TWM332851U - Compound optical testing machine - Google Patents

Description

M332851 八、新型說明： 【新型所屬之技術領域】 本創作係與檢測LED/LD發光體之裝置有關，特別是指 一種光學測試複合機。 曰 【先前技術】 按’目前半導體產業上的測試分工極為完整，包括晶 圓的前段測試（主要為檢測裸晶的正常與否，目的是要篩 選出好的晶粒）以及晶粒封裝後之後段測試（主要為晶片 的各項功能檢測）；這樣的分工檢測的優點是可以避免將 不良的晶粒進行封裝，如此可減少生產作業上的浪費，並 降低晶片製造成本，進而提高產業之競爭力。 而在LED/LD產業方面，因其生產流程近似半導體，目 前在產品測試上，也仿效半導體產業的作業方式分成前 段、後段測試，但由於涉及光特性的檢測更為複雜，目前 f LED前段晶圓的測試項目僅只有點亮、亮度及光譜特性 f測試；然而，若要對LED或其他種類發光體進行局部細 微檢測光特性或更加精細的產品分級，若僅由上述檢測方 式，則明顯尚有不足之處。 有鑑於於’故本案創作人在經過不斷之苦思及試作 後，才終有本創作之產生。 【新型内容】 本創作之主要目的，在於提供一種光學測試複合機， 其具有結合光瑨量測分析、光場型量測分析以及顯微光學 5 M332851 量測方式，以達到可針對發光體微小區域之光特性檢測分 析之功效者。 為達前述之目的，本創作係提供一種光學測試複合機 ，具有一檢測區域而用以檢測一發光體，該光學 —機係包含有：-光譜量測裝置，係以一分光光譜儀^ς ；發光體之光譜參數，並將該光譜參數轉換成一光譜訊號； 一光％型量測裝置，係由一電荷耦合元件對該發光體之光 場進行取像，並轉換成一光場訊號；一顯微鏡量測裝置， 具有一顯微鏡偵測器，以對該發光體之成像擷取而成一顯 微訊號，該顯微鏡量測裝置係分別與該光譜量測裝置及 光場型量測裝置連結；一光學光路系統，具有一資料庫， 该光學光路系統係用以整合該光譜訊號、該光場訊號以及 該顯微訊號，並將整合後所產生之數據與該資料庫數據進 行比對，藉以判別該發光體之差異。 —本創作之上述及其他目的與優點，不難從下述所選用 實施例之詳細說明與附圖中，獲得深入了解。 H本_在某㈣件上，或糾之錢上容許有 所不同，但所選用之實施例，則於本說明書中，予以詳細 說明，並於附圖中展示其構造。 【貫施方式】 請配合參閱第1圖，圖中所示者為本創作所選用之實 施例結構，此僅供說明之用，在專利申請上並不受此種結 構之限制。 M332851 本創作係提供-種光學測試複合機，其具有一檢測區 域1 1而可用以檢測-發光體工〇，該發光體工〇係可為 發光一極體（LED)、雷射二極體⑽或生物晶片（Bi〇chips )其中之-，而該光學測試複合機主要係由—光譜量測裝 置2 1、-光場型量測裝置3工、一顯微鏡量測裝置41 以及一光學光路系統5 1所構成，其中·· 該光譜量測裝置21，係主要由一分光光譜儀以及一 CCD器材（圖中未示）來測量該發光體丄〇的光譜參數， 並將該光譜參數轉換成-光譜職，且藉由該發光體工〇 之發光光譜量測導電帶與價電帶之間的波長特性，從而判 斷该發光體1 〇的製作品質與成分變化，· 該光場型量測裝置3 i，係由一電荷搞合元件（CCD 攝影機）對該發光體i 〇之光場進行取像，並轉換成一光 场说號，且依照該電荷_合元件之觀測位置係可分為近場 (near field)的分析或是遠場（far field)的分析； _________________^ If i 該發光體1 0之成像放大並擷取而成一顯微訊號，且該顯 微鏡s測裝置4 1係分別與該光譜量測裝置2丄及該光場 型量測裝置3 1連結； 該光學光路系統51，其具有一資料庫52而可用以 儲存多組基礎數據，該光學光路系統5 1中並具有一積分 球5 4以及一分析模組5 6，其中該積分球5 4係用以接 收该光谱釩唬以及該顯微訊號，並將該二訊號匯整後傳遞 至該資料庫5 2，並與該資料庫5 2儲存之基礎數據進行 M332851 比對，而該分析模組5 6則用以接收該光場訊號以及該顯 微訊號，並將該二訊號匯整後傳遞至該資料庫5 2，並與 該資料庫5 2儲存之基礎數據進行比對，而該光學光路系 統5 1係針對涵蓋波長範圍分析比對、收光角度模擬分析 比對、光學收光量計算分析比對以及光學功率損耗分析進 行比對，且該光學光路系統5丄更具有一螢幕58，該螢 幕5 8則可用以顯示由該光學光路系統5丄比對後之結果 0 而本創作於操作時，係先由該發光體i 〇發出一光源 1 2，並藉一透鏡1 3進行聚焦後，先行投射至一第一感 測區1 4，且該第一感測區i 4並將該光源χ 2—部分折 射而成一第一折射光源1 5至該光譜量測裝置2 ；[中，以 供該光譜量測裝置2 1對該第一折射光源丄5進行檢測並 產生该光譜訊號；而該光源1 2在通過該第一感測區1 4 後到達一第二感測區1 6，此時該第二感測區丄6係將該 光源12折射成而成一第二折射光源17至該顯微鏡量測 t置4 1上，以供該顯微鏡量測裝置4 1對該第二折射光 源1 7進行檢測並產生該顯微訊號，而該積分球5 4則用 以接收由該光譜量測裝置21所產生之光譜訊號以及由該 顯微鏡量測裝置4 1所產生之顯微訊號，並將該光譜訊號 與該顯微訊號予以整合後再傳遞至該光學光路系統51之 資料庫5 2進行比對。 且該光源1 〇在通過該第二感測區1 6後係投射至該 光％型量測裝置3 1上，並經該光場型量測裝置3 1檢測 8 M332851 後產生该光場訊5虎’而由於該分析模組5 6係與該光場型 里測I置3 1以及該顯微鏡量測裝置4 1相互連接，因此 可接收由該光場型量測裝置31所產生之光場訊號以及由 該顯微鏡量測裝置4 1所產生之顯微訊號，並將該光場訊 號與该顯微訊號予以整合後再傳遞至該光學光路系統5 1 之資料庫5 2進行比對。 藉此’本創作即可在結合光譜檢測與顯微鏡檢測，以 及結合光場型檢測與顯微鏡檢測，並利用本創作結合後之 顯微光譜檢測以及顯微光場檢測，而可對該發光體丄〇進 行更細微之光特性檢測分析。 由以上詳細說明，可使熟知本項技藝者明瞭本創作的 確可達成前述目的，實已符合專利法之規定，故本案發明 人爰依法提出專利申請。 M332851 【圖式簡單說明】 第1圖係本創作之結構示意圖。 【主要元件符號說明】 發光體1 0 光源1 2 第一感測區1 4 第二感測區1 6 光譜量測裝置21 顯微鏡量測裝置4 1 資料庫5 2 分析模組5 6 檢測區域1 1 透鏡1 3 第一折射光源15 第二折射光源17 光場型量測裝置3 1 光學光路系統5 1 積分球5 4 螢幕5 8

