TWM528016U - 活動式載具 - Google Patents

Description

活動式載具

本創作是有關一種載具，特別是關於一種可調整及可分離的活動式載具。

隨著半導體工業持續的進展，超大型積體電路(Ultra Large Scale Integrated Circuits；ULSI)需經過多道繁複的處理程序，例如蝕刻、研磨、擴散、沈積等步驟，才能生產出來。對同一批次的晶圓而言，由投片生產到出貨，要在數個機台間反覆的傳遞運送並進行各站的製程才能完成。如圖1所示，目前大多在天花板10設置移動裝置14，利用與移動裝置14接合的載具16承載裝置晶圓的晶圓盒18，使晶圓盒18在機台12間傳送，俾使晶圓進入機台12而進行各種製程。

然而，移動裝置14以及載具16的設置通常在機台12安裝之前完成，因此，當機台12安裝時，常因空間的需求而必需將載具16移除，待機台12安裝完成後，再將載具16重新安裝至移動裝置14上。習知載具16的尺寸是固定的，不具有可活動的配置，且載具16藉由數個固定單元(例如螺栓)15與移動裝置14接合，因此載具16的移除或安裝是通過將整個載具16從移動裝置14上拆下或將整個載具16安裝至移動裝置14上而達成。換言之，欲將載具16移除時，要先將數個固定單元15從位於天花板10的移動裝 置14上完全拆下，而欲將載具16安裝至移動裝置14上時，要將數個固定單元15穿過載具16與位於天花板10的移動裝置14並均勻固定，在此過程中，需在載具16下方提供支撐以避免載具16掉落，且在拆下或固定固定單元15時，載具16易因受力不平均而變形，由於載具16的尺寸約為2公尺×0.5公尺×1.1公尺，在移除載具16或安裝載具16時，為了避免載具16不慎掉落或變形，需花費大量的人力及時間，造成使用的不便，此外，若機台12安裝時的高度稍有偏移或日後對機台12進行修改或調整導致機台12的高度偏移時，由於載具16的尺寸是固定的，因此無法調整載具16的高度而使載具16繼續適用，限制了載具16的使用彈性。

因此，一種使用方便且具有彈性的活動式載具，乃為所冀。

本創作的目的之一，在於提出一種活動式載具。

本創作的目的之一，在於提出一種可調整及可分離的載具。

根據本創作，一種活動式載具用以連接設置於天花板的移動裝置以運送一物件，該活動式載具包括：第一部分及第二部分，該第二部分與該第一部分為活動式設計以調整該活動式載具的高度或使該第二部分與該第一部分分離。該第一部分包含第一柱體，其具有第一端部連接該移動裝置以及第二端部具有螺栓。該第二部分包含具有一水平面以承載該物件的底座以及連接單元，該連接單元包含第二柱體，其具有凹槽用以容納該第一柱體，第三端部連接該底座，以及第四端部沿與該水平面垂直的方向延伸至該第二端部並具有穿孔供該螺栓穿過。該第一部分與該第二部分藉由鎖緊該螺栓而緊密結合以及藉由鬆開該螺栓而相對移動或彼此分離， 進而增加使用的方便性及彈性。

10‧‧‧天花板

12‧‧‧機台

14‧‧‧移動裝置

15‧‧‧固定單元

16‧‧‧載具

18‧‧‧晶圓盒

20‧‧‧活動式載具

22‧‧‧第一部分

24‧‧‧柱體

26‧‧‧端部

28‧‧‧端部

30‧‧‧螺栓

32‧‧‧螺栓頭

34‧‧‧第二部分

36‧‧‧底座

37‧‧‧末端

38‧‧‧連接單元

40‧‧‧柱體

42‧‧‧凹槽

44‧‧‧端部

46‧‧‧端部

48‧‧‧穿孔

50‧‧‧邊條

52‧‧‧邊條

54‧‧‧邊條

55‧‧‧底部

56‧‧‧邊框

57‧‧‧頂部

58‧‧‧反光支架

60‧‧‧區域

62‧‧‧區域

63‧‧‧區域

64‧‧‧底板連接板

65‧‧‧區域

66‧‧‧支架

68‧‧‧支架

70‧‧‧支架

72‧‧‧支架

74‧‧‧支架

76‧‧‧定位單元

圖1顯示習知載具與移動裝置連接的示意圖；圖2顯示本創作的活動式載具第一部分與第二部分分離的示意圖；圖3顯示本創作的活動式載具第一部分與第二部分組合的示意圖；圖4顯示圖2中底座的平面圖；圖5顯示底座與連接單元連接的示意圖；圖6顯示本創作的活動式載具與移動裝置連接的示意圖；圖7顯示鬆開螺栓的示意圖；圖8顯示拉出螺栓的示意圖；圖9顯示將穿孔中孔徑較大的區域移至螺栓位置的示意圖；圖10顯示螺栓移出穿孔的示意圖；以及圖11顯示第一部分與第二部分分離的示意圖。

