TWM460072U

TWM460072U - 晶舟盒

Info

Publication number: TWM460072U
Application number: TW102202465U
Authority: TW
Inventors: Hsiao-Chia Lo; Chin-Ming Lin; Chia-En Hong; Tian-Rui Lin
Original assignee: Gudeng Prec Ind Co Ltd
Priority date: 2013-02-05
Filing date: 2013-02-05
Publication date: 2013-08-21

Description

晶舟盒

本新型是有關於一種盒子，特別是指一種容納晶舟的晶舟盒。

一般於工廠內要置放或搬運在半導體製程中所使用的晶圓片皆須先將晶圓片放置於晶舟內，若是運送的距離較長，則會先將晶舟放置於一容器內再進行運送。容器能防止灰塵汙染、水氣沾附等問題。

參閱圖1，一般供晶舟12放置的晶舟盒11包含一底座111、一上蓋112，及一夾持件113。上蓋112可分離的蓋合於底座111上。夾持件113供使用者放入一文件，但夾持件113的構造複雜，須先將上蓋112與夾持件113分開製造，再將夾持件113結合於上蓋112頂面，如此一來，將會增加晶舟盒11的製造成本。

如圖2所示，當晶舟12放置於晶舟盒11中，晶舟盒11能防止外部灰塵或水氣進入，進而保護晶舟12及晶舟12所乘載的晶圓片13。

但晶舟12在圖面的上方及左右兩側都還有空間且沒有定位的功能，如此一來，在運送的過程中，晶舟12 會在晶舟盒11中上下晃動或左右位移，使晶舟12與晶舟盒11碰撞、摩擦產生微塵，進而汙染晶圓片13。

因此，本新型之目的，即在提供一種能夠供晶舟放置並定位的晶舟盒。

本新型之另一目的，即在提供一種能夠供晶舟放置並能夾持文件的晶舟盒。

於是，本新型晶舟盒，適於容置一晶舟，該晶舟盒包含一底座、一上蓋，及一連結單元。

該底座包括一底壁、一自該底壁前緣向上延伸的第一前壁、一自該底壁後緣向上延伸的第一後壁、二自該底壁兩相反側向上延伸並分別連接於該第一前壁與該第一後壁間的第一側壁，及一自該底壁向上凸伸且供該晶舟定位用的定位凸肋。

該上蓋可開啟地設置於該底座上。該上蓋包括一頂壁、一自該頂壁前緣向下延伸的第二前壁、一自該頂壁後緣向下延伸的第二後壁，及二自該頂壁兩相反側向下延伸並分別連接於該第二前壁與該第二後壁間的第二側壁。該上蓋與該底座相配合界定出一供該晶舟放置的容室。

藉該連結單元使該上蓋的第二前壁可分離地連結於該底座的第一前壁上。

較佳地，該定位凸肋分別與該底座的該等第一側壁相間隔。

較佳地，該定位凸肋具有一自該底壁向上凸伸且分別與該底座的該等第一側壁相間隔並呈長條狀的側向定位部、一自該側向定位部一端向上延伸並連接於該底座的第一前壁的前定位部，及一自該側向定位部另一端向上延伸並連接於該底座的第一後壁的後定位部。

較佳地，該晶舟盒還包含一夾持單元。該夾持單元包括一連接於該上蓋的任一第二側壁的外側面的夾持壁，該夾持壁與所對應的該第二側壁相配合界定出一用以容置並夾持的一文件的夾持槽。

較佳地，該夾持單元的夾持壁是與該上蓋一體成形的。

較佳地，該夾持單元還包括至少一自該夾持壁內側朝所對應的該第二側壁凸設的夾持肋。

較佳地，該夾持肋在一水平方向上的厚度是由一端往另一端漸增。

較佳地，該夾持單元還包括一兩端分別連固於該夾持壁頂部及所對應的該第二側壁上的連接壁。

較佳地，該晶舟盒還包含二相間隔地設置於該上蓋的頂壁內側的彈性件。

較佳地，每一彈性件包括一固定於該頂壁內側的固定部、一自該固定部往下延伸出的彈性部，及一連接於該彈性部自由端的頂抵部，其中，當該晶舟放置於該晶舟盒中且該上蓋封蓋於該底座上時，該頂抵部頂抵於該晶舟上。

