TWM550771U - 自動門機除塵裝置及自動門機 - Google Patents

Description

自動門機除塵裝置及自動門機

本創作係有關於一種自動門機除塵裝置及自動門機，特別是指一種使用於無塵室之自動門機使用的自動門機除塵裝置及自動門機。

半導體元件、液晶面板、太陽能基板等產品的製程由於需要在高度潔淨的環境下進行，因此皆必須在無塵室內進行生產。由於半導體製程，以及新一代的液晶面板、太陽能基板等製程逐步走向基板尺寸擴大，線寬不斷縮小，且元件密度不斷提高的趨勢發展，因此對於無塵室潔淨程度的要求也日漸提高。因此，除了對於無塵室內各項設備的防塵能力的要求也不斷增加。

現有的無塵室使用的自動門機，其構造通常具有一滑軌，以及連接於滑軌下方的多個活動門板。所述滑軌具有至少一滑槽，且滑槽內部設置有滑輪，以及皮帶等驅動裝置，活動門板透過連接機構和滑輪及皮帶驅動裝置連接，並能夠受皮帶驅動裝置驅動，而沿著滑槽往復位移。

現有的自動門機，由於滑軌內部具有滑輪、皮帶輪等活動零件，且再加上自動門機的活動門必須頻繁地開啟或關閉，因此這些活動零件運轉時必然會產生灰塵微粒，且這些灰塵微粒會從滑軌的開口或間隙飄散出來，而使得自動門機周邊的空間受到灰塵微粒的污染。

由於以上原因，使得自動門機滑軌內部的活動零件摩擦產生的灰塵微粒成為無塵室污染的來源之一。然而，現有採用的降低 自動門機灰塵微粒污染的技術，多數為透過將滾輪、驅動皮帶等零件選用耐磨不易產生灰塵的材料的方式來降低灰塵的產生。然而由於自動門機的滑軌內部的活動零件作動十分頻繁，因此不論選用何種材質，仍然無法完全避免灰塵微粒產生。

故，如何藉由結構設計的改良，來克服現有自動門機容易產生粉塵污染的缺失，已成為該項事業所欲解決的重要課題之一。

本創作實施例在於提供一種能夠有效降低自動門機的粉塵污染的自動門機除塵裝置及自動門機。

本創作其中一實施例提供的一種自動門機除塵裝置，其中所述自動門機包括一滑軌及至少一活動門板，其中所述滑軌具有至少一滑槽，以及一位於所述滑槽上方的頂板，至少一所述活動門板的上端容置於所述滑中槽中且能沿著所述滑槽的縱軸方向往復位移，所述自動門機除塵裝置包括：多個排塵孔，多個所述排塵孔沿著和至少一所述滑槽平行的方向設置於所述頂板上，多個所述排塵孔和至少一所述滑槽相互連通；一吸塵箱，所述吸塵箱覆蓋於多個所述排塵孔的上方，所述吸塵箱內部形成一氣流通道，多個所述排塵孔和所述氣流通道相互連通；一負壓裝置，所述負壓裝置和所述吸塵箱連接，用以使所述吸塵箱內部的所述氣流通道產生負壓。

本創作一較佳實施例中，其中至少一所述滑槽的底側具有一開口，多個所述排塵孔沿著和至少一所述滑槽的縱軸平行的方向設置於所述頂板上，所述吸塵箱沿著和所述滑槽的縱軸平行的方向設置於所述頂板上，多個所述排塵孔被所述吸塵箱所覆蓋，當所述吸塵箱內部的所述氣流通道形成負壓狀態時，能夠產生一從所述開口進入到至少一所述滑槽中，再經由多個所述排塵孔進入到所述氣流通道中的氣流，而使得至少一所述滑槽內部的灰塵粒子被所述氣流攜帶到所述氣流通道中。

本創作一較佳實施例中，其中所述負壓裝置包括：多個抽氣裝置，多個所述抽氣裝置設置於所述吸塵箱的一側面，多個所述抽氣裝置的一端和所述吸塵箱連接。

本創作一較佳實施例中，其中多個所述抽氣裝置相對於所述吸塵箱的另外一端分別設有一過濾裝置，所述抽氣裝置能夠將所述氣流通道內的氣體抽出，並使抽出的氣體通過所述過濾裝置。

