UA83514C2 - Газорозрядна електронна гармата - Google Patents

Газорозрядна електронна гармата Download PDF

Info

Publication number
UA83514C2
UA83514C2 UAA200606631A UAA200606631A UA83514C2 UA 83514 C2 UA83514 C2 UA 83514C2 UA A200606631 A UAA200606631 A UA A200606631A UA A200606631 A UAA200606631 A UA A200606631A UA 83514 C2 UA83514 C2 UA 83514C2
Authority
UA
Ukraine
Prior art keywords
gas
anode
pass
discharge electron
plate
Prior art date
Application number
UAA200606631A
Other languages
English (en)
Russian (ru)
Inventor
Николай Петрович Кондратий
Виктор Николаевич Васюра
Александр Алексеевич Тур
Николай Васильевич Чайка
Original Assignee
Николай Петрович Кондратий
Виктор Николаевич Васюра
Александр Алексеевич Тур
Николай Васильевич Чайка
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Николай Петрович Кондратий, Виктор Николаевич Васюра, Александр Алексеевич Тур, Николай Васильевич Чайка filed Critical Николай Петрович Кондратий
Priority to UAA200606631A priority Critical patent/UA83514C2/uk
Publication of UA83514C2 publication Critical patent/UA83514C2/uk

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/06Electron sources; Electron guns
    • H01J37/077Electron guns using discharge in gases or vapours as electron sources
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/305Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/002Cooling arrangements

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Lasers (AREA)

