UA115947C2 - Електрод для суперконденсаторів та акумуляторів і спосіб його промислового виробництва - Google Patents
Електрод для суперконденсаторів та акумуляторів і спосіб його промислового виробництва Download PDFInfo
- Publication number
- UA115947C2 UA115947C2 UAA201611137A UAA201611137A UA115947C2 UA 115947 C2 UA115947 C2 UA 115947C2 UA A201611137 A UAA201611137 A UA A201611137A UA A201611137 A UAA201611137 A UA A201611137A UA 115947 C2 UA115947 C2 UA 115947C2
- Authority
- UA
- Ukraine
- Prior art keywords
- layer
- carbon
- electrode
- aluminum foil
- nanotubes
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 32
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 title claims abstract description 12
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 66
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 65
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 48
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 48
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 48
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims abstract description 36
- 239000002071 nanotube Substances 0.000 claims abstract description 31
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims abstract description 14
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 7
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 7
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 claims description 7
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 4
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 4
- 238000005275 alloying Methods 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 60
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 102100029054 Homeobox protein notochord Human genes 0.000 description 3
- 101000634521 Homo sapiens Homeobox protein notochord Proteins 0.000 description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 2
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008092 positive effect Effects 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- 229910002059 quaternary alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 1
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 150000002815 nickel Chemical class 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Cell Electrode Carriers And Collectors (AREA)
- Electric Double-Layer Capacitors Or The Like (AREA)
Abstract
Електрод для суперконденсаторів та акумуляторів і спосіб його промислового виробництва належить до електроніки. Електрод містить струмовий колектор, зокрема на основі алюмінієвої фольги, на обох сторонах якої містяться шари нітриду титану, вуглецю у вигляді нанотрубок і поруватого вуглецю, який легований нікелем і щонайменше одним із елементів, таких як алюміній, бор, кремній, азот і/або їх сполуками. Спосіб, за яким струмовий колектор на основі алюмінієвої фольги переміщують у вакуумній камері і на обидві її сторони напилюють іонним магнетронним способом нітрид титану, каталізатор з нікелю, вуглець у вигляді нанотрубок і поруватого вуглецю з домішками для підвищення його провідності. Технічним результатом є зменшення електричного опору шарів електрода у напрямку нормалі до їх поверхні та збільшення їх провідності, тим самим забезпечити широке регулювання технічних характеристик виробів і виготовлення їх під замовлення у великих об'ємах.
Description
Відомий електрод для суперконденсаторів та акумуляторів (пат. О52016115031 АТ, ВО1 23/145, ВО1.) 27/24, СО1В 31/02, С23С 16/26, С23С 16/44, С23С 28/02, НО1ТО 11/36), який місить струмовий колектор, виконаний як підкладка з міді або алюмінію, або нержавіючої сталі, або нікелю, або платини, на якому міститься шар металу, такий як титан або алюміній, або міститься нітрид титану або нітрид танталу. Міститься захисний шар алюмінію, каталізатор із заліза або нікелю, або кобальту, або паладію, або усіх подвійних, потрійних або четверних сплавів між цими металами і шар вуглецю у вигляді нанотрубок, орієнтованих близько до нормалі до поверхні алюмінієвої фольги.
Збігаються з суттєвими ознаками електрода для суперконденсаторів та акумуляторів струмовий колектор, виконаний як алюмінієва фольга, на якому міститься шар нітриду титану і шар вуглецю у вигляді нанотрубок, орієнтованих близько до нормалі до поверхні алюмінієвої фольги за допомогою каталізатора з нікелю.
Недолік відомого електрода полягає в недостатній щільності мезопор, що зменшує його питому поверхню і погіршує його якість.
