TWI846050B - 光罩盒及光罩儲存系統 - Google Patents

Abstract

光罩盒包括介接表面以將該光罩盒之段彼此固定。該等介接表面之至少一者係一斜表面，使得當該等光罩盒彼此固定時，光罩被夾持在設置於該光罩盒之該等段上之光罩接觸件之間。當該光罩盒經組裝且裝納一光罩時，可在該光罩盒中形成一沖洗氣體流動通道。該等光罩接觸件之高度及該光罩之厚度可使得該等光罩盒段彼此隔開一間隙，其中該間隙提供該沖洗氣體流動通道。該光罩盒可為用於光罩之運送及儲存之一儲料盒。

Description

光罩盒及光罩儲存系統

本發明係關於用於光罩之儲存及/或運送之盒，特定言之，包括具有包括斜表面之介接表面之盒段之盒。

光罩通常在包括一內盒及一外盒之光罩盒中被運送、處理及儲存。內盒經構形使得其可在光罩之處理期間使用，例如在諸如極紫外(EUV)程序之光微影術中使用。內盒之使其等適合於在光罩處理(諸如濾光器、密封之形成)中使用之特徵部及/或內盒之其他特徵部可使內盒更複雜及昂貴，且較不適合於光罩之儲存。

本發明係關於用於光罩之儲存及/或運送之盒，特定言之，包括具有包括斜表面之介接表面之盒段之盒。

光罩盒可使用包括至少一個斜表面之介接表面來提供夾持力以閉合該盒且夾持裝納在其中之光罩。可藉由分別設置於第一及第二段上之第一及第二斜表面之介面將光罩盒固持在一起。斜表面之介面可將第一及第二段固持在一起，使得其等在設置於第一及第二段之各者中之光罩接觸件處夾持光罩，使得光罩被固定在形成在儲料盒內之一光罩容納空間 內。此可改良光罩之夾持，從而即使在光罩盒之移動或衝擊事件(諸如光罩盒被撞擊或掉落)期間仍固定光罩。

光罩盒可為儲料盒。儲料盒可藉由比傳統光罩盒體積小而容許更高儲存密度，且可藉由僅包括涉及光罩儲存之特徵部而非用於光罩處理之特徵部(諸如濾光器、盒之密封或類似物)而具有降低的成本。儲料盒可包括一或多個流動路徑，其或其等可容許沖洗氣體流動穿過儲料盒以排出氧氣、水、顆粒物質、其他污染物或類似物以保護所裝納之光罩，且因此改良總體程序良率。流動路徑可為光罩盒之段之間之一間隙。可在一儲料盒容器中使用多個光罩盒來儲存數個光罩，其中儲料盒容器提供適合於光罩之儲存之一環境，例如，包括穿過儲料盒之沖洗氣體流。

在一實施例中，一種物品包括一光罩盒。該光罩盒包括一第一光罩盒段，其中該第一光罩盒包括複數個第一光罩接觸件及複數個閂鎖，且該複數個閂鎖之各者包括一第一介面表面。該光罩盒進一步包括一第二光罩盒段，該第二光罩盒段包括複數個第二光罩接觸件及複數個第二介面表面。該複數個閂鎖之該等第一介面表面之各者經構形以當該等第一介面表面處於一閂鎖位置時接觸該複數個第二介面表面之一者。該等第一介面表面及該等第二介面表面之一者或兩者係斜表面。該光罩盒經構形以將一光罩容納在一光罩容納空間中，使得當該光罩位於該光罩容納空間內且該等第一介面表面接觸該等第二介面表面時，由該複數個第一光罩接觸件及該複數個第二光罩接觸件夾持該光罩。

在一實施例中，當該光罩由該複數個第一光罩接觸件及該複數個第二光罩接觸件接觸時，該光罩盒界定從該光罩盒之一外部穿過該光罩空間之一沖洗氣體流動路徑。在一實施例中，該沖洗氣體流動路徑係 由該第一光罩盒段與該第二光罩盒段之間之一間隙形成。在一實施例中，該間隙係在自0.5至6毫米(mm)之範圍內。在一實施例中，該間隙係由該複數個第一光罩接觸件及該複數個第二光罩接觸件之各者之高度及該光罩之一厚度形成。

在一實施例中，該第一光罩盒段及該第二光罩盒段之至少一者包括複數個光罩接觸凸台，且其中該第一複數個光罩接觸件之至少一些或該第二複數個光罩接觸件之至少一些部分安置在該複數個光罩接觸凸台中。

在一實施例中，該複數個第一光罩接觸件及該複數個第二光罩接觸件包括聚醚醚酮(PEEK)材料。

在一實施例中，該第一光罩盒段及該第二光罩盒段之至少一者包括鋁。

在一實施例中，該等第一介面表面及該等第二介面表面兩者皆為斜表面。

在一實施例中，該等第二介面表面之各者安置在該第二光罩盒段之一外表面上。在一實施例中，一開口設置於該第二光罩盒段上，該開口經構形以容許包括該第一介面表面之閂鎖部件本體之一部分行進穿過該開口，且其中該開口鄰近於該等第二介面表面之各者定位。

在一實施例中，該等第二介面表面之各者安置在一凸緣上，各凸緣在組裝該光罩盒時突出朝向該第一光罩盒段。

在一實施例中，該等閂鎖之各者包括：一通道；一閂鎖部件本體，其經構形以可在該通道內移動，該閂鎖部件本體包括該複數個第一介面表面之一者；及一彈簧，該彈簧經構形以沿著該通道驅動該閂鎖部 件本體，使得該閂鎖部件本體被驅動朝向該閂鎖位置。在一實施例中，選擇該等第一介面表面之各者及該等第二介面表面之各者之一角度及該等第一介面表面之各者及該等第二介面表面之各者之一摩擦係數，使得當該等第一介面表面接觸該等第二介面表面時，閂鎖主體阻擋從該閂鎖位置退出。在一實施例中，該等第一介面表面之各者及該等第二介面表面之各者之一角度係30°或更小。

