M426506 五、新型說明： 【新型所屬之技術領域】 本新型是有關於一種吸附結構與貼膜機，特別是指— 種利用負壓產生吸力的吸附結構與具有該吸附結構的貼膜 機。 【先前技術】 參閱圖1，一般，於基板101上貼附例如感光性抗蝕劑 片體（photosensitive resist film)等軟質片體102，是利用 貼膜機自動化作業進行。 該貼膜機具有一組將片體102拉出的導引件11、一支 用以吸附片體102並將片體1〇2暫時貼附至基板ι〇1上的 吸附結構2、一組抽氣以提供該吸附結構2負壓而吸附片體 102的負壓源12，及一組滾壓暫時貼附有片體1〇2的基板 101而使片體102附著於基板ι01上的滾輪組13。 參閱圖2、圖3，並配合參閱圖丨，其中，該吸附結構 2設置於該導引件11和該滾輪組丨3間並與該負壓源丨2連 接，包含一塊前片體21、一塊吸附片體22、一塊上片體23 ，及二塊侧片體24。 該前片體21截面概成弧形，鄰近該滾輪組13設置。
連接的穿槽231。該二 並具有多數間隔設置供與該負壓源12 〜一側片體24連接該前片體21和吸附片 3 M426506 體22的相反兩側的短邊，而使該前片體21、上片體23、 吸附片體22和二側片體24界定一截面概成三角形並藉該 些穿孔221與外界連通的長條形氣室25。 當該負壓源12抽氣而提供該吸附結構2負壓時，該吸 附結構2藉該等穿孔221而將該導引件11拉出的片體1 〇2 吸附於該吸附片體22上且作動將片體1 〇2暫時貼附在基板 101上，並在基板1〇1被該滾輪組13帶動通過後，令片體 102被滾壓附著在基板ι01上。 上述貼膜機將片體102平整貼附在基板1〇1上的關鍵 在於吸附結構2如何以平均的壓力吸附片體丨〇2，從而使得 片體102暫時貼附於基板1〇丨上時不會發生敵膜，或產生 尾端氣泡的問題。 因此’ US6367532B1專利案提出該吸附結構1〇2吸附 片體22的穿孔221自頂側長邊向底側逐漸密集分布、其他 區域較疏散分布，或是各穿孔221開口面積愈接近底側長 邊愈大的技術，用以改善吸附片體1〇2並暫時貼附於基板 101上時不會發生皺膜，或產生尾端氣泡的問題。 但是因為吸附結構2是成長條形，且負壓源12是連接 於上片體23的穿槽231而抽氣，所以，對應於該些穿槽 231的區域的吸力會較強而不平均所以即便令穿孔SB成 自頂側長邊向底侧逐漸密集分布，或是開口面積漸增，仍 無法改善皺膜，或產生尾端氣泡的問題。 【新型内容】 因此本新型之-目的，即在提供—種針對吸附結構 4 良使其月匕維持較均勻之吸力，避免發生皴膜氣泡的 吸附結構。 本新型之另-目的，即在提供一種具有前述結構改良 之吸附結構的貼膜機。 本新型吸附結構供連接一負壓源以吸附—片體，該吸 附結構包含一結構本體，該結構本體形成有-第-氣室與 至少-第二氣室，該負壓源對該第一氣室提供負壓，該結
構本體包括一第—Rfl眩用& ilR 弟間隔壁部與一第一壁部，該第一間隔壁 4 "於孩第一軋室與該第二氣室之間並且包括二側壁區盥 -連接於該等側壁區之間的中央壁區，該中央壁區設有複 數貫穿而連通該第一氣室與該第二氣室的第一穿孔，該第 一壁部間隔於該第-間隔壁部並以有—面向該片體的外 壁面，且…壁部設有複數貫穿而連通該第二氣室的第 :穿該等第二穿孔分佈於該第一壁部的範圍大於該等 第一穿孔分佈於該中央壁區的範圍。 本新型的功效一個在於··藓 籍由荨第一穿孔相對於該 =第-穿孔的佈設設計，針對不同寬度的片體
其吸附效果， J 構本該結構本體更形成有-第三氣室，且該結 第二壁部與一第二間隔壁部，該第二壁部 與該第一間隔壁部配合界定出# 邱、击拉ο 心33该第-氣室，該第二間隔壁 料接該第-壁部與該第二壁部並且與該第―、第二 配合界定出該第三氣室，且該 °ρ ^^t 第一間隔壁部設有至少一連 通該第1室與該第三氣室的第 硬 進-步的，該第一壁部具有一第一端緣 ::片體由該第二端緣朝該第-端緣的方一=緣 _該第二氣室鄰近該第-端緣，且該第？;孔 一第一穿孔。 乐一穿孔大於任 二氣室與該等第三 ’都能維持於被吸 本新型的另一功效在於：藉由該第 穿孔的設計，能使該片體在進給過程中 附的狀態而不至於垂落。 艾的，該等第-穿孔小於等於該等第二穿孔。