Відомий електрод для суперконденсаторів та акумуляторів (пат. КО2522940 С1, НОТО 11/28), вибраний як найближчий аналог, який місить струмовий колектор, виконаний як алюмінієва фольга, на обох сторонах якої міститься шар поруватого вуглецю у вигляді нанотрубок, орієнтованих близько до нормалі до поверхні алюмінієвої фольги за допомогою каталізатора з нікелю, і шар аморфного поруватого вуглецю. Перший шар містить вуглець у кількості від 60 9о до 80 95, каталізатор з нікелю у кількості від 10 95 до 40 95, кисень у кількості від 2 95 до 4 95 і водень у кількості від З 95 до 8 95. Верх окремої нанотрубки закінчується глобулою.
Збігаються з суттєвими ознаками електрода для суперконденсаторів та акумуляторів струмовий колектор, виконаний на основі алюмінієвої фольги або як алюмінієва фольга, на обох сторонах якої міститься шар вуглецю у вигляді нанотрубок, орієнтованих близько до нормалі до поверхні алюмінієвої фольги за допомогою каталізатора з нікелю, і шар поруватого вуглецю.
Недолік відомого електрода полягає в завищеному електричному опорі шарів електрода у напрямку нормалі до їх поверхні, що погіршує його якість.
В основу винаходу поставлено задачу вдосконалення відомого електрода, у якому шляхом
Зо конструктивних змін зменшити електричний опір шарів електрода у напрямку нормалі до їх поверхні, чим покращити його якість.
Відомий спосіб промислового виробництва електрода для суперконденсаторів та акумуляторів (пат. О52016115031 АТ, ВО1У 23/745, ВО1У 27/24, СО18 31/02, С23С 16/26, С23С 16/44, С23С 28/02, НОТО 11/36), за яким на струмовий колектор, виконаний на основі алюмінієвої фольги або як алюмінієва фольга, напилюють вакуумним способом шар металу, такого як титан або алюміній, або шар нітриду титану або нітриду танталу, захисний шар алюмінію, нанорозмірне острівцеве покриття каталізатора із заліза або нікелю, або кобальту, або паладію, або усіх подвійних, потрійних або четверних сплавів між цими металами. Хімічним осадженням з парової фази наносять шар вуглецю, який за допомогою каталізатора формують у вигляді нанотрубок, орієнтованих близько до нормалі до поверхні алюмінієвої фольги.
Збігаються з суттєвими ознаками способу промислового виробництва електрода для суперконденсаторів та акумуляторів ознаки, за якими на струмовий колектор, виконаний на основі алюмінієвої фольги, послідовно напилюють вакуумним способом шар нітриду титану і нанорозмірне острівцеве покриття каталізатора з нікелю. Наносять шар вуглецю, який за допомогою каталізатора формують у вигляді нанотрубок, орієнтованих близько до нормалі до поверхні алюмінієвої фольги.
Недолік відомого способу полягає в застосуванні різних способів нанесення шарів, що ускладнює промислове виробництво електрода, зокрема при нанесенні цих шарів на обидві сторони підкладки.
Відомий спосіб промислового виробництва електрода для суперконденсаторів та акумуляторів (пат. КО2522940 С1, НОТО 11/28), вибраний як найближчий аналог, за яким на струмовий колектор, виконаний на основі алюмінієвої фольги, переміщують у вакуумній камері.
На обидві її сторони послідовно напилюють іонним магнетронним способом нанорозмірне острівцеве покриття каталізатора з нікелю, шар вуглецю, який за допомогою каталізатора формують у вигляді нанотрубок, орієнтованих близько до нормалі до поверхні алюмінієвої фольги, і шар поруватого вуглецю. При напиленні перших двох шарів тиск робочого газу водню підтримують від 1,8-102 мбар до 2,8-107 мбар, напругу горіння магнетронного розряду від 430 В до 450 В.
Збігаються з суттєвими ознаками способу промислового виробництва електрода для бо суперконденсаторів та акумуляторів ознаки, за якими на струмовий колектор, виконаний на основі алюмінієвої фольги, переміщують у вакуумній камері. На обидві її сторони послідовно напилюють іонним магнетронним способом нанорозмірне острівцеве покриття каталізатора з нікелю, шар вуглецю, який за допомогою каталізатора формують у вигляді нанотрубок, орієнтованих близько до нормалі до поверхні алюмінієвої фольги, і шар поруватого вуглецю.