較佳地，每一彈性件包括複數固定於該頂壁內側的固定部、複數分別自對應的該等固定部往下延伸出的彈性部，及一連接於該等彈性部自由端的頂抵部，其中，當該晶舟放置於該晶舟盒中且該上蓋封蓋於該底座上時，該頂抵部頂抵於該晶舟上。

較佳地，每一彈性件的該等彈性部長度不同，進而使該頂抵部傾斜。

本新型之功效在於：藉由該定位凸肋的設置，當該晶舟放置於該晶舟盒中時，提供該晶舟在水平方向上定位的功能。本新型之另一功效在於：藉由該夾持單元的設置，使用者得以將一文件夾持於該夾持單元而隨該晶舟盒移動。

2‧‧‧底座

20‧‧‧容室

200‧‧‧晶舟盒

21‧‧‧底壁

22‧‧‧第一前壁

23‧‧‧第一後壁

24‧‧‧第一側壁

25‧‧‧定位凸肋

251‧‧‧側向定位部

252‧‧‧前定位部

253‧‧‧後定位部

3‧‧‧上蓋

31‧‧‧頂壁

32‧‧‧第二前壁

33‧‧‧第二後壁

34‧‧‧第二側壁

341‧‧‧外側面

4‧‧‧連結單元

41‧‧‧卡合部

42‧‧‧卡合凸塊

5‧‧‧彈性件

51‧‧‧固定部

52‧‧‧彈性部

53‧‧‧頂抵部

6‧‧‧夾持單元

60‧‧‧夾持槽

61‧‧‧夾持壁

62‧‧‧連接壁

63‧‧‧夾持肋

7‧‧‧晶舟

71‧‧‧晶舟本體

72‧‧‧支撐架

8‧‧‧文件

本新型之其他的特徵及功效，將於參照圖式的較佳實施例詳細說明中清楚地呈現，其中：圖1是一立體圖，說明先前技術；圖2是一剖視圖，說明該先前技術容置一晶舟；圖3是一立體圖，說明本新型晶舟盒的一較佳實施例；圖4是一立體圖，說明該較佳實施例的一上蓋開啟的狀態；圖5是一沿圖3中的V-V線所擷取的剖視圖，說明該較佳實施例容置一文件；圖6是一沿圖3中的Ⅵ-Ⅵ線所擷取的剖視圖，說明該較佳實施例容置一晶舟；及圖7是一沿圖3中的Ⅶ-Ⅶ線所擷取的剖視圖，說明該較佳實施例容置該晶舟。

有關本新型之前述及其他技術內容、特點與功效，在以下配合參考圖式之一個較佳實施例的詳細說明中，將可清楚地呈現。

參閱圖3及圖4，本新型晶舟盒之一較佳實施例適於容置一如圖4中假想線所示的晶舟7，該晶舟7包含一晶舟本體71，及二相間隔地設置於該晶舟本體71底面的支撐架72，該晶舟盒200包含一底座2、一上蓋3、一連結單元4、二彈性件5，及一夾持單元6。

該底座2包括一底壁21、一自該底壁21前緣向上延伸的第一前壁22、一自該底壁21後緣向上延伸的第一後壁23，及二分別自該底壁21兩相反側向上延伸並分別連接於該第一前壁22與該第一後壁23的第一側壁24。

該上蓋3包括一頂壁31、一自該頂壁31前緣向下延伸的第二前壁32、一自該頂壁31後緣向下延伸的第二後壁33，及二分別自該頂壁31兩相反側向下延伸並分別連接於該第二前壁32與該第二後壁33的第二側壁34。上蓋3的第二後壁33是樞接於底座2的第一後壁23，使該上蓋3可開啟地封蓋於該底座2上。

該連結單元4包括一設置於該底座2的第一前壁22上的卡合部41，及一設置於該上蓋3的第二前壁32上的卡合凸塊42。該卡合凸塊42可分離地卡合於該卡合部41，進而使該上蓋3的第二前壁32可分離地連結於該底座 2的第一前壁22上。

本較佳實施例中，該連結單元4是包括該卡合部41及該卡合凸塊42，但不以此為限，只要該連結單元4能將該上蓋3的第二前壁32可分離地連結於該底座2的第一前壁22上的皆屬本新型的範圍。