在一實施例中，一種儲存一光罩之方法包括將該光罩放置至一光罩盒中。該光罩盒包括一第一光罩盒段，其中該第一光罩盒包括複數個第一光罩接觸件及複數個閂鎖，且該複數個閂鎖之各者包括一第一介面表面。該光罩盒進一步包括一第二光罩盒段，該第二光罩盒段包括複數個第二光罩接觸件及複數個第二介面表面。該複數個閂鎖之該等第一介面表面之各者經構形以當該等第一介面表面處於一閂鎖位置時接觸該複數個第二介面表面之一者。該等第一介面表面及該等第二介面表面之一者或兩者係斜表面。該光罩盒經構形以將一光罩容納在一光罩容納空間中，使得當該光罩位於該光罩容納空間內且該等第一介面表面接觸該等第二介面表面時，由該複數個第一光罩接觸件及該複數個第二光罩接觸件夾持該光罩。

在一實施例中，當該光罩由該複數個第一光罩接觸件及該複數個第二光罩接觸件接觸時，該光罩盒界定從該光罩盒之一外部穿過該光罩空間之一沖洗氣體流動路徑，且其中該方法進一步包含提供穿過該沖洗氣體流動路徑之一沖洗氣體流。

在一實施例中，該等閂鎖之各者包括：一通道；一閂鎖部件本體，其經構形以可在該通道內移動，該閂鎖部件本體包括該複數個第 一介面表面之一者；及一彈簧，該彈簧經構形以沿著該通道驅動該閂鎖部件本體，使得該閂鎖部件本體被驅動朝向該閂鎖位置。將該光罩放置至該物品中包括：將該等閂鎖部件本體之各者牽引至一解鎖位置中；將該第一光罩盒段及該第二光罩盒段帶至一起，使得該光罩由該複數個第一光罩接觸件及該複數個第二光罩接觸件接觸；及釋放該等閂鎖部件本體之各者，使得該等彈簧可將該等閂鎖部件本體驅動至該閂鎖位置。

在一實施例中，一種光罩儲存系統包括：一盒容器；一沖洗氣體供應器；及複數個光罩盒，其等各自經構形以裝納在該盒容器內。各光罩盒包括一第一光罩盒段，其中該第一光罩盒包括複數個第一光罩接觸件及複數個閂鎖，且該複數個閂鎖之各者包括一第一介面表面。該光罩盒進一步包括一第二光罩盒段，該第二光罩盒段包括複數個第二光罩接觸件及複數個第二介面表面。該複數個閂鎖之該等第一介面表面之各者經構形以當該等第一介面表面處於一閂鎖位置時接觸該複數個第二介面表面之一者。該等第一介面表面及該等第二介面表面之一者或兩者係斜表面。該光罩盒經構形以將一光罩容納在一光罩容納空間中，使得當該光罩位於該光罩容納空間內且該等第一介面表面接觸該等第二介面表面時，由該複數個第一光罩接觸件及該複數個第二光罩接觸件夾持該光罩。

100:光罩盒

102:第一光罩盒段

104:第二光罩盒段

106:閂鎖

108:通道

110:彈簧

112:閂鎖主體

114:凸緣

116:第一介面表面

118:凸台

120:光罩接觸件

122:第二介面表面

124:開口

126:光罩

128:光罩容納空間

130:間隙

200:光罩盒

202:第一光罩盒段

204:第二光罩盒段

206:閂鎖

208:閂鎖主體

210:槽

212:凸緣

214:第一介面表面

216:開口

218:第二介面表面

220:凸台

222:光罩接觸件

300:第一光罩盒段

302:凸台

304:光罩接觸件

306:閂鎖

308:通道

310:彈簧

312:閂鎖主體

314:操縱特徵部

400:光罩盒

402:第一光罩盒段

404:第二光罩盒段

406:閂鎖

408:通道

410:閂鎖主體

412:彈簧

414:第一介面表面

416:凸緣

418:第二介面表面

420:開口

500:光罩儲存系統

502:儲料盒容器

504:沖洗氣體源

506:光罩盒

508:光罩傳送自動化系統

510:光罩盒

600:光罩盒

602:第一光罩盒段

604:第二光罩盒段

606:光罩容納空間

608:光罩

610:第一光罩接觸件

612:第二光罩接觸件

614:間隙

圖1展示根據一實施例之一光罩盒之一剖面圖。

圖2展示根據一實施例之一光罩盒之一透視圖。

圖3展示根據一實施例之一光罩盒之一仰視圖。

圖4展示根據一實施例之一光罩盒之一側視圖。

圖5展示根據一實施例之一光罩儲存系統之一示意圖。

圖6展示根據一實施例之一光罩盒之一剖面圖。

優先權

本發明主張2021年9月9日申請之美國臨時專利第63/242,305號之優先權，該案之全部內容以引用的方式併入。

本發明係關於用於光罩之儲存及/或運送之盒，特定言之，包括具有包括斜表面之介接表面之盒段之盒。

圖1展示根據一實施例之一光罩盒之一剖面圖。光罩盒100包括第一光罩盒段102及第二光罩盒段104。第一光罩盒段102包括一閂鎖106。閂鎖106包括一通道108、一彈簧110及閂鎖主體112。閂鎖主體112包括一凸緣114及一第一介面表面116。第二光罩盒段104包括一凸台118及一光罩接觸件120。第二光罩盒段104進一步包括一第二介面表面122。第二光罩盒段104可包括靠近或鄰近於第二介面表面122定位之一開口124。一光罩126可裝納在由第一光罩盒段102及第二光罩盒段104形成之光罩容納空間128中。一間隙130可形成在第一光罩盒段102與第二光罩盒段104之間。

光罩盒100係用於一光罩(諸如光罩126)之儲存之一盒。光罩盒100可為包括在一光罩儲存系統中之複數個儲料盒之一者，如下文描述及圖5中展示。在一實施例中，當光罩126裝納在光罩盒100內時，光罩盒100未形成一密封。在一實施例中，光罩盒100不包括濾光器或可包括在光罩盒中之用於光罩處理(諸如光微影術，包括(作為非限制性實例)極紫外(EUV)處理)之其他此等特徵部。在一實施例中，光罩盒100包括一濾光器及/或用於處理光罩之一盒之任何其他適合特徵部。

