TWI839734B - Ic測試裝置 - Google Patents

Abstract

一種IC測試裝置裝置，其包含檢測平台以及設置在該檢測平台上的一個或多個測試機構，該測試機構包括水平驅動系統、垂直驅動系統以及對IC進行下壓測試的測試壓頭，該垂直驅動系統安裝於該水平驅動系統上，並藉由該水平驅動系統驅動該垂直驅動系統進行水平移動，該測試壓頭設置在該垂直驅動系統上，並藉由該垂直驅動系統驅動該測試壓頭進行垂直移動，該垂直驅動系統對該測試壓頭的驅動力與IC對該測試壓頭的反作用力同軸設置。

Description

IC測試裝置

本發明係提供一種IC測試裝置，尤指一種涉及測試設備技術領域之IC測試裝置。

隨著IC功能模組逐漸複雜化，IC的測試壓力及測試時間呈逐漸增長的趨勢。針對測試時間較長的IC，增加單次測試IC工位數量有利於降低整體測試成本。因此多工位元大壓力測試裝置需求應運而生，目前已公開的多工位元測試裝置包含兩個機構一致的測試壓頭，每套測試壓頭連接有自己獨立的水平及垂直驅動系統。整個測試過程中，水平和垂直驅動系統協同作用驅動測試壓頭在水平及垂直兩個方向並行運動，因此測試壓頭可以取放IC並進行下壓測試。

然而，現有的IC測試裝置中，垂直驅動系統位於測試壓頭兩側，因此測試壓頭進行垂直下壓測試時，測試壓頭受到側邊垂直驅動系統驅動力和測試IC反作用力兩個力的作用，兩個作用力不同軸，從而形成彎矩負載作用，導致測試IC時測試壓頭有結構變形傾斜的問題，從而引發IC測試壓力不均勻，影響IC測試關鍵指標的測試良率。

有鑑於上述習知技術之缺憾，有必要提供一種IC測試裝置，能夠避免測試壓頭結構變形傾斜的問題。

為達上述目的及其他目的，本發明提供一種IC測試裝置，包括檢測平台以及設置在該檢測平台上的一個或多個測試機構，該測試機構包括水平驅動系統、垂直驅動系統以及對IC進行下壓測試的測試壓頭，該垂直驅動系統安裝於該水平驅動系統上，並藉由該水平驅動系統驅動該垂直驅動系統進行水平移動，該測試壓頭設置在該垂直驅動系統上，並藉由該垂直驅動系統驅動該測試壓頭進行垂直移動，該垂直驅動系統對該測試壓頭的驅動力與IC對該測試壓頭的反作用力同軸設置。

當採用該IC測試裝置對IC(即微型電子元器件)進行下壓測試時，由於測試壓頭設置在垂直驅動系統上，垂直驅動系統驅動測試壓頭進行垂直移動，此時垂直驅動系統對測試壓頭的驅動力轉化為測試壓頭對IC的下壓力，垂直驅動系統對測試壓頭的驅動力與IC對測試壓頭的反作用力同軸設置，消除了測試壓頭受到的彎矩負載，使得IC測試時壓力均勻分佈，同時，藉由水平驅動系統和垂直驅動系統的控制，測試壓頭能夠在預設的三維立體空間內移動到任意位置，從而可方便測試壓頭轉移IC並對IC進行測試。

在其中一個實施例中，該垂直驅動系統包括第一驅動源、垂直驅動件以及壓桿，該第一驅動源連接該垂直驅動件以驅動該垂直驅動件轉動，該壓桿與該垂直驅動件相連，且該垂直驅動件轉動時能夠控制該壓桿沿垂直方向移動，該測試壓頭連接於該壓桿的一端以隨著該壓桿的移動而移動。

第一驅動源控制垂直驅動件轉動，且壓桿的一端與垂直驅動件相連，另一端連接測試壓頭，因此測試壓頭在第一驅動源的作用下沿垂直驅動件的軸向移動。

在其中一個實施例中，該測試壓頭與該垂直驅動件同軸設置。

由於測試壓頭與垂直驅動件同軸設置，因此，測試壓頭受到的垂直向下移動的驅動力和被測試的IC反作用於測試壓頭的反作用力同軸且方向相反，從而消除了測試壓頭受到的彎矩負載，使得IC測試壓力均勻分佈，從而避免了測試壓頭結構變形傾斜的問題，保證了IC測試關鍵指標的測試良率。

