TWM647582U - 晶圓搬運裝置 - Google Patents

Abstract

本創作係有關於一種晶圓搬運裝置，包括一機械臂主體及一機械臂機構。機械臂主體連接一電源且容設有一控制模組。機械臂機構包括一基座及至少一設置於基座上之機械臂組件，至少一機械臂組件包括有一驅動模組、一馬達及一移動臂，驅動模組係以一通訊介面通訊連接控制模組，用以驅動馬達作動，移動臂滑設於基座，且馬達係以一傳輸件帶動移動臂作動，使移動臂可相對基座產生線性滑移，用以搬運一晶圓。藉此，可減少機構複雜性並簡化維修複雜度，不但能降低生產成本，更能延長其壽命。同時，還可以降低連線需求，而可節省線材成本並易於進行走線。

Description

晶圓搬運裝置

本創作是關於一種晶圓搬運裝置，特別是一種具高度相容性的晶圓搬運裝置。

習知的晶圓搬運裝置容設有多個組件，例如控制模組、驅動模組及移動臂等，為了連接並個別控制上述組件，各組件之間需要分別連接有電源線及訊號線，因而造成晶圓搬運裝置內部的線材凌亂，不易於走線。再者，由於需要保留上述線材的走線空間，因此難以對其體積進行縮小，造成晶圓搬運裝置之靈活性及自由度不佳。

此外，習知的晶圓搬運裝置其控制方式係採用特殊的通訊介面，僅能相容於特定裝置，無法兼容於市面上的其他裝置，或是集成至不同的機器人主體或系統中，使得其功能及應用領域受限，因此具有相容性不佳的問題。

創作人緣因於此，本於積極創作之精神，亟思一種可以解決上述問題之晶圓搬運裝置，幾經研究實驗終至完成本創作。

本創作之主要目的係在於提供一種晶圓搬運裝置，透過減少機構複雜性並簡化維修複雜程度，不但能降低裝置的生產成本，更能延長其壽命。同時，藉由將驅動模組、馬達及移動臂整合於機械臂機構上，不僅降低連線需求，更使得機械臂主體與機械臂機構之間僅需透過少量的線組連接，可節省線材成本並易於走線。

為了達成上述目的，本創作之晶圓搬運裝置包括一機械臂主體及一機械臂機構。機械臂主體連接一電源且容設有一控制模組。機械臂機構包括一基座及至少一設置於基座上之機械臂組件，至少一機械臂組件包括有一驅動模組、一馬達及一移動臂，驅動模組係以一通訊介面通訊連接控制模組，用以驅動馬達作動，移動臂滑設於基座，且馬達係以一傳輸件帶動移動臂作動，使移動臂可相對基座產生線性滑移，用以搬運一晶圓。