第一光罩盒段102係光罩盒100之一段，該段經構形以在接合至第二光罩盒段104時界定光罩容納空間128。在一實施例中，第一光罩盒段102形成光罩盒100之一下部分，從而用作光罩盒100之一底板。在一實施例中，第一光罩盒段102形成光罩盒100之一上部分，從而用作光罩盒100中之一蓋。在一實施例中，第一光罩盒段102可主要由鋁製成。

閂鎖106提供第一介面表面116，使得第一介面表面116可接觸設置於第二光罩盒段104上之一第二介面表面122。閂鎖106可經進一步構形以容許第一介面表面116從一閂鎖位置移動至一解鎖位置。在閂鎖位置中，第一介面表面116接觸第二介面表面122。在解鎖位置中，第一介面表面116及第二介面表面122未接觸。在一實施例中，解鎖位置可進一步包括定位第一介面表面116，使得第一光罩盒段102及第二光罩盒段104可彼此分離，例如藉由定位第一介面表面116，使得其可行進穿過開口124。

在一實施例中，閂鎖106包括一通道108。通道108可經定大小以容納閂鎖主體112之至少一部分。在一實施例中，通道108以與第一光罩盒段102之一平面同平面之一主方向定向。在一實施例中，通道108包括一槽，凸緣114可延伸穿過該槽朝向第二光罩盒段104。彈簧110可安置在通道108內，彈簧110接觸通道108之一端及閂鎖主體112。在一實施例中，閂鎖106包括一閂鎖主體112。閂鎖主體112可經構形使得其可被保持在通道108內，使得可藉由來自彈簧110之力沿著通道108驅動閂鎖主體。閂鎖主體112可包括一凸緣114，該凸緣114延伸出通道108以將第一介面表面116放置在接觸第二介面表面122之一位置中。

閂鎖106包括一第一介面表面116。第一介面表面116係經 構形以接觸一對應第二介面表面122之一傾斜表面。雖然圖1中展示僅一個第一介面表面116，但複數個第一介面表面116可設置於第一光罩盒段102上。在一實施例中，各第一介面表面116可設置於一分開的閂鎖106上。在一實施例中，複數個第一介面表面116可圍繞第一光罩盒段102之一周長分佈。在一實施例中，複數個第一介面表面116可設置於第一光罩盒段102之相對側上。閂鎖106可經定位及定向，使得閂鎖之致動產生第一光罩盒段102至第二光罩盒段104之減小位移或不產生位移。第一介面表面116可經塑形及定位，使得當第一光罩盒段102及第二光罩盒段104環繞光罩126且第一介面表面116處於閂鎖位置時，第一介面表面116之至少一部分接觸第二介面表面122之至少一部分。在一實施例中，第一介面表面116係斜表面，例如，如圖1中展示。在一實施例中，當第二介面表面122係斜表面時，第一介面表面116可具有除一斜表面之外之一形狀，例如，一平坦表面、一圓形表面、一銷或類似物。在一實施例中，第一介面表面116及第二介面表面122各自係互補斜表面。第一介面表面116與第二介面表面122之接觸可提供將第一光罩盒段102及第二光罩盒段104推向彼此之力，從而將夾持力提供至裝納在光罩盒100內之光罩126。

第二光罩盒段104係光罩盒100之一段，該段經構形以在接合至第一光罩盒段102時界定光罩容納空間128。在一實施例中，第二光罩盒段104形成光罩盒100之一上部分，從而用作光罩盒100中之一蓋。在一實施例中，第二光罩盒段104形成光罩盒100之一下部分，從而用作光罩盒100之一底板。在一實施例中，第二光罩盒段104可主要由鋁製成。

可在第二光罩盒段104中形成凸台118。可在圖1之視圖中不可見之第二光罩盒段104之部分中形成額外凸台118。在一實施例中， 針對包括在第二光罩盒段104中之各光罩接觸件120提供一凸台118。凸台118可各自包括用於固定光罩接觸件120之一或多個機械特徵部。作為一非限制性實例，機械特徵部可包括光罩接觸件120可壓入配合至其中之一通道。應理解，任何適合機械連接可用於保持光罩接觸件120，其中各凸台118包括對應特徵部。在一實施例中，代替凸台118，光罩接觸件120可裝納在形成在第一光罩盒段102及第二光罩盒段104中之特徵部(諸如鑽孔或類似物)內。應理解，雖然圖1展示第二光罩盒段104上之凸台118，但除形成在第二光罩盒段104上之凸台之外或代替該等凸台，實施例亦可包括諸如第一光罩盒段102上之凸台118之凸台。

光罩接觸件120經構形以在組裝光罩盒100時接觸光罩126。光罩接觸件120可藉由任何適合機械連接(諸如作為一非限制性實例，一壓入配合)固定在凸台118內。光罩接觸件120可為設置於第一光罩盒段102及第二光罩盒段104兩者上之複數個光罩接觸件之一者。當組裝光罩盒100時，複數個光罩接觸件之至少一些夾持光罩126以將光罩126固定在光罩容納空間128內。光罩接觸件120可由用於接觸光罩126之任何適合材料製成。作為一非限制性實例，光罩接觸件120可包括聚醚醚酮(PEEK)材料，諸如純PEEK或包括一填料(諸如碳或玻璃纖維)之PEEK。包括光罩接觸件120之光罩接觸件可經定大小，使得當由光罩接觸件夾持一光罩126時，第一光罩盒段102及第二光罩盒段104可經固持為彼此分開，從而形成一間隙130。

第二介面表面122係經構形以接觸第一介面表面116之一介面表面。在一實施例中，當第一介面表面116係斜表面時，第二介面表面122可具有除一斜表面之外之一形狀，例如，一平坦表面、一圓形表面、 一銷或類似物。在一實施例中，第一介面表面116及第二介面表面122各自係互補斜表面。第二介面表面122可處於第二光罩盒段104上之一固定位置。在一實施例中，第二介面表面122直接從第二光罩盒段104突出。在一實施例中，第二介面表面122係由與第二光罩盒段104之本體相同之材料形成。第二介面表面122可經塑形及定位，使得當第一光罩盒段102及第二光罩盒段104環繞光罩126且第一介面表面116處於一閂鎖位置時，第二介面表面122之至少一部分接觸第一介面表面116之至少一部分。在一實施例中，第二介面表面122具有與第一介面表面116之角度相同之一角度。