在其中一個實施例中，該垂直驅動系統包括固定架，該固定架固定在該水平驅動系統上，該垂直驅動件包括垂直螺桿，該垂直螺桿沿垂直方向設置且可轉動地安裝於該固定架上，該第一驅動源連接該垂直螺桿以驅動該垂直螺桿轉動，該壓桿套設在該垂直螺桿外側並與該垂直螺桿螺紋連接。

在其中一個實施例中，該垂直驅動系統還包括第一主動輪、第一從動輪以及第一同步帶，該第一驅動源固定於該固定架上，該第一驅動源連接該第一主動輪，該垂直螺桿的上端與該第一從動輪相連，該第一同步帶套設於該第一主動輪和該第一從動輪外側。

藉由第一主動輪、第一從動輪和第一同步帶相配合的傳動結構，第一驅動源可以設置在垂直螺桿一側，從而可以避免該垂直驅動系統的整體長度過長，使得整體結構更加合理緊湊。

在其中一個實施例中，該垂直驅動系統還包括垂直導軌以及垂直滑塊，該垂直導軌固定連接該壓桿，該垂直滑塊與該垂直導軌滑動配合，且該垂直滑塊固定連接該固定架。

如此設置，藉由垂直導軌與垂直滑塊滑動配合起到導向限位元的作用，壓桿在垂直方向上的移動更加順暢，從而壓頭在垂直方向上的移動也更加順暢。

在其中一個實施例中，該垂直驅動系統包括至少一對該垂直導軌，至少一對該垂直導軌對稱設置於該壓桿兩側，且該測試壓頭至少部分被夾持於至少一對該垂直導軌之間。

如此設置，壓桿被夾在至少一對垂直導軌之間，垂直導軌與垂直滑塊配合，壓桿上下移動時非常平穩順暢。

在其中一個實施例中，該垂直驅動系統包括固定架，該固定架固定在該水平驅動系統上，該水平驅動系統包括：第二驅動源、水平絲桿以及水平螺帽，該第二驅動源固定安裝於該檢測平台，該第二驅動源的輸出軸連接該水平絲桿，以驅動該水平絲桿轉動，該水平螺帽套設於該水平絲桿外側，並與該水平絲桿螺紋配合，該固定架固定連接該水平螺帽，以在該第二驅動源驅動該水平絲桿轉動時，該垂直驅動系統能夠沿該水平絲桿的長度方向移動。

如此設置，第二驅動源可控制水平絲桿轉動，從而水平螺帽沿水平絲桿移動，由於固定架固定連接水平螺帽，因此，固定架上的結構隨著固定架和水平螺帽一起平移，也就是垂直驅動系統和測試壓頭一起隨著水平螺帽平移。該實施例藉由第二驅動源控制垂直驅動系統移動，能夠實現垂直驅動系統的精確控制，將測試壓頭準確平移到預設位置。

在其中一個實施例中，該水平驅動系統還包括水平導軌和水平滑塊，該水平導軌固定於該檢測平台上，該水平滑塊與該水平導軌滑動配合，且該水平滑塊固定連接該固定架。

如此設置，固定架隨著水平螺帽移動時，水平滑塊沿著水平導軌移動，水平滑塊與水平導軌配合起到導向及維持穩定的作用，使得固定架在 水平馬達的驅動下能夠平穩順暢移動，從而保證了壓頭平移的穩定性及順暢性。

在其中一個實施例中，該水平驅動系統還包括第二主動輪、第二從動輪以及第二同步帶，該第二驅動源連接該第二主動輪，該水平絲桿的一端連接該第二從動輪，該第二同步帶套設於該第二主動輪和該第二從動輪外側。

藉由水平主動輪、水平從動輪和水平同步帶的傳動，第二驅動源的輸出軸和水平絲桿可以不同軸設置，從而可以更合理地佈置水平馬達和水平絲桿的安裝位置，使得整體結構更加合理緊湊。

在其中一個實施例中，該水平驅動系統還包括平衡元件，該平衡元件包括平衡絲桿、第一平衡支座、第二平衡支座、平衡螺帽以及配重塊。

該平衡絲桿與該水平絲桿並列設置。

該平衡絲桿一端連接該第二驅動源，以藉由該第二驅動源驅動該平衡絲桿轉動。

該第一平衡支座和該第二平衡支座均固定於該檢測平台上，且該第一平衡支座和該第二平衡支座分別套設於該平衡絲桿兩端並與該平衡絲桿轉動配合。

該平衡螺帽套設於該平衡絲桿外側並與該平衡絲桿螺紋配合，該配重塊套設於該平衡絲桿外側，且固定連接該平衡螺帽。

該第二驅動源轉動時，該垂直驅動系統沿該水平絲桿的長度方向移動，該配重塊沿該平衡絲桿的長度方向移動，該配重塊的移動方向與該垂直驅動系統的移動方向相反。

本實施例藉由設置平衡元件，在第二驅動源驅動垂直驅動系統沿水平絲桿的長度方向移動時，配重塊能夠沿與垂直驅動系統移動方向相反的方向移動，從而抵消垂直驅動系統和測試壓頭移動所產生的慣性，減少測試壓頭晃動的情況，使得該IC測試裝置運行平穩。

