Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Інститут Монокристалів Ан України, Институт монокристаллов АН УкраиныfiledCriticalІнститут Монокристалів Ан України
Priority to UA4670442ApriorityCriticalpatent/UA16738A1/uk
Publication of UA16738A1publicationCriticalpatent/UA16738A1/uk
Винахід відноситься до іонно-вакуумної обробки матеріалів. Пристрій містить електрод-підложкотримач з обробленою підложкою та джерело іонів дугопламотронного типу з термокатодом, анодом, проміжним анодом з площиною, в якій розташований графітовий тигель, електродом-експандером та електродом, який витягає. За електродом, що витягає зі зміщенням повздовж осі симетрії іонів, який дорівнює (0,6-0,7) відстань від останнього до поверхні підложки, встановлений додатковий електрод, електрично зв’язаний з анодом.
UA4670442A1989-03-311989-03-31Пристрій для обробки підложек іоhами вуглецю
UA16738A1
(uk)