進-步的’該結構本體更包括至少一連接於該第一 隔壁部與該第一壁部之間的支撐肋，該等支撐肋與該第 間隔壁部、該第一壁部配合界定出複數第二氣室。 呈長條狀，該等 出，且該吸附結 進一步的’該結構本體為鋁擠材並且 第二穿孔為鑽設於該第二壁部之孔洞界定 構更包含-對分別設置於該結構本體兩端的端蓋與一遮壁 該等孔洞的塞件，該負壓源設置於該等端蓋。 進一步的，該結構本體供區隔為一中間段與二側段， 該中央壁區位於該中間段，該等第二穿孔分佈於該第一壁聲 部對應該中間段與該等側段的區域。 本新型具有吸附結構的貼膜機用以將一片體貼附於一 基板上’ 5亥具有吸附結構的貼膜機包含一滾輪組、一前述 的吸附結構與一設置於該吸附結構的負壓源。 本新型的還一個功效在於，藉由該結構本體採用銘擠 材與端蓋的設計，使負壓源能設置於端蓋，不僅整體結構 較簡單，且亦方便拆卸、清潔。 M426506 【實施方式】 有關本新型之前述及其他技術内容、特點與功效，在 以下配合參考圖式之一個較佳實施例的詳細說明中，將可 清楚的呈現》 參閱圖4、圖5，本新型具有吸附結構的貼膜機3〇〇用 以壓合一片體302與一基板303，本實施例的貼膜機3〇〇包 3 導引件4、一位於導引件4的下游的滾輪組5、一設置 於導引件4與滾輪組5之間的吸附結構301與一設置於吸 附結構301的負壓源6。導引件4用以導引被由捲繞成滾筒 的狀態拉出的片體302 ’貼膜機300更包含一鄰近導引件4 設置的切割刀具（圖未示），當片體302通過導引件4 一定 長度（例如預定貼附的長度）時，切割刀具即對片體302 裁切。 基板303與片體302是通過滾輪組5之間並且藉由滾 輪組5壓合，吸附結構301是用以在片體3〇2通過滾輪組5 之則將其吸附，維持片體302在通過滾輪組5時有一定程 度的張力，避免影響與基板303的壓合狀況，關於吸附結 構301與貼膜機300的作動，詳細說明如下： 參閱圖5至圖8，先行說明的是，圖7為圖5中沿A) 方向的斷面圖，圖8為圖6中沿B-B方向的斷面圖，本實 施例中，吸附結構301包括一結構本體3、一對端蓋31與 一塞件32。 結構本體3形成有一第一氣室33、至少一第二氣室a* 與一第二氣室35，具體而言，本實施例的結構本體3採用 7 M426506 銘擠材，其結構呈長條山 在妗谨太興2 ' 兩鸲開放，兩端蓋31分别結八 “ ^端而封閉第-氣室33、第二氣室34鱼： :二5的兩端，負！源6是分別設置在兩端蓋3】，由： 益Μ直接對第一氣室33進行抽氣而提供負麼。兩、 、。冓本體3的具體結構包括—第—壁部％、一 部37、連接於第-壁部36與第二壁部37之間的一^二^ 隔壁部38與—第二間隔壁部％，以及至少一支撐肋3〇/ ，第:壁m有與第:壁部37連接大致呈中空管狀結構 H6具有-用以面向片體3〇2並且呈弧形的 面加’第一間隔壁部38連接於第一壁部％與第二壁部 37之間而間隔於第一壁部36的内側，第一間隔壁部μ與 第一壁部36之間配合界定出前述的第二氣室34，第—間隔 壁部38與第二壁部37之間配合界;t出前述的第-氣室β33 本實紅例中，支樓肋3〇是連接於第一間隔壁部與第 一壁部36之間，因而與第一間隔壁部38、第一壁部％配 合界定出二個第二氣室34,若省略支撐肋3〇，則第一間隔 壁部38與第一壁部36之間僅有一第二氣室34，若支撐肋 30的數目越多，則第二氣室34的數目也越多。 