Claims (1)

1. M332851 九、申請專利範圍： 1 . 一種光學測試複合機，具有一檢測區域而用以檢 測一發光體，该光學測試複合機係包含有·· 一光譜量測裝置，係以一分光光譜儀檢測該發光體之 光譜參數，並將該光譜參數轉換成一光譜訊號； 一光場型量測裝置，係由一電荷耦合元件對該發光體 .之光場進行取像，並轉換成一光場訊號； ^ 一顯微鏡量測裝置，具有一顯微鏡偵測器，以對該發 _ 光體之成像擷取而成一顯微訊號，該顯微鏡量測裝置係分 別與該光譜量測裝置及該光場型量測裝置連結； 一光學光路系統，具有一資料庫，該光學光路系統係 用以整合該光譜訊號、該光場訊號以及該顯微訊號，並將 整合後所產生之數據與該資料庫數據進行比對，藉以判別 該發光體之差異。 9 2 ·依申請專利範圍第1項所述之光學測試複合機， 修其中該檢測區域係由一第一感測區及一第二感測區所構成 0 " 3 ·依申請專利範圍第1項所述之光學測試複合機， -其中忒光學光路系統係包含有一積分球，該積分球係用以 接收該光譜訊號以及該顯微訊號，並將該二訊號匯整後傳 遞至該資料庫進行比對。 4 ·依申請專利範圍第1項所述之光學測試複合機， 其中該光學光路系統係包含有一分析模組，該分析&組係 用以接收該光場訊號以及該顯微訊號，並將該二訊號匯敕 11 M332851 後傳遞至該資料庫進行比對。 5 ·依申請專利範圍第1項所述之光學測試複合機， 其中該光學光路系統係包含有一螢幕，該螢幕係用以顯示 由該光學光路系統比對後之結果。 6 ·依申請專利範圍第1項所述之光學測試複合機， 其中該電荷耦合元件係為一 CCD攝影機。

   7·依中請專利範圍第1項所述之光學測試複合 其中該發光體係可為發光二極體（_、t射二極體° ’ 及生物晶片（Biochips)其中之一。

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