TWM405700U - Micro-electromechanical receiver - Google Patents

Micro-electromechanical receiver Download PDF

Info

Publication number
TWM405700U
TWM405700U TW99223798U TW99223798U TWM405700U TW M405700 U TWM405700 U TW M405700U TW 99223798 U TW99223798 U TW 99223798U TW 99223798 U TW99223798 U TW 99223798U TW M405700 U TWM405700 U TW M405700U
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
sound
substrate
chip
micro
wafer
Prior art date
Application number
TW99223798U
Other languages
English (en)
Inventor
Fan-En Yue
Original Assignee
Fan-En Yue
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fan-En Yue filed Critical Fan-En Yue
Priority to TW99223798U priority Critical patent/TWM405700U/zh
Publication of TWM405700U publication Critical patent/TWM405700U/zh
Priority to CN2011202393863U priority patent/CN202261722U/zh

Links

Description

M4U^7〇〇 五、新型說明: 【新型所屬之技術領域】 本創作有關於—種收音裝置,尤指一種微機電系統 (MEMS)之封裝結_微機電收音裝置。 ’、· 【先前技術】 收ί裝置即為俗稱的麥克風,其應用範圍甚廣,例如 ,助聽為、電子耳、手機、數位相機、免持聽筒、筆記型 • f腦等皆具有收音裝置。隨著製程及封裝技術的進步°,目 • ㈣能湘半導體製程綠出“魏音裝置,亦稱作微 機電(MEMS)收音裝置,以賴輕薄短小、省電、低成本等 訴求。 睛麥照圖 啤】馮得統的微機電收音裝置之剖視圖。 傳統的微機電收音裝置1主要在基板10上設置有電路(未 繪於圖1)及微機電晶片J卜其中微機電晶片u係以打線 方式(wire bond)透過至少一金屬導線12與基板1〇上的 電路,連接’且在基板IQ上另設置有覆蓋微機電晶片u 的殼,13。微機電晶片u與基板1()之間的空間形成氣室 14,氣室14做為聲音的共振腔。聲音由殼蓋13的音孔15 進广’並與微機電晶片11上的薄膜產生振動,其中振動的 信號轉為微機電晶片n上的電子信號。微機電晶片^上 的電子信號會被傳送至基板1G上的電路,輯行後續的聲 音信號處理。 然而’此種傳統的微機電收音裝置】使用上除了能夠 吸收使用者的聲音之外,同時也會吸收到外界環境的聲音 。因此’當使用者(發話端)在噪音嚴重的環境下使用設有傳 統的微機電收音裝£ 1的手機進行通話時,對方(收話端) 3/17 聲音奸擾,而紐清楚或準確地聽見使用者的 【新型内容】 本創作實施例提供—種機 觸皮膚以感測振動”經接 免對方受辦、ti 來獲得制者的聲音,避 及奶”曰勺干擾,而無法準確的聽見使用者的聲音 罢、::康本ίΓ!實施例,本創作之微機電收音裝置包括封 片及積體電路晶片。封蓋具有能心 使用者& 士 又日70件,丹中接觸式收音元件係經接觸 之間振純號。