更進一步的，配合參閱圖9，第一間隔壁部38沿整個 結構本體3的長度方向可供區隔為二側壁區381與一連接 兩側壁區381之間的中央壁區382，中央壁區382設有複數 貫穿的第一穿孔383，該等第一穿孔383連通第一氣室33 與第一氣室34。第一壁部36則是設有複數貫穿第二穿孔 362 ’該等第二穿孔362分別連通外界與第二氣室34、外界 /、第-«I至35 ’該等第二穿孔362分佈於第—壁部36的範 圍；，大於該等第—穿孔383分佈於中央Μ M2的範圍， 且该等第二穿孔362的孔徑大於該等第一穿孔如的孔徑 ’換言之’第-穿孔383的孔徑可小於或等於第二穿孔如 ’本實施例的圖式以第一穿孔383小於第二穿孔％ 說明。 一關於第一穿孔383與第二穿孔362的分佈，更具體而 1 ’若將長條狀的結構本體3沿其長度方向區隔為一中間 兩側奴3b ’第一穿孔383的分佈範圍是位在第一間 隔壁部38對應於中間段3a的區域（即對應第一間隔壁部 %的中央壁區382)，而該等第二穿孔如則是分佈在第_ 2部36整體包括中間段3a與兩側段3b的區域（即對應第 1隔壁部38的兩側壁區381與中央壁區如），因此，第 二穿孔362分佈於第一壁部％的區域大於第一穿孔383分 佈於第一間隔壁部38的區域。 第二間隔壁部39連接於第一壁部36與第二壁部^之 並且同時連接第一間隔壁部38,在本實施例中定義第 壁。P 36具有-朝向滾輪組5的第一端緣如與一相反於 第一端緣363的第-她绥竹 、 弟一缟緣364，第二間隔壁部39連接於第 一壁部36的位置將第一导邱κ ρ 达 36 £隔為一鄰近第一端緣363 的第-區域365與一鄰近第二端緣3Μ的第二區域鳩 二區域如係與第二間隔壁部39以及第二壁部”配合界 疋出第二氣室35，第- t 弟一 Q域366係與第一間隔壁部38配八 界定出第二氣室34，故坌：° 二虱至35的位置是鄰近第一端緣 M426506 363，第二氣室34的位置是鄰近第二端緣364，該等第二穿 孔362是同時分佈於第一區域365與第二區域366。 第二間隔壁部39設有複數貫穿的第三穿孔391，本實 細例中該等第二穿扎3 91的形成是由第二壁部3 7外鑽設 孔洞形成’且第三穿礼391的隸大於第一 f孔如的孔 徑。塞件32是由第二壁部37外結合而封閉該等孔洞，保 持第一氣室33與外界的氣密性。 參閱圖9’當位在兩側段3b的負壓源6抽氣直接提供 吸附結構3G1的第-氣室33負壓時，藉由第—穿孔383連 通第-氣室33與第二氣室34，以及該等第—穿孔383的設 置位置，第二氣室34會形成由結構本體3兩側段扑的區 域被往中間段3a的區域經由該等第一穿孔383往第一氣室 33抽氣的狀態，因而於該等第—穿孔383形成負壓。 參閱圖7 ® 8、圖9’當片體302在進給通過吸附結 構3〇1時，是在被吸附貼附於第一壁部％的外壁面361的 狀態下由第-壁部36的第二端緣364往第一端緣363的方 向進給，使得片體302位在第一壁部％的第二區域鳩的 部分可保持被吸附於第—壁部36外壁面36ι的狀態，且藉 由第三穿孔391連通第—氣室33與第三氣室35，片體3〇2 位在第36的第一區域365的部分也保持被吸附於第 一壁部36外壁面361的狀態。 值得注意的是’如圖9所示’當所吸附的片體302寬 度超過第-間隔壁部38的中央壁區382的寬度時，雖然第 -穿孔383只分佈在第一間隔壁部38的中央壁區382,但 10 M426506 第二氣室34對應於第一間隔壁部38兩側壁區381的部分 ’仍然會由於第一穿孔383的關係而受到來自於第一穿孔 383的一定程度的吸力，因此，分佈在兩側段3b的第二穿 孔362仍然可具有一定程度的吸力吸附片體302，故整個片 體302可被均勻的吸附於第一壁部36的外壁面361。