圖2顯示活動式載具20的第一部分22及第二部分34分離的示意圖，圖3顯示活動式載具20的第一部分22及第二部分34組合的示意圖。參考圖2及圖3，活動式載具20包括可活動的第一部分22及第二部分34，第一部分22包含柱體24，柱體24具有端部26連接如圖1所示的移動裝置14以及端部28具有螺栓30，例如將螺栓30鎖入端部28，第二部分34包括底座36具有一水平面以承載物件，例如承載裝置晶圓的晶圓盒，以及連接單元38，連 接單元38包含柱體40，柱體40具有凹槽42及二端部44及46，凹槽42的內徑略大於柱體24的管徑，且凹槽42的形狀對應於柱體24的外形以容納柱體24，較佳者，柱體40與柱體24具有相似的外形，例如當柱體24為方形管時，柱體40為「ㄇ」形管，以將柱體24容納於「ㄇ」形的凹槽42中使柱體24可在凹槽42中移動。柱體40的端部46連接底座36，例如端部46經由螺栓、鉚釘或焊接與底座36接合，端部44沿與底座36的水平面垂直的方向延伸至柱體24的端部28並具有穿孔48供螺栓30穿過，藉由鎖緊螺栓30使第一部分22與第二部分34緊密結合，以及藉由鬆開螺栓30使第一部分22與第二部分34相對移動以調整活動式載具20的高度，或者使第一部分22與第二部分34彼此分離。在本實施例中，連接單元38包含四個成矩形配置的柱體40，以及第一部分22包含四個柱體24分別對應柱體40。

參考圖2，柱體40的端部44的穿孔48具有區域60及區域62，區域60具有供螺栓30的螺栓頭32穿過的孔徑D1，區域62具有介於螺栓30的直徑與螺栓30的螺栓頭32的直徑之間的孔徑D2，藉由將螺栓頭32穿過區域60使螺栓30進入區域62中，再鎖緊螺栓30，使活動式載具20的第一部分22與第二部分34緊密結合，成為如圖3所示的組合圖。在不同的實施例中，可改變區域62的長度或形狀，當圖1的機台12的高度有所偏移時，可藉由改變螺栓30在區域62中的位置，調整活動式載具20的高度，而使活動式載具20能繼續適用，增加活動式載具20的使用彈性。此外，當將螺栓30鬆開時，基於重力的作用，第二部分34將向下移動而使螺栓30進入區域62中，可避免活動式載具20的第二部分34掉落損壞。

參考圖2及圖3，在本實施例中，活動式載具20除了包括包含 柱體24的第一單元22、底座36及包含柱體40的連接單元38外，還包括反光支架58、邊框56以及邊條50、52及54。反光支架58位於底座36上，例如經由螺栓、鉚釘或焊接等接合方式將反光支架58與底座36接合，邊條50位於連接單元38四周，例如經由螺栓、鉚釘或焊接等接合方式將邊條50與連接單元38接合，形成與底座36相距距離H1的第一護欄以避免連接單元38變形，邊框56位於底座36的末端37，邊框56的底部55連接底座36，例如經由例如螺栓、鉚釘或焊接等接合方式將邊框56的底部55與底座36的末端37接合，邊框56的頂部57沿與底座36的水平面垂直的方向延伸遠離底座36並與底座36相距距離H4，邊條52及54分別位於與末端37相鄰之底座36的二側邊並分別在與底座36相距距離H2及距離H3處與連接單元38連接，例如經由螺栓、鉚釘或焊接等接合方式將邊條52及54與連接單元38接合，邊條52及54以及邊框56形成第二護欄以避免底座36上的物件掉落。其中，距離H2、H3及H4小於距離H1，較佳者，距離H2大於距離H3，以及距離H4介於距離H2與距離H3之間。

圖4顯示底座36的平面圖，圖5顯示底座36與連接單元38連接的示意圖。參考圖4及圖5，底座36包括底板連接板64沿Y方向延伸並與連接單元38連接，支架66、68、70及72沿與Y方向垂直的X方向延伸並沿Y方向彼此間隔固定於底板連接板64上，例如支架66、68、70及72經由螺栓、鉚釘或焊接等接合方式固定於底板連接板64上，支架68及70位於支架66及72之間，以及支架74沿Y方向延伸，支架74的兩端分別連接支架68及70，例如支架74經由螺栓、鉚釘或焊接等接合方式與支架68及70接合，其中支架66、68、70、72及74構成一水平面(即X-Y平面)以放置物件，以及支架68及70上 具有定位單元76以定位該物件，較佳者，支架66、68、70、72及74為鋁擠型。在本實施例中，底座36包含二個底板連接板64以及三個支架74，底板連接板64與支架74彼此沿X方向間隔配置，每一底板連接板64的一端突出於支架72形成區域65，另一端與支架66的外側切齊，在支架66及68之間形成區域63，柱體40的端部46與區域63及65連接而使連接單元38與底座36連接，例如柱體40的端部46經由螺栓、鉚釘或焊接等接合方式與區域63及65接合而使連接單元38與底座36接合。