在一實施例中，可基於第一介面表面116及第二介面表面122之接觸表面之摩擦係數來選擇第一介面表面116及第二介面表面122之角度以限制或防止第一介面表面從閂鎖位置退出。在一實施例中，第一介面表面116及/或第二介面表面122之斜表面之角度可為30°或更小。在一實施例中，第一介面表面116及/或第二介面表面122之斜表面之角度可為20°或更小。在一實施例中，第一介面表面116及/或第二介面表面122之斜表面之角度可為15°或更小。

開口124係形成在第二光罩盒段104中之一開口，該開口經定大小，使得當第一介面表面116處於一解鎖位置時，包括第一介面表面116之凸緣114之一端可行進穿過開口124。開口124可鄰近於或靠近第二介面表面122定位，使得當第一介面表面116處於閂鎖位置時，例如當由彈簧110沿著通道108驅動閂鎖主體112時，第一介面表面116及第二介面表面122可彼此接觸。在一實施例中，可省略開口124，且凸緣114可向上延伸至第二光罩盒段104之一周長之外，其中第一介面表面116安置在凸 緣114上，使得其仍可接觸第二介面表面122。

光罩126係可儲存在光罩盒100內之一光罩。光罩126可為任何適合光罩，諸如已經受或將經受光微影術(諸如一EUV程序)之一光罩。光罩126可經定大小，使得其配裝在光罩容納空間128內。在一實施例中，光罩126之一厚度可使得當光罩126被夾持在設置於第一光罩盒段102及第二光罩盒段104上之光罩接觸件(包括光罩接觸件120)之間時，第一光罩盒段102及第二光罩盒段104彼此隔開以形成間隙130。

光罩容納空間128可由第一光罩盒段102及第二光罩盒段104界定。光罩容納空間可經定大小，使得光罩126可夾持在設置於第一光罩盒段102及第二光罩盒段104中之光罩接觸件(包括光罩接觸件120)之間。當一光罩126定位於光罩容納空間128中時，光罩126可被第一光罩盒段102及第二光罩盒段104環繞，視情況除間隙130或另一沖洗氣體流動路徑之外。

當光罩126定位於光罩容納空間128中時，間隙130可在第一光罩盒段102與第二光罩盒段104之間形成。間隙130可形成一沖洗氣體流動路徑之至少部分，從而容許沖洗氣體之供應進入光罩容納空間128，經過光罩126之表面，且離開光罩容納空間128。沖洗氣體可為例如氮氣或用於從光罩容納空間128沖洗污染物之任何其他適合氣體。沖洗氣體可從任何適合源供應，諸如連接至裝納光罩盒100之一光罩儲存系統之一沖洗氣體源。在一實施例中，間隙130可由光罩126之厚度及光罩接觸件(諸如光罩接觸件120)之厚度形成，使得當由光罩接觸件(諸如光罩接觸件120)夾持光罩126時，存在間隙。在一實施例中，僅當光罩126定位於光罩容納空間128內時，間隙130在第一光罩盒段102與第二光罩盒段104之 間形成。在一實施例中，間隙130之寬度可介於0.5毫米(mm)與6mm之間。在一實施例中，間隙130之寬度可介於1.0mm與3mm之間。在一實施例中，間隙130之寬度可介於1.0mm與1.5mm之間。應理解，可基於穿過光罩盒100之沖洗氣體之所要流動特性來選擇間隙130之寬度。

圖2展示根據一實施例之一光罩盒之一透視圖。光罩盒200包括第一光罩盒段202及第二光罩盒段204。第一光罩盒段202包括閂鎖206。閂鎖206包括一通道(未展示)、一閂鎖主體208、一槽210、突出穿過槽210之一凸緣212及安置在凸緣212上之第一介面表面214。第二光罩盒段204包括開口216及第二介面表面218。第二光罩盒段204亦包括凸台220及光罩接觸件222。

光罩盒200係經構形以容納一光罩(例如，如上文論述及圖1中展示之光罩126)之一盒。光罩盒200可用於光罩之運送及/或儲存。在一實施例中，光罩盒200係經構形用於光罩之運送及儲存之一儲料盒。

第一光罩盒段202形成光罩盒200之一部分。在圖2中展示之實施例中，第一光罩盒段202形成光罩盒200之一底板。在另一實施例中，第一光罩盒段202可為光罩盒200之一蓋。第一光罩盒段202包括閂鎖206。閂鎖206提供用以使第一介面表面214與第二介面表面218接觸之一機構。閂鎖206包括形成在第一光罩盒段中之一通道(未展示)。閂鎖主體208可主要安置在該通道中。閂鎖主體208可由一彈簧(未展示)接觸，諸如上文描述及圖1中展示之彈簧110。閂鎖主體208包括一凸緣212。可在第一光罩盒段202中形成一槽210，槽210經構形以容許凸緣212延伸出通道。當組裝光罩盒200時，凸緣212可延伸朝向第二光罩盒段204。雖然在圖2中展示之光罩盒200之部分中展示一個閂鎖206，但應理解，複數個閂 鎖206及對應開口216及第二介面表面218可設置於光罩盒200上。第一介面表面214設置於凸緣212上。在一實施例中，第一介面表面214係斜表面，例如，如圖2中展示。在一實施例中，當第二介面表面218係斜表面時，第一介面表面214可具有除一斜表面之外之一形狀，例如，一平坦表面、一圓形表面、一銷或類似物。在一實施例中，第一介面表面214及第二介面表面218各自係互補斜表面。第一介面表面214與第二介面表面218之接觸可提供將第一光罩盒段202及第二光罩盒段204推向彼此之力，從而將夾持力提供至裝納在光罩盒200內之一光罩。

