TWM608551U

TWM608551U - 具有高空間存放效率之爐管儲存箱

Info

Publication number: TWM608551U
Application number: TW109214370U
Authority: TW
Inventors: 劉怡青; 連宗達
Original assignee: 劉怡青; 連宗達
Priority date: 2020-10-30
Filing date: 2020-10-30
Publication date: 2021-03-01

Abstract

一種具有高空間存放效率之爐管儲存箱，包含一箱體，該箱體的第一側面具有至少一開口連通該箱體的內部；至少一儲存機構，位在該箱體內；各該儲存機構包含一底座；一支撐板，位在該底座上方；該支撐板具有多個支撐凹槽；一轉軸，該轉軸貫穿該底座及該支撐板的中心，該轉軸的上下兩端以可轉動的方式連接該箱體內部的上下表面；以及多個分隔件，設於該底座的上表面與該轉軸之間，該多個分隔件約略垂直該底座，且該多個分隔件形成等間距的均勻排列；該分隔件的數量同於該支撐凹槽的數量，且各該支撐凹槽的位置係對應於各該分隔件之間的區域。

Description

具有高空間存放效率之爐管儲存箱

本創作係有關於爐管儲存結構，尤其是一種具有高空間存放效率之爐管儲存箱。

在半導體製程中，經常需要對晶圓進行熱處理製程，其中必須要將矽晶圓置入一爐管中，以進行所需要的熱反應程序。這些熱反應程序包含熱氧化、退火、或熱擴散等等不同的製程。而爐管在使用前後，必須清洗乾淨後再予以適當的存放，以備下次的使用。如圖14所示，習知技術中用於儲存爐管的機構，主要包含一架體10'，存放時將多個爐管1'直立放置於該架體10'上。該架體10'可以儲存在一箱體(圖中未顯示)，一般該箱體具有風機過濾機構可以過濾空氣，以保持爐管1'的乾淨。

惟上述習知技術的爐管儲存設備，多個爐管1'係以平行方式在該架體10'上展開排列，此種排列存放方式會佔據相當大的面積，而且一般該架體10'所能存放的爐管1'的數量相當有限。因此當需要存放更多數量的爐管1'時，需要配置更多的架體10'，導致必須使用更多的空間配置更多箱體來存放這些架體10'，不但空間利用效率相當低落，再者也提高整體的儲存成本。

故本案希望提出一種嶄新的具有高空間存放效率之爐管儲存箱，以解決上述先前技術上的缺陷。

所以本創作的目的係為解決上述習知技術上的問題，本創作中提出一種具有高空間存放效率之爐管儲存箱，係將一箱體內配置至少一儲存機構，該儲存機構係應用轉軸貫穿底座及支撐板，並應用多個分隔件將該底座分成多個區域，這些區域可以用於置放多個爐管，並且應用該支撐板上的凹槽來支撐爐管，因此應用上述的結構，各個該儲存機構上的多個爐管可以形成環狀的集中放置方式，可以有效提高該爐管的儲存密度，可以在相同空間達到最高的存放效率。而該底座上也具有防刮部，可以防止刮傷該爐管。再者使用者可以應用轉軸直接旋轉整個儲存機構，而可以很方便的將特定位置的爐管取出，而不需要取出整個儲存機構，在使用上相當方便省時，也避免儲存機構在搬運過程中造成多個爐管容易搖晃而受損。此為習之技術所無法達成者。

為達到上述目的本創作中提出一種具有高空間存放效率之爐管儲存箱，包含一箱體，該箱體的第一側面具有至少一開口連通該箱體的內部；至少一儲存機構，位在該箱體內；各該儲存機構包含一底座；一支撐板，位在該底座上方；該支撐板具有多個支撐凹槽；一轉軸，該轉軸貫穿該底座及該支撐板的中心，該轉軸的上下兩端以可轉動的方式連接該箱體內部的上下表面；以及多個分隔件，設於該底座的上表面與該轉軸之間，該多個分隔件約略垂直該底座，且該多個分隔件形成等間距的均勻排列；該分隔件的數量同於該支撐凹槽的數量，且各該支撐凹槽的位置係對應於各該分隔件之間的區域。

