TWM653832U - 搬運設備 - Google Patents

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TWM653832U
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TW113200454U
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拉傑 庫馬爾 席伐拉
馮毅之
陳俊良
廖振宇
王嘉淳
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富宸材料國際股份有限公司
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Abstract

一種搬運設備，包含一主體結構。該主體結構包括一形成至少一出氣孔的第一表面，及一相反於該第一表面且形成至少一連通該出氣孔之氣流通道的第二表面，該主體結構呈多邊形且其中至少一邊形成一沿平行於該第一表面的方向朝該主體結構之中心擠壓內凹的弧形形狀。其中，當一待搬運物體鄰近該第一表面時，從該氣流通道流向該出氣孔的空氣會從該出氣孔流出並在該主體結構及該待搬運物體之間流動，以在該第一表面及該待搬運物體之間產生白努利作用並形成一吸附區以支撐該待搬運物體。

Description

搬運設備
本新型是有關於一種搬運設備，特別是指一種利用白努利原理的搬運設備。
過去發表過許多搬運設備，從鑷子、真空吸筆，以至油壓拖板車或堆高機等等，依據不同用途研發出許多的裝置。近年來發展出利用白努利原理的搬運設備，該設備靠近並將氣體吹向被搬運物體後，透過氣壓的改變使該物體逐漸向搬運設備趨近，其優勢在於可以在不接觸到大部分的物體表面的情況下搬運。然而該搬運設備需要有足夠大的面積以均勻地吹拂到該物體，當該被搬運物體較大時，需消耗更多的材料以製造面積更大的搬運設備。
因此，本新型的目的，即在提供一種能縮小面積以減少製造耗材的搬運設備。
於是，本新型搬運設備，適用於搬運一例如為晶圓的待搬運物體，包含一主體結構。
一種搬運設備，包含一主體結構。該主體結構包括一形成至少一出氣孔的第一表面，及一相反於該第一表面且形成至少一連通該出氣孔之氣流通道的第二表面，該主體結構呈多邊形且其中至少一邊形成一沿平行於該第一表面的方向朝該主體結構之中心擠壓內凹的弧形形狀。
其中，當一待搬運物體鄰近該第一表面時，從該氣流通道流向該出氣孔的空氣會從該出氣孔流出並在該主體結構及該待搬運物體之間流動，以在該第一表面及該待搬運物體之間產生白努利作用並形成一吸附區以支撐該待搬運物體。
在一些實施態樣中，該搬運設備還包含一呈扁平長條狀且連接於該主體結構的延伸結構。
在一些實施態樣中，該主體結構呈扁平六邊形且其中一邊與相反側的另一邊分別形成該弧形形狀。
在一些實施態樣中，該主體結構形成多個出氣孔及多條氣流通道，該等出氣孔在該主體結構上呈對稱分布，該等氣流道的一部分在鄰近該主體結構的邊緣處環設分布，該等氣流通道的另一部分穿過該主體結構的中央部位且連通於呈環狀分布的該等氣流道。
在一些實施態樣中，該氣流通道具有一開設於該第二表面且連接至該延伸結構的第一延伸段、一由該延伸段往該第一表面延伸的盲孔段，及一連接於該盲孔段且連接至該出氣孔的第二連接段。
在一些實施態樣中，該搬運設備還包含一設置於該第二表面且覆蓋該延伸段及該盲孔段的通道遮罩。
在一些實施態樣中，該氣流通道還具有一由該第一延伸段貫穿該延伸結構的貫孔段，該搬運設備還包含一設置於該延伸結構且覆蓋該貫孔段的氣孔遮罩。
本新型的功效在於：藉由該主體結構的內凹之弧形形狀設計，以達成能縮小面積而減少製造搬運設備的耗材之功效。
在本新型被描述之前，應當注意在已下的說明內容中，類似的元件是以相同的編號來表示。
參閱圖1至圖3，本新型搬運設備之一第一實施例，適用於搬運一例如為晶圓的待搬運物體5，該搬運設備包含一主體結構1、一延伸結構2、一通道遮罩3，及一氣孔遮罩4。