參閱圖10，而當片體302,的寬度較窄，例如大約只有 對應第一間隔壁部38的中央壁區382的寬度時，由於分佈 在中間段3a的第二穿孔362是直接對應於第一間隔壁部38 中央壁區382的第二穿孔362而直接受到來自於第一穿孔 383的吸力，故片體3〇2,仍可保持被吸附於第一壁部36的 外壁面361的狀態。 再者，參閱圖11，由於片體3〇2是由第二端緣364往 第一端緣363的方向進給，為避免當片體3〇2進給至僅對 應於第-壁部36的第-區域365的長度時片體302會由於 所受到的吸力不足而垂落，本實施例係設計使第三穿孔391
的孔徑大於第二穿孔362的孔徑，藉由孔徑較大的第三穿 孔391提供較大於第二穿孔362㈣壓氣流，使得當片體 302進給至僅對應於第—壁部36的第—區域如的長度因 而使位於第二區域365的該等第二穿孔如由於不再受到 片體302遮壁的關係而分散位在第—區域365的該等第二 穿孔362的吸力時，能稍微平衡第—氣室33與第三氣室％ 的負壓狀態’使第三氣室35仍能維持有__定程度的負壓， 使僅位在第-壁部36第-區域365的片體3〇2，同樣仍能 受到足夠的吸力而不致於垂落。 11 M426506 綜上所述’本新型藉由吸附結構301 %第一間隔壁部 38與該等第-穿孔383相對於該等第二穿孔如的分料 計’針對不同寬度的片體302，都能達到-定程度的吸附效 果’再者，藉由第二間隔壁部39、第三氣室35與第三穿孔 39i的設計，則能使片體3〇2在進給過程中，都能維持於被 吸附的狀態而不至於垂落’因此，確實能達成本新型之目 的’此外，藉由結構本體3採用㈣材與端蓋31的設計， 使負壓源6能設置於端蓋3卜不僅整體結構較簡單，且亦 方便拆卸、清潔。 淮以上所述者，僅為本新型之較佳實施例而已，當不 能以此限定本新型實施之範圍，即大凡依本新型申請專利 範圍及新型說明内容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍 屬本新型專利涵蓋之範圍内。 【圖式簡單說明】 圖1疋一側視示意圖’說明一種現有的貼膜機； 圖2是一部分剖視圖’說明一種現有的設於貼膜機中 的吸附結構； 圖3是一剖視圖，輔助圖2說明現有的吸附結構； 圖4是一側視示意圖，說明本新型具有吸附結構的貼 骐機的一較佳實施例； 圖5是本新型具有吸附結構的貼膜機的一較佳實施例 的一 、~ °及附結構的立體圖’且該吸附結構的一第二壁部被部 分移除； 圖6是本新型具有吸附結構的貼膜機的一較佳實施例 12 M426506 的一吸附結構的立體圖，且該吸附結構的一第二壁部被部 分移除，使複數第一穿孔外露； 圖7是沿圖5的A-A方向的剖視圖； 圖8是沿圖6的B-B方向的剖視圖； 圖9是該較佳實施例的吸附結構吸附一寬度較寬之片 體的示意圖； 圖1〇是該較佳實施例的吸附結構吸附一寬度較窄之片 體的示意圖；以及 圖11是該片體位移至該較佳實施例的吸附結構的〜第 一區域的剖視圖。 13 M426506 【主要元件符號說明】 300 · ……貼膜機 301 · ……吸附結構 302、 302’片體 303 · ……基板 3 .... ……結構本體 3a.·· ……中間段 3b_·· ……側段 30··· ……支撐肋 31… ......端蓋 32··· ……塞件 33··· ……第一氣室 34··· ……第二氣室 35··· ……第三氣室 36.·· ……第一壁部 361 · ……外壁面 362 · ……第二穿孔 363 .......第一端緣 364 .......第二端緣 365 .......第一區域 366 .......第二區域 37 .........第二壁部 38 .........第一間隔壁部 381 .......側壁區 382 .......中央壁區 383 .......第一穿孔 39 .........第二間隔壁部 391 .......第三穿孔 4 ..........導引件 5 ..........滚輪組 6 ..........負壓源 14