TWM512214U - 夾持式搬運治具 - Google Patents

Description

夾持式搬運治具

本創作係關於一種夾持式搬運治具，尤指一種適用於太陽能面板製程之夾持式搬運治具。

過去製作太陽能板時，其表面所用於吸收光能之晶圓片係為一般習知的亮面材質，然而，近幾年研究發現，若改變晶圓片之表面特性，例如：透過一種新式之濕式噴沙製程，將過去常用之亮面材質改良為霧化表面，可在每單位面積下增加約為0.12%之太陽能轉換率，其累積的轉換電量是相當可觀的。

然而，上述的濕式噴沙製程將在晶圓片之上表面施以高壓乾燥空氣與砂漿的交互作用，若仍採用傳統真空吸附或簡易夾持之固定承載座形式，因晶圓片的厚度僅200微米，若沒有完全貼附固定於承載座上，將會大幅提升破片及晶圓片位移的機率，以至於降低產能及良率。創作人緣因於此，本於積極創作之精神，亟思一種可以解決上述問題之夾持式搬運治具，幾經研究實驗終至完成本創作。

本創作之主要目的係在提供一種夾持式搬運治具，主要用於太陽能面板製作之濕式噴沙製程中，藉以強化承載座對於晶圓片之夾持能力，在高壓氣體及砂漿的沖刷下，仍具有高度的固定性且不易產生破片，同時有助於產能的提升。

為達成上述目的，本創作之夾持式搬運治具，包括有：一底板、一承板以及複數夾持器，底板之四周邊緣設置有複數凹槽；承板放置於底板之上方，用以承載一晶圓片；在每一凹槽內設有對應之夾持器，每一夾持器包括有一頂推部、一連結部及一基部，基部容置於凹槽中，連結部係以一彈簧連接底板，頂推部鄰近承板及晶圓片。

其中，在複數夾持器夾持承板之狀態下，每一彈簧之彈簧拉力使每一夾持器傾斜一角度並頂抵承板及晶圓片。藉此，承板及晶圓片之各方向均勻受彈簧力之頂抵作用，使得二者之間不會產生相對滑移，可在惡劣的外在環境下，保有晶圓片的完整性。

相對地，在複數夾持器未夾持承板之狀態下，可透過一控制單元控制複數致動器頂抵每一基部，使每一夾持器朝相反側傾斜一角度並未頂抵承板及晶圓片。藉此，透過上述步驟可抵銷夾持器之彈簧拉力，用以進行裝載或卸除承板上之晶圓片。

或者，在複數夾持器未夾持承板之狀態下，可透過一控制單元控制複數致動器拉動每一頂推部，使每一 夾持器朝相反側傾斜一角度並未頂抵該承板及該晶圓片。藉此，透過上述步驟可抵銷夾持器之彈簧拉力，用以進行裝載或卸除承板上之晶圓片。

上述夾持式搬運治具可置放於一輸送帶上。藉此，在批次量產的過程中，每一夾持式搬運治具可接續地置放於輸送帶上，用以進行連續性之濕式噴砂製程或其他表面處理作業。

上述承板可具有複數中空流道，且承板之上表面具有與複數中空流道連通之複數氣孔。藉此，在卸除晶圓片之過程中，可利用複數中空流道與複數氣孔吹送出氣體，產生氣浮之效果，使得晶圓片漂浮在承板上，避免取出晶圓片時，因黏著於承板上之附著力作用而發生破片之情況。

上述複數夾持器係分別設置於承板之四側邊，且每一夾持器可分別等距設置於承板之每一側邊。藉此，透過前述夾持器的設置方式，提供各方向上均等之夾持力，使得晶圓片穩固地夾持於承板之上，且不易產生破片之情況。

以上概述與接下來的詳細說明皆為示範性質是為了進一步說明本創作的申請專利範圍。而有關本創作的其他目的與優點，將在後續的說明與圖示加以闡述。

1‧‧‧夾持式搬運治具

2‧‧‧底板

20‧‧‧固定柱

21‧‧‧凹槽

211‧‧‧限位座

3‧‧‧承板

31‧‧‧晶圓片

32‧‧‧中空流道

33‧‧‧氣孔

4‧‧‧夾持器

41‧‧‧頂推部

42‧‧‧連結部

43‧‧‧基部

5‧‧‧彈簧

圖1係本創作第一較佳實施例之夾持式搬運治具之立體圖。

圖2係本創作第一較佳實施例之夾持式搬運治具之分解圖。

圖3係本創作第一較佳實施例之夾持式搬運治具在夾持狀態下之A-A剖視圖。

圖4係本創作第一較佳實施例之夾持式搬運治具在未夾持狀態下之A-A剖視圖。

圖5係本創作第二較佳實施例之夾持式搬運治具在未夾持狀態下之A-A剖視圖。

請參閱圖1及圖2，係本創作第一較佳實施例之夾持式搬運治具之立體圖及分解圖。圖中出示一種夾持式搬運治具1包括有一底板2、一承板3及複數夾持器4，並將一晶圓片31置放於承板3上。其中，本創作之夾持式搬運治具1係用於太陽能面板製作之濕式噴沙製程中，藉以強化承載座對於晶圓片31之夾持能力，且在批次量產的過程中，每一夾持式搬運治具1係接續地置放於輸送帶(圖未示)上，用以進行連續性之濕式噴砂製程或其他表面處理作業。