上述至少一機械臂組件可為四機械臂組件，可分別用以獨立地搬運四片晶圓。

上述通訊介面可為控制器區域網路(CANBUS)介面，因此機械臂機構可相容於市面上常見的機械臂主體，具有較佳的相容性。

上述基座可組設於機械臂主體上，使得機械臂主體與機械臂機構組設為一體，形成一體式晶圓搬運裝置。

上述通訊介面可透過一線組連接控制模組，因此機械臂主體與機械臂機構可為分離式設計，即機械臂主體不與機械臂機構組設為一體，而形成分離式晶圓搬運裝置。

上述移動臂可具有一夾爪，用以搬運晶圓。

上述傳輸件可為螺桿或皮帶，用以將馬達之輸出轉變為移動臂之位移，而使移動臂可相對於基座產生線性滑移，用以搬運晶圓。

上述機械臂機構可更包括一定位感測器，用以檢測並定位移動臂搬運之晶圓。

以上概述與接下來的詳細說明皆為示範性質是為了進一步說明本創作的申請專利範圍。而有關本創作的其他目的與優點，將在後續的說明與圖示加以闡述。

請參閱圖1至圖4，其分別為本創作一較佳實施例之晶圓搬運裝置之配置圖、晶圓搬運裝置之立體圖、機械臂機構之側下方視角之立體圖及機械臂機構之側視圖。圖中出示一種晶圓搬運裝置100包括一機械臂主體1及一機械臂機構2。機械臂主體1連接一電源P，用以提供晶圓搬運裝置100所需之電能，且機械臂主體1容設有一控制模組11，用以控制機械臂機構2。在本實施例中，機械臂機構2包括一基座20、四機械臂組件21a, 21b, 21c, 21d以及一定位感測器26，但機械臂組件21a, 21b, 21c, 21d的數量不限於此，可依據實際需求調整其數量，其中機械臂組件21a, 21b, 21c, 21d設置於基座20上且分別包括有一驅動模組22a, 22b, 22c, 22d、一馬達23a, 23b, 23c, 23d及一移動臂24a, 24b, 24c, 24d。驅動模組22a, 22b, 22c, 22d係以一通訊介面25通訊連接控制模組11，通訊介面25係為控制器區域網路(CANBUS)介面，用以分別驅動馬達23a, 23b, 23c, 23d作動，移動臂24a, 24b, 24c, 24d係以上下重疊的方式形成一種單臂-4叉之形式滑設於基座20，且馬達23a, 23b, 23c, 23d係以一傳輸件231分別帶動移動臂24a, 24b, 24c, 24d作動，傳輸件231係為螺桿或皮帶，使移動臂24a, 24b, 24c, 24d可相對基座20沿軸線R產生線性滑移，並藉由移動臂24a, 24b, 24c, 24d上分別具有之一夾爪241，用以搬運一晶圓(圖未示)。因此，本實施例之晶圓搬運裝置100可分別用以獨立地搬運四片晶圓。上述的定位感測器26係用以檢測並定位移動臂24a, 24b, 24c, 24d所搬運之晶圓(圖未示)。在本實施例中，基座20是組設於機械臂主體1上，使得機械臂主體1與機械臂機構2組設為一體，形成一體式晶圓搬運裝置100。在另一實施例中，通訊介面25是透過一線組3連接控制模組11，因此機械臂主體1與機械臂機構2為分離式設計，而形成分離式晶圓搬運裝置。藉此，本創作之晶圓搬運裝置100得以具有優異的靈活性及自由度。

藉由上述設計，本創作之晶圓搬運裝置可透過減少機構複雜性並簡化維修複雜程度，降低裝置的生產成本、延長使用壽命。同時可降低連線需求、節省線材成本並易於走線。因此，本創作之晶圓搬運裝置將可用於晶圓相關領域，用以提升或改善搬運晶圓之便利性。

上述實施例僅係為了方便說明而舉例而已，本創作所主張之權利範圍自應以申請專利範圍所述為準，而非僅限於上述實施例。

1:機械臂主體 11:控制模組 2:機械臂機構 20:基座 21a, 21b, 21c, 21d:機械臂組件 22a, 22b, 22c, 22d:驅動模組 23a, 23b, 23c, 23d:馬達 231:傳輸件 24a, 24b, 24c, 24d:移動臂 241:夾爪 25:通訊介面 26:定位感測器 3:線組 100:晶圓搬運裝置 P:電源 R:軸線

圖1顯示本創作一較佳實施例之晶圓搬運裝置之配置圖。 圖2顯示本創作一較佳實施例之晶圓搬運裝置之立體圖。 圖3顯示本創作一較佳實施例之機械臂機構之側下方視角之立體圖。 圖4顯示本創作一較佳實施例之機械臂機構之側視圖。

1:機械臂主體

11:控制模組

2:機械臂機構

21a,21b,21c,21d:機械臂組件

22a,22b,22c,22d:驅動模組

23a,23b,23c,23d:馬達

24a,24b,24c,24d:移動臂

25:通訊介面

26:定位感測器

3:線組

100:晶圓搬運裝置

P:電源

Claims (8)

1. 一種晶圓搬運裝置，包括： 一機械臂主體，連接一電源且容設有一控制模組；以及 一機械臂機構，包括一基座及至少一設置於該基座上之機械臂組件，該至少一機械臂組件包括有一驅動模組、一馬達及一移動臂，該驅動模組係以一通訊介面通訊連接該控制模組，用以驅動該馬達作動，該移動臂滑設於該基座，且該馬達係以一傳輸件帶動該移動臂作動，使該移動臂可相對該基座產生線性滑移，用以搬運一晶圓。
2. 如請求項1所述之晶圓搬運裝置，其中，該至少一機械臂組件係為四機械臂組件。
3. 如請求項1所述之晶圓搬運裝置，其中，該通訊介面係為控制器區域網路(CANBUS)介面。
4. 如請求項1所述之晶圓搬運裝置，其中，該基座組設於該機械臂主體上。
5. 如請求項1所述之晶圓搬運裝置，其中，該通訊介面係透過一線組連接該控制模組。
6. 如請求項1所述之晶圓搬運裝置，其中，該移動臂具有一夾爪。
7. 如請求項1所述之晶圓搬運裝置，其中，該傳輸件係為螺桿或皮帶。
8. 如請求項1所述之晶圓搬運裝置，其中，該機械臂機構更包括一定位感測器。

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