第二光罩盒段204係光罩盒200之另一組件，其經構形以接合至第一光罩盒段202。在一實施例(諸如圖2中展示之實施例)中，第二光罩盒段204形成光罩盒200之一蓋。在另一實施例中，第二光罩盒段204形成光罩盒200之一底板。第二光罩盒段204包括開口216。雖然展示一個開口216，但應理解，可針對包括在第一光罩盒段202中之各閂鎖206提供一開口216。開口216係穿過第二光罩盒段204之一開口，該開口經定大小及定位，使得當閂鎖206處於解鎖位置時且當第一及第二光罩盒段202、204被帶至一起時，第一介面表面214及凸緣212之一部分可行進穿過開口216。開口216可經定位，使得當閂鎖206移動至閂鎖位置時，第一介面表面214可接觸第二介面表面218。開口216之此一位置可鄰近於或接近第二介面表面218。第二介面表面218係經構形以接觸第一介面表面214之一介面表面。在一實施例中，當第一介面表面214係斜表面時，第二介面表面218可具有除一斜表面之外之一形狀，例如，一平坦表面、一圓形表面、一銷或類似物。在一實施例中，第一介面表面214及第二介面表面218各自係互補斜表面。當第一介面表面214及第二介面表面218彼此接觸時， 第一介面表面214或第二介面表面218之任一者或兩者之斜表面可提供用於將一光罩夾持在光罩盒200內且將第一光罩盒段202保持至第二光罩盒段204之夾持力。

如圖2之實施例中展示，第二光罩盒段204可包括凸台220。凸台220可用於保持光罩接觸件222。光罩接觸件222經構形以接觸固持在光罩盒200內之一光罩。光罩接觸件222可由用於接觸光罩之任何適合材料製成。在一實施例中，光罩接觸件222包括一PEEK材料，諸如一純PEEK材料或一經填充PEEK材料。光罩接觸件222可藉由用於將光罩接觸件222保持在光罩盒200內之任何適合機械連接保持在光罩盒200中。在圖2中展示之實施例中，凸台220包括光罩接觸件222可壓入配合至其中之一通道。在一實施例中，可從光罩盒200省略凸台220，其中光罩接觸件222係藉由任何其他適合機械連接固定，其中一個非限制性實例係光罩接觸件222壓入配合至形成在光罩盒200之部分(諸如第二光罩盒段204)中或鑽穿該部分之一通道中。雖然圖2中展示僅一個凸台220及光罩接觸件222，但應理解，第二光罩盒段204可包括複數個凸台220及/或光罩接觸件222。光罩接觸件222亦可設置於第一光罩盒段202上。在一實施例中，可在第一光罩盒段202及第二光罩盒段204上之對應位置中提供光罩接觸件222，使得當組裝其內裝納一光罩之光罩盒200時，光罩被夾持在光罩接觸件222之間。

圖3展示根據一實施例之一光罩盒之一仰視圖。在圖3之仰視圖中，可見第一光罩盒段300。第一光罩盒段300包括一凸台302及一光罩接觸件304。第一光罩盒段300亦包括一閂鎖306，該閂鎖306包括一通道308、一彈簧310及一閂鎖主體312。閂鎖主體312可包括一操縱特徵部 314。

第一光罩盒段300可為一光罩盒100或光罩盒200之部分，如上文論述及在圖1及圖2中展示。特定言之，第一光罩盒段300可作為第一光罩盒段102或第一光罩盒段202包括在光罩盒100或光罩盒200中。在圖3中展示之實施例中，第一光罩盒段300形成一光罩盒(諸如光罩盒100或光罩盒200)之一底部，如上文論述及在圖1及圖2中展示。

凸台302經構形以保持光罩接觸件304。光罩接觸件304可透過用於形成一機械連接之任何適合特徵部保持在凸台302中。作為一非限制性實例，機械連接可為光罩接觸件304在凸台302內之一壓入配合。光罩接觸件304經構形以接觸一光罩，諸如上文描述及圖1中展示之光罩126。光罩可夾持在光罩接觸件304與設置於第二光罩盒段上之光罩接觸件(諸如上文論述及圖1中展示之光罩接觸件120)之間。在一實施例中，代替凸台302，光罩接觸件304可裝納在形成在第一光罩盒段300中之特徵部(諸如鑽孔或類似物)內。雖然第一光罩盒段300之區段包括一個凸台302及光罩接觸件304，但應理解，複數個凸台302及光罩接觸件304可被包括在諸如第一光罩盒段300之第一光罩盒段中。在一實施例中，光罩接觸件304係由用於接觸光罩之任何適合材料形成或包括任何適合材料，諸如一PEEK材料，包括純或經填充PEEK。

閂鎖306設置於第一光罩盒段300上。閂鎖306可經構形以提供一介面表面，諸如上文描述及圖1中展示之第一介面表面116，使得其可接觸設置於一第二光罩盒段(未展示)上之一第二介面表面，諸如上文描述及圖1中展示之第二光罩盒段104之第二介面表面122。閂鎖306可包括一通道308、彈簧310及閂鎖主體312。

通道308係形成在第一光罩盒段300中之一通道。通道308經定大小，使得閂鎖主體312可保持在通道308內且沿著通道308滑動。

彈簧310可安置在通道308中，從而接觸通道308之一端及閂鎖主體312，使得彈簧310可沿著通道308驅動閂鎖主體312。閂鎖主體312可經定大小以至少部分定位於通道308內，使得閂鎖主體312可沿著通道308在一閂鎖位置與一解鎖位置之間滑動。閂鎖主體312可包括一介面表面(未展示)，諸如上文描述及圖1中展示之第一介面表面116。在一實施例中，閂鎖主體312可包括一凸緣，諸如上文描述及圖1中展示之凸緣114。

可在閂鎖主體312中形成操縱特徵部314以容許與閂鎖主體312之機械介面，使得閂鎖主體312可移動至例如解鎖位置中。在一實施例中，操縱特徵部314可為來自閂鎖主體之一突出部，諸如一釘、柱或類似物。在一實施例中，操縱特徵部314可為形成在閂鎖主體312中之一凹槽，諸如一鑽孔開口。操縱特徵部可與一操作自動化裝置(未展示)之一部分嚙合，諸如一裝載埠處或附近之特徵部。操作自動化裝置可將閂鎖主體312移動至用於組裝或敞開包括第一光罩盒段300之光罩盒之一適合位置。例如，操作自動化裝置可將閂鎖主體移動至解鎖位置以容許組裝或敞開光罩盒。

