TWM555561U - 吸嘴 - Google Patents

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TWM555561U
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TW
Taiwan
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deformable layer
nozzle
present
static dissipative
suction
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TW106215839U
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English (en)
Inventor
Ee-Sun Lim
Shih-Chuan Wang
Chin-Hsien Chou
Original Assignee
Gallant Micro Machining Co Ltd
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吸嘴
一種吸嘴,尤指一種具有填縫、再現性佳、磨耗不明顯與精度佳的優點之吸嘴結構。
於精密製程中,特別是半導體產業,其係透過一負壓吸力以吸取一物件。該物件可為晶圓、晶粒、電子零件或工件。
而於吸取物件時,一取放裝置係將至少一吸嘴放置於物件,負壓吸力係透過吸嘴,以吸取物件。故於吸取物件時,吸嘴具有相當的重要性。
現有的吸嘴可分為兩種,一為海綿吸嘴,另一為橡膠吸嘴。海綿吸嘴具有填縫的特性,於負壓吸力作用下,海綿吸嘴會變形,以填補物件與海綿吸嘴之間的間隙。然因海綿為一軟性材質,所以海綿會因物件而改變其形狀。故海綿吸嘴具有重現性差、磨耗明顯與精度差的缺點。
橡膠吸嘴為一硬性材質,所以橡膠吸嘴於吸取物件時可維持其形狀,故具有再現性佳、磨耗不明顯與精度佳的優點。然因硬性材質之橡膠吸嘴於吸取具有錫球之物件時,橡膠吸嘴無法配合錫球的形狀,而改變其形狀,故會有漏氣的情況產生。所以橡膠吸嘴卻具有無法填縫的缺點。
綜合上述,現有的吸嘴,無論是海綿吸嘴或橡膠吸嘴分別具有其缺點,故如何改善現有吸嘴的缺點,其就有可討論的空間。
有鑑於上述之缺點,本創作之目的在於提供一種吸嘴,其係具有填縫、再現性佳、磨耗不明顯與精度佳的優點。
為了達到上述之目的,本創作之技術手段在於提供一種吸嘴,其包含有:一不可變形層;以及一可變形層,其係位於該不可變形層的外側。
於一實施例,該不可變形層具有一突出端,該突出端係突出於該不可變形層。該不可變形層具有一氣孔與一吸室,該氣孔係與該吸室相通,該吸室係被該突出端所環繞。該不可變形層具有一延伸端,該延伸端係位於該可變形層之端部。
綜合上述,本創作之不可變形層具有再現性佳、磨耗不明顯與精度佳的優點。本創作之可變形層具有填縫的優點。所以本創作之吸嘴具有填縫、再現性佳、磨耗不明顯與精度佳的優點,故於吸取物件時能夠使物件不易毀損,並能緊密與物件結合,而使本創作之吸嘴具有更佳的吸取效果。
10‧‧‧可變形層
100‧‧‧突出端
11‧‧‧不可變形層
110‧‧‧吸室
111‧‧‧氣孔
112‧‧‧延伸端
20‧‧‧物件
21‧‧‧錫球
第1圖為為本創作之一種吸嘴之剖視示意圖。
第2圖為本創作之吸嘴於吸取一物件之剖面示意圖。
以下係藉由特定的具體實施例說明本創作之實施方式,所屬技術領域中具有通常知識者可由本說明書所揭示之內容,輕易地瞭解本創作之其他優點與功效。
請配合參考第1圖所示,本創作係一種吸嘴,其具有一可變形層10與一不可變形層11。
可變形層10為軟性且具有靜電消散材質,該軟性且具有靜電消散材質為海綿。可變形層10係包覆於不可變形層11的外側。可變形層10具有一突出端100。該突出端100係突出於不可變層11。
不可變形層11為硬性且具有靜電消散材質,該軟性且具有靜電消散材質係為橡膠。不可變形層11具有一吸室110。吸室110係被突出端100所環繞。不可變形層11具有一氣孔111,氣孔111係與吸室110相通。不可變形層11更具有一延伸端112,延伸端112係位於可變形層10的端部。延伸端112的作用在於降低可變形層10的整體高度或厚度,因可變形層10之厚度越厚或高度越高,其會使得可變形層10難以控制。
本創作之吸嘴係可耦接一吸取裝置與一負壓單元,負壓單元係耦接氣孔111。
請配合參考第2圖所示,當本創作之吸嘴欲吸取一具有錫球20之物件20。負壓單元係透過氣孔111,以提供一真空吸力給吸室110,而使吸室110吸取物件20。
當吸室110具有真空吸力時,突出端100會因真空吸力,而產生形變,進而填補可變形層10與物件20之間的縫隙。
綜合上述,本創作之吸嘴係由可變形層10與不可變形層11所構成。因可變形層10為軟性且具有靜電消散材質,所以可變形層10具有填縫的特性。
因本創作之不可變形層11為硬性且具有靜電消散材質,故具有再現性佳、磨耗不明顯與精度佳的優點。所以當本創作之吸嘴吸取物件20時,不可變形層11可維持原有形狀,而維持原有形狀係表示精度佳。此外,不可變形層11為硬性材質,故於吸取物件20時,不可變形層11較不會被物件20所磨耗。
如上所述,本創作之不可變形層11具有再現性佳、磨耗不明顯與精度佳的優點。本創作之可變形層10具有填縫的優點。而結合不可變形層11之優點與可變形層10之優點的本創作之吸嘴具有填縫、再現性佳、磨耗不明顯與精度佳的優點。
以上所述之具體實施例,僅係用於例釋本創作之特點及功效,而非用於限定本創作之可實施範疇,於未脫離本創作上揭之精神與技術範疇下,任何運用本創作所揭示內容而完成之等效改變及修飾,均仍應為下述之申請專利範圍所涵蓋。
10‧‧‧可變形層
100‧‧‧突出端
11‧‧‧不可變形層
110‧‧‧吸室
111‧‧‧氣孔
112‧‧‧延伸端

Claims (6)

  1. 一種吸嘴,其包含有:一不可變形層;以及一可變形層,其係位於該不可變形層的外側。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之吸嘴,其中該不可變形層具有一突出端,該突出端係突出於該不可變形層。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之吸嘴,其中該不可變形層具有一氣孔與一吸室,該氣孔係與該吸室相通,該吸室係被該突出端所環繞。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之吸嘴,其中該不可變形層為硬性且具有靜電消散材質,該可變形層為軟性且具有靜電消散材質。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之吸嘴,其中該軟性且具有靜電消散材質為海綿,該硬性且具有靜電消散材質為橡膠。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之吸嘴,其中該不可變形層具有一延伸端,該延伸端係位於該可變形層之端部。
TW106215839U 2017-10-26 2017-10-26 吸嘴 TWM555561U (zh)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI700234B (zh) * 2019-08-30 2020-08-01 均華精密工業股份有限公司 晶粒挑揀裝置

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