UA11373A1 - Способ изготовления металлизации полупроводниковых приборов и интегральных микросхем - Google Patents

Способ изготовления металлизации полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

Info

Publication number
UA11373A1
UA11373A1 UA4267958A UA4267958A UA11373A1 UA 11373 A1 UA11373 A1 UA 11373A1 UA 4267958 A UA4267958 A UA 4267958A UA 4267958 A UA4267958 A UA 4267958A UA 11373 A1 UA11373 A1 UA 11373A1
Authority
UA
Ukraine
Prior art keywords
devices
integrted
semoconductor
circiuts
metallization
Prior art date
Application number
UA4267958A
Other languages
English (en)
Ukrainian (uk)
Inventor
Ігор Ліверійович Баранов
Игорь Ливерьевич Баранов
Дмитро Ілліч Бідник
Дмитрий Ильич Бидник
Степан Дмитрович Гуменюк
Степан дмитриевич гуменюк
Ігор Євгенович Ілюк
Игорь Евгеньевич Ілюк
Володимир Олександрович Казінов
Владимир Александрович Казинов
Володимир Архипович Лабунов
Владимир Архипович Лабунов
Сергій Костянтинович Лазарук
Сергей Константинович Лазарук
Original Assignee
Завод "Позитрон"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Завод "Позитрон" filed Critical Завод "Позитрон"
Priority to UA4267958A priority Critical patent/UA11373A1/ru
Publication of UA11373A1 publication Critical patent/UA11373A1/ru

Links

Landscapes

  • Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)

Abstract

Изобретение относится к полупроводниковым приборам. Способ включает осаждение на полупроводниковую пластину пленки алюминия, нанесение слоя фоторезиста и формирование в нем конфигурации дорожек межсоединений шириной до 4•10-5 м и контактных площадок, создание разделительного окисла пористым анодным окислением слоя алюминия, формирование пассивирующего окисла, удаление фоторезиста с контактных площадок.
UA4267958A 1987-06-25 1987-06-25 Способ изготовления металлизации полупроводниковых приборов и интегральных микросхем UA11373A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UA4267958A UA11373A1 (ru) 1987-06-25 1987-06-25 Способ изготовления металлизации полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UA4267958A UA11373A1 (ru) 1987-06-25 1987-06-25 Способ изготовления металлизации полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

Publications (1)

Publication Number Publication Date
UA11373A1 true UA11373A1 (ru) 1996-12-25

Family

ID=74552539

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
UA4267958A UA11373A1 (ru) 1987-06-25 1987-06-25 Способ изготовления металлизации полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

Country Status (1)

Country Link
UA (1) UA11373A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0269211A3 (en) Semiconductor device having a metallic layer
EP0395072A3 (en) Bonding pad used in semiconductor device
EP0236123A3 (en) A semiconductor device and method for preparing the same
JPS5710992A (en) Semiconductor device and manufacture therefor
EP0572214A3 (en) Method for fabricating an interconnect structure in an integrated circuit
JPS5740975A (en) Manufacture for semiconductor device
JPS51147981A (en) Method of manufacturing semiconductor device
UA11373A1 (ru) Способ изготовления металлизации полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
EP0227189A3 (en) Method of manufacturing a thin conductor device
JPS572519A (en) Manufacture of semiconductor device
JPS52139376A (en) Production of semiconductor device
JPS5271606A (en) Fabrication of commutator substrate
JPS5753728A (en) Display device
JPS5750451A (en) Semiconductor
JPS534469A (en) Semiconductor device
EP0313777A3 (en) Method for providing increased dopant concentration in selected regions of semiconductor devices
JPS5336187A (en) Selective gold diffusing method
JPS52117079A (en) Preparation of semiconductor device
JPS51113461A (en) A method for manufacturing semiconductor devices
JPS5512775A (en) Manufacturing method of semiconductor
JPS57173977A (en) Semiconductor device and manufacture thereof
JPS5375763A (en) Manufacture for semiconductor device
JPS57181143A (en) Manufacture of semiconductor device
JPS5251872A (en) Production of semiconductor device
JPS5759378A (en) Manufacture of semiconductor device