圖4展示根據一實施例之一光罩盒之一側視圖。光罩盒400包括第一光罩盒段402及第二光罩盒段404。第一光罩盒段402包括閂鎖406，該閂鎖406包括通道408、閂鎖主體410及彈簧412。第一介面表面414設置於閂鎖主體410上。第二光罩盒段包括凸緣416及設置於凸緣416上之第二介面表面418。閂鎖406進一步包括一開口420。

光罩盒400係經構形以容納一光罩之一盒。光罩盒400可為用於光罩之儲存及/或運送之一儲料盒。在一實施例中，光罩盒400可提供一沖洗氣體流動路徑，例如一間隙，諸如上文描述及圖1中展示之間隙130。

第一光罩盒段402係光罩盒400之一個部分。在一實施例(諸如圖4中展示之實施例)中，第一光罩盒段402用作光罩盒400之一底板。在另一實施例中，第一光罩盒段402用作光罩盒400之一蓋。第一光罩盒段包括閂鎖406。閂鎖406包括經構形以容納閂鎖主體410之一通道408。閂鎖主體410由彈簧412接觸，使得彈簧412可將閂鎖主體410推向一閂鎖位置。在一實施例中，閂鎖主體410可包括一操縱特徵部，諸如上文論述及圖3中展示之操縱特徵部314。閂鎖主體410包括第一介面表面414。第一介面表面414係經構形以接觸第二介面表面418以將光罩盒400固定在一起且將一光罩夾持在光罩盒400內之一表面。在一實施例中，第一介面表面414係一斜表面，如圖4中展示。在一實施例中，當第二介面表面418係一斜表面時，第一介面表面可具有用於接觸第二介面表面418之斜表面之任何適合形狀，包括一斜表面、一平坦表面、一彎曲表面、一銷或類似物。在光罩盒400中，第一介面表面414或第二介面表面418之至少一者係一斜表面。在一實施例中，例如圖4中展示，第一介面表面414及第二介面表面418之各者係斜表面。

第二光罩盒段404係光罩盒400之另一部分。在一實施例(諸如圖4中展示之實施例)中，第二光罩盒段404用作光罩盒400之一蓋。在另一實施例中，第二光罩盒段404用作光罩盒400之一底板。第二光罩盒段404包括凸緣416。當組裝光罩盒400時，凸緣416在第二光罩盒段404 之面向第一光罩盒段402之一側上從第二光罩盒段404突出。凸緣416容許第二介面表面418設置於當第二光罩盒段404接合至第一光罩盒段402時其可插入至閂鎖406中之一位置中。第二介面表面418係經構形以接觸第一介面表面414之一表面。在一實施例中，第二介面表面418係一斜表面。在其中第一介面表面414係一斜表面之一實施例中，第二介面表面可具有用於接觸第一介面表面414之斜表面之任何適合形狀，包括一斜表面、一平坦表面、一彎曲表面、一銷或類似物。在光罩盒400中，第一介面表面414或第二介面表面418之至少一者係一斜表面。在一實施例中，例如圖4中展示，第一介面表面414及第二介面表面418之各者係斜表面。雖然圖4展示一組第一介面表面414及第二介面表面418，但應理解，多組對應第一介面表面414及第二介面表面418可設置於光罩盒400上，例如，圍繞第一及第二光罩盒段402、404之一周長或沿著其等之特定側分佈。

開口420係容許第二介面表面418及凸緣416之至少一部分插入至通道408中使得可使第一介面表面414與第二介面表面418接觸之一開口。為了閉合及閂鎖光罩盒，將閂鎖主體410移動至一解鎖位置，將第二介面表面418插入開口420中，且釋放閂鎖主體410，使得彈簧412可沿著通道408驅動閂鎖主體410。第一介面表面414及第二介面表面418彼此嚙合，其中第一介面表面414或第二介面表面418之至少一者之斜表面提供將第一光罩盒段402及第二光罩盒段404夾持在一起之力。

圖5展示根據一實施例之一光罩儲存系統之一示意圖。光罩儲存系統500包括一儲料盒容器502、一沖洗氣體源504及複數個光罩盒506。視情況，光罩儲存系統500可進一步包括光罩傳送自動化系統508。

光罩儲存系統500可用於儲存光罩，例如在諸如光微影術 之處理之後。可對已儲存或將儲存在光罩儲存系統500中之光罩執行之處理之一非限制性實例包括EUV處理。光罩儲存系統包括一儲料盒容器。儲料盒容器502經定大小，使得其可容納複數個光罩盒506。儲料盒容器502可經構形使得其在光罩儲存系統500內之光罩之儲存之至少一部分期間被密封。在一實施例中，一沖洗氣體源504可連接至儲料盒容器502。沖洗氣體源504可經構形以將沖洗氣體供應至儲料盒容器之一內部。沖洗氣體源504可為用於藉由驅除氧氣、水分、顆粒物質、任何其他污染物或類似物而從儲料盒容器沖洗此等污染物之任何適合氣體。作為一非限制性實例，沖洗氣體可為氮氣。作為非限制性實例，沖洗氣體源504可為裝納沖洗氣體之一罐、至一半導體製造操作之一沖洗系統之一連接或類似物。

光罩儲存系統500包括複數個光罩盒506。光罩盒506可係根據本文中描述之光罩盒506之任何實施例。光罩盒506各自可用於儲存一個光罩。

在一實施例中，光罩傳送自動化系統508可包括在光罩儲存系統500中。在一實施例中，光罩傳送自動化系統508定位於儲料盒容器502內。光罩傳送自動化系統508可經構形以例如在諸如上文描述及圖3中展示之操縱特徵部314之特徵部處與光罩盒506介接以敞開及閉合光罩盒。光罩傳送自動化系統508可經進一步構形以接納一光罩盒510，諸如一EUV盒，且將一光罩從光罩盒510傳送至一光罩盒506，或反之亦然。在一實施例中，光罩盒510可為包括一外盒及一內盒之一完整光罩盒。在一實施例中，光罩盒510可僅為一內盒。在一實施例中，光罩傳送自動化系統508可經構形以從儲料盒容器502內取回一光罩盒506。