在其中一個實施例中，該平衡元件還包括平衡主動輪、平衡從動輪以及平衡同步帶，該第二驅動源連接該平衡主動輪，該平衡絲桿的一端連接該平衡從動輪，該平衡同步帶套設於該平衡主動輪和該平衡從動輪外側。

如此設置，藉由平衡主動輪、平衡從動輪和平衡同步帶的傳動，第二驅動源的輸出軸和平衡絲桿可以不同軸設置，從而可以更合理地佈置第二驅動源和平衡絲桿的安裝位置，使得整體結構更加合理緊湊。

在其中一個實施例中，該平衡元件還包括平衡導軌，該配重塊與該平衡導軌滑動配合。

本實施例設置平衡導軌有利於對配重塊導向及限位元，從而當平衡絲桿轉動時，配重塊能夠沿平衡絲桿和平衡導軌平穩移動，減少配重塊出現晃動的情況。

在其中一個實施例中，該檢測平台的幾何中心開設有通孔，該通孔下方設置有測試區，該水平驅動系統安裝於該檢測平台上，且該垂直驅動系統至少部分穿過該通孔，以使該測試壓頭能夠移動至該測試區。

在其中一個實施例中，該檢測平台上設置有兩個該測試機構，兩個該測試機構對稱設於該通孔兩側；該檢測平台下方設置有兩組運料組件，兩組該運料組件分別位於該測試區兩側。

如此設置，可利用運料組件將待測試IC移動到測試區兩側或者將完成測試的IC及時移走，而藉由第一驅動源和第二驅動源的控制，可使測試壓頭在運料组件和測試區之間移動，從而獲取待測試IC進行測試，或者移走完成測試的IC。

1:檢測平台

101:通孔

102:測試區

2:測試機構

2a:第一測試機構

2b:第二測試機構

3:運料組件

3a:第一運料組件

3b:第二運料元件

20:水平驅動系統

201:第二驅動源

202:水平絲桿

203:水平螺帽

204:水平導軌

205:水平滑塊

206:第一水平支撐座

207:第二水平支撐座

208:第二主動輪

209:第二從動輪

210:第二同步帶

212:平衡絲桿

213:第一平衡支座

214:第二平衡支座

215:平衡螺帽

216:配重塊

2161:配重底座

2162:配重單元

217:平衡主動輪

218:平衡從動輪

219:平衡同步帶

220:平衡導軌

40:垂直驅動系統

401:固定架

4011:第一固定板

4012:第二固定板

4013:連接板

402:第一驅動源

403:垂直螺桿

404:垂直螺帽

405:壓桿

406:第一主動輪

407:第一從動輪

408:第一同步帶

409:第一支撐部

410:第二支撐部

411:垂直導軌

412:垂直滑塊

4121:固定塊

60:測試壓頭

[圖1]為本發明一實施例的IC測試裝置的立體圖。

[圖2]為圖1的俯視圖。

[圖3]為本發明一實施例的垂直驅動系統的側面視圖。

[圖4]為本發明一實施例的垂直驅動系統的立體圖。

[圖5]為圖4的部分結構示意圖。

[圖6]為本發明一實施例的水平驅動系統的立體圖。

[圖7]為配重塊和平衡導軌的裝配示意圖。

[圖8]為本發明的IC測試裝置的兩個測試機構輪流對IC進行測試時初始化位置的俯視圖。

[圖9]為圖8所示狀態的立體圖。

[圖10]為本發明的IC測試裝置處於第一測試機構攜帶IC進行測試且第二測試機構攜帶IC等待的狀態的俯視圖。

[圖11]為圖10所示狀態的立體圖。

[圖12]為本發明的IC測試裝置處於第二測試機構攜帶IC進行測試且第一測試機構攜帶IC等待的狀態的俯視圖。

[圖13]為圖12所示狀態的立體圖。

[圖14]為本發明的IC測試裝置的兩個測試機構同時對IC進行測試時初始化位置的俯視圖。

[圖15]為圖14所示狀態的立體圖。

[圖16]為本發明的IC測試裝置處於第一測試機構和第二測試機構同時取料IC的狀態的俯視圖。

[圖17]為圖16所示狀態的立體圖。

[圖18]為本發明的IC測試裝置處於第一測試機構和第二測試機構同時對IC進行測試的狀態的俯視圖。

[圖19]為圖18所示狀態的立體圖。

為充分瞭解本發明之目的、特徵及功效，茲藉由下述具體之實施例，並配合所附之圖式，對本發明做一詳細說明，說明如後：

下面將結合本發明實施方式中的附圖，對本發明實施方式中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施方式僅僅是本發明一部分實施方式，而不是全部的實施方式。基於本發明中的實施方式，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施方式，都屬於本發明保護的範圍。