Description

- порушення герметичності донної плити анода вання плити і розгерметизація електронної гарма- в умовах вакууму через наявність зварних швів, які ти. піддаються циклічній дії температурного режиму, Крім того, до недоліку конструкції слід віднести що недопустимо для цього виду виробу; складність очищення каналів охолоджування, яке - економічна недоцільність через трудоміст- здійснюється через штуцера підведення і відве- кість і технологічність виготовлення зварної донної дення охолоджуючої води. плити анода за рахунок додаткової операції зва- В основу винаходу покладено завдання вдос- рювання; коналити газорозрядну електронну гармату, в якій - необхідність контролю донної плити анода по шляхом зміни місця розташування каналів для вакууму, що обумовлює необхідність утримання проходження охолоджуючої води досягається, по- стенду з вакуумною системою. перше, можливість своєчасного відведення тепла
Відома також газорозрядна електронна гарма- від найбільш напруженого за температурним ре- та з холодним катодом з угнутою емісійною повер- жимом місця, по-друге, уникнення необхідності хнею і циліндричним порожнистим анодом, який виконання зварних швів, що виключає можливість з'єднаний з циліндричним каналом - променево- перегрівання плити і порушення її герметичності. дом для проходження електронного пучка після Це підвищує строк дії пристрою. його виходу з отвору зварної донної плити анода Для вирішення завдання запропонована газо- див. Спетом М.А. Тпе роуепц! підпуоМКаде діом розрядна електронна гармата, що включає герме- дізснагде еіесігоп дип апа рожег піс оп йв Браве, тичний металевий корпус, в якому розміщені висо-
МЕЇ, Вивззіа Ргосеєдіпуд5 ої (Ше сопіегепсе оп ковольтний ізолятор, холодний увігнутий катод з еіІесігоп реат тейпд апа ге Япіпд-5іаїе ої (пе агїї, розвиненою емісійною поверхнею і співвісний з 1994, р. 259-268, Рід. 11). ним порожнистий анод, донна частина якого вико-
Конструктивне виконання донної плити анода нана у вигляді плити з каналами для проходження електронної гармати обумовлює значне її перегрі- охолоджуючої води і отвором для проходження вання, що приводить до порушення герметичності електронного пучка, а також приєднаний співвісно донної плити анода в умовах вакууму. аноду променевід з розміщеними на ньому фокус-
Найближчим по технічній суті і результату, що ними і відхиляючими котушками, у якій, згідно з досягається, до рішення, що заявляється, є газо- винаходом, канали для проходження охолоджую- розрядна електронна гармата, що включає герме- чої води виконані всередині тіла плити і зв'язані тичний металевий корпус, в якому розміщені висо- між собою в єдину систему, розташовану навколо ковольтний ізолятор, холодний увігнутий катод з отвору для проходження електронного пучка. розвиненою емісійною поверхнею і співвісний з Завдяки новим ознакам стало можливим ви- ним порожнистий анод, донна частина якого вико- несення донної частини аноду назовні і приєднан- нана у вигляді плити, яка розташована всередині ня її через вакуумні ущільнювачі безпосередньо анода і має канали для проходження охолоджую- до променеводу. Це спрощує конструкцію гармати чої води і отвір для проходження електронного і спосіб її виготовлення. пучка, а також приєднаний співвісний аноду про- Найбільш практичним і зручним для виготов- меневід з розміщеними на ньому фокусними і від- лення є система, яка виконана з чотирьох каналів хиляючими котушками. Канали для проходження з'єднаних між собою у вигляді квадрата або пря- охолоджуючої води виконані у вигляді кільцевих мокутника. зовнішніх проточок, і розташовані по периметру Для можливості ефективного чищення каналів, плити. Герметичність по вакууму забезпечується кожний з них виконаний з можливістю виходу в кільцевою накладкою, якою накривають канали і атмосферу, а для уникнення виходу охолоджува- яку приєднують зварним швом по міді, як у верхній льної води, вони оснащені знімними герметичними частині донної плити, так і в нижній (див. Патент пробками.
України Ме38451, МПК 7 НО1237/06, Бюл. Ме1, Суть винаходу пояснюється кресленнями. 2004р.|. На Фіг.1 представлений схематичний розріз
Недоліком прототипу є значне перегрівання газорозрядної електронної гармати; плити, яке призводить до утворення тріщин в зва- На Ффіг.2 - вид А Фіг.1; рних швах, також перегрівання вакуумних ущіль- На Фіг.3 - переріз Б-Б Фіг.2. нень що обумовлює розгерметизацію пристою, Газорозрядна електронна гармата оснащена порушення вакууму. високовольтним ізолятором 1 в герметичному кор-
Вказаний недолік обумовлений тим, що канали пусі, охолподжуваним водою катодом 2 з сферич- для проходження охолоджуючої води розташовані ною емісійною поверхнею. За допомогою цилінд- по периметру плити, по її периферії, а найбільш ричного корпусу катод 2 встановлений співвісно на температурно напружена область плити - це діля- порожнистому аноді 3, в якому усередині його нки навкруги отвору для проходження електронно- донної плити 4 виконані свердленні канали 5 го пучка. При проходженні електронного пучка в (Фіг.2, З) для проходження охолоджуючої води з отворі виникає т.з. його "розштовхування", і елект- виходом в атмосферу і отвором 6 для проходжен- рони, попадаючи на внутрішню поверхню отвору ня електронного пучка. Свердленні канали 5 для спричиняють виникнення "току перехвату", за ра- проходження охолоджуючої води що виходять в хунок якого це місце найбільш нагрівається. Охо- атмосферу забезпечені знімними герметичними лоджувальна вода, йдучи по периметру плити не пробками 7 що сполучаються з атмосферою. Дон- може ефективно протидіяти цьому нагріванню, на плита 4 має канавки 8 для вакуумного ущіль- тому в прототипі часто спостерігається перегрі- нення між порожнистим анодом З і променеводом
9, а також штуцер 10 підведення охолоджуючої При регулюванні потужності електронного пучка води і штуцер 11 її відведення. зміною тиску (витратою робочого газу) донна пли-
Співвісно аноду З приєднаний променевід 9 з та 4 аноду З працює в умовах навантаженого цик- розміщеними на ньому фокусними котушками 12 і лічного температурного режиму. При цьому мож- відхиляючими котушками 13. Нижній торець цилі- ливість своєчасного відведення тепла від ндричного променеводу 9 забезпечений фланцем, найбільш напруженого за температурним режи- за допомогою якого гармата встановлюється на мом місця, (отвору для проходження електронного технологічну камеру електронно-променевої уста- пучка) виключає можливість перегрівання плити. ноОвкКи. Відсутність зварних швів, виключає можливість
Для роботи пропонованої газорозрядної елек- порушення герметичності плити не тільки за раху- тронної гармати при безперервному її відкачуванні нок перегрівання, а і за будь-яких інших обставин. через штуцер в стінці катодно-анодної порожнини Запропонована газорозрядна електронна гар- подається робочий газ (фіг.1), що складається з мата, в основному, призначена для електронно- водню, активованого невеликою добавкою кисню, променевої плавки металів і сплавів, де необхідна а на катод 2 - через високовольтний струмопідвод велика потужність електронного пучка. При цьому (на кресленні не показаний) прискорююча напруга запропоновано конструкція гарантує стабільність її 25...30КВ. У діапазоні тиску одиниці-десятки Па роботи при потужності електронного пучка 750кКВт. виникає високовольтний тліючий розряд, сила Це обумовлює її застосування в електронно- струму якого регулюється зміною тиску (величи- променевих установках для виплавки злитків ма- ною потоку робочого газу, який поступає в гарма- сою до 16т. і більш безпосередньо в кристалізато- ту). рі ковзання, для плавки із застосуванням проміж-
За допомогою фокусних котушок 12 електрон- ної ємності і виплавки плоских злитків в ізложниці ний пучок виводиться через променевід 9 в техно- прямокутного або квадратного перетину, а також логічну камеру і фокусується на поверхні об'єкту отримання порожнистих злитків. 14, що нагрівається. При необхідності за допомо- Конструктивна особливість газорозрядної еле- гою котушок 13 відхилення і відповідної програми ктронної гармати дозволяє понизити собівартість її розгорток електронного пучка можна реалізувати виготовлення. При цьому гармата має високу ста- різні види розгорток для обробки об'єкту 14, що більність енергетичних параметрів електронного нагрівається (розплавлення металу в кристаліза- пучка, відрізняється простотою збірки і вакуумних торі, проміжній ємності, плоскій ізложниці і т.д.). випробувань, надійна в експлуатації.
вода ря
СБ Я ро щ і ї х р щі Б 2 їх Я - ! ДЕЕЕЕДУЯ ера хі 7 у 4 пода -- Істини М Бі
Шини ай т й - Ж йо. за» -- рей бе - и
КАТКИ ха в Пі - 2
А ул а
М Ж
І -
Ці 14
Ії д-т
ІЙ ш-т
І т
Фіг. 1 5-5 7. ; дод ше й й: -т У
М дО ух рай
В 0 ру
Я пд
А 8 шах ХА КО і Дт 10 . ш- т Ба ле г НИ 1 в. - м як дент / рилртяі ві. Я | ДЕ в ее ле
Вин і нн
Ше Шин К
Пе тин
Ше
Фіг. 2 Ми Фіг. З
Комп'ютерна верстка В. Клюкін Підписне Тираж 26 прим.
Міністерство освіти і науки України
Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна
ДП "Український інститут промислової власності", вул. Глазунова, 1, м. Київ - 42, 01601
UAA200606631A 2006-06-14 2006-06-14 Газорозрядна електронна гармата UA83514C2 (uk)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UAA200606631A UA83514C2 (uk) 2006-06-14 2006-06-14 Газорозрядна електронна гармата

