UA93625C2 - Газоразрядная электронная пушка - Google Patents

Газоразрядная электронная пушка Download PDF

Info

Publication number
UA93625C2
UA93625C2 UAA201000799A UAA201000799A UA93625C2 UA 93625 C2 UA93625 C2 UA 93625C2 UA A201000799 A UAA201000799 A UA A201000799A UA A201000799 A UAA201000799 A UA A201000799A UA 93625 C2 UA93625 C2 UA 93625C2
Authority
UA
Ukraine
Prior art keywords
gas
electron
cathode
gun
technological
Prior art date
Application number
UAA201000799A
Other languages
English (en)
Ukrainian (uk)
Inventor
Вадим Борисович Чернявский
Сергей Васильевич Ладохин
Валерий Андреевич Семенец
Александр Васильевич Крещук
Владимир Иванович Цветков
Тамара Владимировна Лапшук
Original Assignee
Физико-Технологический Институт Металлов И Сплавов Hah Украины
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Физико-Технологический Институт Металлов И Сплавов Hah Украины filed Critical Физико-Технологический Институт Металлов И Сплавов Hah Украины
Priority to UAA201000799A priority Critical patent/UA93625C2/ru
Publication of UA93625C2 publication Critical patent/UA93625C2/ru

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/06Electron sources; Electron guns
    • H01J37/077Electron guns using discharge in gases or vapours as electron sources
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/16Vessels; Containers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/305Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

Газоразрядная электронная пушка относится к электронной технике, а именно к газоразрядным электронным пушкам технологического назначения, и может найти применение в специальной электрометаллургии для электронно-лучевой плавки металлов и сплавов. Газоразрядная электронная пушка состоит из герметичного металлического корпуса, в котором расположены высоковольтный изолятор, холодный вогнутый катод и соосный с ним полый анод, к корпусу герметически присоединен лучепровод с размещенными на нем фокусирующими и отклоняющими катушками, который выполнен из двух частей в виде колена, угол п�
UAA201000799A 2010-01-27 2010-01-27 Газоразрядная электронная пушка UA93625C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UAA201000799A UA93625C2 (ru) 2010-01-27 2010-01-27 Газоразрядная электронная пушка

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UAA201000799A UA93625C2 (ru) 2010-01-27 2010-01-27 Газоразрядная электронная пушка

Publications (1)

Publication Number Publication Date
UA93625C2 true UA93625C2 (ru) 2011-02-25

Family

ID=50830753

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
UAA201000799A UA93625C2 (ru) 2010-01-27 2010-01-27 Газоразрядная электронная пушка

Country Status (1)

Country Link
UA (1) UA93625C2 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017155495A1 (en) * 2016-10-31 2017-09-14 State Enterprise "International Center For Electron Beam Technologies Of E.O. Paton Electric Welding Institute Of National Academy Of Sciences Of Ukraine" Electron beam projector with linear thermal cathode
EP3333878A1 (en) * 2016-12-09 2018-06-13 Sia "Kepp Eu" Gas-discharge electron gun

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017155495A1 (en) * 2016-10-31 2017-09-14 State Enterprise "International Center For Electron Beam Technologies Of E.O. Paton Electric Welding Institute Of National Academy Of Sciences Of Ukraine" Electron beam projector with linear thermal cathode
EP3333878A1 (en) * 2016-12-09 2018-06-13 Sia "Kepp Eu" Gas-discharge electron gun
LV15301B (lv) * 2016-12-09 2019-01-20 Kepp Eu, Sia Gāzizlādes elektronu lielgabals

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5781710B2 (ja) 鋳造又は噴霧されて粉末になる処理材料を製造する方法
CN103299390B (zh) 用于产生电子束的设备
RU2544328C2 (ru) Ионно-плазменные излучатели электронов для плавильной печи
US9214313B2 (en) Ion source with independent power supplies
US7304319B2 (en) Wafer charge compensation device and ion implantation system having the same
JP5616426B2 (ja) 真空処理装置
US4122347A (en) Ion source
RU2016117814A (ru) Процессы с использованием удаленной плазмы дугового разряда
US3450824A (en) Method and apparatus for producing and directing an electron beam
UA93625C2 (ru) Газоразрядная электронная пушка
US3177535A (en) Electron beam furnace with low beam source
US3268648A (en) Apparatus for vaporizing materials by an electron beam
EP1783810A2 (en) Electron Gun
US3409729A (en) Electron beam furnace and method for heating a target therein
EP3333878B1 (en) Gas-discharge electron gun
UA83313U (ru) Газоразрядная электронно-лучевая пушка
US3475542A (en) Apparatus for heating a target in an electron beam furnace
CN205992996U (zh) 一种充氩气的电子束熔炼炉用电子枪室
CN202443946U (zh) 用于电子束炉的电子枪
CN106231713A (zh) 一种充氩气的电子束熔炼炉用电子枪室
CN111133551B (zh) 离子源装置
UA79171U (ru) Газоразрядная электронная пушка
UA121970C2 (uk) Газорозрядна електронна гармата
UA121969C2 (uk) Комбінований газорозрядний електронно-променевий нагрівач
JP2019139990A (ja) イオン源及びイオン注入装置