Недолік відомого способу полягає у зменшенні провідності шарів електрода у напрямку нормалі до їх поверхні, що погіршує його якість.
В основу винаходу поставлено задачу вдосконалення відомого способу, у якому шляхом конструктивних змін збільшити провідність шарів електрода у напрямку нормалі до їх поверхні, чим покращити його якість.
В електроді для суперконденсаторів та акумуляторів, який місить струмовий колектор, виконаний на основі алюмінієвої фольги або як алюмінієва фольга, на обох сторонах якої міститься шар вуглецю у вигляді нанотрубок, орієнтованих близько до нормалі до поверхні алюмінієвої фольги за допомогою каталізатора з нікелю, і шар поруватого вуглецю, згідно з винаходом, першим на струмовому колекторі міститься шар нітриду титану, шар поруватого вуглецю виконаний легованим нікелем і щонайменше одним із елементів, таких як алюміній, бор, кремній, азот і/або їх сполуками і його товщина дорівнює від 1 мкм до 120 мкм.
Крім того, додатково містяться аналогічні шари вуглецю у вигляді нанотрубок і поруватого вуглецю, розташовані додатково щонайменше один раз.
Крім того, товщина шару нітриду титану дорівнює від 8 нм до 20 нм, товщина шару вуглецю у вигляді нанотрубок дорівнює від 0,5 мкм до 10 мкм.
Крім того, його питома поверхня дорівнює або більше 2500 м32/г.
Крім того, величина електричного опору напилених шарів пропонованого електрода розміром 1х1 см менша ніж 0,3 мОм.
В способі промислового виробництва електрода для суперконденсаторів та акумуляторів, за яким струмовий колектор, виконаний на основі алюмінієвої фольги, переміщують у вакуумній камері і на обидві її сторони послідовно напилюють іонним магнетронним способом нанорозмірне острівцеве покриття каталізатора з нікелю, шар вуглецю, який за допомогою каталізатора формують у вигляді нанотрубок, орієнтованих близько до нормалі до поверхні алюмінієвої фольги, і шар поруватого вуглецю, згідно з винаходом, на струмовий колектор
Зо іонним магнетронним способом першим наносять шар нітриду титану, шар поруватого вуглецю наносять при потужності пучка іонів вуглецю від 0,5 кВт до 1 кВт та швидкості охолодження струмового колектора близько 105 К/с з одночасним легуванням поруватого вуглецю нікелем і щонайменше одним із елементів, таких як алюміній, бор, кремній, азот і/або їх сполуками.
Крім того, додатково щонайменше один раз послідовно напилюють аналогічні шари каталізатора, вуглецю у вигляді нанотрубок і поруватого вуглецю.
Сукупність основних ознак пропонованого електрода забезпечує вирішення поставленої задачі. Шар нітриду титану, який нанесений на очищену від оксиду поверхню алюмінієвої фольги, є хорошим провідником і захищає її від окислення впродовж експлуатації електрода у складі суперконденсатора або акумулятора. Оскільки оксид алюмінію є хорошим діелектриком, то такий елемент конструкції електрода є запобіжником для зростання електричного опору електрода у напрямку нормалі до поверхні шарів. Легований шар поруватого вуглецю має низький електричний опір, чим усувається недолік прототипу, а також забезпечується перевага перед першим аналогом у частині значного збільшення щільності мезопор, які утворюють більш розвинену поверхню вуглецевих компонент електрода.
Додаткова позитивна властивість пропонованого електрода полягає у підвищеній міцності на згин завдяки шару поруватого вуглецю підвищеної провідності, який має кристалічну структуру і зв'язує верхівки нанотрубок. Величина електричного опору напилених шарів пропонованого електрода розміром 1х1 см менша ніж 0,3 мом.
В цілому пропонований електрод має кращу якість. Багаторівневе розташування вуглецевих компонент додатково збільшує щільність таких мезопор і їх кількість, що сприяє збільшенню ємності виготовлених на основі пропонованого електрода суперконденсаторів та акумуляторів.
