TWM596836U - 前級管路結構 - Google Patents

Abstract

一種前級管路結構包含第一閥體、第一中空管體及第二中空管體，第一閥體設於第一中空管體及第二中空管體之間，第一中空管體設於第一閥體與第一幫浦之間，第一中空管體或第二中空管體具有至少一第一適配管，用以協調組件間的高度偏差及/或位置偏差。本創作藉由減少彎道數量，可讓製程廢氣之排氣氣流更流暢，且可避免產生揚塵現象而影響製程品質。

Description

前級管路結構

本創作是有關於一種管路結構，特別是有關於一種前級管路結構。

在工業製程中，常使用管路來輸送流體，以達運輸之目的。然而，由於輸送需求或是空間佈置限制，在某些管路中設有彎道，此彎道即為流阻，易堆積粒子或生成物，進而影響製程品質。

有鑑於此，本創作之一目的就是在提供一種前級管路結構，以解決傳統技術之問題。

為達前述目的，本創作提出一種適用於兩端分別連接一第一幫浦與一第二幫浦，該前級管路結構包含：一第一閥體，該第一閥體之兩端分別具有一第一接頭及一第二接頭；一第一中空管體，該第一中空管體之兩端分別連接該第一閥體之該第一接頭與該第一幫浦；以及一第二中空管體，該第二中空管體之兩端係分別連接該第一閥體之該第二接頭與該第二幫浦，其中該第一中空管體或該第二中空管體之一者具有至少一第一適配管用以協調該第一閥體與該第一幫浦或該第二幫浦之間之高度偏差及/或位置偏差。

其中，該第一中空管體或該第二中空管體之另一者具有至少一第二適配管用以協調該第一閥體與該第二幫浦或該第一幫浦之間之高度偏差及/或位置偏差。

其中，該第一適配管為斜管或撓性管。

其中，該第一適配管及/或該第二適配管為斜管或撓性管。

其中，該斜管之傾斜度實質為30度。

其中，該第一中空管體或該第二中空管體具有一水平管連接該斜管之一端或具有兩水平管分別連接該斜管之兩端。

其中，該撓性管為波紋管。

其中，前級管路結構，更包含一第三中空管體，其中該第三中空管體之一端連接該第二中空管體，該第三中空管體之另一端用以連接一第四中空管體。

其中，該第三中空管體之延伸方向係實質相同於該第一中空管體或呈一夾角。

其中，該第四中空管體或該第三中空管體具有一第三適配管用以協調位置偏差或高度偏差。

其中，該第三適配管為斜管或撓性管。

其中，該撓性管為波紋管。

其中，該第一中空管體及/或該第二中空管體進一步具有至少一歧管。

其中，該第一閥體、該第一中空管體及該第二中空管體位於該第一幫浦之同一側。

其中，該第一幫浦為真空幫浦。

其中，該第二幫浦為前級真空幫浦。

其中，該第一閥體為前級真空閥。

其中，該第一中空管體與該第一閥體之間之夾角實質為90度。

其中，該第二中空管體係直接或間接連接該第二幫浦。

承上所述，依本創作之前級管路結構，其可具有一或多個下述優點：

(1) 減少管路的彎道數量及總彎道角度，可讓製程室中之製程廢氣之排氣氣流更流暢，不僅可避免廢氣氣體中的固體顆粒沉積，也可避免產生揚塵現象而影響製程品質。

(2) 減少管路的彎道數量，可讓排氣氣流的流通距離縮短，增加流速，提高製程效率。

為利瞭解本創作之技術特徵、內容與優點及其所能達成之功效，茲將本創作配合圖式，並以實施例之表達形式詳細說明如下，而其中所使用之圖式，其主旨僅為示意及輔助說明書之用，未必為本創作實施後之真實比例與精準配置，故不應就所附之圖式的比例與配置關係解讀、侷限本創作於實際實施上的權利範圍。此外，為使便於理解，下述實施例中的相同元件係以相同的符號標示來說明。且圖式所示的組件的尺寸比例僅為便於解釋各元件及其結構，並非用以限定。