該主體結構1包括一形成數個出氣孔13的第一表面11，及一相反於該第一表面11且形成數個連通該等出氣孔13之氣流通道14的第二表面12。該主體結構1呈扁平六邊形且其中一邊與相反側的另一邊形成一沿平行於該第一表面11的方向朝該主體結構1之一中心點A(圖2)擠壓內凹的弧形形狀。該等出氣孔13在該主體結構1上呈對稱分布。然而，要說明的是，該主體結構1也可以只包括一個出氣孔13或一個氣流通道14，具體實施方式視實際需要而定。此外，本第一實施例中該主體結構1雖然是以呈扁平六邊形示例，但該主體結構1也可以視實際需要配置為具有至少一個內凹弧形之圓盤狀或其他任意形狀實施，不以本第一實施例揭露內容為限。且本第一實施例中該主體結構1形成的弧形形狀之位置與個數也可以視實際需要配置，不以本第一實施例揭露內容為限。
該延伸結構2呈扁平長條狀且連接於該主體結構1，以便於藉由手持方式握持。
參閱圖4，每一該氣流通道14具有一開設於該第二表面12並穿過該主體結構1的中央部分且連接至該延伸結構2的第一延伸段141、一由該延伸段往該第一表面11延伸的盲孔段142、一連接於該盲孔段142且連接至該出氣孔13並在鄰近該主體結構1的邊緣處環設分布的第二延伸段143，及一由該第一延伸段141貫穿該延伸結構2的貫孔段144。然而，要說明的是，前述內容雖說明本第一實施例中該等氣流通道14的具體實施方式，但根據實際需要該等氣流通道14也可以藉由不同的延伸方式或貫通方式實施，不以本第一實施例揭露內容為限。
該通道遮罩3設置於該第二表面12且覆蓋該延伸段及該盲孔段142，以防止氣體流通至該等出氣孔13前不慎漏出。
該氣孔遮罩4設置於該延伸結構2且覆蓋於該貫孔段144，以防止氣體流通至該等出氣孔13前不慎漏出。
本新型製造時，該主體結構1鄰近於該延伸結構2的一邊與相反側的另一邊沿平行於該第一表面11的方向朝該主體結構1之中心點A(圖2)擠壓而形成內凹的弧形形狀，以使製造該主體結構1時能縮小面積而減少耗材之成本。
本新型使用時，安裝一設置有開關控制器的外部設備(圖未示)於該等盲孔段142以導入氣流。當該待搬運物體5(例如晶圓)鄰近該第一表面11時，從該氣流通道14流向該出氣孔13的空氣會從該出氣孔13流出並在該主體結構1及該待搬運物體5之間流動，以在該第一表面11及該待搬運物體5之間依白努利原理形成一吸附區15，透過氣壓的改變使該待搬運物體5逐漸向搬運設備趨近且在不接觸到該搬運設備的情況下移動。
參閱圖5及圖6，為本新型搬運設備的第二實施例，本第二實施例大致上與該第一實施例相同，不同之處在於：該主體結構1呈圓盤狀並於鄰近該延伸結構2處的兩側內凹，且該等出氣孔13對稱地環設於該主體結構1的兩相反側，並具有數個連接該等出氣孔13且形成於該主體結構的一外緣面16的出氣孔槽131，且每一該出氣孔槽131由該第一表面11及該外緣面16凹陷形成於該第一表面11及該外緣面16上相連的開口。當該待搬運物體5鄰近該第一表面11時，從該等氣流通道14流向該等出氣孔13的空氣會從該開口流出並在該主體結構1及該待搬運物體5之間流動，以在對應該出氣孔槽131的位置產生白努利作用並形成一吸附區以支撐該待搬運物體。
此外，本實施例中該出氣孔槽131的寬度從該出氣孔13朝該外緣面16的方向漸增並在平行於該第一表面11的截面呈V形，以穩定且均勻之氣流形成該吸附區15，利用調節氣流強度產生足夠的壓差抬升該待搬運物體5，如此相較於非V形截面的結構配置更有助於進行較沉重或較大體積的待搬運物體5的搬送。
綜上所述，本新型搬運設備，於製造時透過形狀之設計以減少製造成本，且能使用白努利原理進行搬運，故確實能達成本新型的目的。
惟以上所述者，僅為本新型的實施例而已，當不能以此限定本新型實施的範圍，凡是依本新型申請專利範圍及專利說明書內容所作的簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本新型專利涵蓋的範圍內。
1:主體結構 11:第一表面 12:第二表面 13:出氣孔 131:出氣孔槽 14:氣流通道 141:第一延伸段 142:盲孔段 143:第二延伸段 144:貫孔段 15:吸附區 2:延伸結構 3:通道遮罩 4:氣孔遮罩 5:待搬運物體 A:中心點
本新型的其他的特徵及功效，將於參照圖式的實施方式中清楚地呈現，其中： 圖1是一立體圖，說明本新型搬運設備的一第一實施例； 圖2是該第一實施例的一透視分解圖； 圖3是一側視圖，說明該第一實施例的一主體結構與一待搬運物體的關係； 圖4是該第一實施例的該主體結構的一局部剖視圖； 圖5是一立體圖，說明本新型搬運設備的一第二實施例；及 圖6是該第二實施例的一透視分解圖。
1:主體結構
2:延伸結構
3:通道遮罩
4:氣孔遮罩