Сукупність основних ознак пропонованого способу забезпечує вирішення поставленої задачі. Нанесення на очищену від оксиду поверхню алюмінієвої фольги нітриду титану, який є хорошим провідником, захищає її від окислення і отже від зростання електричного опору електрода у напрямку нормалі до поверхні шарів. Як відомо, каталізатор з нікелю сприяє росту нанотрубок за моделлю ,ріст кінчика" і при напиленні зверху поруватого вуглецю цей нікель розпорошується і дисоціює в порувату структуру. Додатковим спеціальним легуванням шару поруватого вуглецю забезпечують його низький електричний опір, чим усувається недолік прототипу. Напилення усіх шарів, включаючи нітриду титану, здійснюють іонним магнетронним способом за один прохід з двох сторін алюмінієвої фольги. Цим забезпечується перевага перед першим аналогом.
Додаткові позитивні властивості пропонованого способу полягають у можливості оптимального збільшення кількості і розмірів мезопор при заданій загальній товщині нанесених шарів. Це досягається оптимальною швидкістю охолодження струмового колектора, яка за даним способом є близькою до 10» К/с при визначеній потужності пучка іонів вуглецю. Крім того, контактна пара нітрид титану і нікель мають хорошу здатність формувати наноострівці потрібного розміру, що залежить від кількості напиленого нікелю, з рівномірним їх розташування по поверхні нітриду титану. Це дозволяє використовувати як токовий колектор не лише алюмінієву фольгу, а й інші структури, які виконані на її основі.
В цілому пропонований спосіб має кращу якість. Послідовне напилення за даним способом аналогічних шарів каталізатора, вуглецю у вигляді нанотрубок і поруватого вуглецю розширює його можливості щодо виготовлення пропонованих електродів під замовлення.
На фіг 1 схематично зображено поперечний переріз ділянки електрода для суперконденсаторів та акумуляторів.
На фіг. 2 показано знімок тривимірного зображення поверхні електрода, виконаний на атомно-силовому мікроскопі.
Електрод для суперконденсаторів та акумуляторів, який виготовлений за способом, що заявляється, містить токовий колектор 1, виконаний на основі алюмінієвої фольги або як алюмінієва фольга. На обох сторонах струмового колектора 1 міститься шар 2 нітриду титану, шар З вуглецю у вигляді нанотрубок, орієнтованих близько до нормалі до поверхні алюмінієвої фольги за допомогою каталізатора з нікелю. Шар 4 поруватого вуглецю, виконаний легованим нікелем і щонайменше одним із елементів, таких як алюміній, бор, кремній, азот і/або їх сполуками і його товщина дорівнює від 1 мкм до 120 мкм. Шари З вуглецю у вигляді нанотрубок і шари 4 поруватого вуглецю можуть бути розташовані додатково щонайменше один раз.
Товщина шару 2 нітриду титану дорівнює від 8 нм до 20 нм, товщина шару З вуглецю у вигляді нанотрубок дорівнює від 0,5 мкм до 10 мкм. Питома поверхня електрода близько 2500 м/г.
За способом промислового виробництва електрода для суперконденсаторів та акумуляторів струмовий колектор 1 переміщують у вакуумній камері і на обидві його сторони напилюють
Зо іонним магнетронним способом шар нітриду титану 2 і нанорозмірне острівцеве покриття каталізатора з нікелю, яке на кресленні не показано. Напилюють вуглець з одночасним підігрівом струмового колектора 1 до температури розплавлення нікелю, яка для його нанорозмірних елементів складає близько 800 "С. Частинки вуглецю розчиняються у нанокраплях нікелю, навколо яких утворюються затравки нанотрубок, з яких виростає шар З вуглецю у вигляді нанотрубок. При цьому за моделлю ,ріст кінчика" нанокраплі нікелю піднімаються вгору і формують нанотрубки за діаметрами, близькими до їх розміру і значно більшими за висотою, які орієнтовані близько до нормалі до поверхні струмового колектора 1.