基板設於封蓋上而與封蓋 切血=°微機電晶片設置於容室中,係電性連結基 ::妾觸錢音元件,並且接收㈣信號,以及輸出電子 。^、。積體電路⑼設置於容室巾,係電性連接基板,並 且透過基板接收電子信號。 依據本創作另一實施例,本創作之微機電收音裝置包 =封,、基板、第—微機電晶片、第二微機電晶片及積體 %路晶片。封蓋具有能與外界接觸的接觸式收音元件,其 中接觸式收音元件係經接觸使用者的皮膚而感測振動信號 。基板設於封蓋上而與封蓋之間形成容室,同時,基板具 有收音通道’其中收音通道之第一端連通容室,收音通道 之第二端連通外界。第一微機電晶片設置於容室中,係電 性連結基板’並對應收音通道之第一端,其中第一微機電 晶片經由收音通道接收外界聲音以及從基板接收控制信號 ’並且受控於控制信號,以輸出第一電子信號。第二微機 電晶片設置於容室中,係電性連結基板與接觸式收音元件 4/17 M405700
……訊 久 '罘一微機電晶片、 本創作之微機電收音裝置包 片、第二微機電晶片及積體 Ϊ路晶片。㈣具有能與外界制的接觸式收Μ件,其 有收音通道,其中收音通道之第1連通容室,收音通道
ί觸ί㈣ί件係經接觸使用者的皮膚而感測振動信號 土板》又於封蓋上而與封盖之間形成容室,同時,基板具 晶片經由收音通道接㈣界聲音以及從基板接收控制信號 ,並且文控於控制信號,以輸出第電子信號。第二微機電 晶片以覆晶(flip-chip)方式電性連接第—微機電晶片,並 且以打線方式電性連接接觸式收音元件,其中第二微機電 曰a片接收振動js號以及從基板接收控制信號,並且受控於 控制“號,以輸出第二電子信號。積體電路晶片設置於容 室中,其係電性連接基板,並且透過基板接收第一電子信 號與第二電子信號。 依據本創作另一實施例,上述封蓋更具有音孔,且音 孔連通收音通道之第二端與外界。 综上所述’本創作各實施例的微機電收音裝置係利用 接觸式收音元件與外界接觸(例如,接觸使用者的皮膚)以感 測振動信號,來獲得使用者的聲音。如此,各實施例的微 機電收音裝置吸收使用者說話時皮膚所產生的震動信號’ 5/17 M405700 並且利用微機電晶片將震動信號轉成電子信號再由基板送 至積體電路晶片進行信號處理,進而得以準確的將使用者 的聲音及說話傳送到對方,而不受到環境噪音的干擾。 為使能更進一步瞭解本創作之特徵及技術内容,請參 閱以下有關本創作之詳細說明與附圖,但是此等說明與所 附圖式僅係用來說明本創作,而非對本創作的權利範圍作 任何的限制。 【實施方式】 請參考圖2,圖2為本創作實施例所提供之微機電收音 裝置之剖視圖。微機電收音裝置2包括封蓋26、基板2〇、 =機電晶片22及積體電路晶片27。封蓋26上設置有一個 外界接觸的接觸式收音元件21。基板20的頂面連接於 片幾26,使基板20與封蓋26之間形成容室28。微機電晶 _ 設置於容室28中,且電性連結基板2〇與接觸式收音 =件21,其中微機電晶片22係以打線方式透過金屬導線 ,性連接於接觸式收音元件21。同時,積體電路晶片r 吧是設置於容室28中且電性連結基板2〇。 在本實施例中,微機電晶片22與積體電㈣片巧都 丁線方以賴過金屬導線24、連接於基板2〇 =而’本實關糾為本創作的_,舉凡能夠讓微機 都^片22與積體電路⑸27電性連結基板2q的技術手段 1以作為本創作之貫施例,例如覆晶方'。 =2G與封蓋26之連接可錢_接劑沿著基板2〇 、面的外圍將封蓋20黏接在基板2〇 片乃& U上,進而將微機電晶 明的:二電:晶二2/封裝於容室28中。然而,綱 的疋,上述基板2〇與封蓋26之連接方式並非用以限定 6/17 本創作。同時,本實施例中,接觸式收音元件21可以為收 音膜。收音_來接觸人體的皮膚,其係經接财膚感測( ,收)人44所產生的振動信號,並將所感測到的振動 L號,遞至微機電晶片22。