UA83514C2 - Газорозрядна електронна гармата - Google Patents
Газорозрядна електронна гармата Download PDFInfo
- Publication number
- UA83514C2 UA83514C2 UAA200606631A UAA200606631A UA83514C2 UA 83514 C2 UA83514 C2 UA 83514C2 UA A200606631 A UAA200606631 A UA A200606631A UA A200606631 A UAA200606631 A UA A200606631A UA 83514 C2 UA83514 C2 UA 83514C2
- Authority
- UA
- Ukraine
- Prior art keywords
- gas
- anode
- pass
- discharge electron
- plate
- Prior art date
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 abstract description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 6
- 238000002844 melting Methods 0.000 abstract description 6
- 230000008018 melting Effects 0.000 abstract description 6
- 239000012212 insulator Substances 0.000 abstract description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 abstract description 2
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 7
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 7
- 238000013461 design Methods 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 244000208060 Lawsonia inermis Species 0.000 description 1
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 description 1
- 238000003723 Smelting Methods 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002048 anodisation reaction Methods 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
- H01J37/077—Electron guns using discharge in gases or vapours as electron sources
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/305—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/002—Cooling arrangements
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
- порушення герметичності донної плити анода вання плити і розгерметизація електронної гарма- в умовах вакууму через наявність зварних швів, які ти. піддаються циклічній дії температурного режиму, Крім того, до недоліку конструкції слід віднести що недопустимо для цього виду виробу; складність очищення каналів охолоджування, яке - економічна недоцільність через трудоміст- здійснюється через штуцера підведення і відве- кість і технологічність виготовлення зварної донної дення охолоджуючої води. плити анода за рахунок додаткової операції зва- В основу винаходу покладено завдання вдос- рювання; коналити газорозрядну електронну гармату, в якій - необхідність контролю донної плити анода по шляхом зміни місця розташування каналів для вакууму, що обумовлює необхідність утримання проходження охолоджуючої води досягається, по- стенду з вакуумною системою. перше, можливість своєчасного відведення тепла
Відома також газорозрядна електронна гарма- від найбільш напруженого за температурним ре- та з холодним катодом з угнутою емісійною повер- жимом місця, по-друге, уникнення необхідності хнею і циліндричним порожнистим анодом, який виконання зварних швів, що виключає можливість з'єднаний з циліндричним каналом - променево- перегрівання плити і порушення її герметичності. дом для проходження електронного пучка після Це підвищує строк дії пристрою. його виходу з отвору зварної донної плити анода Для вирішення завдання запропонована газо- див. Спетом М.А. Тпе роуепц! підпуоМКаде діом розрядна електронна гармата, що включає герме- дізснагде еіесігоп дип апа рожег піс оп йв Браве, тичний металевий корпус, в якому розміщені висо-
МЕЇ, Вивззіа Ргосеєдіпуд5 ої (Ше сопіегепсе оп ковольтний ізолятор, холодний увігнутий катод з еіІесігоп реат тейпд апа ге Япіпд-5іаїе ої (пе агїї, розвиненою емісійною поверхнею і співвісний з 1994, р. 259-268, Рід. 11). ним порожнистий анод, донна частина якого вико-
Конструктивне виконання донної плити анода нана у вигляді плити з каналами для проходження електронної гармати обумовлює значне її перегрі- охолоджуючої води і отвором для проходження вання, що приводить до порушення герметичності електронного пучка, а також приєднаний співвісно донної плити анода в умовах вакууму. аноду променевід з розміщеними на ньому фокус-
Найближчим по технічній суті і результату, що ними і відхиляючими котушками, у якій, згідно з досягається, до рішення, що заявляється, є газо- винаходом, канали для проходження охолоджую- розрядна електронна гармата, що включає герме- чої води виконані всередині тіла плити і зв'язані тичний металевий корпус, в якому розміщені висо- між собою в єдину систему, розташовану навколо ковольтний ізолятор, холодний увігнутий катод з отвору для проходження електронного пучка. розвиненою емісійною поверхнею і співвісний з Завдяки новим ознакам стало можливим ви- ним порожнистий анод, донна частина якого вико- несення донної частини аноду назовні і приєднан- нана у вигляді плити, яка розташована всередині ня її через вакуумні ущільнювачі безпосередньо анода і має канали для проходження охолоджую- до променеводу. Це спрощує конструкцію гармати чої води і отвір для проходження електронного і спосіб її виготовлення. пучка, а також приєднаний співвісний аноду про- Найбільш практичним і зручним для виготов- меневід з розміщеними на ньому фокусними і від- лення є система, яка виконана з чотирьох каналів хиляючими котушками. Канали для проходження з'єднаних між собою у вигляді квадрата або пря- охолоджуючої води виконані у вигляді кільцевих мокутника. зовнішніх проточок, і розташовані по периметру Для можливості ефективного чищення каналів, плити. Герметичність по вакууму забезпечується кожний з них виконаний з можливістю виходу в кільцевою накладкою, якою накривають канали і атмосферу, а для уникнення виходу охолоджува- яку приєднують зварним швом по міді, як у верхній льної води, вони оснащені знімними герметичними частині донної плити, так і в нижній (див. Патент пробками.