本創作一較佳實施例中，其中所述負壓裝置為一抽氣管，所述抽氣管連接於一負壓抽氣裝置。

本創作實施例還提供一種自動門機，包括：一滑軌，所述滑軌具有至少一滑槽，以及一位於所述滑槽上方的頂板，所述頂板上設有多個排塵孔，多個所述排塵孔和至少一所述滑槽連通；至少一活動門板，至少一所述活動門板的上端透過多個連接裝置連接於至少一所述滑槽中，並能夠沿著至少一所述滑槽的縱軸方向往復位移；一吸塵箱，所述吸塵箱設置於所述頂板的上方，所述吸塵箱覆蓋於多個所述排塵孔的上方，所述吸塵箱內部形成一氣流通道，多個所述排塵孔和所述氣流通道相互連通；一負壓裝置，所述負壓裝置和所述吸塵箱連接，用以使所述吸塵箱內部的所述氣流通道產生負壓。

為使能更進一步瞭解本創作的特徵及技術內容，請參閱以下有關本創作的詳細說明與附圖，然而所附圖式僅提供參考與說明用，並非用來對本創作加以限制者。

1‧‧‧自動門機

2‧‧‧牆面

10‧‧‧滑軌

11‧‧‧鋁擠型本體

12‧‧‧滑槽

121‧‧‧開口

13‧‧‧頂板

14‧‧‧排塵孔

15‧‧‧隔板

16‧‧‧底板

20‧‧‧活動門

21‧‧‧活動門板

22‧‧‧連接裝置

23‧‧‧滑輪

30‧‧‧吸塵箱

31‧‧‧氣流通道

32‧‧‧抽氣管

40‧‧‧負壓裝置

40a‧‧‧負壓抽氣裝置

41‧‧‧抽氣裝置

42‧‧‧過濾裝置

43‧‧‧控制箱

圖1為本創作第一實施例的組合剖面圖。

圖1A為本發名第一實施例的局部放大組合剖面圖。

圖2為本創作第一實施例的組合正面視圖。

圖3為本創作第一實施例的俯視圖。

圖4為本創作自動門機除塵裝置第一實施例的立體構造示意圖。

圖5為本創作第二實施例的組合剖面圖。

本創作為一種使用於無塵室使用的自動門機除塵裝置及自動門機。如圖1至圖4所示，為本創作自動門機1的第一實施例，本創作的自動門機1包括：一滑軌10、一活動門20、一吸塵箱30、及多個負壓裝置40。

其中所述滑軌10具有一鋁擠型本體11，如圖1及圖1A所示，該實施例中，所述滑軌10能夠安裝於一牆面2上，並透過滑軌10將活動門20安裝於牆面2的門口處。所述滑軌10的頂面具有一頂板13，頂板13的底部形成兩相互並排的滑槽12，兩滑槽12之中具有一隔板15，用以將兩滑槽12隔離開來。兩滑槽12的底部分別具有一開口121，且滑軌10的底部位於所述滑槽12的開口121的兩側分別具有一向內延伸的底板16。

所述活動門20具有多個活動門板21，每一所述活動門板21的上端分別具有多個連接裝置22，並透過連接裝置22連接於滑軌10底部的滑槽12中。該實施例中，活動門板21頂端的連接裝置22分別連接多個滑輪23，且多個滑輪23和滑軌10的底板16相互配合，藉以使得活動門板21受滑槽12引導，而能夠沿著滑槽12的縱軸方向往復位移。滑槽12的內部還進一步設有皮帶驅動裝置(圖中未式)，藉以驅動各個活動門板21產生位移，而使得活動門20成為開啟或關閉狀態。

本創作於滑軌10的頂板13上對應於各個滑槽12的位置設有多個排塵孔14，如圖4所示，多個所述排塵孔14是以和滑槽12的縱軸平行的方向設置於頂板13上，因此使得每一個排塵孔14和滑槽相互連通。

所述吸塵箱30設置於滑軌10的上方，該實施例中，吸塵箱30為一矩形斷面的箱體，且吸塵箱30的底部連接於頂板13的上方，並且將多個排塵孔14覆蓋住。吸塵箱30的內部形成一氣流通道31，因此使得多個所述排塵孔14和所氣流通道31相互連通。 所述負壓裝置40和吸塵箱30連接，且透過負壓裝置40將吸塵箱30內部的氣體抽出，而使得吸塵箱30內部的氣流通道31形成負壓狀態。