需要說明的是，當元件被稱為「設於」另一個元件，它可以直接設在另一個元件上或者也可以存在居中的元件。當一個元件被認為是「設置於」另一個元件，它可以是直接設置在另一個元件上或者可能同時存在居中元件。當一個元件被認為是「固定於」另一個元件，它可以是直接固定在另一個元件上或者可能同時存在居中元件。

除非另有定義，本文所使用的所有的技術和科學術語與屬於本發明的技術領域的技術人員通常理解的含義相同。在本發明的說明書中所使用的術語只是為了描述具體的實施方式的目的，不是旨在於限制本發明。本文所使用的術語「和/或」包括一個或多個相關的所列項目的任意的和所有的組合。

實施例一：

請參閱圖1和圖2，本發明提供一種IC測試裝置，包括檢測平台1以及設置在檢測平台1上的一個或多個測試機構2。測試機構2包括水平驅動系統20、垂直驅動系統40以及測試壓頭60。垂直驅動系統40安裝於水平驅動系統20上，並藉由水平驅動系統20驅動垂直驅動系統40進行水平移動。測試壓頭60設置在垂直驅動系統40上，並藉由垂直驅動系統40驅動測試壓頭60進行垂直移動。如此，藉由水平驅動系統20和垂直驅動系統40的控制，測試壓頭60能夠在預設的三維立體空間內移動到任意位置，從而可方便測試壓頭60轉移IC(英文全名是：Integrated Circuit，即微型電子元器件)並對IC進行測試。

本發明中，垂直驅動系統40對測試壓頭60的驅動力與IC對測試壓頭60的反作用力同軸設置，如此，能夠有效消除了測試壓頭60受到的彎矩負載，使得IC測試壓力均勻分佈，從而避免了測試壓頭60結構變形傾斜的問題，保證了IC測試關鍵指標的測試良率。請參閱圖3至圖5，垂直驅動系統40包括第一驅動源402、垂直驅動件以及壓桿405，第一驅動源402連接垂直驅動件以驅動垂直驅動件轉動，壓桿405與垂直驅動件相連，且垂直驅動件轉動時能夠控制壓桿405沿垂直方向移動，測試壓頭60連接於壓桿405的一端，以隨著壓桿405的移動而移動。也就是說，該實施例藉由第一驅動源402的驅動力使得壓桿405能夠沿垂直方向移動，從而測試壓頭60可以對IC進行壓力檢測。

本實施例中，第一驅動源402為垂直馬達，垂直驅動件為垂直螺桿403。垂直驅動系統40還包括固定架401，固定架401固定在水平驅動系統20上，垂直螺桿403沿垂直方向設置且可轉動地安裝於固定架401上。垂直馬達連接垂直螺桿403以驅動垂直螺桿403轉動。壓桿405套設於垂直螺桿403外側並與垂直螺桿403螺紋連接，從而垂直螺桿403轉動時能夠控制壓桿405轉動。可以理解的是，壓桿405視作與垂直螺桿403螺紋配合的螺桿螺帽。當然，在其他實施例中，垂直螺桿403外側套設有垂直螺帽404，壓桿405與垂直螺帽404固定連接，如此，壓桿405沿垂直螺桿403移動時更加穩定。

本實施例中，測試壓頭60與垂直螺桿403同軸設置。當採用該IC測試裝置對IC進行下壓測試時，垂直馬達控制垂直螺桿403轉動，從而壓桿405和垂直螺帽404一起沿沿垂直螺桿403的軸向移動，由於測試壓頭60連接於壓桿405的一端，因此測試壓頭60隨著壓桿405一起沿垂直螺桿403的軸向移動。由於測試壓頭60與垂直螺桿403同軸設置，因此，測試壓頭60受到的垂直向下移動的驅動力和被測試的IC反作用於測試壓頭60的反作用力同軸且方向相反，從而消除了測試壓頭60受到的彎矩負載，使得IC測試壓力均勻分佈，從而避免了測試壓頭60結構變形傾斜的問題，保證了IC測試關鍵指標的測試良率。