微機電晶片22將振動信號轉成 電子信號,再透縣板20將電子錢料至賴電路晶片 27。 更詳細地說,接觸式收音元件21的收音膜實質上是一 種振動感測器。當使用者說話時,使用者的皮膚會因為接 收聲音而產生振動信號。此時,振動感測器會感測使用者 的皮膚所產生的振動信號,並將感測獲得的振動信號傳遞 給微機電晶片22。一般來說,微機電收音裝置2可能應用 於藍芽耳機麥克風裝置’因此上述接觸式收音元件21係接 觸使用者的臉部皮膚。 積體電路晶片27可以為信號放大電路,其係將微機電 晶片22送來的電子信號進行信號放大,並將放大後的電子 信號經由基板20送出。如此,本實施例之微機電收音裝置 2使用的接觸式收音元件21係採用接觸感測振動(例如接觸 皮膚感測振動)的收音的方式,因此,在通話中,不會受到 環境噪音的干擾。除此之外,積體電路晶片27更可以包括 可適性聲音信號濾波器或其他用以進行聲音信號處理的電 路。總而言之’積體電路晶片27所包括的電路或元件並非 用以限定本創作。 請參考圖3A,圖3A為本創作另一實施例所提供之微 機電收音裝置之剖視圖。微機電收音裝置3a包括封蓋35 、基板30、第一微機電晶片32、第二微機電晶片34及積 體電路晶片37。 7/17 M405700 間形成容室33。同時^ 使基板30與封蓋%之 音通道36之第^ ^反3〇财收音通道%,其中收 之第二端(第二開室33 ’收音通道36 晶片32、第卜界。在本貫施例中,第—微機電 容室33中,晶片34及積體電路晶片37皆設置於 並且對师收二Γ電晶片32電性連接於基板30上 微機電晶片開口)。另外,第二 積體n… 與接觸式收音元件31, 積妝1路日日片37電性連結於基板3〇上。 在本實施例中,第—微機電晶片32 34及積體電路晶片37 乐―微機电日日片 30。㈣,^知用打線方式電性連接於基板 …、本具知例亚不為本創作的限制,舉;釣· -微機電晶片32、第-㈣雷曰犯夠讓弟 雷機 4及積體電路晶片37 電性絲30触射段射卩作為 例如覆晶方式。 f〈貝她例 細蓋35之連接可叹則__基板% ^夕卜圍而將封盖35黏接在基板3〇上,以將第一微機電晶 片32、第二微機電晶片34及積體電路晶片37封裝在容室 =二然^需要說明的是,上述基板%與封蓋%之連 接方式亚非用以限定本創作。 本實施例中,外界的聲音經由收音通道36進入容室% ’同時’ 微機電晶片32可以接收進入容室%的聲音 。第-微機電晶片32内部具有被動元件(未緣於圖3A),被 動元件可將傳遞至第-微機電晶片32的聲音轉換成第一電 子信號,再透過基板3G將第-電子信號傳送至積體電路晶 8/17
iutv/j /VJVJ 片37 〇 另夕卜’本實施例中,接觸式收音元件31為收音膜,i 中收音膜用來接觸人體的皮膚,其係 體 ,時產生的振動信號’並將所感測到二= ΐΓΓΓίΓ。第二微機電晶片34將接收到的振動信 Γ 號,再透過基板3Q將第二電子信號傳送 至積體電路晶片37。 機路晶:37可以為信號放大電路,其係將第-微 ::片=來的第一電子信號與第二微機電晶片34送 進行信號放大’並將放大後的第-電子 土 號經由基板30送出。如此,本實施例之 微機電收音裝置3a且借以Τ-站t * 音通道36取得外界聲音的第一=式’其-為利用收 式收音元件3!取得式’另—為利用接觸 μ 37 # όΓ V ^ 4^ ’丨耳曰的第一收音模式。積體電路晶 音信號處二 電路或元件並_以限定i創作沾電路晶片37所包括的 以從#作系^例之微機電收音裝£ 3a的基板3〇更可 k至第W機電晶片32與第-妈撒+曰 ______ t 係用來致能 只34 . 微機電晶片32與第二微機電晶 H 用可以透過操作系統選擇使用第一收 ^ 戈同時使用第-與第二收音方式。 