UA18139U - Gas-discharge electron gun - Google Patents
Gas-discharge electron gun Download PDFInfo
- Publication number
- UA18139U UA18139U UAU200606632U UAU200606632U UA18139U UA 18139 U UA18139 U UA 18139U UA U200606632 U UAU200606632 U UA U200606632U UA U200606632 U UAU200606632 U UA U200606632U UA 18139 U UA18139 U UA 18139U
- Authority
- UA
- Ukraine
- Prior art keywords
- passage
- anode
- gas
- channels
- cooling water
- Prior art date
Links
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 22
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 2
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 7
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 6
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 6
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
- H01J37/077—Electron guns using discharge in gases or vapours as electron sources
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/305—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/002—Cooling arrangements
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
Description
Опис винаходуDescription of the invention
Корисна модель відноситься до електронної техніки, а саме до розробки газорозрядних електронних гармат 2 технологічного призначення і може знайти застосування для електронно-променевого плавлення, випаровування матеріалу і інших термічних процесів, які реалізуються у вакуумі з використанням потужних електронних пучків.The useful model refers to electronic engineering, namely to the development of gas-discharge electron guns 2 of technological purpose and can be used for electron-beam melting, evaporation of material and other thermal processes that are implemented in a vacuum using powerful electron beams.
Відомі газорозрядні гармати, робота яких заснована на використовуванні електричного розряду між холодними електродами в середовищі газу низького тиску (високовольтного тліючого розряду). Електронний 70 пучок утворюється в результаті бомбардування поверхні катода швидкими частинками (позитивними іонами і нейтральними частинками), що виникають при прискоренні і перезарядці іонів у області катодного падіння потенціалу. Як генерація, так і прискорення електронів відбувається в межах розряду за рахунок високої напруги, яка підводиться між анодом і катодом. З розрядного проміжку виходить пучок електронів з енергією, практично рівною прикладеній різниці потенціалів. Величина потужності в пучку, що виводиться в робочу 12 технологічну камеру на об'єкт, що нагрівається, визначається частиною загальної потужності в розряді, що припадає на іонну складову розрядного струму |див. Плазменнье процессьі в технологических злектронньх пушках, М.А. Завьялов, Ю.З. Крейндель, А.А. Новиков, Л.П. Шантурин, М, Знергоатомиздат, 1989, с.97-145).Gas-discharge guns are known, the work of which is based on the use of an electric discharge between cold electrodes in a low-pressure gas environment (high-voltage glow discharge). The electron 70 beam is formed as a result of the bombardment of the cathode surface with fast particles (positive ions and neutral particles), which occur during the acceleration and recharging of ions in the region of the cathode potential drop. Both generation and acceleration of electrons occurs within the discharge due to the high voltage that is applied between the anode and cathode. A beam of electrons with an energy practically equal to the applied potential difference emerges from the discharge gap. The amount of power in the beam, which is output to the working 12 technological chamber on the heated object, is determined by the part of the total power in the discharge that corresponds to the ionic component of the discharge current | see Plasma processes in technological electron guns, M.A. Zavyalov, Yu.Z. Kreindel, A.A. Novikov, L.P. Shanturin, M., Znergoatomizdat, 1989, p.97-145).
У області катодного падіння потенціалу електрони прискорюються і, залежно від конфігурації поля, яке визначається геометричними параметрами катода, порожнистого анода, а також положенням і формою анодної 20 плазми, що формується в пучок з відповідними кутом сходження в анодному отворі донної плити анода.In the area of cathodic potential drop, electrons are accelerated and, depending on the configuration of the field, which is determined by the geometric parameters of the cathode, the hollow anode, as well as the position and shape of the anode plasma 20, which is formed into a beam with the appropriate angle of convergence in the anode hole of the bottom plate of the anode.
Електронні системи таких гармат складаються з холодного металевого катода з розвиненою емісійною поверхнею і порожнистого циліндричного або конусного анода, донна частина якого являє собою плиту з каналами для проходження охолоджуючої води і отвором для проходження електронного пучка.The electronic systems of such guns consist of a cold metal cathode with a developed emission surface and a hollow cylindrical or conical anode, the bottom part of which is a plate with channels for the passage of cooling water and a hole for the passage of an electron beam.