進一步地，垂直螺桿403、壓桿405以及測試壓頭60均同軸設置，如此，壓桿405和測試壓頭60移動更加平穩，且測試壓頭60對IC進行測試時更有利於IC均勻受力。

可以理解的，第一驅動源402可以為垂直馬達也可以為氣缸。

進一步地，固定架401包括第一固定板4011、第二固定板4012和連接板4013，第二固定板4012位於第一固定板4011下方，連接板4013固定連接 第一固定板4011和第二固定板4012。如此，固定架401結構簡單，便於固定架401與垂直螺桿403連接，且便於固定架401與水平驅動系統20固定連接。本實施例中，垂直螺桿403連接於第一固定板4011，第二固定板4012固定連接水平驅動系統20。

垂直驅動系統40還包括第一主動輪406、第一從動輪407以及第一同步帶408，垂直馬達固定於第一固定板4011，垂直馬達的輸出軸連接第一主動輪406，垂直螺桿403的上端穿過第一固定板4011，並連接第一從動輪407，第一同步帶408套設於第一主動輪406和第一從動輪407外側。藉由第一主動輪406、第一從動輪407和第一同步帶408的傳動，垂直馬達可以設置在垂直螺桿403一側，從而可以避免該垂直驅動系統40的整體長度過長，使得整體結構更加合理緊湊。

可以理解的，第一主動輪406、第一從動輪407、第一同步帶408所構成的傳動結構，也可以採用齒輪齒條配合的結構替換。

進一步地，垂直驅動系統40還包括第一支撐部409和第二支撐部410。第一支撐部409套設於垂直螺桿403上端，且第一支撐部409固定於第一固定板4011。第二支撐部410套設於垂直螺桿403下端，且第二支撐部410固定於第二固定板4012。設置第一支撐部409和第二支撐部410可以支撐垂直螺桿403的兩端，有利於保持垂直螺桿403轉動的穩定。

本實施例中，第一支撐部409與垂直螺桿403之間設有第一軸承，第一軸承的外圈與第一支撐部409固定連接，第一軸承的內圈與垂直螺桿403的上端固定連接。第二支撐部410與垂直螺桿403之間設有第二軸承，第二 軸承的外圈與第二支撐部410固定連接，第二軸承的內圈與垂直螺桿403的下端固定連接。如此，垂直螺桿403轉動更加順暢，穩定性更好。

進一步地，垂直驅動系統40還包括垂直導軌411以及垂直滑塊412，垂直導軌411固定連接壓桿405，垂直滑塊412與垂直導軌411滑動配合，且垂直滑塊412固定連接固定架401。如此，垂直螺桿403轉動驅動垂直螺帽404沿垂直螺桿403移動時，垂直螺帽404、壓桿405和垂直導軌411一起相對固定架401移動，藉由垂直導軌411與垂直滑塊412滑動配合起到導向限位元的作用，壓桿405在垂直方向上的移動更加順暢，從而測試壓頭60在垂直方向上的移動也更加順暢。

請參閱圖4和圖5，第二支撐部410呈「工」字形，第二支撐部410的上端固定連接於第一固定板4011，第二支撐部410的下端藉由固定塊4121固定連接垂直滑塊412，從而垂直滑塊412與固定架401固定連接。

垂直驅動系統40包括至少一對垂直導軌411，至少一對垂直導軌411對稱設置於壓桿405兩側，且測試壓頭60至少部分被夾持於至少一對垂直導軌411之間。如此，壓桿405被夾在至少一對垂直導軌411之間，垂直導軌411與垂直滑塊412配合，壓桿405上下移動時非常平穩順暢。

本實施例中，垂直滑塊412固定連接於連接板4013。進一步地，固定架401包括至少一對平行設置的連接板4013，至少一對連接板4013相對的一側設置垂直滑塊412，垂直滑塊412與垂直導軌411配合，從而該測試壓頭60設置在至少一對連接板4013之間，垂直導軌411與垂直滑塊412配合起到導向和限位元的作用，使得壓桿405和測試壓頭60移動平穩，不會出現晃動或發生傾斜。

請參閱圖6，水平驅動系統20包括：第二驅動源201、水平絲桿202以及水平螺帽203，本實施例中，第二驅動源201為水平馬達。水平馬達固定安裝於檢測平台1，水平馬達的輸出軸連接水平絲桿202，以驅動水平絲桿202轉動，水平螺帽203套設於水平絲桿202外側，並與水平絲桿202螺紋配合，固定架401固定連接水平螺帽203，以在水平馬達驅動水平絲桿202轉動時，垂直驅動系統40能夠沿水平絲桿202的長度方向移動。如此，水平馬達可控制水平絲桿202轉動，從而水平螺帽203沿水平絲桿202移動，由於固定架401固定連接水平螺帽203，因此，固定架401上的結構隨著固定架401和水平螺帽203一起平移，也就是垂直驅動系統40和測試壓頭60一起隨著水平螺帽203平移。該實施例藉由水平馬達控制垂直驅動系統40移動，能夠實現垂直驅動系統40的精確控制，將測試壓頭60準確平移到預設位置。

