TWM565395U - Air curtain device and wafer cassette carrying equipment - Google Patents

Abstract

一種氣簾裝置包含：殼體、透氣板及固定環。固定環套設於透氣板的外圍。透氣板能透過固定環而固定設置於殼體中，且固定環能使透氣板與殼體之間形成氣密。殼體與外部供氣設備相連接時，外部供氣設備所提供的氣體能通過透氣板後均勻地向外排出。氣簾裝置透過固定環及透氣板的相互配合，透氣板可以方便地固定設置於殼體中，且可以提升透氣板與殼體之間的氣密效果。本創作還提供一種晶圓盒載運設備，其包含有前述氣簾裝置，氣簾裝置可以在晶圓盒開啟時，於晶圓盒前方形成氣流牆，藉以可有效避免外部環境的髒污進入晶圓盒中。

Description

氣簾裝置及晶圓盒載運設備

本創作涉及一種氣簾裝置及載運設備，特別是一種應用於晶圓製造過程中相關設備的氣簾裝置及包含有所述氣簾裝置的晶圓盒載運設備。

現有應用於晶圓生產設備中的氣簾裝置，大多存在有結構複雜、安裝不易及氣密效果不佳等問題。另外，在現有的應用中，晶圓盒的活動門被開啟時，外部環境的微粒、髒污等將容易進入晶圓盒中，進而可能影響設置於晶圓盒中的晶圓片品質。

緣此，本創作人乃潛心研究並配合學理的運用，而提出一種設計合理且有效改善上述問題的本創作。

本創作的主要目的在於提供一種氣簾裝置用以改善現有的氣簾裝置結構複雜、安裝不易及氣密效果不佳等問題，本創作的另一目的在於改善晶圓盒被開啟時，晶圓盒內容易受外部環境影響的問題。

為了實現上述目的，本創作提供一種氣簾裝置，其包含：一殼體、至少一透氣板及一固定環。殼體包含有至少一進氣孔及至少一出氣口。透氣板包含有多個透氣孔。固定環套設於透氣板的外圍。其中，透氣板能透過固定環而固定設置於殼體中，且固定環能使透氣板與殼體之間形成氣密的效果。其中，進氣孔能與外部供氣設備相連接，而外部供氣設備所提供的氣體能通過進氣孔進入殼體中，並通過多個透氣孔後，由出氣口向外排出。

為了實現上述目的，本創作還提供一種晶圓盒載運設備，其包含：一承載裝置、一氣簾裝置及一控制裝置。承載裝置包含一平台及一充氣模組，平台用以提供一晶圓盒設置，充氣模組能受控制而對設置於平台上的晶圓盒的內部進行充氣作業。氣簾裝置連接一外部供氣設備，氣簾裝置包含：一殼體、至少一透氣板及一固定環。殼體包含有至少一進氣孔及至少一出氣口。透氣板包含有多個透氣孔。固定環套設於透氣板的外圍。其中，透氣板能透過固定環而固定設置於殼體中，且固定環能使透氣板與殼體之間形成氣密的效果。其中，進氣孔能與外部供氣設備相連接，而外部供氣設備所提供的氣體能通過進氣孔進入殼體中，並通過多個透氣孔後，由出氣口向外排出。控制裝置能於設置於平台的晶圓盒的一活動門被控制開啟時，對應控制氣簾裝置作動，而使外部供氣設備所提供的氣體，能通過氣簾裝置而對晶圓盒原設置有活動門的位置進行吹氣。

本創作的有益效果可以在於：氣簾裝置透過固定環及透氣板的相互配合，透氣板可以更方便地固定設置於殼體中，且透過固定環及透氣板的相互配合可以提升透氣板與殼體之間的氣密效果。晶圓盒載運設備透過氣簾裝置及控制裝置的相互配合，可以在晶圓盒的活動門開啟時，利用氣簾裝置於晶圓盒原設置有活動門的位置形成氣流牆，藉此，可有效避免外部環境的污染物進入晶圓盒中。