圖6展示根據一實施例之一光罩盒之一剖面圖。光罩盒600 包括第一光罩盒段602及第二光罩盒段604。第一光罩盒段602及第二光罩盒段604界定光罩容納空間606。一光罩608可經保持在光罩容納空間606中。光罩608可藉由夾持在設置於第一光罩盒段602上之第一光罩接觸件610與設置於第二光罩盒段604上之第二光罩接觸件612之間而被固持在適當位置。第一光罩接觸件610及第二光罩接觸件612可藉由設置於第一光罩盒段602及第二光罩盒段604上之第一及第二介面表面(未展示)之介面被驅動朝向彼此。第一及第二介面表面可為上文描述及圖1至圖4中展示之對應第一及第二介面表面之任一者。光罩接觸件610、612之一起驅動可夾持光罩608。在一實施例中，第一光罩接觸件610及第二光罩接觸件612可經定大小及/或定位，使得當光罩608被夾持在第一光罩接觸件610與第二光罩接觸件612之間時，間隙614在第一光罩盒段602與第二光罩盒段604之間形成。

態樣：

應理解，態樣1至15之任一者可與態樣16至18或19之任一者組合。應理解，態樣16至18之任一者可與態樣19組合。

態樣1.一種物品，其包含：一光罩盒，該光罩盒包括：一第一光罩盒段，其包括複數個第一光罩接觸件及複數個閂鎖，該複數個閂鎖之各者包括一第一介面表面；及一第二光罩盒段，其包括複數個第二光罩接觸件及複數個第二介面表面；其中該複數個閂鎖之該等第一介面表面之各者經構形以當該等第一介面表面處於一閂鎖位置時接觸該複數個第二介面表面之一者； 該等第一介面表面及該等第二介面表面之一者或兩者係斜表面；該光罩盒經構形以將一光罩容納在一光罩容納空間中，使得當該光罩位於該光罩容納空間內且該等第一介面表面接觸該等第二介面表面時，由該複數個第一光罩接觸件及該複數個第二光罩接觸件夾持該光罩。

態樣2.根據態樣1之物品，其中當該光罩由該複數個第一光罩接觸件及該複數個第二光罩接觸件接觸時，該光罩盒界定從該光罩盒之一外部穿過該光罩空間之一沖洗氣體流動路徑。

態樣3.根據態樣2之物品，其中該沖洗氣體流動路徑係由該第一光罩盒段與該第二光罩盒段之間之一間隙形成。

態樣4.根據態樣3之物品，其中該間隙係在自0.5至6毫米(mm)之範圍內。

態樣5.根據態樣3至4中任一項之物品，其中該間隙係由該複數個第一光罩接觸件及該複數個第二光罩接觸件之各者之高度及該光罩之一厚度形成。

態樣6.根據態樣1至5中任一項之物品，其中該第一光罩盒段及該第二光罩盒段之至少一者包括複數個光罩接觸凸台，且其中該第一複數個光罩接觸件之至少一些或該第二複數個光罩接觸件之至少一些部分安置在該複數個光罩接觸凸台中。

態樣7.根據態樣1至6中任一項之物品，其中該複數個第一光罩接觸件及該複數個第二光罩接觸件包括聚醚醚酮(PEEK)材料。

態樣8.根據態樣1至7中任一項之物品，其中該第一光罩盒段及該第二光罩盒段之至少一者包括鋁。

態樣9.根據態樣1至8中任一項之物品，其中該等第一介面 表面及該等第二介面表面兩者皆為斜表面。

態樣10.根據態樣1至9中任一項之物品，其中該等第二介面表面之各者安置在該第二光罩盒段之一外表面上。

態樣11.根據態樣10之物品，其中一開口設置於該第二光罩盒段上，該開口經構形以容許包括該第一介面表面之閂鎖部件本體之一部分行進穿過該開口，且其中該開口鄰近於該等第二介面表面之各者定位。

態樣12.根據態樣1至11中任一項之物品，其中該等第二介面表面之各者安置在一凸緣上，各凸緣在組裝該光罩盒時突出朝向該第一光罩盒段。

態樣13.根據態樣1至12中任一項之物品，其中該等閂鎖之各者包括：一通道；一閂鎖部件本體，其經構形以可在該通道內移動，該閂鎖部件本體包括該複數個第一介面表面之一者；及一彈簧，該彈簧經構形以沿著該通道驅動該閂鎖部件本體，使得該閂鎖部件本體被驅動朝向該閂鎖位置。

態樣14.根據態樣13之物品，其中選擇該等第一介面表面之各者及該等第二介面表面之各者之一角度及該等第一介面表面之各者及該等第二介面表面之各者之一摩擦係數，使得當該等第一介面表面接觸該等第二介面表面時，閂鎖主體阻擋從該閂鎖位置退出。

態樣15.根據態樣13至14中任一項之物品，其中該等第一介面表面之各者及該等第二介面表面之各者之一角度係30°或更小。

態樣16.一種儲存一光罩之方法，其包含將該光罩放置至一光罩盒中，其中該光罩盒包括：一第一光罩盒段，其包括複數個第一光罩接觸件及複數個閂鎖，該複數個閂鎖之各者包括一第一介面表面；及一第二光罩盒段，其包括複數個第二光罩接觸件及複數個第二介面表面；其中該複數個閂鎖之該等第一介面表面之各者經構形以當該等第一介面表面處於一閂鎖位置時接觸該複數個第二介面表面之一者；該等第一介面表面及該等第二介面表面之一者或兩者係斜表面；該光罩盒經構形以將一光罩容納在一光罩容納空間中，使得當該光罩位於該光罩容納空間內且該等第一介面表面接觸該等第二介面表面時，由該複數個第一光罩接觸件及該複數個第二光罩接觸件夾持該光罩。