如圖1及圖1A所示，由於頂板13上的多個排塵孔14被吸塵箱30所覆蓋，且各個滑槽12能夠透過排塵孔14和氣流通道31連通，因此當吸塵箱30內部產生負壓時，能夠透過真空吸力將各個滑槽12內部的氣體吸引進入到氣流通道31中，因此將會形成從滑槽的開口121進入到滑槽12中，然後再經由排塵孔14進入到氣流通道31內部的氣流。因此，透過氣流通道31內部的負壓，能夠強迫氣流僅能夠單向地從滑槽12流動到氣流通道31中，因此能夠將滑槽12內部的灰塵、微粒等吸入到吸塵箱30中，再經由負壓裝置40將灰塵及微粒帶出吸塵箱30。

如圖2、圖3及圖4所示，本創作第一實施例中，各個負壓裝置40安裝於吸塵箱30的側面。該實施例中，每一個負壓裝置40分別包括有一抽氣裝置41，以及一過濾裝置42。其中抽氣裝置41內部具有排風扇，且抽氣裝置41的一端和吸塵箱30連接，而另一端和所述過濾裝置42連接，透過所述抽氣裝置41能夠將所述氣流通道31內的氣體抽出，並迫使從氣流通道31抽出的氣體通過所述過濾裝置42。

該實施例中，所述過濾裝置42內部具有多個濾網，過濾裝置42採用的濾網能夠為一高效濾網(HEPA,High-Efficiency Particulate Air)，透過過濾裝置42能夠將抽氣裝置41抽出的氣體中所含的灰塵微粒攔阻下來，避免灰塵微粒又散發到空氣中，以避免灰塵微粒污染自動門機周邊的空間。該所述過濾裝置42能夠容易地拆下更換或清理，以使得過濾裝置42使用一段時間後，仍能夠維持良好除塵效果，並避免氣流阻塞。

該實施例中，所述吸塵箱30是沿著和滑槽12的縱軸平行的方向設置於滑軌10的上方，而多個所述負壓裝置40也是沿著和 滑槽12的縱軸平行的方向，並以適當間距設置在吸塵箱30上。同時，該實施例在吸塵箱30的一側邊進一步附加一控制箱43，用以連接多個所述負壓裝置40，並控制多個所述負壓裝置40的運轉。

需注意的是，多個所述負壓裝置40設置的位置，以及間隔距離能夠依照氣流模擬分析的結果，而選擇其設置於吸塵箱30上的位置及間距，以使得各個負壓裝置40運轉時，能夠使得吸塵箱30內部氣流通道31各個位置產生的負壓力值平均，而使得各個滑槽12內部的氣體能夠以穩定的流速及壓力進入到吸塵箱30內，以確保滑軌10的各個滑槽12內部的灰塵微粒都能夠被吸入到吸塵箱30內。

本創作第一實施例透過上述技術手段，能夠使得自動門機1的滑軌10內部的各個活動零件(如：滑輪23、皮帶驅動機構等)產生的灰塵微粒都能夠被吸入到吸塵箱30內，並經由負壓裝置40將灰塵微粒帶離吸塵箱30，因此能夠有效地防止自動門機1的滑軌10內部活動零件摩擦所產生的灰塵微粒污染到周邊空間的空氣，而能夠符合新一代無塵室更高規格的防塵要求。

如圖2所示，為本創作自動門機的第二實施例，本創作第二實施例中，自動門機1的基本構造和第一實施例相同，因此重複的元件在此不再重複介紹。第二實施例中，所採用的負壓裝置並未直接和吸塵箱30連接，而是經由延伸管路和吸塵箱連接。該實施例中，負壓裝置包括有一抽氣管32，所述抽氣管32的一端和吸塵箱30連接，且另一端和一負壓抽氣裝置40a連接，所述負壓抽氣裝置40a可以為一真空泵浦或抽風機，此外也可以為半導體廠房或無塵室內的真空管路，透過所述負壓抽氣裝置40a，能夠產生一真空吸力，並經由抽氣管32將吸塵箱30內部氣體抽出，且將吸塵箱30內的灰塵微粒帶離吸塵箱30。

本創作第二實施例同樣能夠有效除去自動門機1的滑軌10內 部活動零件產生的灰塵微粒，而達到提高自動門機1的潔淨度及防塵能力的效果。

以上所述僅為本創作的較佳可行實施例，非因此侷限本創作的專利範圍，故舉凡運用本創作說明書及圖式內容所做的等效技術變化，均包含於本創作的保護範圍內。

1‧‧‧自動門機

2‧‧‧牆面

10‧‧‧滑軌

11‧‧‧鋁擠型本體

12‧‧‧滑槽

13‧‧‧頂板

14‧‧‧排塵孔

20‧‧‧活動門

21‧‧‧活動門板

30‧‧‧吸塵箱

31‧‧‧氣流通道

40‧‧‧負壓裝置

41‧‧‧抽氣裝置

42‧‧‧過濾裝置

Claims (10)