另外，在全篇說明書與申請專利範圍所使用的用詞，除有特別註明外，通常具有每個用詞使用在此領域中、在此揭露的內容中與特殊內容中的平常意義。某些用以描述本創作的用詞將於下或在此說明書的別處討論，以提供本領域技術人員在有關本創作的描述上額外的引導。

關於本文中如使用“第一”、“第二”、“第三”等，並非特別指稱次序或順位的意思，亦非用以限定本創作，其僅僅是為了區別以相同技術用語描述的組件或操作而已。

其次，在本文中如使用用詞“包含”、“包括”、“具有”、“含有”等，其均為開放性的用語，即意指包含但不限於。

請一併參閱圖1至圖3，圖1為繪示依據本創作之第一實施例之前級管路結構之側視示意圖。圖2為繪示依據本創作之第一實施例之前級管路結構連接於第一幫浦之使用狀態示意圖。圖3為繪示依據本創作之第二實施例之前級管路結構具有第四中空管體之示意圖。

如圖1至圖2所示，本創作之前級管路結構設於第一幫浦60及第二幫浦(未繪示)之間，適用於兩端分別連接第一幫浦60與第二幫浦，且藉由減少前級管路結構中的彎道數量，藉以減少或避免揚塵現象。本創作之前級管路結構至少包含第一閥體10、第一中空管體20及第二中空管體30，第一閥體10設於第一中空管體20及第二中空管體30之間。本創作之前級管路結構之設計可在有限的設備裝配空間中，有效減少第一幫浦60與第二幫浦之間之彎道數量，因此可使得製程室中之製程廢氣之排氣氣流更流暢，不僅可避免廢氣氣體中的固體顆粒沉積，也可避免產生揚塵現象而影響製程品質。

在本創作中，如圖所示，第一閥體10之兩端分別具有第一接頭12及第二接頭14，第一接頭12係對應於第一幫浦60，第二接頭14係對應於第二幫浦，其中第一中空管體20之兩端分別連接第一閥體10之第一接頭12與第一幫浦60，第一中空管體20與第一閥體10之第一接頭12之連接處之夾角可例如為90度，第一中空管體20與第一幫浦60之連接處之夾角可例如為90度。第二中空管體30之兩端係分別連接第一閥體10之第二接頭14與第二幫浦，第二中空管體30與第一閥體10之第二接頭14之連接處之夾角可例如為180度。其中，上述所述之第一閥體10、第一中空管體20、第二中空管體30、第一幫浦60與第二幫浦的連接方式可例如為可拆卸式連接，且例如可採用對應之管夾13藉以將相鄰的管體可拆卸式連接在一起。其中，管夾13可例如為快拆式夾具。

本創作之一項技術特徵在於第一中空管體20或第二中空管體30之一者具有至少一第一適配管40，亦即第一中空管體20具有至少一第一適配管40，或者是第二中空管體30具有至少一第一適配管40，其中第一適配管40可用以協調(調整)組件間的高度偏差及/或位置偏差。換言之，如第一閥體10與第一幫浦60之間或第一閥體10與第二幫浦具有高度落差或者位置落差，則第一適配管40可用以協調第一閥體10與第一幫浦60之間之高度偏差及/或位置偏差，或者可用以協調第一閥體10與第二幫浦之間之高度偏差及/或位置偏差。第一適配管40可為任何能協調組件間的高度偏差及/或位置偏差之管體，例如，但不限於，斜管或者為撓性管。斜管之傾斜度實質約為，但不限於，30度。撓性管例如為波紋管，較佳為金屬波紋管。