強電路二㈣:ΓΠ广電路晶片37更包括了聲音信號增 用苐-與第二收音方式時,聲音 W增強電路會根據第一電子信號與第二電子信號產生第 9/17 一电亇诏跣,Μ使得微機電收 接近於使用者所發出的聲音^ 3所接收到的聲音更 路會比對第-電子信號與第二二子二:’聲音信號增強電 -電子信射物〖城此去除第 L·^ L ^ ^ 书 丁1口就0 ,..不上所述,本貫施例之微 曰板式’以強化收音的能力。如此,使 一收 可以依據通話環境的f求自行選擇所要的收二式,以= 免環境噪音的干擾。 、 u 一1月配合圖3A’並參考圖犯,其中圖犯為本創作另— 貫施例所提供之微機電收音裝置之剖視圖。圖犯之實施例 的微機1收日|置3b與圖3A之實施例的微機電收音裝置 3a之構件相同者’係以相同符號標示。目3b之實施例 機電收音裝置3b與第二實施狀賴、動俩理及達成的 功效大致相同。惟其差異在於,織魏音裝置3b中的第 二微機電晶片34係以覆晶方式設置於第-微機電晶片32 上,並且電性連結第一微機電晶片32。 請配合圖3A,並參考圖3C,其中圖3C為本創作另一 貫把例所&供之微機電收音裝置之剖視圖。圖3C之實施例 的微機電收音裝置3c與圖3A之實施例的微機電收音裝置 3a之構件相同者,係以相同符號標示。圖3C之實施例的微 機電收音裝置3c與圖3A之實施例的微機電收音裝置3a之 結構、動作原理及達成的功效大致相同。惟其差異在於, 封盍35’更具有一音孔38’音孔38連通收音通道36之第二 10/17 M405700 端與外界j而收音通道36之第一端則是連通至容室33。因 此,外界钵音可以由音孔38進入,再經過基板3〇中的收 音通道36進入容室33中,此時,第一微機電晶片32即可 接叉進入谷至33中的聲音,而進行後續處理。 凊配合圖3c ’並參考圖3D,其中圖3D為本創作另— 貫施例所提供之微機電收音裝置之剖視圖。圖31)之第五實 施例的微機電收音裝置3d與圖3c之實施例的微機電收音 裝置3c之構件相同者,係以相同符號標示。^ 3D之實施 例的微機電收音裝置3d與圖3C之實施例賴機電收音裳 置3c之結構、動作原理及達成的功效大致相同。惟其差異 f於,,,機電收音裝置3d中的第二微機電晶片34係以覆 晶方式設置於第-微機電晶片32上,並且電性連 機電晶片32。 做 综上所述,本創作各實施例的微機電收音裝置係利用 接觸式收音场與外界觸(例如,制❹ =動,*獲得❹者的聲音。μ,各實關^ 置可以吸收使用者說話時皮膚所產生的振動作 並且_微機電晶片將振動信號轉成電子 ^ 積體電路晶片進行信號處理,進而得以準確的將i 環境==聲音錢則__細),而不受到 接觸本㈣各#施_微機1收衫討以利用非 也可;者的說話聲音, 今測振心使用者的皮膚 这貝j振動信號接收使用者的說話聲音。另外, 鞑例的微機電收音裝置更可能夠同時啟用第—與第二收: 11/17 M405700 能依 模式,以強化收音的能力,進而讓使用者在通話中, 據通話環境的需求自行選擇所要的收音模式,以避& 噪音的干擾。 以侷限本創 以上所述僅為本創作之實施例,其並非用 作之專利範圍。 【圖式簡單說明】 圖1為傳統的微機電收音裝置之剖視圖;
圖2為本創作實施例所提供之微機電收音巢J
<剖4見 圖3A 之剖視圖; 為本創作另一實施例所提供之微機電彳欠之^
圖3Β為本創作另一實施例所提供之微機電 之剖視圖; 收音裝
圖3C為本創作另一實施例所提供之微機電收音f 之剖視圖;及 圖3D為本創作另一實施例所提供之微機電收音f置 之剖視圖。 【主要元件符號說明】 卜2、3a、3b、3c、3d :微機電收音裝置 10、 20、30 :基板 11、 22 :微機電晶片 12、 23、24、29 ::金屬導線 13 :殼蓋 14 :氣室 15 :音孔 21、31 .接觸式收音元件 12/17 M405700 26、 35、35’ :封蓋 28、33 :容室 32 :第一微機電晶片 34 :第二微機電晶片 36 :收音通道 27、 37 :積體電路晶片
13/17