1. 一種自動門機除塵裝置，其中所述自動門機包括一滑軌及至少一活動門板，其中所述滑軌具有至少一滑槽，以及位於至少一所述滑槽上方的一頂板，至少一所述活動門板的上端容置於至少一所述滑槽中且能沿著至少一所述滑槽的縱軸方向往復位移，所述自動門機除塵裝置包括：多個排塵孔，多個所述排塵孔設置於所述頂板上對應於至少一所述滑槽的位置，多個所述排塵孔和至少一所述滑槽相互連通；一吸塵箱，所述吸塵箱覆蓋於多個所述排塵孔的上方，所述吸塵箱內部形成一氣流通道，多個所述排塵孔和所述氣流通道相互連通；以及一負壓裝置，所述負壓裝置和所述吸塵箱連接，用以使所述吸塵箱內部的所述氣流通道產生負壓。
2. 如請求項1所述的自動門機除塵裝置，其中至少一所述滑槽的底側具有一開口，多個所述排塵孔沿著和至少一所述滑槽的縱軸平行的方向設置於所述頂板上，所述吸塵箱沿著和所述滑槽的縱軸平行的方向設置於所述頂板上，多個所述排塵孔被所述吸塵箱所覆蓋，當所述吸塵箱內部的所述氣流通道形成負壓狀態時，能夠產生一從所述開口進入到至少一所述滑槽中再經由多個所述排塵孔進入到所述氣流通道中的氣流，而使得至少一所述滑槽內部的灰塵粒子被所述氣流攜帶到所述氣流通道中。
3. 如請求項2所述的自動門機除塵裝置，其中所述負壓裝置包括：多個抽氣裝置，多個所述抽氣裝置設置於所述吸塵箱的一側面，多個所述抽氣裝置的一端和所述吸塵箱連接。
4. 如請求項3所述的自動門機除塵裝置，其中多個所述抽氣裝置相對於所述吸塵箱的另外一端分別設有一過濾裝置，所述過濾 裝置具有多個濾網，所述抽氣裝置能夠將所述氣流通道內的氣體抽出，並使抽出的氣體通過所述過濾裝置。
5. 如請求項2所述的自動門機除塵裝置，其中所述負壓裝置為一抽氣管，所述抽氣管連接於一負壓抽氣裝置。
6. 一種自動門機，包括：一滑軌，所述滑軌具有至少一滑槽，以及位於至少一所述滑槽上方的頂板，所述頂板和至少一所述滑槽對應的位置設有多個排塵孔，多個所述排塵孔和至少一所述滑槽連通；至少一活動門板，至少一所述活動門板的上端透過多個連接裝置連接於至少一所述滑槽中，並能夠沿著至少一所述滑槽的縱軸方向往復位移；一吸塵箱，所述吸塵箱設置於所述頂板的上方，所述吸塵箱覆蓋於多個所述排塵孔的上方，所述吸塵箱內部形成一氣流通道，多個所述排塵孔和所述氣流通道相互連通；以及一負壓裝置，所述負壓裝置和所述吸塵箱連接，用以使所述吸塵箱內部的所述氣流通道產生負壓。
7. 如請求項6所述的自動門機，其中所述滑軌為一鋁擠型件，至少一所述滑槽成型於所述滑軌的底側，至少一所述滑槽的底側具有一開口，當所述吸塵箱內部的所述氣流通道形成負壓狀態時，能夠產生一從所述開口進入到至少一所述滑槽中，再經由多個所述排塵孔進入到所述氣流通道中的氣流，而使得至少一所述滑槽內部的灰塵粒子被所述氣流攜帶到所述氣流通道中。
8. 如請求項7所述的自動門機，其中所述負壓裝置包括：多個抽氣裝置，多個所述抽氣裝置設置於所述吸塵箱的一側面，多個所述抽氣裝置的一端和所述吸塵箱連接。
9. 如請求項8所述的自動門機，其中多個所述抽氣裝置相對於所述吸塵箱的另外一端分別設有一過濾裝置，所述過濾裝置具有多個濾網，所述抽氣裝置能夠將所述氣流通道內的氣體抽出， 並使抽出的氣體通過所述過濾裝置。
10. 如請求項7所述的自動門機，其中所述負壓裝置為一抽氣管，所述抽氣管連接於一負壓抽氣裝置。