水平驅動系統20還包括水平導軌204和水平滑塊205，水平導軌204固定於檢測平台1上，水平滑塊205與水平導軌204滑動配合，且水平滑塊205固定連接固定架401。如此，固定架401隨著水平螺帽203移動時，水平滑塊205沿著水平導軌204移動，水平滑塊205與水平導軌204配合起到導向及維持穩定的作用，使得固定架401在水平馬達的驅動下能夠平穩順暢移動，從而保證了測試壓頭60平移的穩定性及順暢性。本實施例中，水平滑塊205固定連接第二固定板4012。

可以理解的是，為了保證固定架401能夠同時沿水平導軌204和水平絲桿202的長度方向移動，水平導軌204與水平絲桿202平行設置。請參閱圖1，本實施例中，水平導軌204設置於水平絲桿202下方，水平滑塊205設置於 固定架401的第二固定板4012下方，如此，結構非常緊湊，水平滑塊205支撐整個固定架401，使得固定架401在水平導軌204上的移動更加平穩。

請參閱圖6，水平驅動系統20還包括第一水平支撐座206和第二水平支撐座207，第一水平支撐座206套設於水平絲桿202一端並與水平絲桿202轉動配合，第二水平支撐座207套設於水平絲桿202另一端並與水平絲桿202轉動配合，且第一水平支撐座206和第二水平支撐座207均固定於檢測平台1。設置第一水平支撐座206和第二水平支撐座207可以支撐水平絲桿202的兩端，有利於保持水平絲桿202轉動的穩定性。本實施例中，第一水平支撐座206和第二水平支撐座207均為軸承座，軸承座固定在檢測平台1上，軸承座內安裝有軸承，軸承座藉由軸承與水平絲桿202轉動連接。具體地，軸承的外圈與軸承座固定連接，軸承的內圈與水平絲桿202固定連接。

進一步地，水平驅動系統20還包括第二主動輪208、第二從動輪209以及第二同步帶210，水平馬達的輸出軸連接第二主動輪208，水平絲桿202的一端連接第二從動輪209，第二同步帶210套設於第二主動輪208和第二從動輪209外側。藉由第二主動輪208、第二從動輪209和第二同步帶210的傳動，水平馬達的輸出軸和水平絲桿202可以不同軸設置，從而可以更合理地佈置水平馬達和水平絲桿202的安裝位置，使得整體結構更加合理緊湊。

請參閱圖1和圖7，水平驅動系統20還包括平衡元件，平衡元件包括平衡絲桿212、第一平衡支座213、第二平衡支座214、平衡螺帽215以及配重塊216。平衡絲桿212與水平絲桿202並列設置，也就是，平衡絲桿212與水平絲桿202平行設置。平衡絲桿212一端連接水平馬達的輸出軸，以藉由水平馬達驅動平衡絲桿212轉動。第一平衡支座213和第二平衡支座214均固定於檢測平 台1上，且第一平衡支座213和第二平衡支座214分別套設於平衡絲桿兩端並與平衡絲桿212轉動配合，從而第一平衡支座213和第二平衡支座214起到支撐平衡絲桿212的作用。平衡螺帽215套設於平衡絲桿212外側並與平衡絲桿212螺紋配合，配重塊216套設於平衡絲桿212外側，且固定連接平衡螺帽215。水平馬達轉動時，垂直驅動系統40沿水平絲桿202的長度方向移動，配重塊216沿平衡絲桿212的長度方向移動，配重塊216的移動方向與垂直驅動系統40的移動方向相反。本實施例藉由設置平衡元件，在水平馬達驅動垂直驅動系統40沿水平絲桿202的長度方向移動時，配重塊216能夠沿與垂直驅動系統40移動方向相反的方向移動，從而抵消垂直驅動系統40和測試壓頭60移動所產生的慣性，減少測試壓頭60晃動的情況，使得該IC測試裝置運行平穩。

本實施例中，藉由第一平衡支座213和第二平衡支座214支撐平衡絲桿212，從而有利於保持平衡絲桿212轉動的穩定性。進一步地，第一平衡支座213和第二平衡支座214均為軸承座，軸承座固定在檢測平台1上，軸承座內安裝有軸承，軸承座藉由軸承與平衡絲桿212轉動連接。具體地，軸承的外圈與軸承座固定連接，軸承的內圈與平衡絲桿212固定連接。