Claims (9)

  1. 一種搬運設備，包含： 一主體結構，包括一形成至少一出氣孔的第一表面，及一相反於該第一表面且形成至少一連通該出氣孔之氣流通道的第二表面，該主體結構呈多邊形且其中至少一邊形成一沿平行於該第一表面的方向朝該主體結構之中心擠壓內凹的弧形形狀； 其中，當一待搬運物體鄰近該第一表面時，從該氣流通道流向該出氣孔的空氣會從該出氣孔流出並在該主體結構及該待搬運物體之間流動，以在該第一表面及該待搬運物體之間產生白努利作用並形成一吸附區以支撐該待搬運物體。
  2. 如請求項1所述的搬運設備，還包含一呈扁平長條狀且連接於該主體結構的延伸結構。
  3. 如請求項1所述的搬運設備，該主體結構呈扁平六邊形且其中一邊與相反側的另一邊分別形成該弧形形狀。
  4. 如請求項3所述的搬運設備，其中，該主體結構形成多個出氣孔及多條氣流通道，該等出氣孔在該主體結構上呈對稱分布，該等氣流通道的一部分在鄰近該主體結構的邊緣處環設分布，該等氣流通道的另一部分穿過該主體結構的中央部位且連通於呈環狀分布的該等氣流通道。
  5. 如請求項2所述之搬運設備，其中，該氣流通道具有一開設於該第二表面且連接至該延伸結構的第一延伸段、一由該延伸段往該第一表面延伸的盲孔段，及一連接於該盲孔段且連接至該出氣孔的第二連接段。
  6. 如請求項5所述之搬運設備，還包含一設置於該第二表面且覆蓋該延伸段及該盲孔段的通道遮罩。
  7. 如請求項5所述之搬運設備，其中，該氣流通道還具有一由該第一延伸段貫穿該延伸結構的貫孔段，該搬運設備還包含一設置於該延伸結構且覆蓋該貫孔段的氣孔遮罩。
  8. 如請求項7所述的搬運設備，其中，該主體結構呈圓盤狀並於鄰近該延伸結構處兩側內凹，且該等出氣孔對稱地環設於該主體結構的兩相反側，並具有數個連接該等出氣孔且形成於該主體結構的一外緣面的出氣孔槽，每一該出氣孔槽由該第一表面及該外緣面凹陷形成於該第一表面及該外緣面上相連的開口； 其中，當該待搬運物體鄰近該第一表面時，從該氣流通道流向該出氣孔的空氣會從該開口流出並在該主體結構及該待搬運物體之間流動，以在對應該出氣孔槽的位置產生白努利作用並形成一吸附區以支撐該待搬運物體。
  9. 如請求項8所述的搬運設備，其中，每一該出氣孔槽在平行於該第一表面的截面形狀呈V形，以穩定且均勻之氣流形成該吸附區，抬升該待搬運物體。
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