由下文的說明可更進一步瞭解本創作的特徵及其優點，閱讀時並請參考附圖。

1:第一爐管

1':爐管

2:第二爐管

41:蓋板

50:儲存板

51:固定部

10:箱體

10':架體

11:第一側面

12:第二側面

13:第三側面

14:通孔

15:開口

16:分隔部

20:儲存機構

21:底座

22:支撐板

23:轉軸

24:分隔件

25:防刮部

26:被固定件

30:固定件

31:插銷

40:蓋板組

52:容置凹槽

53:桿體

54:支撐部

60:滑軌機構

70:抽屜結構

71:隔板

72:凹陷部

73:安裝槽

80:風機過濾裝置

90:燈體

211:穿孔

221:支撐凹槽

222:開口

223:上擋管

241:下擋管

242:連接件

521:開口

701:氣孔

圖1顯示本案之元件組合示意圖。

圖2顯示本案之儲存結構與箱體之分離示意圖。

圖3顯示本案之箱體由其第一側面觀視之示意圖。

圖4顯示本案之儲存結構之示意圖。

圖5顯示本案之儲存結構容置第一爐管之示意圖。

圖6顯示圖4之上側示意圖。

圖7顯示本案之儲存結構之另一實施例之上側示意圖。

圖8顯示圖7之儲存結構容置第一爐管之示意圖。

圖9顯示本案之儲存結構之又一實施例之上側示意圖。

圖10顯示圖9之儲存結構容置第一爐管之示意圖。

圖11顯示本案之儲存板之局部示意圖。

圖12顯示圖11之儲存板容置第二爐管之示意圖。

圖13顯示本案之抽屜結構從箱體抽出之示意圖。

圖14顯示習知技術之用於儲存爐管的機構示意圖。

茲謹就本案的結構組成，及所能產生的功效與優點，配合圖式，舉本案之一較佳實施例詳細說明如下。

請參考圖1至圖13所示，顯示本創作之具有高空間存放效率之爐管儲存箱，包含下列元件：

一箱體10，該箱體10的第一側面11具有至少一開口15連通該箱體10的內部，圖2中顯示兩開口15。較佳者各該開口15為方形之開口。

至少一儲存機構20，位在該箱體10內，圖3中顯示該至少一儲存機構20為兩儲存機構20。

如圖2至圖6所示，各該儲存機構20包含：

一底座21，用於承載多個尺寸較大的第一爐管1；較佳者該底座21係靠近該箱體10內部之下表面。該底座21為圓盤狀結構。

一支撐板22，位在該底座21上方；該支撐板22具有多個支撐凹槽221。

一轉軸23，該轉軸23貫穿該底座21及該支撐板22的中心，該轉軸23的上下兩端以可轉動的方式連接該箱體10內部的上下表面。

多個分隔件24，設於該底座21的上表面與該轉軸23之間，該多個分隔件24約略垂直該底座21，且該多個分隔件24形成等間距的均勻排列。該分隔件24的數量同於該支撐凹槽221的數量，且各該支撐凹槽221的位置係對應於各該分隔件24之間的區域。

當該底座21承載該多個第一爐管1時，相鄰兩分隔件24之間的空間用於垂直容置一對應的第一爐管1。而該支撐板22的各該支撐凹槽221用於支撐住該第一爐管1，以穩定該第一爐管1的位置。

其中該第一爐管1可以具有不同的尺寸，以容置不同大小的晶圓片，較佳者該第一爐管1用於容置12吋晶圓片，或者該第一爐管1也可以具有其他尺寸以承載的8吋或6吋晶圓片。

其中各該儲存機構20的該底座21尚可具有多個穿孔211。

其中各該儲存機構20的該底座21上側位在各該分隔件24之間的區域設有多個防刮部25，其中該防刮部25為條狀，其材質為聚四氟乙烯(Polytetrafluoroethene，PTFE，俗稱鐵氟龍)所構成。該防刮部25用於防止該第一爐管1的底部受到刮傷，主要是由於第一爐管1為石英材質，容易損壞，因此必須藉由該防刮部25防止該第一爐管1刮傷。

各該儲存機構20的該底座21上的該多個分隔件24可以具有不同的數量，以存放不同數量的第一爐管1。

如圖4至圖6所示，各該儲存機構20的該底座21上的該多個分隔件24為四個分隔件24，而該支撐板22也具有四個支撐凹槽221，因此令各該儲存機構20可用於置入四個第一爐管1。

如圖7及圖8所示，各該儲存機構20的該底座21上的該多個分隔件24為五個分隔件24，而該支撐板22也具有五個支撐凹槽221，因此令各該儲存機構20可用於置入五個第一爐管1。

如圖9及圖10所示，各該儲存機構20的該底座21上的該多個分隔件24為三個分隔件24，而該支撐板22也具有三個支撐凹槽221，因此令各該儲存機構20可用於置入三個第一爐管1。

其中各該儲存機構20的該支撐板22的各該支撐凹槽221的開口222處應用一可拆裝之上擋管223所封閉，而可將支撐於該支撐凹槽221的第一爐管1進一步的輔助固定。

其中各該儲存機構20的各該分隔件24之間連接一下擋管241，各該下擋管241的兩端係連接到對應之相鄰兩分隔件24，而可將支撐於該支撐凹槽221的第一爐管1進一步的輔助固定。其中各該儲存機構20的各該分隔件24的中段處配置一連接件242，各該下擋管241的兩端係連接到對應之相鄰兩分隔件24上的連接件242。