України Ме38451, МПК 7 НО1237/06, Бюл. Ме1, Суть винаходу пояснюється кресленнями. 2004р.|. На Фіг.1 представлений схематичний розріз
Недоліком прототипу є значне перегрівання газорозрядної електронної гармати; плити, яке призводить до утворення тріщин в зва- На Ффіг.2 - вид А Фіг.1; рних швах, також перегрівання вакуумних ущіль- На Фіг.3 - переріз Б-Б Фіг.2. нень що обумовлює розгерметизацію пристою, Газорозрядна електронна гармата оснащена порушення вакууму. високовольтним ізолятором 1 в герметичному кор-
Вказаний недолік обумовлений тим, що канали пусі, охолподжуваним водою катодом 2 з сферич- для проходження охолоджуючої води розташовані ною емісійною поверхнею. За допомогою цилінд- по периметру плити, по її периферії, а найбільш ричного корпусу катод 2 встановлений співвісно на температурно напружена область плити - це діля- порожнистому аноді 3, в якому усередині його нки навкруги отвору для проходження електронно- донної плити 4 виконані свердленні канали 5 го пучка. При проходженні електронного пучка в (Фіг.2, З) для проходження охолоджуючої води з отворі виникає т.з. його "розштовхування", і елект- виходом в атмосферу і отвором 6 для проходжен- рони, попадаючи на внутрішню поверхню отвору ня електронного пучка. Свердленні канали 5 для спричиняють виникнення "току перехвату", за ра- проходження охолоджуючої води що виходять в хунок якого це місце найбільш нагрівається. Охо- атмосферу забезпечені знімними герметичними лоджувальна вода, йдучи по периметру плити не пробками 7 що сполучаються з атмосферою. Дон- може ефективно протидіяти цьому нагріванню, на плита 4 має канавки 8 для вакуумного ущіль- тому в прототипі часто спостерігається перегрі- нення між порожнистим анодом З і променеводом
9, а також штуцер 10 підведення охолоджуючої При регулюванні потужності електронного пучка води і штуцер 11 її відведення. зміною тиску (витратою робочого газу) донна пли-
Співвісно аноду З приєднаний променевід 9 з та 4 аноду З працює в умовах навантаженого цик- розміщеними на ньому фокусними котушками 12 і лічного температурного режиму. При цьому мож- відхиляючими котушками 13. Нижній торець цилі- ливість своєчасного відведення тепла від ндричного променеводу 9 забезпечений фланцем, найбільш напруженого за температурним режи- за допомогою якого гармата встановлюється на мом місця, (отвору для проходження електронного технологічну камеру електронно-променевої уста- пучка) виключає можливість перегрівання плити. ноОвкКи. Відсутність зварних швів, виключає можливість
Для роботи пропонованої газорозрядної елек- порушення герметичності плити не тільки за раху- тронної гармати при безперервному її відкачуванні нок перегрівання, а і за будь-яких інших обставин. через штуцер в стінці катодно-анодної порожнини Запропонована газорозрядна електронна гар- подається робочий газ (фіг.1), що складається з мата, в основному, призначена для електронно- водню, активованого невеликою добавкою кисню, променевої плавки металів і сплавів, де необхідна а на катод 2 - через високовольтний струмопідвод велика потужність електронного пучка. При цьому (на кресленні не показаний) прискорююча напруга запропоновано конструкція гарантує стабільність її 25...30КВ. У діапазоні тиску одиниці-десятки Па роботи при потужності електронного пучка 750кКВт. виникає високовольтний тліючий розряд, сила Це обумовлює її застосування в електронно- струму якого регулюється зміною тиску (величи- променевих установках для виплавки злитків ма- ною потоку робочого газу, який поступає в гарма- сою до 16т. і більш безпосередньо в кристалізато- ту). рі ковзання, для плавки із застосуванням проміж-
За допомогою фокусних котушок 12 електрон- ної ємності і виплавки плоских злитків в ізложниці ний пучок виводиться через променевід 9 в техно- прямокутного або квадратного перетину, а також логічну камеру і фокусується на поверхні об'єкту отримання порожнистих злитків. 14, що нагрівається. При необхідності за допомо- Конструктивна особливість газорозрядної еле- гою котушок 13 відхилення і відповідної програми ктронної гармати дозволяє понизити собівартість її розгорток електронного пучка можна реалізувати виготовлення. При цьому гармата має високу ста- різні види розгорток для обробки об'єкту 14, що більність енергетичних параметрів електронного нагрівається (розплавлення металу в кристаліза- пучка, відрізняється простотою збірки і вакуумних торі, проміжній ємності, плоскій ізложниці і т.д.). випробувань, надійна в експлуатації.