Напилюють шар 4 поруватого вуглецю, який вбирає в себе нанокраплі нікелю як легуючу домішку. При цьому змінюють режим напилення і при потужності пучка іонів вуглецю від 0,5 кВт до 1 кВт та швидкості охолодження струмового колектора близько 105 К/с поруватий вуглець легують щонайменше одним із елементів, таких як алюміній, бор, кремній, азот і/або їх сполуками. В результаті порожнини нанотрубок сполучають з порожниною шару 4 поруватого вуглецю, який має відкриті пори.
Додатковим напиленням аналогічних шарів каталізатора, вуглецю у вигляді нанотрубок і поруватого вуглецю збільшують питому поверхню електрода.
Поверхня пропонованого електрода, як видно на знімку фіг. 2, на відміну від схематичного її зображення на фіг. 1, має мікрогорбики.
Промислове обладнання для реалізації способу промислового виробництва електрода для суперконденсаторів та акумуляторів відомо із рівня техніки. Складність технологічних процесів за способом з успіхом компенсують за допомогою програмованого блока управління. Можливо використовувати струмові колектори різних виробників.
Промислове виробництво електродів для суперконденсаторів та акумуляторів має хороші економічні перспективи за рахунок налагодження схеми "рулон до рулону", можливості широкого регулювання технічних характеристик виробів і виготовлення їх під замовлення у великих об'ємах.
Claims (7)
1. Електрод для суперконденсаторів та акумуляторів, який місить струмовий колектор, бо виконаний на основі алюмінієвої фольги або як алюмінієва фольга, на обох сторонах якого міститься шар вуглецю у вигляді нанотрубок, орієнтованих близько до нормалі до поверхні алюмінієвої фольги за допомогою каталізатора з нікелю, і шар поруватого вуглецю, який відрізняється тим, що першим на струмовому колекторі міститься шар нітриду титану, а шар поруватого вуглецю виконаний легованим нікелем і щонайменше одним із елементів, таких як алюміній, бор, кремній, азот і/або їх сполуками, і його товщина дорівнює від 1 мкм до 120 мкм.
2. Електрод за п. 1, який відрізняється тим, що додатково містить аналогічні шари вуглецю у вигляді нанотрубок і поруватого вуглецю, розташованих додатково щонайменше один раз.
З. Електрод за будь-яким з пп. 1 або 2, який відрізняється тим, що товщина шару нітриду титану дорівнює від 8 нм до 20 нм, а товщина шару вуглецю у вигляді нанотрубок дорівнює від 0,5 мкм до 10 мкм.
4. Електрод за будь-яким з пп. 1-3, який відрізняється тим, що питома поверхня електрода дорівнює або більше 2500 м32/г.
5. Електрод за будь-яким з пп. 1-4, який відрізняється тим, що величина електричного опору напилених шарів електрода розміром 1х1 см менша ніж 0,3 мОм.
6. Спосіб промислового виробництва електрода для суперконденсаторів та акумуляторів, за яким струмовий колектор, виконаний на основі алюмінієвої фольги, переміщують у вакуумній камері і на обидві його сторони послідовно напилюють іонним магнетронним способом нанорозмірне острівцеве покриття каталізатора з нікелю, шар вуглецю, який за допомогою каталізатора формують у вигляді нанотрубок, орієнтованих близько до нормалі до поверхні алюмінієвої фольги, і шар поруватого вуглецю, який відрізняється тим, що на струмовий колектор іонним магнетронним способом першим наносять шар нітриду титану, а шар поруватого вуглецю наносять при потужності пучка іонів вуглецю від 0,5 кВт до 1 кВт та швидкості охолодження струмового колектора близько 105 К/с з одночасним легуванням поруватого вуглецю нікелем і щонайменше одним із елементів, таких як алюміній, бор, кремній, азот і/або їх сполуками.