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UAA200606631A UA83514C2 (uk) 2006-06-14 2006-06-14 Газорозрядна електронна гармата

Publications (1)

Publication Number Publication Date
UA83514C2 true UA83514C2 (uk) 2008-07-25

Family

ID=50722678

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
UAA200606631A UA83514C2 (uk) 2006-06-14 2006-06-14 Газорозрядна електронна гармата

Country Status (1)

Country Link
UA (1) UA83514C2 (uk)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105590816A (zh) * 2016-02-02 2016-05-18 赵文天 一种冷阴极大功率电子束枪
LV15213B (lv) * 2016-10-21 2017-04-20 Kepp Eu, Sia Gāzizlādes elektronu lielgabals
CN114801173A (zh) * 2022-04-27 2022-07-29 广州赛隆增材制造有限责任公司 一种3d打印电子枪装置和3d打印设备

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105590816A (zh) * 2016-02-02 2016-05-18 赵文天 一种冷阴极大功率电子束枪
LV15213B (lv) * 2016-10-21 2017-04-20 Kepp Eu, Sia Gāzizlādes elektronu lielgabals
EP3312869A1 (en) * 2016-10-21 2018-04-25 Kepp Eu, Sia The gas-discharge electron gun
CN114801173A (zh) * 2022-04-27 2022-07-29 广州赛隆增材制造有限责任公司 一种3d打印电子枪装置和3d打印设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH077102B2 (ja) 廃棄物処理用溶融炉及びその加熱方法
US20130182740A1 (en) Cold crucible induction melter integrating induction coil and melting furnace
UA83514C2 (uk) Газорозрядна електронна гармата
US20130032978A1 (en) Burner Gland For An Electric Arc Furnace
JLG et al. Effect of foamy slag height on hot spots formation inside the electric arc furnace based on a radiation model
KR101398663B1 (ko) 직류 연속 아크로의 전극
CN218210063U (zh) 一种基于氨气燃烧的热水加热炉
RU2555264C1 (ru) Узел катода магнетронного распылителя
US9053917B2 (en) Vacuum fired and brazed ion pump element
US6297591B1 (en) Chimney-cooled arc lamp electrode
UA18139U (en) Gas-discharge electron gun
CN104332376B (zh) 装有水冷阳极装置的金属陶瓷x射线管
CN106288787A (zh) 一种利用层流等离子体的冶炼设备
EP3333878B1 (en) Gas-discharge electron gun
CN207276647U (zh) 一种新型电炉氧枪水冷装置
KR101159968B1 (ko) 전기로용 냉각 패널
EP1147351A1 (en) System to plug the delta area of the roof of an electric arc furnace
US10337798B2 (en) Injection lance shield for metal production furnace
CN210108035U (zh) 一种可降低能量损失的矿热炉的密封型炉盖装置
RU2594932C2 (ru) Устройство электронно-лучевой пушки r-250
Makarov et al. Energy saving for steelmaking in plasma-arc furnaces
JP3643773B2 (ja) プラズマアーク式溶融炉
US5977714A (en) Magnetron anodes having refractory material and cooled by fluid boiling
SU723344A1 (ru) Электрическа солева печь
GB2059556A (en) Cooling Box for Steel-making Arc Furnace