Основним недоліками вказаних газорозрядних електронних гармат є: 29 - порушення герметичності донної плити анода в умовах вакууму через наявність зварних швів, які -о піддаються циклічній дії температурного режиму, що недопустимо для цього виду виробу; - економічна недоцільність через трудомісткість і технологічність виготовлення зварної донної плити анода за рахунок додаткової операції зварювання; - необхідність контролю донної плити анода по вакууму, що обумовлює необхідність утримання стенду з о 30 вакуумною системою. соThe main disadvantages of the specified gas-discharge electron guns are: 29 - violation of the tightness of the bottom plate of the anode in vacuum conditions due to the presence of welds, which are subjected to cyclical effects of the temperature regime, which is unacceptable for this type of product; - economic impracticality due to the labor-intensiveness and manufacturability of manufacturing the welded bottom plate of the anode at the expense of an additional welding operation; - the need to control the bottom plate of the anode by vacuum, which determines the need to maintain a stand with a 30° vacuum system. co
Відома також газорозрядна електронна гармата з холодним катодом з угнутою емісійною поверхнею і циліндричним порожнистим анодом, який з'єднаний з циліндричним каналом - променеводом для проходження -- електронного пучка після його виходу з отвору зварної донної плити анода |див. Спегпом М.А. Те рожепциі с пПідпуоМаде діом/ аізспагде еіесігоп дип апа роуег спі оп й8в разе, МЕЇ. Кивзвіа Ргосеедіпдз ої (Ше сопіегепсе 35 оп еівесігоп реат тейіпд апа ге їїіп іпд-З(айе ої (Пе агі, 1994, р.259-268, Рід.11. --A gas-discharge electron gun with a cold cathode with a concave emission surface and a cylindrical hollow anode is also known, which is connected to a cylindrical channel - a beam guide for the passage of the electron beam after it exits the hole of the welded bottom plate of the anode | see Spegpom M.A. Te rozheptsii s pPidpuoMade diom/ aizspagde eiesigop dip apa roweg spi op y8v raze, MEI. Kyvzvia Rgoseedipdz oi (She sopiegepse 35 op eivesigop reat teyipd apa ge yiip ipd-Z(aye oi (Pe agi, 1994, p. 259-268, Gen. 11. --
Конструктивне виконання донної плити анода електронної гармати обумовлює значне її перегрівання, що приводить до порушення герметичності донної плити анода в умовах вакууму.The construction of the bottom plate of the anode of the electron gun causes its significant overheating, which leads to a violation of the tightness of the bottom plate of the anode in vacuum conditions.
Найближчим по технічній суті і результату, що досягається, до рішення, що заявляється, є газорозрядна « електронна гармата, що включає герметичний металевий корпус, в якому розміщені високовольтний ізолятор, З 40 холодний увігнутий катод з розвиненою емісійною поверхнею і співвісний з ним порожнистий анод, донна с частина якого виконана у вигляді плити, яка розташована всередині анода і має канали для проходження з» охолоджуючої води і отвір для проходження електронного пучка, а також приєднаний співвісний аноду променевід з розміщеними на ньому фокусними і відхиляючими котушками. Канали для проходження охолоджуючої води виконані у вигляді кільцевих зовнішніх проточок, і розташовані по периметру плити.The closest in terms of technical essence and the result that is achieved to the proposed solution is a gas-discharge "electron gun, which includes a sealed metal case in which a high-voltage insulator is placed, a cold concave cathode with a developed emission surface and a hollow anode coaxial with it, the bottom part of which is made in the form of a plate, which is located inside the anode and has channels for the passage of cooling water and an opening for the passage of an electron beam, as well as an attached coaxial anode beam guide with focusing and deflecting coils placed on it. Channels for the passage of cooling water are made in the form of annular external grooves, and are located along the perimeter of the plate.
Герметичність по вакууму забезпечується кільцевою накладкою, якою накривають капали і яку приєднують - зварним швом по міді. як у верхній частині донної плити, так і в нижній (див. Патент України Мо 38451. МПК 7 о НО1.137/06. Бюл. Мо1, 2004р.|.Hermeticity in vacuum is provided by a ring overlay, which covers the drips and which is connected by a copper weld. both in the upper part of the bottom plate and in the lower part (see Patent of Ukraine Mo 38451. IPC 7 o НО1.137/06. Byul. Mo1, 2004 |.
Недоліком прототипу є значне перегрівання плити, яке призводить до утворення тріщин в зварних швах, - також перегрівання вакуумних ущільнень що обумовлює розгерметизацію пристою, порушення вакууму.The disadvantage of the prototype is the significant overheating of the plate, which leads to the formation of cracks in the welds, as well as overheating of the vacuum seals, which causes depressurization of the stand, violation of the vacuum.