7. Спосіб за п. б, який відрізняється тим, що додатково щонайменше один раз послідовно напилюють аналогічні шари каталізатора, вуглецю у вигляді нанотрубок і поруватого вуглецю. « : ; і / / Й і и уй у ЇЇ р; й пен Ди З а пре ло во се ке ма У п о А се на м ве п ен ою у п ни о о ТІННИНЕННННЕ ВЕНА НИННАИНННЕ прав м и и ше я п рен вшн ди и ; п ОА ЯЧНк.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
UAA201611137A UA115947C2 (uk) | 2016-11-04 | 2016-11-04 | Електрод для суперконденсаторів та акумуляторів і спосіб його промислового виробництва |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
UAA201611137A UA115947C2 (uk) | 2016-11-04 | 2016-11-04 | Електрод для суперконденсаторів та акумуляторів і спосіб його промислового виробництва |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
UA115947C2 true UA115947C2 (uk) | 2018-01-10 |
Family
ID=60956090
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
UAA201611137A UA115947C2 (uk) | 2016-11-04 | 2016-11-04 | Електрод для суперконденсаторів та акумуляторів і спосіб його промислового виробництва |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
UA (1) | UA115947C2 (uk) |
-
2016
- 2016-11-04 UA UAA201611137A patent/UA115947C2/uk unknown
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101319053B1 (ko) | 정극 집전체 및 그 제조 방법 | |
Prakash et al. | Binder free and high performance of sputtered tungsten nitride thin film electrode for supercapacitor device | |
US20140268490A1 (en) | Super Capacitor And Method For Manufacturing The Same | |
JP5124578B2 (ja) | 構造化した焼結活性表面を有する半製品およびその製造方法 | |
JP2010103051A (ja) | 蓄電デバイス用複合電極、その製造方法及び蓄電デバイス | |
JP5186830B2 (ja) | キャパシタ用電極及びその製造方法 | |
EP3598526A1 (en) | Network of metal fibers, method for producing a network of metal fibers, electrode and battery | |
EP1662592A1 (en) | Current collecting structure and electrode structure | |
KR101745449B1 (ko) | 다공성 그래핀과 금속산화물 나노입자의 층상 구조체를 이용한 초고출력, 초장수명 리튬이차전지 음극재료 및 그 제조방법 | |
RU2465691C1 (ru) | Композитный электрод для устройства аккумулирования электроэнергии, способ его получения и устройство аккумулирования электроэнергии | |
Wang et al. | Fabrication of nanosheets Co3O4 by oxidation-assisted dealloying method for high capacity supercapacitors | |
JP2003115294A (ja) | リチウム2次電池用アノード薄膜及びその製造方法 | |
US10811166B2 (en) | Production and use of flexible conductive films and inorganic layers in electronic devices | |
EP3265423B1 (en) | A process, a structure, and a supercapacitor | |
JP2007194354A (ja) | 分極性電極およびこれを備えた電気二重層キャパシタ | |
JP2008077969A (ja) | リチウムイオン二次電池とその製造方法 | |
Durai et al. | Microstructural and electrochemical supercapacitive properties of Cr‐doped CuO thin films: Effect of substrate temperature | |
JP2011096667A (ja) | 正極集電体およびその製造方法 | |
JP2015530480A (ja) | 電解槽用接触片 | |
Han et al. | Full laser irradiation processed Pb-graphene nanocomposite electrodes toward the manufacturing of high-performance supercapacitors | |
Fang et al. | Conformal porous carbon coating on carbon fiber cloth/NiS2 composites by molecular layer deposition for durable supercapacitor electrodes | |
Dhananjaya et al. | Microstructure and supercapacitor properties of V2O5 thin film prepared by thermal evaporation method | |
UA115947C2 (uk) | Електрод для суперконденсаторів та акумуляторів і спосіб його промислового виробництва | |
Zhang et al. | Amorphous TiO2 nanotube arrays with Au nanocrystals for lithium‐ion battery | |
Siddique et al. | Design and development of NbTiVZr porous high entropy alloys for energy applications |