Claims (1)

  1. 申凊專利範圍·· 】·二種微機電收音裝置,包括: 封盖,設置有能與外界接觸的 接觸式收音树係難觸— 件’該 —振動信號; 使用者的皮膚而感測 一《於。㈣盖上而與該封蓋之間形成—容室. 置於該容室中,f她晶片電性連 禪。亥基板與該接觸式收音元件 包Γ生連 一振動信號,並輸出一電子信號;/機电曰曰片接收該 2 積體電路晶片,設置於該容室令,該一曰― •生連接該基板’其係透過該基收二;:曰二.电 :請專_第1項所述·子=。 接觸式收音元件為一收音膜。讀曰衣置,其中該 3. 如申請專利範圍第W 微機電晶片以打線(諸;裝置’其中該 )方式電性連接該基板。 核覆晶(ίΐφ-chip 4. 如申凊專利範圍第丨項所述 積體電路晶片以打線方式或覆晶方^音裝置,其中該 5. 一種微機電收音裝置,包括· 工电性連接該基板。 一封蓋’設置有能與外界㈣的 接觸式收音元件係經接觸简式收音元件,該 一振動信號; ,忆用者的皮膚而感測 一基該 容室,該收音通道之第^曰連^卜之弟一端連通該 微機電晶片,設置於私室中,該第-微機電晶 14/17 第該基板’並對應該收音通道之第一端,該 從該音通道接收外界聲音以及 以铲中^ 控旬丫5唬,並且受控於該控制信號, 一?出-第—電子信號; 一第二微機電晶片, A 片電性連接該基板盘接該第二微機電晶 號,廿曰〜動^虎以及攸該基板接收該控制信 ;及亚且讀於該控制信號,以輸出-第二電子信號 片’設置於該容室中,該積體電路晶片電 透過該基板接收該第—電子信號 5項所述之微機魏音裝置,其中該 外;有—音孔’該音孔連通該收音通道之第二端與 摘述之顯電收音裝置,其中該 板。續电曰曰片以打線方式或覆晶方式電性連接該基 8.如申請翻_第5_狀韻魏音|置, 板一ΐί電晶片以打線方式或覆晶方式電性連接該二 9如申丁線方式電性連接該接觸式收音元件。土 乂如甲5月專利範圍第5項所述之微機 積體電路晶片以打線方式或覆晶方式電:二=該 10‘如申請專利範圍第5項所述之微機 二,。 接觸式收音元件為一收音膜。收曰名置’其中該 u.—種微機電收音裝置,包括: 15/17 〜1賴能與外界接觸的—接觸錢音元件,該 —接二以件係經接觸—使用者的皮膚而感測 振動號; 封I上而與該封蓋之間形成—容室,該 二,1—收音通道’該收音通道之第-端連通該 合至’該收音通道之第二端連通外界; ===^’設置於轉室t,該第—微機電晶 m電連接该基板,並對應該收音通道之第-端,咳 收音通道接收外界聲音以: :!;=號’並且受控於該控制信號, 微機電晶片’以覆晶方式電性連接該第—微 -亚且以打線方式電性連接該接觸式收音元件, μ苐二微機電晶片接收該振動作矜以 , 收該控制信號,並且受控於該控制錢,:=板接 二電子信號;及 乂輸出一第 一積體電路晶片,設置於該容室中,該積體 性連接該基板,其係透過該基板接收該=晶片電 與該第二電子信號。 电子信鱿 12.如申請專利範圍第η項所述之微機電收 該封蓋更具有—音孔,該音孔連 其中 與外界。 ^道之第二喝 叫口申請專利範圍第η項所述之微機電收 。亥接觸式收音元件為一收音膜。 、置,其中 η·:,咖第η項所述之微機電 邊第一微機電晶片以打線方式或覆 '4,其中 _ '電性連接該 M405700 * * . 基板。 ' 15.如申請專利範圍第11項所述之微機電收音裝置,其中 該積體電路晶片以打線方式或覆晶方式電性連接該基 板。
    17/17
TW99223798U 2010-12-08 2010-12-08 Micro-electromechanical receiver TWM405700U (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW99223798U TWM405700U (en) 2010-12-08 2010-12-08 Micro-electromechanical receiver
CN2011202393863U CN202261722U (zh) 2010-12-08 2011-07-01 微机电拾音装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW99223798U TWM405700U (en) 2010-12-08 2010-12-08 Micro-electromechanical receiver