Ге) 20 Вказаний недолік обумовлений тим, що канали для проходження охолоджуючої води розташовані по периметру плити, по її периферії, а найбільш температурно напружена область плити - це ділянки навкруги с отвору для проходження електронного пучка. При проходженні електронного пучка в отворі виникає т.3. його "розштовхування", і електрони, попадаючи на внутрішню поверхню отвору спричиняють виникнення "току перехвату", за рахунок якого це місце найбільш нагрівається. Охолоджувальна вода, йдучи по периметру плити 29 не може ефективно протидіяти цьому нагріванню, тому в прототипі часто спостерігається перегрівання плити і с розгерметизація електронної гармати.Ge) 20 This drawback is due to the fact that the channels for the passage of cooling water are located along the perimeter of the plate, along its periphery, and the most thermally stressed area of the plate is the area around the hole for the passage of the electron beam. During the passage of the electron beam in the hole, t.3 occurs. its "pushing", and electrons, falling on the inner surface of the hole, cause the occurrence of "interception current", due to which this place is heated the most. The cooling water, going along the perimeter of the plate 29, cannot effectively counteract this heating, therefore, in the prototype, overheating of the plate and depressurization of the electron gun are often observed.
Крім того, до недоліку конструкції слід віднести складність очищення каналів охолоджування, яке здійснюється через штуцера підведення і відведення охолоджуючої води.In addition, the difficulty of cleaning the cooling channels, which is carried out through the inlet and outlet of the cooling water, should be attributed to the disadvantage of the design.
В основу корисної моделі покладено завдання вдосконалити газорозрядну електронну гармату, в якій 60 шляхом зміни місця розташування каналів для проходження охолоджуючої води досягається, по-перше, можливість своєчасного відведення тепла від найбільш напруженого за температурним режимом місця, по-друге, уникнення необхідності виконання зварних швів, що виключає можливість перегрівання плити і порушення її герметичності. Це підвищує строк дії пристрою.The basis of a useful model is the task of improving a gas-discharge electron gun, in which 60 by changing the location of the channels for the passage of cooling water, firstly, the possibility of timely removal of heat from the most stressed place in terms of temperature regime is achieved, and secondly, avoiding the need to perform welds , which excludes the possibility of overheating the stove and breaking its tightness. This increases the life of the device.
Для вирішення завдання запропонована газорозрядна електронна гармата, що включає герметичний бо металевий корпус, в якому розміщені високовольтний ізолятор, холодний увігнутий катод з розвиненою емісійною поверхнею і співвісний з ним порожнистий анод, донна частина якого виконана у вигляді плити з каналами для проходження охолоджуючої води і отвором для проходження електронного пучка, а також приєднаний співвісно аноду променевід з розміщеними на ньому фокусними і відхиляючими котушками, у якій, згідно з корисною моделлю, канали для проходження охолоджуючої води виконані всередині тіла плити і зв'язані між собою в єдину систему, розташовану навколо отвору для проходження електронного пучка.To solve the problem, a gas-discharge electron gun is proposed, which includes a hermetic metal body, which houses a high-voltage insulator, a cold concave cathode with a developed emission surface and a hollow anode coaxial with it, the bottom part of which is made in the form of a plate with channels for the passage of cooling water and an opening for the passage of an electron beam, as well as a beam guide connected coaxially to the anode with focusing and deflecting coils placed on it, in which, according to a useful model, channels for the passage of cooling water are made inside the body of the plate and are connected to each other in a single system located around the hole for the passage of an electron beam.
Завдяки новим ознакам стало можливим винесення донної частини аноду назовні і приєднання її через вакуумні ущільнювачі безпосередньо до променеводу. Це спрощує конструкцію гармати і спосіб її виготовлення.Thanks to new features, it became possible to bring the bottom part of the anode outside and connect it directly to the beam through vacuum seals. This simplifies the design of the gun and the method of its manufacture.
Найбільш практичним і зручним для виготовлення є система, яка виконана з чотирьох каналів з'єднаних між 7/0 собою у вигляді квадрата або прямокутника.The most practical and convenient for manufacturing is the system, which is made of four channels connected to each other in the form of a square or rectangle.
Для можливості ефективного чищення каналів, кожний з них виконаний з можливістю виходу в атмосферу, а для уникнення виходу охолоджувальної води, вони оснащені знімними герметичними пробками.For the possibility of effective cleaning of the channels, each of them is made with the possibility of exiting to the atmosphere, and to avoid the exit of cooling water, they are equipped with removable hermetic plugs.
Суть корисної моделі пояснюється кресленнями.The essence of a useful model is explained by drawings.