態樣17.根據態樣16之方法，其中當該光罩由該複數個第一光罩接觸件及該複數個第二光罩接觸件接觸時，該光罩盒界定從該光罩盒之一外部穿過該光罩空間之一沖洗氣體流動路徑，且其中該方法進一步包含提供穿過該沖洗氣體流動路徑之一沖洗氣體流。

態樣18.根據態樣16至17中任一項之方法，其中該等閂鎖之各者包括：一通道；一閂鎖部件本體，其經構形以可在該通道內移動，該閂鎖部件本體包括該複數個第一介面表面之一者；及一彈簧，該彈簧經構形以沿著該通道驅動該閂鎖部件本體，使得該閂鎖部件本體被驅動朝向該閂鎖位置；且 其中將該光罩放置至該物品中包括：將該等閂鎖部件本體之各者牽引至一解鎖位置中；將該第一光罩盒段及該第二光罩盒段帶至一起，使得該光罩由該複數個第一光罩接觸件及該複數個第二光罩接觸件接觸；及釋放該等閂鎖部件本體之各者，使得該等彈簧可將該等閂鎖部件本體驅動至該閂鎖位置。

態樣19.一種光罩儲存系統，其包括：一盒容器；一沖洗氣體供應器；及複數個光罩盒，其等各自經構形以裝納在該盒容器內，各光罩盒包括：一第一光罩盒段，其包括複數個第一光罩接觸件及複數個閂鎖，該複數個閂鎖之各者包括一第一介面表面；及一第二光罩盒段，其包括複數個第二光罩接觸件及複數個第二介面表面；其中該複數個閂鎖之該等第一介面表面之各者經構形以當該等第一介面表面處於一閂鎖位置時接觸該複數個第二介面表面之一者；該等第一介面表面及該等第二介面表面之一者或兩者係斜表面；該光罩盒經構形以將一光罩容納在一光罩容納空間中，使得當該光罩位於該光罩容納空間內且該等第一介面表面接觸該等第二介面表面時，由該複數個第一光罩接觸件及該複數個第二光罩接觸件夾持該光罩。

本申請案中所揭示之實例在所有方面中待被視為繪示性且非限制性的。本發明之範疇係由隨附發明申請專利範圍指示而非由前述描 述指示；且在發明申請專利範圍之等效物之含義及範圍內之所有改變旨在涵括於其中。

100:光罩盒

102:第一光罩盒段

104:第二光罩盒段

106:閂鎖

108:通道

110:彈簧

112:閂鎖主體

114:凸緣

116:第一介面表面

118:凸台

120:光罩接觸件

122:第二介面表面

124:開口

126:光罩

128:光罩容納空間

130:間隙

Claims (10)

1. 一種光罩盒，其包含：一第一光罩盒段，其包括複數個第一光罩接觸件及複數個閂鎖，該複數個閂鎖之各者包括一第一介面表面；及一第二光罩盒段，其包括複數個第二光罩接觸件及複數個第二介面表面；其中該複數個閂鎖之該等第一介面表面之各者經構形以當該等第一介面表面處於一閂鎖位置時接觸該複數個第二介面表面之一者；該等第一介面表面及該等第二介面表面之一者或兩者係斜表面；該光罩盒經構形以將一光罩容納在一光罩容納空間中，使得當該光罩位於該光罩容納空間內且該等第一介面表面接觸該等第二介面表面時，由該複數個第一光罩接觸件及該複數個第二光罩接觸件夾持該光罩。
2. 如請求項1之光罩盒，其中當該光罩由該複數個第一光罩接觸件及該複數個第二光罩接觸件接觸時，該光罩盒界定從該光罩盒之一外部穿過該光罩空間之一沖洗氣體流動路徑。
3. 如請求項2之光罩盒，其中該沖洗氣體流動路徑係由該第一光罩盒段與該第二光罩盒段之間之一間隙形成。
4. 如請求項3之光罩盒，其中該間隙係由該複數個第一光罩接觸件及該複數個第二光罩接觸件之各者之高度及該光罩之一厚度形成。
5. 如請求項1之光罩盒，其中該第一光罩盒段及該第二光罩盒段之至少一者包括複數個光罩接觸凸台，且其中該第一複數個光罩接觸件之至少一些或該第二複數個光罩接觸件之至少一些部分安置在該複數個光罩接觸凸台中。
6. 如請求項1之光罩盒，其中該等第一介面表面及該等第二介面表面兩者皆為斜表面。
7. 如請求項1之光罩盒，其中該等第二介面表面之各者安置在該第二光罩盒段之一外表面上。
8. 如請求項1之光罩盒，其中該等閂鎖之各者包括：一通道；一閂鎖部件本體，其經構形以可在該通道內移動，該閂鎖部件本體包括該複數個第一介面表面之一者；及一彈簧，該彈簧經構形以沿著該通道驅動該閂鎖部件本體，使得該閂鎖部件本體被驅動朝向該閂鎖位置。
9. 如請求項8之光罩盒，其中一開口設置於該第二光罩盒段上，該開口經構形以容許包括該第一介面表面之該閂鎖部件本體之一部分行進穿過該開口，且其中該開口鄰近於該等第二介面表面之各者定位。
10. 一種光罩儲存系統，其包括：一盒容器；一沖洗氣體供應器；及複數個光罩盒，其等各自經構形以裝納在該盒容器內，各光罩盒包括：一第一光罩盒段，其包括複數個第一光罩接觸件及複數個閂鎖，該複數個閂鎖之各者包括一第一介面表面；及一第二光罩盒段，其包括複數個第二光罩接觸件及複數個第二介面表面；其中該複數個閂鎖之該等第一介面表面之各者經構形以當該等第一介面表面處於一閂鎖位置時接觸該複數個第二介面表面之一者；該等第一介面表面及該等第二介面表面之一者或兩者係斜表面；該光罩盒經構形以將一光罩容納在一光罩容納空間中，使得當該光罩位於該光罩容納空間內且該等第一介面表面接觸該等第二介面表面時，由該複數個第一光罩接觸件及該複數個第二光罩接觸件夾持該光罩。