удаленной плазмы дугового разряда | |
| UA101678C2 (uk) | Вакуумно-дуговий випарник для генерування катодної плазми | |
| LV15301B (lv) | Gāzizlādes elektronu lielgabals | |
| US4412153A (en) | Dual filament ion source | |
| US3517240A (en) | Method and apparatus for forming a focused monoenergetic ion beam | |
| US20180233316A1 (en) | Electron beam projector with linear thermal cathode | |
| RU2323502C1 (ru) | Газоразрядная электронная пушка | |
| LV15673B (lv) | Gāzizlādes elektronu lielgabals | |
| RU2709793C1 (ru) | Электронно-лучевая пушка с повышенным ресурсом эксплуатации | |
| UA93625C2 (uk) | Газорозрядна електронна гармата | |
| US6476340B1 (en) | Electron beam gun with grounded shield to prevent arc-down and gas bleed to protect the filament | |
| CN102296274A (zh) | 用于阴极弧金属离子源的屏蔽装置 | |
| US3274417A (en) | Electronic evaporator | |
| UA83313U (uk) | Газорозрядна електронно-променева гармата | |
| EP3474307A1 (en) | Axial electron gun | |
| RU2364980C1 (ru) | Аксиальная электронная пушка | |
| JP2519709B2 (ja) | ホロ−カソ−ド型イオン源 | |
| Mori | A compact and intense negative heavy ion source | |
| EP3312869A1 (en) | The gas-discharge electron gun | |
| JPS6357104B2 (lv) |