此外，本創作之另一項技術特徵在於第一中空管體20或第二中空管體30之另一者還可選擇性具有至少一第二適配管45用以協調(調整)組件間的高度偏差及/或位置偏差。換言之，第二適配管45可用以協調第一閥體10與第二幫浦之間之高度偏差及/或位置偏差，或者可用以協調第一閥體10與第一幫浦60之間之高度偏差及/或位置偏差。第二適配管45可為任何能協調組件間的高度偏差及/或位置偏差之管體，例如，但不限於，撓性管或者為斜管。斜管之傾斜度實質約為，但不限於，30度。撓性管例如為波紋管，較佳為金屬波紋管。

以第一適配管40及/或第二適配管45為斜管為例，第一中空管體20或第二中空管體30可具有一個水平管22連接斜管24之一端或具有兩個水平管22分別連接斜管24之兩端。本創作之圖示雖以第一適配管40設於第一中空管體20上、第一適配管40為斜管且第二適配管45為撓性管為例，但本創作並不限定於此。

除此之外，在另一實施態樣中，本創作之前級管路結構還可選擇性包含第三中空管體50，第三中空管體50之一端連接第二中空管體30。在本創作之第二實施例中，第三中空管體50之另一端用以選擇性連接第四中空管體55。其中，由於第三中空管體50可例如經由第四中空管體55連接至第一幫浦60，又第一中空管體20同樣連接至第一幫浦60，因此第三中空管體50(或第四中空管體55)與第一中空管體20之延伸方向均例如均朝向第一幫浦60，亦即第三中空管體50之延伸方向係例如實質相同於第一中空管體20或呈一夾角。其中，第四中空管體55或第三中空管體50可例如具有第三適配管48用以例如協調第三中空管體50(或第四中空管體55)與第一幫浦60之間的位置偏差或高度偏差。第三適配管48可為任何能協調組件間的高度偏差及/或位置偏差之管體，例如，但不限於，撓性管或者為斜管，其中撓性管可例如為波紋管，且較佳為金屬波紋管。

如圖2所示，本創作之第一實施例之前級管路結構連接於第一幫浦60，且其中第一幫浦設於框架62中。本創作之又一技術特徵在於第一閥體60、第一中空管體20及第二中空管體30位於第一幫浦60之同一側，故可減少第一幫浦60與第二幫浦之間的彎道數量，且可讓排氣氣流的流通距離縮短，以增加流速且提高製程效率。

此外，本創作之前級管路結構還可選擇性增設一個或多個歧管(未繪示)於第一中空管體20及/或第二中空管體30上，其中此歧管例如進氣歧管或排氣歧管。在本創作中，第一閥體10例如為，但不限於，隔離閥等前級真空閥。舉例而言，第一閥體10可例如為安全閥、閘閥、蝶閥、隔膜閥、隔離閥、止回閥、截止閥、節流閥、排污閥、球閥、疏水閥、柱塞閥、旋塞閥、減壓閥、閘閥或鐘擺閥，但不限定於此。同理，本創作之第一幫浦60例如為，但不限於，渦輪幫浦等真空幫浦，用以連接製程室 (未繪示)以對製程室(未繪示)進行真空抽氣。上述之製程室例如為，但不限於，Hitachi J9011LX。第二幫浦例如為，但不限於，乾式幫浦等前級真空幫浦。本創作之前級管路結構之設計可讓製程室中之製程廢氣之排氣氣流更流暢，不僅可避免廢氣氣體中的固體顆粒沉積，也可避免產生揚塵現象進而影響製程室之製程品質。

在本創作中，第二中空管體30之第二端係例如為直接連接第二幫浦以連通第二幫浦，或例如經由縱向且無彎折(彎道)之排氣管(未繪示)間接連接第二幫浦以連通第二幫浦，藉此同一樓層高度或不同樓層高度之製程室之製程廢氣均可經由本創作之前級管路結構自第二幫浦之排氣口排出。

綜上所述，依本創作之前級管路結構，其可具有一或多個下述優點：(1) 減少管路的彎道數量及總彎道角度，可讓製程室中之製程廢氣之排氣氣流更流暢，不僅可避免廢氣氣體中的固體顆粒沉積，也可避免產生揚塵現象而影響製程品質。(2) 減少管路的彎道數量，可讓排氣氣流的流通距離縮短，增加流速，提高製程效率。