如圖3所示，該箱體10內部的下表面安裝至少一固定件30，各該固定件30對應到一對應之儲存機構20的下方。如圖7及圖8所示，各該儲存機構20的該底座21的下側連接多個被固定件26，該被固定件26的數量同於該分隔件24的數量。該多個被固定件26的位置係對應該多個分隔件24的位置。當該儲存機構20的該底座21以該轉軸23為軸心旋轉時，即令其中一被固定件26可以固定到對應的該固定件30，而固定住整個儲存機構20，令使用者可以方便的將第一爐管1置入或取出該儲存機構20。

各該固定件30包含一可伸縮之插銷31，當該插銷31伸出時可令該固定件30用於固定在一對應的該被固定件26上。因此當使用者藉由該儲存機構20的該轉軸23而旋轉該底座21時，可以將該底座21藉由該被固定件26固定在該固定件30，而穩固該底座21的位置。

其中該箱體10的各該開口15處連接一可開合之蓋板組40，各該蓋板組40包含兩蓋板41分別設於對應之開口15的兩對側。

如圖1、圖11及圖12所示，本案尚包含至少一儲存板50，以可活動的方式安裝在該箱體10內部垂直於該第一側面11的第二側面12上。各該儲存板50平行該第二側面12。圖中顯示該至少一儲存板50為兩儲存板50。各該儲存板50朝向該箱體10內部中心的一側連接至少一固定部51，且各該儲存板50的底側邊向外延伸出一支撐部54，該支撐部54與對應的固定部51位在對應之儲存板50的同一側。

各該固定部51上具有多個容置凹槽52，各該容置凹槽52的開口521之一端連接一可旋轉的桿體53，應用該桿體53的旋轉而封閉及打開該容置凹槽52的開口521。該桿體53的旋轉範圍為180度。

各該容置凹槽52用於令一尺寸較小的第二爐管2可貫穿對應的該容置凹槽52，當該桿體53封閉該容置凹槽52的開口521時，即令該第二爐管2被扣合在該容置凹槽52內。而各該儲存板50的該支撐部54用於支撐該尺寸較小的第二爐管2。經由操作該儲存板50上各該固定部51的桿體53，即可將該第二爐管2置入該固定部51或從該固定部51取出。

其中各該儲存板50係經由滑軌機構60安裝在該箱體10內，使得各該儲存板50可以經由該滑軌機構60移出該箱體10。

如圖13所示，其中該箱體10內部具有一分隔部16，該箱體10內部的下表面即為該分隔部16的上表面，該分隔部16具有多個通孔14，該箱體10的該分隔部16下方設有多個可活動的抽屜結構70。該多個通孔14係連通該多個抽屜結構70的內部。各該抽屜結構70內部設有多個平行排列的隔板71，各該隔板71上端的相同位置具有一凹陷部72，使得該多個隔板71可藉由該凹陷部72放置一對應的第一爐管1。其中各該隔板71的兩端係以活動方式嵌合在對應之抽屜結構70內之兩對側的兩安裝槽73，當該隔板71從該抽屜結構70取出時，該抽屜結構70用於容置其他物品。其中該抽屜結構70的底部可具有多個氣孔701。

至少一風機過濾裝置80，位在該箱體10的第三側面13，且連通該箱體10的內部。該風機過濾裝置80用於過濾空氣，使得該箱體10內的該第一爐管1、第二爐管2可以保持乾淨。圖1中顯示該至少一風機過濾裝置80為一個風機過濾裝置80。

至少一燈體90，位在該箱體10內部，用於對該箱體10的內部提供照明。

本案的優點在於將一箱體內配置至少一儲存機構，該儲存機構係應用轉軸貫穿底座及支撐板，並應用多個分隔件將該底座分成多個區域，這些區域可以用於置放多個爐管，並且應用該支撐板上的凹槽來支撐爐管，因此應用上述的結構，各個該儲存機構上的多個爐管可以形成環狀的集中放置方式，可以有效提高該爐管的儲存密度，可以在相同空間達到最高的存放效率。而該底座上也具有防刮部，可以防止刮傷該爐管。再者使用者可以應用轉軸直接旋轉整個儲存機構，而可以很方便的將特定位置的爐管取出，而不需要取出整個儲存機構，在使用上相當方便省時，也避免儲存機構在搬運過程中造成多個爐管容易搖晃而受損。此為習之技術所無法達成者。

綜上所述，本案人性化之體貼設計，相當符合實際需求。其具體改進現有缺失，相較於習知技術明顯具有突破性之進步優點，確實具有功效之增進，且非易於達成。本案未曾公開或揭露於國內與國外之文獻與市場上，已符合專利法規定。

上列詳細說明係針對本創作之一可行實施例之具體說明，惟該實施例並非用以限制本創作之專利範圍，凡未脫離本創作技藝精神所為之等效實施或變更，均應包含於本案之專利範圍中。