為使能更進一步瞭解本創作的特徵及技術內容，請參閱以下有關本創作的詳細說明與附圖，然而所附圖式僅提供參考與說明用，並非用來對本創作加以限制者。

100‧‧‧晶圓盒載運設備

1‧‧‧氣簾裝置

10‧‧‧殼體

11‧‧‧蓋板

111‧‧‧進氣孔

112‧‧‧限位結構

12‧‧‧環狀構件

12a‧‧‧通口

12b‧‧‧通口、出氣口

121‧‧‧抵頂結構

30‧‧‧固定環

301‧‧‧上緣限位部

302‧‧‧下緣限位部

303‧‧‧卡合槽

20‧‧‧透氣板

201‧‧‧透氣孔

A‧‧‧承載裝置

A1‧‧‧平台

A11‧‧‧限位組件

A2‧‧‧充氣模組

A3‧‧‧控制模組

B‧‧‧開門組件

F‧‧‧晶圓盒

F1‧‧‧活動門

SP‧‧‧容置空間

圖1、2為本創作的氣簾裝置的示意圖。

圖3、4為本創作的氣簾裝置的分解示意圖。

圖3A為圖3所標示Ⅲ A之局部放大示意圖。

圖5為本創作的氣簾裝置的局部剖視圖。

圖6為圖5的前視示意圖。

圖7為本創作的晶圓盒載運設備的示意圖。

圖8為本創作的晶圓盒載運設備的方塊示意圖。

以下係藉由特定的具體實例說明本創作之氣簾裝置及晶圓盒載運設備的實施方式，熟悉此技術之人士可由本說明書所揭示之內容輕易地瞭解本創作之其他優點與功效。本創作亦可藉由其他不同的具體實例加以施行或應用，本說明書中的各項細節亦可基於不同觀點與應用，在不悖離本創作之精神下進行各種修飾與變更。又本創作之圖式僅為簡單說明，並非依實際尺寸描繪，亦即未反應出相關構成之實際尺寸，先予敘明。以下之實施方式係進一步詳細說明本創作之觀點，但並非以任何觀點限制本創作之範疇。

請一併參閱圖1、圖2、圖3及圖4，其為本創作的氣簾裝置的組合及分解示意圖。如圖所示，氣簾裝置1包含有一殼體10、兩個透氣板20及一固定環30。固定環30用以套設於透氣板20的外圍；套設置有固定環30的透氣板20則固定設置於殼體10中；殼體10能與外部供氣設備相連接，而外部供氣設備所提供的氣體，能進入殼體10中並通過兩個透氣板20而均勻地向外排出。其中，透氣板20的數量可以依據需求加以增減。

具體來說，殼體10可以是包含有一蓋板11及一環狀構件12。蓋板11具有兩個進氣孔111，兩個進氣孔111能與外部供氣設備相連接。圖中所示繪示的進氣孔111僅為示範態樣，在實際應用中，進氣孔111的外型可以是依據需求加以設計；進氣孔111的數量亦不侷限為兩個，其可依據需求增減。蓋板11與環狀構件12可拆卸地相互固定，在實際應用中，蓋板11與環狀構件12的固定方式，例如可以是透過多個螺絲及氣密環相互配合，以氣密地 彼此相互固定。

環狀構件12為中空結構，而環狀構件12包含有兩個通口12a、12b，兩個通口12a、12b彼此相互連通，其中一個通口12b定義為出氣口。蓋板11與環狀構件12相互固定時，蓋板11是對應密封通口12a。關於蓋板11及環狀構件12的外型可以是依據需求加以變化，圖中所示僅為其中一種示範態樣。

固定環30用以套設於透氣板20外圍，所述固定環30可以是一體成型的彈性結構，而固定環30則可以緊密地套設於透氣板20的外圍。換句話說，固定環30套設於透氣板20時，可以是被透氣板20稍微撐開，而固定環30將對應產生彈性回復力，藉此固定環30的內側壁將緊密地貼合於透氣板20的外圍。在實際應用中，固定環30的寬度可以是依據透氣板20的數量進行變化。

在實際應用中，固定環30可以是具有使兩個透氣板20相互固定的功效，但不以此為限，在不同的實施例中，兩個透氣板20彼此間也可以是先透過任何方式相互固定，而後再套設有固定環30。

在特殊的應用中，兩個透氣板20可以是彼此透過任何方式相互固定，而固定環30則可以是僅套設於其中一個透氣板20或是僅套設於兩個透氣板20的部份。又或者，在不同的應用中，環狀構件12中設置的透氣板20是彼此間隔地設置，而固定環30則是對應套設於最靠近出氣口12b的透氣板20。

如圖5及圖6所示，套設有固定環30的兩個透氣板20，固定設置於環狀構件12中，而兩個透氣板20與環狀構件12的內側壁之間，則可以透過固定環30的設置而達到氣密的效果，亦即，透氣板20可以是透過固定環30而氣密地設置於環狀構件12中，如此，透氣板20與環狀構件12之間則可以不透過額外的密封膠，來達到氣密的效果。