如圖6所示，活動式載具20與設置在天花板10的移動裝置14連接，例如活動式載具20經由固定單元(例如螺栓)15與移動裝置14接合，以運送裝置晶圓的晶圓盒18，使晶圓盒18在機台12間傳送而進行各種製程。當欲移除活動式載具20時，可藉由將活動式載具20的第二部分34與第一部分22分離來達成，無需將整個活動式載具20從移動裝置14上拆下。如圖7及圖8所示，當欲將活動式載具20的第二部分34與第一部分22分離時，先將固定第一部分22及第二部分34的螺栓30鬆開，再拉出螺栓30，此時，基於重力的作用，第二部分34會向下移動使螺栓30進入穿孔48中孔徑較小的區域，避免活動式載具20的第二部分34掉落損壞，接著，如圖9所示，將第二部分34向上移動使穿孔48中孔徑較大的區域移至螺栓30的位置，如圖10所示，將第二部分34水平移動使螺栓30從穿孔48中孔徑較大的區域移出，最後，如圖11所示，將第二部分34放下使第二部分34與第一部分22分離，達成移除活動式載具20的目的。同樣地，當欲安裝活動式載具20時，可藉由將第二部分34舉起使螺栓30穿過穿孔48並鎖緊螺栓30，使活動式載具20的第一部分22與第二部分34緊密結合來達成。本創作的活動式載具20 的螺栓30在鬆開後會進入穿孔48中孔徑較小的區域，因此在將活動式載具20移除或安裝的過程中，無需在活動式載具20的下方提供支撐以避免活動式載具20掉落，此外，在移動活動式載具20的第二部分34之前，螺栓30為鬆開狀態，因此移動第二部分34時，活動式載具20不會因受力不平均而變形，大幅減少為了避免載具掉落或變形所需花費的人力及時間，增加了使用的便利性。

20‧‧‧活動式載具

22‧‧‧第一部分

24‧‧‧柱體

26‧‧‧端部

28‧‧‧端部

30‧‧‧螺栓

32‧‧‧螺栓頭

34‧‧‧第二部分

36‧‧‧底座

37‧‧‧末端

38‧‧‧連接單元

40‧‧‧柱體

42‧‧‧凹槽

44‧‧‧端部

46‧‧‧端部

48‧‧‧穿孔

50‧‧‧邊條

52‧‧‧邊條

54‧‧‧邊條

55‧‧‧底部

56‧‧‧邊框

57‧‧‧頂部

58‧‧‧反光支架

60‧‧‧區域

62‧‧‧區域

Claims (9)

1. 一種活動式載具，連接設置於天花板的移動裝置以運送一物件，該活動式載具包括：第一部分，該第一部分包含第一柱體，該第一柱體具有第一端部連接該移動裝置以及第二端部具有螺栓；以及第二部分，用以承載該物件，該第二部分與該第一部分為活動式設計以調整該活動式載具的高度或使該第二部分與該第一部分分離，該第二部分包含：底座，具有一水平面以放置該物件；以及連接單元，該連接單元包含第二柱體，該第二柱體具有凹槽用以容納該第一柱體，第三端部連接該底座，以及第四端部沿與該水平面垂直的方向延伸至該第二端部並具有穿孔供該螺栓穿過；其中，該第一部分與該第二部分藉由鎖緊該螺栓而緊密結合以及藉由鬆開該螺栓而相對移動或彼此分離。
2. 如請求項1之活動式載具，其中該穿孔具有第一區域及第二區域，該第一區域具有第一孔徑供該螺栓的螺栓頭穿過，以及該第二區域具有第二孔徑介於該螺栓的直徑與該螺栓的螺栓頭的直徑之間。
3. 如請求項1之活動式載具，其中該底座包括：底板連接板，沿第一方向延伸並連接該連接單元；第一支架、第二支架、第三支架及第四支架沿與該第一方向垂直的第二方向延伸並沿該第一方向彼此間隔固定於該底板連接板上，該第二支架及該第三支架位於該第一支架及該第四支架之間；以及第五支架，沿該第一方向延伸，其兩端分別連接該第二支架與第三支架；其中，該第一支架、該第二支架、該第三支架、該第四支架及該第五支 架構成該水平面以放置該物件。
4. 如請求項3之活動式載具，其中該第二支架及該第三支架上具有定位單元以定位該物件。
5. 如請求項3之活動式載具，其中該第一支架、該第二支架、該第三支架、該第四支架及該第五支架包括鋁擠型。
6. 如請求項1之活動式載具，更包括：第一邊條，位於該連接單元的四周並形成與該底座相距第一距離的第一護欄以避免該連接單元變形；第二邊條及第三邊條，分別位於該連接單元的相對兩側並與該底座相距小於該第一距離的第二距離及第三距離；以及邊框，位於該底座的末端，該邊框的底部與該底座連接，該邊框的頂部沿與該水平面垂直的方向延伸遠離該底座並與該底座相距小於該第一距離的第四距離；其中，該邊框、該第二邊條及第三邊條形成第二護欄以避免該物件掉落。
7. 如請求項6之活動式載具，其中該第二距離大於該第三距離。
8. 如請求項6之活動式載具，其中該第四距離介於該第二距離與第三距離之間。
9. 如請求項1之活動式載具，更包括反光支架位於該底座上。