在本實施例中，夾持式搬運治具1係為一方形設計，由底部至頂部依序為底板2、承板3並在承板3上承載一晶圓片31，各元件之形狀不以方形為限，可為其他種 類之對稱圖形。底板2四周邊緣設置有複數凹槽21，在本實施例中係為3*3之配置格局且為對稱排列，其中，每一凹槽21係以一限位座211對夾持器4進行限位，使得夾持器4僅於該座體之容置空間內移動。因此，每一夾持器4係對應上述凹槽21，分別設置於承板3之四側邊且每一夾持器4可分別等距設置於承板3之每一側邊，提供各方向上均等之夾持力，使得晶圓片31穩固地夾持於承板3之上，且不易產生破片之情況。

在所述承板3內另具有複數中空流道32，且承板3之上表面具有與複數中空流道32連通之複數氣孔33。藉此，在卸除晶圓片31之過程中，可利用複數中空流道32與複數氣孔33吹送出氣體，產生氣浮之效果，使得晶圓片31漂浮在承板3上，避免取出晶圓片31時，因黏著於承板3上之附著力作用而發生破片之情況。

接著，請同時參閱圖3，係本創作第一較佳實施例之夾持式搬運治具在夾持狀態下之A-A剖視圖。如圖所示，每一夾持器4包括有一頂推部41、一連結部42及一基部43，基部43容置於凹槽21之限位座211中，該連結部42係以一彈簧5連接底板2凸設之一固定柱20，藉以提供一彈簧拉力。此外，在本實施例中，連結部42並未設置於該夾持器4之質心位置，反而略為向上偏移，使得頂推部41因偏心效果較為鄰近承板3及晶圓片31。藉此，每一夾持器4之頂推部41向內頂抵而產生了整體性之夾持作用。

因此，如圖3所示，在複數夾持器4夾持承板3之狀態下，該每一彈簧5之彈簧拉力使每一夾持器4傾斜一角度並頂抵承板3及晶圓片31。藉此，承板3及晶圓片31之各方向均勻受彈簧力之頂抵作用，使得二者之間不會產生相對滑移，在惡劣的外在環境下，例如在本實施例在表面霧化的過程中會受到連續性之濕式噴砂的沖刷，但仍具有絕佳的固定性並保有晶圓片31的完整性。

相對地，請參閱圖4及圖5，係本創作第一較佳實施例之夾持式搬運治具在夾持狀態下之A-A剖視圖，及第二較佳實施例之夾持式搬運治具在未夾持狀態下之A-A剖視圖。如圖所示，若欲從夾持狀態轉換為未夾持狀態，則可透過下述兩種方式來進行：如圖4所揭露之第一較佳實施例，係透過一控制單元控制複數致動器頂抵每一基部43，使每一夾持器4朝相反側傾斜一角度並未頂抵承板3及晶圓片31，其最終位置就如圖中虛線輪廓所示。同樣地，如圖5所揭露之第二較佳實施例，係透過一控制單元控制複數致動器拉動每一頂推部41，使每一夾持器4朝相反側傾斜一角度並未頂抵承板3及晶圓片31，其最終位置就如圖中虛線輪廓所示。藉此，透過上述步驟可抵銷夾持器之彈簧拉力，用以進行裝載或卸除承板上之晶圓片。

上述實施例僅係為了方便說明而舉例而已，本創作所主張之權利範圍自應以申請專利範圍所述為準，而非僅限於上述實施例。

1‧‧‧夾持式搬運治具

2‧‧‧底板

3‧‧‧承板

31‧‧‧晶圓片

32‧‧‧中空流道

4‧‧‧夾持器

Claims (8)

1. 一種夾持式搬運治具，包括有：一底板，其四周邊緣設置有複數凹槽；一承板，放置於該底板之上方，用以承載一晶圓片；以及複數夾持器，每一夾持器包括有一頂推部、一連結部及一基部，該基部容置於該凹槽中，該連結部係以一彈簧連接該底板，該頂推部鄰近該承板及該晶圓片；其中，在該複數夾持器夾持該承板之狀態下，該每一彈簧之彈簧拉力使每一夾持器傾斜一角度並頂抵該承板及該晶圓片。
2. 如申請專利範圍第1項所述之夾持式搬運治具，其中，在該複數夾持器未夾持該承板之狀態下，係透過一控制單元控制複數致動器頂抵該每一基部，使每一夾持器朝相反側傾斜一角度並未頂抵該承板及該晶圓片。
3. 如申請專利範圍第1項所述之夾持式搬運治具，其中，在該複數夾持器未夾持該承板之狀態下，係透過一控制單元控制複數致動器拉動該每一頂推部，使每一夾持器朝相反側傾斜一角度並未頂抵該承板及該晶圓片。
4. 如申請專利範圍第1項所述之夾持式搬運治具，其中，該夾持式搬運治具係置放於一輸送帶上。
5. 如申請專利範圍第1項所述之夾持式搬運治具，其中，該承板係具有複數中空流道。
6. 如申請專利範圍第5項所述之夾持式搬運治具，其中，該承板之上表面具有與該複數中空流道連通之複數氣孔。
7. 如申請專利範圍第1項所述之夾持式搬運治具，其中，該複數夾持器係分別設置於該承板之四側邊。
8. 如申請專利範圍第7項所述之夾持式搬運治具，其中，每一夾持器係分別等距設置於該承板之每一側邊。