更進一步來說，本創作的透氣板20與殼體10之間是透過固 定環30來達到氣密的效果，因此，不會有透過密封膠進行密封時，可能發生的因為密封膠塗佈不均勻，而導致氣密效果不佳的問題，或者因為密封膠於塗佈過程中摻入空氣，而於密封膠中形成氣泡，進而導致氣密效果不佳的問題；再者，利用密封膠進行透氣板20及殼體10之間的密封固定，不但費工且費時，甚至特定的密封膠還需要透過特殊的燈光來使其快速固化，從而導致整體製造成本的上升。本創作的固定環30屬於獨立的構件，其不存在有前述密封膠於塗佈過程中，密封膠內部可能形成氣泡的問題，且固定環30可以快速地套設於透氣板20上，而套設有固定環30的透氣板20同樣也可以快速地安裝於殼體10中，因此，具有安裝方便、快速、省時、省工且節省成本的功效。

特別說明的是，如圖3A所示，其顯示為透氣板20的局部放大示意圖。透氣板20包含有多個透氣孔201，而氣體通過透氣板20的該些透氣孔201後，將可均勻地由透氣板20的一側向外排出。換言之，本創作的氣簾裝置1透過透氣板20的設置，將可使氣體均勻地於透氣板20的一側向外排出，而可於氣簾裝置1的一側形成一道氣流牆。在實際應用中，透氣板20的透氣孔201可以是來自於透氣板20本身自然形成的孔洞，舉例來說，透氣板20可以是由UPE材質製成；當然，透氣板20的透氣孔201也可以是透過人工加工的方式形成，於此不加以限制。在不同的實施例中，殼體10中可以是間隔地設置有多個透氣板20，而不同的透氣板20可以是對應具有不同尺寸的透氣孔。

如前所述，本創作的氣簾裝置1，其所包含的兩個透氣板20是透過固定環30，而氣密地固定設置於殼體10中，因此，透氣板20的一側可以是直接外露於氣簾裝置1，如此，將可使通過透氣板20的氣體直接向外排出。當然，依據實際的需求，前述的環狀構件12於出氣口12b處可以是形成有底板，底板則對應遮蔽出氣口12b，且底板則對應具有多個出氣孔，亦即，通過透氣板20的 氣體將再通過底板的出氣孔才向外排出。

請一併參閱圖3、圖4、圖5及圖6，固定環30的內側可以是形成有一上緣限位部301及一下緣限位部302，且固定環30於上緣限位部301及下緣限位部302之間可以是對應形成有一卡合槽303。當固定環30套設於兩個透氣板20時，透氣板20則對應卡合固定於卡合槽303中，而上緣限位部301及下緣限位部302則對應抵頂於兩個透氣板20彼此相反的兩側，如此，將可以使固定環30更穩固套設於兩個透氣板20的外圍。當然，依據固定環30所套設的透氣板20數量及各透氣板20的厚度，固定環30的卡合槽303的寬度將有所不同。另外，上緣限位部301及下緣限位部302的寬度及其外型，可以是依據需求加以設計，不侷限於圖中所示的態樣。

環狀構件12於出氣口12b處還可以是形成有一抵頂結構121。當套設有固定環30的透氣板20固定設置於環狀構件12中時，抵頂結構121則可以是對應抵頂至少一部份的固定環30，從而可限制固定環30位置。當然，抵頂結構121的外型、寬度可以是依據固定環30及透氣板20的外型進行變化，不侷限圖中所示。另外，於本實施例中，所述抵頂結構121是環繞形成出氣口12b的側壁，但不以此為限，抵頂結構121也可以不是環繞形成出氣口12b的側壁設置。透過抵頂結構121的設置，將可有效限制固定環30及透氣板20的位置外，更可以輔助相關人員或是相關機械進行套設有固定環30的透氣板20的安裝作業；具體來說，相關人員或是相關機械將套設有固定環30的透氣板20固定於環狀構件12中時，當固定環30抵頂抵靠抵頂結構121時，相關人員或是相關機械將可據以知道套設有固定環30的透氣板20已被安裝到正確的位置上。

蓋板11的一側還可以是形成有一限位結構112，而當蓋板11與環狀構件12相互固定時，限位結構112則可以是對應位於環狀 構件12的內側壁，且限位結構112可以是對應抵頂固定環30，而固定環30可以是同時被限位結構112及抵頂結構121擠壓，藉此，固定環30所對應產生的彈性回復力，將可使固定環30的上緣、下緣分別與限位結構112、抵頂結構121緊密地貼合。特別說明的是，於具體的實施中，透過透氣板20、限位結構112、抵頂結構121及固定環30彼此間相對應的尺寸設計，可以使套設有固定環30的透氣板20固定設置於殼體10中時，固定環30同時被限位結構112、抵頂結構121及透氣板20抵壓，而固定環30對應產生的彈性回復力，將據以使透氣板20與殼體10之間形成良好的氣密效果。

