TWM330557U - Interface apparatus of auto test equipment - Google Patents

Description

M330557 八、新型說明： 【新型所屬之技術領域】 本創作係有關於一種晶圓針測機裝置，且特別有關於一種 •晶圓針測機的轉換界面裝置。 - 【先前技術】 一般晶圓在製備完成後，都會以晶圓針測機進行晶圓測 試’逐一檢測晶圓上各個晶粒的電性以師選出不良品’並僅針 對通過電性檢測的晶粒進行後續的封裝製程，以節省不必要的 成本。 第一圖顯示一般晶圓針測機ίο的示意圖，其主要包含測 試軟體裝置12、轉換界面裝置14以及測試座裝置16。 測試座裝置16可用以承載晶圓18，而測試軟體裝置12 則分別與轉換界面裝置14以及測試座裝置16電連接，其可用 •於控制測試座裝置16之位移，進而對晶圓18上一待測晶粒20 進行電性測試。另，測試軟體裝置12可藉由轉換界面裝置14 以提供一測試訊號予構築在晶圓18上的晶粒20電路，而晶粒 20經測試後的結果輸出信號亦可經由轉換界面裝置14而回送 到測試軟體裝置12中，以針對輸出信號和預期資料相比較， 進而決定晶圓18上的晶粒20之電路是否正常。 傳統晶圓針測機10之轉換界面裝置14通常包含有測試頭 22、承載板24、連接件26(pogo tower)以及針測卡（probe 5 M330557 card)28。其中，測試頭22包含至少一具有測試電路的功能板 30，此功能板30 —般為印刷電路板，並可於底部加上彈簧針 模組32以和承載板24上的電子線路34接觸，使電子訊號可 •傳送於測試頭22以及連接件26之間。承載板24可用於將晶 、圓針測機10之測試頭22的電路佈局尺度向待測晶粒2〇的電 路佈局尺度縮減，而連接件26負責將來自測試頭22之功能板 3〇的龐大複雜測試迴路及測試項目轉接至針測卡28，以電連 •接承載板24與針測卡28,其中針測卡28具有複數個探針％ 用於接觸待測晶粒20上的銲墊以進行電性測試。 然而，由於傳統晶圓針測機10之轉換界面裴置14的承载 板24通常為-種利用平面式的佈局結構所產出的印刷電路 板’因此由於其材料的限制和佈線的關係，通常使動態組抗和 雜散電容增加不少’使得介面的負载升高，進而影響晶粒2〇 鲁的電性測試結果。有鑑於此，業者需要一種可有效提高晶粒電 性测試可靠度的轉換界面裝置。 【新型内容】 本創作的目的之-就是提供—種晶圓針測機的轉換界面 ^其可有錢低晶粒測試時的動態阻抗和雜散電容，以提 阿晶粒電性測試可靠度。 6 M330557 =上述與其他目的，本創作所提供之晶圓針測機的轉換 餐測試頭、一針測卡、以及至少一軟質排線。其 中=述測試頭包含至少一具有剛試電路的功能板，而上述每 ^板具有-第—接合裝置。針測卡具有複數個探針用於接 ‘人=測轉以進行電性測試，而此針測卡具有至少一第二接 :。土述每—軟質排線具有—第—連接端與—第二 端，其中第一連接端與第一接合事 一 •第二接合裳置連接。接，而弟二連接端則與 懂上述和其他目的、特徵、和優點能更明顯易 .下文特舉㈣佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如 下· 實施方式】 並夫…糸牛列—些實施例詳述如下，其内文中相關之圖示 二德只際比例㈣，其作用僅在表達本創作之結構特徵。 ’本創作的範®乃不受實施觸限定，而林 申請專利範圍為準。 "钕出之 _立第二圖為根據本創作—實施例所提供之晶圓針測機210的 丁〜圖參閱第二圖，晶圓針測機210包含測試軟 轉換界面裝置2U以及測試座裝置216。 、置212、 測^軟體裳置212可用以控制測試座裝置216以移動晶圓 上这測試軟體裝置2U可提供一測試訊號並經由轉換 7 •M330557 界面裝置214傳至晶圓218上的晶粒220之電路，而晶粒220 經測試後的結果輸出信號亦可經由轉換界面裝置214而回送到 測試軟體裝置212中，以針對輸出信號與預期資料作比較，進 而決定晶圓218上的晶粒220之電路是否正常。 