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TWM405700U true TWM405700U (en) 2011-06-11

Family

ID=45079515

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW99223798U TWM405700U (en) 2010-12-08 2010-12-08 Micro-electromechanical receiver

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN202261722U (zh)
TW (1) TWM405700U (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104267455A (zh) * 2014-10-08 2015-01-07 江南大学 基于矩形环共振腔与入射波导接桥的表面等离子体滤波器
CN111351566B (zh) * 2018-12-24 2022-11-01 财团法人工业技术研究院 具监测功能的振动传感器及其振动信号监测方法
TWI689708B (zh) 2018-12-24 2020-04-01 財團法人工業技術研究院 具監測功能的振動感測器及其振動訊號監測方法
CN111031424B (zh) * 2019-12-06 2021-11-16 潍坊歌尔微电子有限公司 振动感测装置、耳机以及电子设备

Also Published As

Publication number Publication date
CN202261722U (zh) 2012-05-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9661411B1 (en) Integrated MEMS microphone and vibration sensor
US9510112B2 (en) External microphone array and hearing aid using it
CN101828410B (zh) 用于无线听力辅助的方法和系统
JP5799619B2 (ja) マイクロホンユニット
CN101843118B (zh) 用于无线听力辅助的方法和系统
US8520878B2 (en) Microphone unit
JP2016521036A (ja) 後方容量を増やしたmems装置
TW201143472A (en) Microphone unit, and audio input device provided therewith
CN210958796U (zh) 一种骨导式麦克风
JP2013531932A (ja) 口腔内組織伝導マイクロホン
TW201021583A (en) Differential microphone
TWM405700U (en) Micro-electromechanical receiver
JP2014155144A (ja) 音声入力装置及び雑音抑圧方法
US9438986B2 (en) In-ear headphone with sound pick-up capability
JP2002262377A (ja) 骨導ピックアップ素子及びそのユニット
KR101474776B1 (ko) 단일지향성 멤스 마이크로폰
CN213694149U (zh) Mems芯片、mems麦克风以及电子设备
TWM497896U (zh) 軟薄膜免電池噪音自消式助聽器
WO2023160719A1 (zh) 振动传感器、电子设备和振动检测方法
US20140003632A1 (en) Microphone arrangement
WO2022121729A1 (zh) 一种电子设备
CN112019985B (zh) 麦克风结构和电子设备
CN209608859U (zh) 一种助听器
CN113542961A (zh) 耳机、电子设备和入耳检测方法
US20160157024A1 (en) Flip-chip mems microphone

Legal Events

Date Code Title Description
MM4K Annulment or lapse of a utility model due to non-payment of fees