如圖6所示，套設有固定環30的兩個透氣板20固定設置於環狀構件12中，且蓋板11與環狀構件12相互固定時，蓋板11、透氣板20及環狀構件12將共同形成有一容置空間SP，而外部供氣設備所提供的氣體，經過進氣孔111將進入容置空間SP；當容置空間SP中的氣體到達一定壓力時，氣體將通過透氣板20的多個透氣孔201，而由出氣口12b均勻地向外排出。

請一併參閱圖7及圖8，其顯示為本創作的晶圓盒載運設備的示意圖。如圖所述，晶圓盒載運設備100包含有一氣簾裝置1、一承載裝置A及一開門組件B。承載裝置A電性連接開門組件B及氣簾裝置1，而承載裝置A能控制開門組件B及氣簾裝置1作動。

承載裝置A包含有一平台A1、一充氣模組A2及一控制模組A3。平台A1用以提供一晶圓盒F(例如是FOUP)設置，平台A1還可以是設置有一限位組件A11及多個氣嘴組件(圖未標示)，限位組件A11能與設置於平台A1的晶圓盒F相互卡合，以限制晶圓盒F相對於平台A1的位置。

充氣模組A2用以對設置於平台A1上的晶圓盒F進行充氣作業。所述充氣模組A2可以是依據需求與至少一個外部供氣設備相連通，且充氣模組A2可以是透過設置於平台A1的氣嘴組件，而 將外部供氣設備所提供的氣體，充入設置於平台A1上的晶圓盒F中。於實際應用中，充氣模組A2可以是包含有進氣管路及排氣管路，而充氣模組A2能利用進氣管路將外部供氣設備所提供的氣體(例如是CDA、氮氣等)，充入設置於平台A1的晶圓盒F中，而充氣模組A2還能利用排氣管路將晶圓盒F中的氣體向外排出。

控制模組A3電性連接充氣模組A2，控制模組A3能控制充氣模組A2對設置於平台A1上的晶圓盒F內部進行充氣作業。控制模組A3例如可以是微處理器、電腦設備等。

開門組件B鄰近於平台A1設置，開門組件B能與設置於平台A1的所述晶圓盒F的一活動門F1相互連接，而帶動活動門F1移動，以使晶圓盒F內部與外連通。在實際應用中，開門組件B可以是與承載裝置A的控制模組A3電性連接，而控制模組A3能據以控制開門組件B的作動，以選擇性地控制開門組件B開啟設置於平台A1上的晶圓盒F的活動門F1。

晶圓盒載運設備100實際的作動方式可以是：當晶圓盒F被設置於平台A1上時，控制模組A3對應控制限位組件A11與晶圓盒F相互連接，以限制晶圓盒F相對於平台A1的活動；而後，控制模組A3將控制充氣模組A2對晶圓盒F的內部進行充氣作業。當晶圓盒F中的晶圓片需要被取出時(或者是晶圓盒F中需要被設置晶圓片)，控制模組A3可以是先確認限位組件A11是否與晶圓盒F相互連接，在限位組件A11與晶圓盒F相互連接的情況下，控制模組A3將控制開門組件B作動，以利用開門組件B開啟晶圓盒F的活動門F1，於此同時，控制模組A3將控制氣簾裝置1作動，以使氣簾裝置1對晶圓盒F原設置有活動門F1的位置吹氣，進而於晶圓盒F原設置有活動門F1的位置形成氣流牆。如此，外部設備在對晶圓盒F內部進行晶圓片的載運時，透過氣流牆的設置，外部環境的微粒、髒污等將不易進入晶圓盒F中，而可有效降低晶圓盒F在活動門F1開啟的過程中，受到外部環境的影響。

特別說明的是，於本實施例中，是以承載裝置A內的控制模組A3控制氣簾裝置1及開門組件B為例，但不以此為限。在不同的應用中，晶圓盒載運設備100還可以是包含有獨立於承載裝置A的控制裝置(圖未示)，而控制裝置電性連接氣簾裝置1、承載裝置A及開門組件B，控制裝置則能對應進行前述控制模組A3所執行的各種控制作業。

如上所述，本創作的晶圓盒載運設備100透過氣簾裝置1、承載裝置A及開門組件B的相互配合，晶圓盒F的活動門F1被開啟時，氣簾裝置1能於晶圓盒F原設置有活動門F1的位置進行吹氣，從而可有效地避免晶圓盒F內部受外部環境影響。