平衡元件還包括平衡主動輪217、平衡從動輪218以及平衡同步帶219，水平馬達的輸出軸連接平衡主動輪217，平衡絲桿212的一端連接平衡從動輪218，平衡同步帶219套設於平衡主動輪217和平衡從動輪218外側。如此，藉由平衡主動輪217、平衡從動輪218和平衡同步帶219的傳動，水平馬達的輸出軸和平衡絲桿212可以不同軸設置，從而可以更合理地佈置水平馬達和平衡絲桿212的安裝位置，使得整體結構更加合理緊湊。本實施例中，平衡絲 桿212和水平絲桿202均由水平馬達驅動，零件少，且有利於保持測試壓頭60和配重塊216同步反向移動，從而有利於保持測試壓頭60移動的穩定。

請參閱圖6，本實施例中，水平絲桿202和平衡絲桿212分別位於水平馬達的輸出軸的軸線的兩側，水平絲桿202上的螺紋旋向和平衡絲桿212上的螺紋的旋向相反，也就是說，當水平絲桿202為左旋螺紋時，平衡絲桿212為右旋螺紋；當水平絲桿202為右旋螺紋時，平衡絲桿212為左旋螺紋。如此，水平馬達的輸出軸轉動時，水平絲桿202和平衡絲桿212同向轉動，而水平螺帽203和平衡螺帽215沿相反的方向移動，從而測試壓頭60和配重塊216沿相反的方向移動。

平衡元件還包括平衡導軌220，配重塊216與平衡導軌220滑動配合。平衡導軌220上設有與平衡導軌220滑動配合的平衡滑塊(未圖示)，配重塊216固定安裝於平衡滑塊上，從而配重塊216與平衡導軌220滑動配合。可以理解的是，平衡導軌220與平衡絲桿212平行設置，如此，配重塊216能夠同時沿平衡絲桿212和平衡導軌220移動。本實施例設置平衡導軌220有利於對配重塊216導向及限位元，從而當平衡絲桿212轉動時，配重塊216能夠沿平衡絲桿212和平衡導軌220平穩移動，減少配重塊216出現晃動的情況。

在一實施例中，配重塊216為一體式結構，結構較為簡單。但不限於此，請參閱圖7，另一實施例中，配重塊216為分體式結構，具體地，配重塊216包括配重底座2161和多個配重單元2162，配重底座2161固定安裝於平衡滑塊上，多個配重單元2162藉由螺釘等緊固件固定安裝在配重底座2161上。使用時，可以根據配重需要僅將配重底座2161安裝在平衡滑塊上而不安裝配重單元2162，或者在配重底座2161上固定安裝一個或多個配重單元2162。分體式結 構的配重塊216使用時更加靈活，可以根據需要配置不同的重量，同時，也更容易安裝。

請參閱圖1，檢測平台1的幾何中心開設有通孔101，通孔101下方設置有測試區102。水平驅動系統20安裝於檢測平台1上，且垂直驅動系統40至少部分穿過通孔101，以使測試壓頭60能夠移動至測試區102。從而該IC測試裝置利用測試壓頭60將IC轉移到測試區102進行測試。

本實施例中，檢測平台1上設置有兩個測試機構2，兩個測試機構2對稱設於通孔101兩側，如此，有利於保持裝置的平衡。檢測平台1下方設置有兩組運料組件3，兩組運料組件3分別位於測試區102兩側。從而，可利用運料組件3將待測試IC移動到測試區102兩側或者將完成測試的IC及時移走，而藉由水平馬達和垂直馬達的控制，可使測試壓頭60在運料組件3和測試區102之間移動，從而獲取待測試IC進行測試，或者移走完成測試的IC。兩個測試機構2可以輪流對IC進行測試，也可以同時對IC進行測試。

請參閱圖1至圖7，本發明提供的IC測試裝置的工作原理為：

測試壓頭60水平運動過程如下：開啟水平馬達，則與水平馬達的輸出軸連接的第二主動輪208和平衡主動輪217同時轉動。在第二同步帶210和平衡同步帶219的傳動下，固裝在水平絲桿202軸端的第二從動輪209和固裝在平衡絲桿212軸端的平衡從動輪218同時轉動，因此水平絲桿202和平衡絲桿212同時轉動。由於第二固定板4012與水平螺帽203連接在一起，在水平導軌204的導向下，垂直驅動系統40和測試壓頭60將隨著水平絲桿202的轉動而水平運動。由於配重塊216與平衡螺帽215固定連接，因此配重塊216將隨著平衡絲桿212的旋轉而水平直線運動。並且，配重塊216和垂直驅動系統40的移動方向 相反，因此可以抵消垂直驅動系統40水平高速運動時對整個IC測試裝置產生的慣性衝擊，保持裝置平衡穩定運行。