вода ря
СБ Я ро щ і ї х р щі Б 2 їх Я - ! ДЕЕЕЕДУЯ ера хі 7 у 4 пода -- Істини М Бі
Шини ай т й - Ж йо. за» -- рей бе - и
КАТКИ ха в Пі - 2
А ул а
М Ж
І -
Ці 14
Ії д-т
ІЙ ш-т
І т
Фіг. 1 5-5 7. ; дод ше й й: -т У
М дО ух рай
В 0 ру
Я пд
А 8 шах ХА КО і Дт 10 . ш- т Ба ле г НИ 1 в. - м як дент / рилртяі ві. Я | ДЕ в ее ле
Вин і нн
Ше Шин К
Пе тин
Ше
Фіг. 2 Ми Фіг. З
Комп'ютерна верстка В. Клюкін Підписне Тираж 26 прим.
Міністерство освіти і науки України
Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна
ДП "Український інститут промислової власності", вул. Глазунова, 1, м. Київ - 42, 01601
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
UAA200606631A UA83514C2 (uk) | 2006-06-14 | 2006-06-14 | Газорозрядна електронна гармата |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
UAA200606631A UA83514C2 (uk) | 2006-06-14 | 2006-06-14 | Газорозрядна електронна гармата |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
UA83514C2 true UA83514C2 (uk) | 2008-07-25 |
Family
ID=50722678
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
UAA200606631A UA83514C2 (uk) | 2006-06-14 | 2006-06-14 | Газорозрядна електронна гармата |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
UA (1) | UA83514C2 (uk) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105590816A (zh) * | 2016-02-02 | 2016-05-18 | 赵文天 | 一种冷阴极大功率电子束枪 |
LV15213B (lv) * | 2016-10-21 | 2017-04-20 | Kepp Eu, Sia | Gāzizlādes elektronu lielgabals |
CN114801173A (zh) * | 2022-04-27 | 2022-07-29 | 广州赛隆增材制造有限责任公司 | 一种3d打印电子枪装置和3d打印设备 |
-
2006
- 2006-06-14 UA UAA200606631A patent/UA83514C2/uk unknown
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105590816A (zh) * | 2016-02-02 | 2016-05-18 | 赵文天 | 一种冷阴极大功率电子束枪 |
LV15213B (lv) * | 2016-10-21 | 2017-04-20 | Kepp Eu, Sia | Gāzizlādes elektronu lielgabals |
EP3312869A1 (en) * | 2016-10-21 | 2018-04-25 | Kepp Eu, Sia | The gas-discharge electron gun |
CN114801173A (zh) * | 2022-04-27 | 2022-07-29 | 广州赛隆增材制造有限责任公司 | 一种3d打印电子枪装置和3d打印设备 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH077102B2 (ja) | 廃棄物処理用溶融炉及びその加熱方法 | |
US20130182740A1 (en) | Cold crucible induction melter integrating induction coil and melting furnace | |
UA83514C2 (uk) | Газорозрядна електронна гармата | |
US20130032978A1 (en) | Burner Gland For An Electric Arc Furnace | |
JLG et al. | Effect of foamy slag height on hot spots formation inside the electric arc furnace based on a radiation model | |
KR101398663B1 (ko) | 직류 연속 아크로의 전극 | |
CN218210063U (zh) | 一种基于氨气燃烧的热水加热炉 | |
RU2555264C1 (ru) | Узел катода магнетронного распылителя | |
US9053917B2 (en) | Vacuum fired and brazed ion pump element | |
US6297591B1 (en) | Chimney-cooled arc lamp electrode | |
UA18139U (en) | Gas-discharge electron gun | |
CN104332376B (zh) | 装有水冷阳极装置的金属陶瓷x射线管 | |
CN106288787A (zh) | 一种利用层流等离子体的冶炼设备 | |
EP3333878B1 (en) | Gas-discharge electron gun | |
CN207276647U (zh) | 一种新型电炉氧枪水冷装置 | |
KR101159968B1 (ko) | 전기로용 냉각 패널 | |
EP1147351A1 (en) | System to plug the delta area of the roof of an electric arc furnace | |
US10337798B2 (en) | Injection lance shield for metal production furnace | |
CN210108035U (zh) | 一种可降低能量损失的矿热炉的密封型炉盖装置 | |
RU2594932C2 (ru) | Устройство электронно-лучевой пушки r-250 | |
Makarov et al. | Energy saving for steelmaking in plasma-arc furnaces | |
JP3643773B2 (ja) | プラズマアーク式溶融炉 | |
US5977714A (en) | Magnetron anodes having refractory material and cooled by fluid boiling | |
SU723344A1 (ru) | Электрическа солева печь | |
GB2059556A (en) | Cooling Box for Steel-making Arc Furnace |