На Фіг.1 представлений схематичний розріз газорозрядної електронної гармати;Figure 1 shows a schematic section of a gas-discharge electron gun;
На Фіг.2 - вид А Фіг.1;Fig. 2 - view A of Fig. 1;
На Фіг.3 - переріз Б-Б Фіг.2.Fig. 3 is a section B-B of Fig. 2.
Газорозрядна електронна гармата оснащена високовольтним ізолятором 1 в герметичному корпусі, охолоджуваним водою катодом 2 з сферичною емісійною поверхнею. За допомогою циліндричного корпусу катод 2 встановлений співвісно на порожнистому аноді З, в якому усередині його донної плити 4 виконані 2о свердленні канали 5 (Фіг.2, З) для проходження охолоджуючої води з виходом в атмосферу і отвором б для проходження електронного пучка. Свердленні канали 5 для проходження охолоджуючої води що виходять в атмосферу забезпечені знімними герметичними пробками 7 що сполучаються з атмосферою. Донна плита 4 має канавки 8 для вакуумного ущільнення між порожнистим анодом З і променеводом 9, а також штуцер 10 підведення охолоджуючої води і штуцер 11 її відведення.The gas-discharge electron gun is equipped with a high-voltage insulator 1 in a sealed housing, a water-cooled cathode 2 with a spherical emission surface. With the help of a cylindrical body, the cathode 2 is installed coaxially on the hollow anode C, in which inside its bottom plate 4, 2o drilled channels 5 (Fig. 2, C) are made for the passage of cooling water with an outlet to the atmosphere and a hole b for the passage of an electron beam. Drilled channels 5 for the passage of cooling water exiting into the atmosphere are equipped with removable hermetic plugs 7 that communicate with the atmosphere. The bottom plate 4 has grooves 8 for vacuum sealing between the hollow anode C and the ray guide 9, as well as the fitting 10 for the supply of cooling water and the fitting 11 for its removal.
Співвісно аноду З приєднаний променевід 9 з розміщеними на ньому фокусними котушками 12 і відхиляючими котушками 13. Нижній торець циліндричного променеводу 9 забезпечений фланцем, за т допомогою якого гармата встановлюється на технологічну камеру електронно-променевої установки.A beam guide 9 with focusing coils 12 and deflecting coils 13 placed on it is attached to the anode Z. The lower end of the cylindrical beam guide 9 is equipped with a flange, with the help of which the gun is installed on the technological chamber of the electron beam installation.
Для роботи пропонованої газорозрядної електронної гармати при безперервному її відкачуванні через штуцер в стінці катодно-анодної порожнини подається робочий газ (Фіг.1), що складається з водню, активованого Ге! зо невеликою добавкою кисню, а на катод 2 - через високовольтний струмопідвод (на кресленні не показаний) прискорююча напруга 25...30 кВ. У діапазоні тиску одиниці-десятки Па виникає високовольтний тліючий розряд, о сила струму якого регулюється зміною тиску (величиною потоку робочого газу, який поступає в гармату). «-For the operation of the proposed gas-discharge electron gun, during its continuous pumping, a working gas (Fig. 1), consisting of hydrogen, activated Ge! with a small addition of oxygen, and an accelerating voltage of 25...30 kV is applied to cathode 2 through a high-voltage power supply (not shown in the drawing). In the pressure range of one to ten Pa, a high-voltage glow discharge occurs, the current strength of which is regulated by the change in pressure (the amount of the working gas flow entering the gun). "-
За допомогою фокусних котушок 12 електронний пучок виводиться через променевід 9 в технологічну камеру і фокусується на поверхні об'єкту 14, що нагрівається. При необхідності за допомогою котушок 13 відхилення і со відповідної програми розгорток електронного пучка можна реалізувати різні види розгорток для обробки об'єкту -/- де 14, що нагрівається (розплавлення металу в кристалізаторі, проміжній ємності, плоскій ізложниці і т.д.). При регулюванні потужності електронного пучка зміною тиску (витратою робочого газу) донна плита 4 аноду З працює в умовах навантаженого циклічного температурного режиму. При цьому можливість своєчасного відведення тепла від найбільш напруженого за температурним режимом місця, (отвору для проходження « електронного пучка) виключає можливість перегрівання плити. Відсутність зварних швів, виключає можливість Ше) с порушення герметичності плити не тільки за рахунок перегрівання, а і за будь-яких інших обставин.With the help of focus coils 12, the electron beam is output through the beam guide 9 into the technological chamber and is focused on the surface of the heated object 14. If necessary, with the help of deflection coils 13 and the corresponding electron beam scanning program, it is possible to implement various types of scanning for processing the heated object -/- de 14 (melting of metal in the crystallizer, intermediate container, flat mold, etc.). When adjusting the power of the electron beam by changing the pressure (the consumption of the working gas), the bottom plate 4 of the anode C operates under conditions of a loaded cyclic temperature regime. At the same time, the possibility of timely removal of heat from the most stressed place in terms of temperature regime (the hole for the passage of the "electron beam") excludes the possibility of overheating the plate. The absence of welds excludes the possibility of breaking the tightness of the plate not only due to overheating, but also under any other circumstances.