本實施例所知:供之晶圓針測機21 〇的轉換界面裝置214主 要包含測試頭222、針測卡224以及至少一軟質排線(Flexible Cable)226。其中，測試頭222包含至少一具有測試電路的功能 板228，此功能板228 —般為印刷電路板，且上述每一功能板 228具有第一接合裝置230，例如插槽。 針測卡224包含複數個探針225用於接觸待測晶粒22〇上 的銲墊以進行電性測試，而在此實施例中，針測卡具有至 少一第一接合裝置232，例如插槽。 上述每一軟質排線226具有第一連接端234與第二連接端 236，其中第-連接端234與功能板228的第—接合裝置謂 連接，而第二連接端236則與針測卡224的第二接合裝置232 連接。第三圖顯示根據本創作—實施例所提供之軟質排線以 的構造，其第-連接端234與第二連接端236可包含複數個插 針238肖以和第一接合裝置23〇與第二接合裝置说的插槽 作接合。然而’本創作之第—連接端234與第二連接端⑽亦 可分別利用插頭式或插卡式等接合方式與第一接合裝置23〇與 第一接。衣置232連接，亦即本創作並非以此為限，而可包含 8 •M330557 任何連接形式者。 _ 另，第四圖顯示根據第三圖之實施例所提供的軟質排線 226沿A-A’剖線的剖面圖式。在此實施例中，軟質排線内 •具有複數條導線240彼此電性隔離，且上述軟質排線226外具 •有一絕緣膜242用以包覆並且固定導線24〇。軟質排線226之 絕緣膜242内側可包含一金屬層244，例如銅箔，然本創作並 非以此材質為限。上述軟質排線226之絕緣膜242内可包含一 籲介電物f 246用以隔絕導線24〇與金屬層244，並有助於防止 測試訊號受到干擾。上述軟質排線226内的導線24〇可向外延 伸並作為第一連接端234與第二連接端236之插針238，其可 經由第一連接端234與功能板228的第一接合裝置23〇接合， 而經由其第二連接端236與針測卡224的第二接合裝置232接 合。 • 此外，在本創作之轉換介面裝置中更可包含一鎖扣裝置用 以輔助第-連接端234與第-接合裝置23〇、以及第二連接端 236 第一接a扁置232的接合效果，用於防止電性測試過程 中鬆脫而確保其電性連接。如第五圖所示，則於該第一連接端 • 234上具有一鎖扣裝置233，於本實施例中，該鎖扣裝置可為 •一具有兩螺絲之裝置製於該第一連接端234上，且於該第一接 合裝置230上則對應具有兩個鑽孔，當該第一連接端234與該 第一接合裝置230接合時可防止其鬆脫。另外，該鎖扣裝置更 9 M330557 可以做出一 錯誤。 凸起部分來作為防呆裝置，以避免操作者連接上的 ' ^、十’則機的轉換界面裝置通常包含有測試頭、承翁 板、連接件以及敕戟 、 久斜測卡等多個組件，而本創作利用軟質排線取 代了傳統邮圓針測機的轉換界面裝置之承載板和連接件等組 jj 曰ϋ了組裝方便性並可有效地節省機台成本。 另傳統晶圓針測機之轉換界面裝置的承載板通常為一種 利用平面式的佈局結構所產出 的印刷電路板，由於其材料的ΡΡ 制與佈線的關係，# 匕 、 ' 、， ’、通兩使動悲組抗和雜散電容增加不少，進而 衫響=粒的電性測試結果’謂統晶圓針測機的測試頭内之各 Γ功由㈣電路板所構成的承載板4形成共點接 、、排線取代傳統晶圓針測機的轉換界面裝置之 板和連接件等組件，以立體結構的優點取代傳統 印刷電路板佈線過長以及介電係數過高之缺點，使得= 的動態組抗和雜散電容大幅降低，且由於本創作彻軟質排線 將測試顧的倾板直接電性連接至針測卡，於針測卡處再行 接地，如此-來將使得共模雜訊較為減少，大 : 性測試訊號的結果。 σ7θθ^^ 此外’本創作一實施例中所使用的軟質排線之絕緣膜内侧 包含了-金屬層’如此可更為增加電子訊號傳輪的穩定性，且 M330557 接地效果較佳。而由於本創作所提供之晶圓針測機的轉換 襄置大幅改善了電子訊號的測試環境，因此可更容易達到、 或ic晶粒的最終測試(FinalTest)之測試環境。 门八 雖然本創作已以數個較佳實施例揭露如上，然其並非 =定本創作，任何熟習此技藝者，在未脫離本創作所揭示之精 神下所完叙等效改變或修飾，均應包含在下述之申請專 圍内。