參閱圖3及圖5，該夾持單元6包括一夾持壁61、一連接壁62、及二夾持肋63。該夾持壁61連接於該上蓋3位於該第二前壁32右側方的第二側壁34的外側面341並與所對應的該第二側壁34相配合界定出一用以容置並夾持的一如圖5中假想線所示的文件8的夾持槽60。如為配合使用環境或是使用者的習慣，該夾持壁61亦可以連接於該第二前壁32左側方的第二側壁34上。連接壁62兩端分別連固於該夾持壁61頂部及所對應的該第二側壁34上。該等夾持肋63自該夾持壁61內側朝所對應的該第二側壁34凸設。每一夾持肋63在一水平方向上的厚度是由鄰近該上蓋3的第二前壁32的一端往另一端漸增，使該文件8自鄰近該第二前壁32的一側插入該夾持槽60時，隨著該文件8插入得越深會因夾持肋63的厚度漸增而夾持得更緊。

值得一提的是，該夾持單元6在製造上可以與該上蓋3一體成形，進而能降低製造晶舟盒200的成本。

參閱圖4及圖6，當該上蓋3蓋合於該底座2上時，該上蓋3與該底座2相配合界定出一可供圖中假想線所示的晶舟7放置的容室20。

該底座2還包括一定位凸肋25，該定位凸肋25具有一側向定位部251、一前定位部252，及一後定位部253。該側向定位部251自該底座2的底壁21向上凸伸且分別與該底座2的該等第一側壁24相間隔並呈長條狀。該前定位部252自該側向定位部251鄰近該底座2的第一前壁22的一端向上延伸並連接於該第一前壁22。該後定位部253自該側向定位部251鄰近該底座2的第一後壁23的一端向上延伸並連接於該第一後壁23。

該二彈性件5是相間隔地設置於該上蓋3的頂壁31內側(圖4因繪圖角度的關係僅顯示一件彈性件5)。每一彈性件5包括二固定部51、二彈性部52，及一頂抵部53。該等固定部51相間隔地固定於該頂壁31內側。該等彈性部52分別自對應的該等固定部51往下延伸出並具有彈性。特別是如圖6所示，鄰近該上蓋3的第二前壁32的該彈性部52的向下延伸長度較另一個彈性部52短。該頂抵部53連接於該等彈性部52的自由端而呈傾斜的狀態。

在本較佳實施例中，該等固定部51的數量是二個，但部以此為限，而可以對應該頂抵部53的尺寸而是三個以上；同樣的，該等彈性部52的數量是對應該等固定部51的數量亦可以是三個以上。若該頂抵部53的尺寸減小，或是該頂抵部53不須呈傾斜的狀態時，每一彈性件5也可以只包括一個固定部51，及一個彈性部52。

回顧圖6，當將圖中假想線所示的該晶舟7放置於該晶舟盒200的容室20中，該晶舟7將會循該底座2呈傾斜狀的底壁21靠抵於該後定位部253而定位。

參閱圖7，當該晶舟7放置於該晶舟盒200的容室20中時，該晶舟7的兩支撐架72恰分置於該定位凸肋25的側向定位部251的兩外側，易言之，該定位凸肋25的側向定位部251是位於該晶舟7的兩支撐架72之間，進而限制或有效防止該晶舟7在該晶舟盒200內左右方向上的不當位移。

續請再一併參閱圖6及圖7，當將該晶舟7放置於該晶舟盒200的容室20中，並將該上蓋3封蓋於該底座2上時，該等彈性件5的頂抵部53會抵壓於該晶舟7上，藉該等彈性件5的抵壓以限制該晶舟7在上下方向的位移，達到該晶舟7有效定位於該晶舟盒200的作用。

綜上所述，藉由該晶舟盒200的定位凸肋25、彈性件5的獨特設計，提供晶舟7有效定位於晶舟盒200的功能，能防止晶舟7與晶舟盒200內側碰撞、摩擦產生微塵，再配合夾持單元6能一體成形地設於上蓋3的第二側壁34的外側面341上，不但有提高使用的便利性，且能降低晶舟盒200的製造成本，故確實能達成本新型之目的。

惟以上所述者，僅為本新型之較佳實施例而已，當不能以此限定本新型實施之範圍，即大凡依本新型申請專利範圍及專利說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本新型專利涵蓋之範圍內。