Запропонована газорозрядна електронна гармата, в основному, призначена для електронно-променевої ;» плавки металів і сплавів, де необхідна велика потужність електронного пучка. При цьому запропоновано конструкція гарантує стабільність її роботи при потужності електронного пучка 750 кВт. Це обумовлює її застосування в електронно-променевих установках для виплавки злитків масою до 16 т. і більш безпосередньо в - кристалізаторі ковзання, для плавки із застосуванням проміжної ємності і виплавки плоских злитків в ізложниці прямокутного або квадратного перетину, а також отримання порожнистих злитків. со Конструктивна особливість газорозрядної електронної гармати дозволяє понизити собівартість Її - виготовлення. При цьому гармата має високу стабільність енергетичних параметрів електронного пучка,The proposed gas-discharge electron gun is mainly intended for electron-beam ;" melting of metals and alloys, where a high power of the electron beam is required. At the same time, the proposed design guarantees the stability of its operation at an electron beam power of 750 kW. This determines its use in electron-beam installations for melting ingots weighing up to 16 tons, and more directly in a sliding crystallizer, for melting using an intermediate container and melting flat ingots in a mold of rectangular or square cross-section, as well as obtaining hollow ingots. Co. The design feature of the gas-discharge electronic gun allows to reduce the cost of its manufacture. At the same time, the gun has high stability of the energy parameters of the electron beam,
Відрізняється простотою збірки і вакуумних випробувань, надійна в експлуатації. (95) сIt is distinguished by ease of assembly and vacuum tests, reliable in operation. (95) p
Claims (4)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| UAU200606632U UA18139U (en) | 2006-06-14 | 2006-06-14 | Gas-discharge electron gun |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| UAU200606632U UA18139U (en) | 2006-06-14 | 2006-06-14 | Gas-discharge electron gun |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| UA18139U true UA18139U (en) | 2006-10-16 |
Family
ID=37506222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| UAU200606632U UA18139U (en) | 2006-06-14 | 2006-06-14 | Gas-discharge electron gun |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| UA (1) | UA18139U (en) |
-
2006
- 2006-06-14 UA UAU200606632U patent/UA18139U/en unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2557078C2 (en) | Electronic beam generator | |
| US20200156153A1 (en) | Method and system for manufacturing of three dimensional objects | |
| RU2201006C2 (en) | Device for radiating charged particles, charged-particle radiator, welding apparatus, charged-particle passing unit, and device for producing charged-beam | |
| US9653251B2 (en) | X-ray apparatus and a CT device having the same | |
| CN110838427B (en) | Electronic gun device for fuse wire additive manufacturing | |
| CN104505325A (en) | Electronic gun device for high-voltage gas discharge | |
| CN105590816A (en) | Cold-cathode large-power electron beam gun | |
| US7550741B2 (en) | Inertial electrostatic confinement fusion | |
| CN201813579U (en) | Electronic gun for electron beam melting furnace | |
| UA18139U (en) | Gas-discharge electron gun | |
| RU2323502C1 (en) | Gaseous-discharge electron gun | |
| RU2011154038A (en) | PLANT FOR ION BEAM AND PLASMA PROCESSING | |
| RU2555264C1 (en) | Unit of cathode of magnetron diffuser | |
| UA83514C2 (en) | Gas-discharge electron gun | |
| EP3333878B1 (en) | Gas-discharge electron gun | |
| WO2014193207A1 (en) | The gas-discharge electron gun | |
| US20100230276A1 (en) | Device and method for thin film deposition using a vacuum arc in an enclosed cathode-anode assembly | |
| CN102296274A (en) | Shielding device for cathode arc metal ion source | |
| UA18148U (en) | Gas-discharge electron gun | |
| UA82101C2 (en) | Gas-discharge electron gun | |
| UA83313U (en) | Gas-discharge electron beam gun | |
| RU2400861C1 (en) | Gas-discharge electron gun | |
| JPS588104B2 (en) | Electron gun for heating, melting and drying | |
| RU2594932C2 (en) | Device of electron beam gun r-250 | |
| RU2171314C2 (en) | Plasma gun for laser-plasma applying of coating |