【圖式簡單說明】 第一圖顯示一般晶圓針測機的示意圖； 第二圖為根據本創作-實施例所提供之晶圓針測機的示 第三圖顯轉據摘作—實施朗提供之軟質排線的構 造； 第四圖顯示根據第三圖之實施例所提供的軟質排線沿 A_A’剖線的剖面圖式；及 第五圖為根據本創作之實施例所提供的鎖扣裝置。 【主要元件符號說明】 1 〇〜晶圓針測機； 12〜測試軟體裝置； 14〜轉換界面裝置； 11 M330557 16〜測試座裝置； 18〜晶圓， 20〜晶粒， 22〜測試頭； . 24〜承載板； 26〜連接件； 2 8〜針測卡； 30〜功能板； 32〜彈簧針模組； 34〜電子線路； 36〜探針； 210〜晶圓針測機； 212〜測試軟體裝置； 214〜轉換界面裝置； 216〜測試座裝置； 218〜晶圓； 220〜晶粒； 222〜測試頭； * 224〜針測卡； 225〜探針； 226〜軟質排線； 228〜功能板； - 230〜第一接合裝置； • 232〜第二接合裝置； 233〜鎖扣裝置； 234〜第一連接端； 236〜第二連接端； 238〜插針； 12 M330557

240〜導線； 242〜絕緣膜； 244〜金屬層； 246〜介電物質； A-A’〜剖線。 13

Claims (1)

1. M330557 九、申請專利範圍： 1. 一種晶圓針測機的轉換界面裝置，包含： 一測試頭，其包含至少一具有測試電路的功能板，而上述 •每一功能板具有一第一接合裝置； 一針測卡，具有複數個探針用於接觸一待測元件以進行電 性測試，該針測卡具有至少一第二接合裝置；以及 _ 至少一軟質排線，上述每一軟質排線具有一第一連接端與 一第二連接端，其中該第一連接端與該第一接合裝置連接，而 該第二連接端與該第二接合裝置連接。 2. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓針測機的轉換界面 裝置，其中上述軟質排線内具有複數條導線彼此電性隔離。 3. 如申請專利範圍第2項所述之晶圓針測機的轉換界面 _裝置，其中上述軟質排線外具有一絕緣膜用以包覆並且固定該 些導線。 4. 如申請專利範圍第3項所述之晶圓針測機的轉換界面 裝置，其中上述軟質排線之該絕緣膜内侧包含一金屬層。 5. 如申請專利範圍第4項所述之晶圓針測機的轉換界面 裝置，其中該金屬層包含銅箔。 6. 如申請專利範圍第4項所述之晶圓針測機的轉換界面 裝置，其中上述軟質排線之該絕緣膜内包含一介電物質用以隔 14 M330557 絕該些導線與該金屬層。 7. 如申請專利範圍第2項所述之晶圓針測機的轉換界面 裝置，其中上述軟質排線内之該些導線經由該第一連接端與該 -第一接合裝置連接，並經由該第二連接端與該第二接合裝置連 -接。 8. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓針測機的轉換界面 裝置，其中上述軟質排線之該第一連接端具有一第一連接器與 I 該第一接合裝置進行接合。 9. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓針測機的轉換界面 裝置，其中上述軟質排線之該第二連接端具有一第二連接器與 該第二接合裝置進行接合。 10. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓針測機的轉換界面 裝置，其中該第一接合裝置包含插槽。 > 11·如申請專利範圍第1項所述之晶圓針測機的轉換界面 裝置，其中該第二接合裝置包含插槽。 12. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓針測機的轉換界面 _裝置，其中上述功能板包含印刷電路板。 13. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓針測機的轉換界面 裝置，其包含一鎖扣裝置用以辅助該第一連接端與該第一接合 裝置連接。 15 M330557 14.如申請專利範圍第1項所述之晶圓針測機的轉換界面 裝置，其包含一鎖扣裝置用以輔助該第二連接端與該第二接合 裝置連接。

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