以上所述僅為舉例性，而非為限制性者。任何未脫離本創作之精神與範疇，而對其進行之等效修改或變更，均應包含於後附之申請專利範圍中。

10:第一閥體 12:第一接頭 13:管夾 14:第二接頭 20:第一中空管體 22:水平管 24:斜管 30:第二中空管體 40:第一適配管 45:第二適配管 48:第三適配管 50:第三中空管體 55:第四中空管體 60:第一幫浦 62:框架

圖1為繪示依據本創作之第一實施例之前級管路結構之側視示意圖。

圖2為繪示依據本創作之第一實施例之前級管路結構連接於第一幫浦之使用狀態示意圖。

圖3為繪示依據本創作之第二實施例之前級管路結構具有第四中空管體之示意圖。

10:第一閥體

12:第一接頭

14:第二接頭

20:第一中空管體

22:水平管

24:斜管

30:第二中空管體

40:第一適配管

45:第二適配管

50:第三中空管體

Claims (19)

1. 一種前級管路結構，適用於兩端分別連接一第一幫浦與一第二幫浦，該前級管路結構包含： 一第一閥體，該第一閥體之兩端分別具有一第一接頭及一第二接頭； 一第一中空管體，該第一中空管體之兩端分別連接該第一閥體之該第一接頭與該第一幫浦；以及 一第二中空管體，該第二中空管體之兩端係分別連接該第一閥體之該第二接頭與該第二幫浦，其中該第一中空管體或該第二中空管體之一者具有至少一第一適配管用以協調該第一閥體與該第一幫浦或該第二幫浦之間之高度偏差及/或位置偏差。
2. 如申請專利範圍第1項所述之前級管路結構，其中該第一中空管體或該第二中空管體之另一者具有至少一第二適配管用以協調該第一閥體與該第二幫浦或該第一幫浦之間之高度偏差及/或位置偏差。
3. 如申請專利範圍第1項所述之前級管路結構，其中該第一適配管為斜管或撓性管。
4. 如申請專利範圍第2項所述之前級管路結構，其中該第一適配管及/或該第二適配管為斜管或撓性管。
5. 如申請專利範圍第3項或第4項所述之前級管路結構，其中該斜管之傾斜度實質為30度。
6. 如申請專利範圍第3項或第4項所述之前級管路結構，其中該第一中空管體或該第二中空管體具有一水平管連接該斜管之一端或具有兩水平管分別連接該斜管之兩端。
7. 如申請專利範圍第3項或第4項述之前級管路結構，其中該撓性管為波紋管。
8. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之前級管路結構，更包含一第三中空管體，其中該第三中空管體之一端連接該第二中空管體，該第三中空管體之另一端用以連接一第四中空管體。
9. 如申請專利範圍第8項所述之前級管路結構，其中該第三中空管體之延伸方向係實質相同於該第一中空管體或呈一夾角。
10. 如申請專利範圍第8項所述之前級管路結構，其中該第四中空管體或該第三中空管體具有一第三適配管用以協調位置偏差或高度偏差。
11. 如申請專利範圍第10項所述之前級管路結構，其中該第三適配管為斜管或撓性管。
12. 如申請專利範圍第11項所述之前級管路結構，其中該撓性管為波紋管。
13. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之前級管路結構，其中該第一中空管體及/或該第二中空管體進一步具有至少一歧管。
14. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之前級管路結構，其中該第一閥體、該第一中空管體及該第二中空管體位於該第一幫浦之同一側。
15. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之前級管路結構，其中該第一幫浦為真空幫浦。
16. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之前級管路結構，其中該第二幫浦為前級真空幫浦。
17. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之前級管路結構，其中該第一閥體為前級真空閥。
18. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之前級管路結構，其中該第一中空管體與該第一閥體之間之夾角實質為90度。
19. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之前級管路結構，其中該第二中空管體係直接或間接連接該第二幫浦。

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