以上所述僅為本創作的較佳可行實施例，非因此侷限本創作的專利範圍，故舉凡運用本創作說明書及圖式內容所做的等效技術變化，均包含於本創作的保護範圍內。

Claims (10)

1. 一種氣簾裝置，其包含：一殼體，其包含有至少一進氣孔及至少一出氣口；至少一透氣板，其包含有多個透氣孔；一固定環，其套設於所述透氣板的外圍；其中，所述透氣板能透過所述固定環而固定設置於所述殼體中，且所述固定環能使所述透氣板與所述殼體之間形成氣密的效果；其中，所述進氣孔能與外部供氣設備相連接，而外部供氣設備所提供的氣體能通過所述進氣孔進入所述殼體中，並通過多個所述透氣孔後，由所述出氣口向外排出。
2. 如請求項1所述的氣簾裝置，其中，所述殼體包含有一環狀構件及一蓋板，所述環狀構件為中空結構，而所述環狀構件具有兩個通口，兩個所述通口彼此相互連通，其中一個所述通口定義為所述出氣口，所述蓋板固定設置於所述環狀構件，且所述蓋板對應密封非所述出氣口的所述通口。
3. 如請求項2所述的氣簾裝置，其中，所述環狀構件於所述出氣口處形成有一抵頂結構，所述抵頂結構能限制所述固定環相對於所述殼體的位置。
4. 如請求項3所述的氣簾裝置，其中，所述蓋板的一側具有一限位結構，所述限位結構及所述抵頂結構能共同抵頂設置於所述殼體中的所述固定環。
5. 如請求項1所述的氣簾裝置，其中，所述固定環為一體成型的彈性結構，且所述固定環內側形成有一上緣限位部及一下緣限位部，所述上緣限位部及所述下緣限位部之間則對應形成有一卡合槽；所述固定環套設於所述透氣板時，所述透氣板對應固定設置於所述卡合槽中，且所述上緣限位部及所述 下緣限位部能對應抵靠所述透氣板彼此相反的兩側。
6. 一種晶圓盒載運設備，其包含：一承載裝置，其包含一平台及一充氣模組，所述平台用以提供一晶圓盒設置，所述充氣模組能受控制而對設置於所述平台上的所述晶圓盒的內部進行充氣作業；一氣簾裝置，其連接一外部供氣設備，所述氣簾裝置包含：一殼體，其包含有至少一進氣孔及至少一出氣口；至少一透氣板，其包含有多個透氣孔；及一固定環，其套設於所述透氣板的外圍；其中，所述透氣板能透過所述固定環而固定設置於所述殼體中，且所述固定環能使所述透氣板與所述殼體之間形成氣密的效果；其中，所述進氣孔能與外部供氣設備相連接，而外部供氣設備所提供的氣體能通過所述進氣孔進入所述殼體中，並通過多個所述透氣孔後，由所述出氣口向外排出；以及一控制裝置，其能於設置於所述平台的所述晶圓盒的一活動門被控制開啟時，對應控制所述氣簾裝置作動，而使所述外部供氣設備所提供的氣體，能通過所述氣簾裝置而對所述晶圓盒原設置有所述活動門的位置進行吹氣。
7. 如請求項6所述的晶圓盒載運設備，其中，所述殼體包含有一環狀構件及一蓋板，所述環狀構件為中空結構，而所述環狀構件具有兩個通口，兩個所述通口彼此相互連通，其中一個所述通口定義為所述出氣口，所述蓋板固定設置於所述環狀構件，且所述蓋板對應密封非所述出氣口的所述通口。
8. 如請求項7所述的晶圓盒載運設備，其中，所述環狀構件於所述出氣口處形成有一抵頂結構，所述抵頂結構能限制所述 固定環相對於所述殼體的位置。
9. 如請求項8所述的晶圓盒載運設備，其中，所述蓋板的一側具有一限位結構，所述限位結構及所述抵頂結構能共同抵頂設置於所述殼體中的所述固定環。
10. 如請求項6所述的晶圓盒載運設備，其中，所述固定環為一體成型的彈性結構，且所述固定環內側形成有一上緣限位部及一下緣限位部，所述上緣限位部及所述下緣限位部之間則對應形成有一卡合槽；所述固定環套設於所述透氣板時，所述透氣板對應固定設置於所述卡合槽中，且所述上緣限位部及所述下緣限位部能對應抵靠所述透氣板彼此相反的兩側。