測試壓頭60垂直運動過程如下：開啟垂直馬達，第一主動輪406旋轉，在第一同步帶408的傳動下，第一從動輪407和垂直螺桿403隨之旋轉。由於垂直螺帽404與壓桿405連接，測試壓頭60連接於壓桿405的一端，在垂直導軌411的直線導向作用下，垂直螺桿403的旋轉運動將帶動壓桿405上下直線運動，從而測試壓頭60隨之上下運動。

測試壓頭60的水平運動和垂直運動同時結合，即可實現測試壓頭60在測試區102和運料組件3之間來回運動，從而從運料組件3上移取待測試的IC到測試區102進行測試，以及從測試區102移走已經完成測試的IC到運料組件3上，並由運料組件3運走。

請參閱圖8和圖9，本發明提供的IC測試裝置包括兩個測試機構2和兩組運料組件3，兩個測試機構2分別為第一測試機構2a和第二測試機構2b。兩組運料組件3分別為第一運料組件3a和第二運料元件3b。

請參閱圖8至圖13，下面對兩個測試機構2輪流對IC進行測試的過程詳細描述如下：

第一步：各個測試機構2和運料組件3運動至初始化位置。

整個IC測試裝置啟動前，第一測試機構2a和第二測試機構2b控制各自的測試壓頭60向上移動至垂直初始化位置，之後第一運料組件3a和第二運料元件3b水平運動到各自初始化位置，分別稱為第一運料組件3a入料位元、第二運料元件3b入料位元。此時，第一測試機構2a的測試壓頭60位於第一運料 組件3a的正上方，第二測試機構2b的測試壓頭60位於第二運料元件3b的正上方，初始化位置如圖8和圖9所示。

第二步：第一測試機構2a攜帶待測IC進行IC測試。

第一運料組件3a運動至放料位，此時第一運料組件3a上的待測試的IC位於第一測試機構2a的測試壓頭60的正下方。之後第一測試機構2a藉由垂直馬達控制測試壓頭60垂直向下運動至第一運料組件3a上吸取待測試的IC。接著第一測試機構2a的測試壓頭60垂直向上運動至安全高度後，第一測試機構2a的水平馬達開啟，將第一測試機構2a的測試壓頭60水平移動至測試位，在水平運動的同時第一測試機構2a的測試壓頭60攜帶待測試的IC垂直向下運動至測試區102後，開始進行IC測試。在上述水平運動的同時，第一運料組件3a運動至初始入料位。同時，在第一測試機構2a進行以上整個運動過程中，第二測試機構2b完成從第二運料元件3b上吸取IC的過程，並最終在第二運料元件3b上方等待第一測試機構2a攜帶的IC完成測試。測試過程示意圖如圖10和圖11所示。

第三步：第一測試機構2a攜帶完成測試的IC離開測試位，並吸取待測試的IC等待測試，第二測試機構2b攜帶待測試的IC運行至測試位進行測試。

當第一測試機構2a攜帶的IC完成測試後，第一測試機構2a的垂直馬達控制測試壓頭60垂直向上運動，同時第一測試機構2a的水平馬達控制測試壓頭60水平運動，將完成測試的IC搬運至第一運料組件3a上。之後第一運料組件3a水平運動將測試完的IC搬運至收料位元供收料裝置收集，接著第一測試機構2a從第一運料組件3a上吸取待測的IC並等待第二測試機構2b的IC完成測 試。在第一測試機構2a完成以上動作流程的同時，第二測試機構2b攜帶待測的IC運行至測試區102進行測試。測試過程示意圖如圖12和圖13所示。

第四步：重複以上第二步和第三步，將可以進行迴圈測試。

請參閱圖14至圖19，下面對兩個測試機構2同時對IC進行測試的過程詳細描述如下：

第一步：各個測試機構2和運料組件3運動至初始化位置。

整個IC測試裝置啟動前，第一測試機構2a和第二測試機構2b控制各自的測試壓頭60向上移動至垂直初始化位置，之後第一運料組件3a和第二運料元件3b水平運動到各自初始化位置，分別稱為第一運料組件3a入料位元、第二運料元件3b入料位元。此時，第一測試機構2a的測試壓頭60位於第一運料組件3a的正上方，第二測試機構2b的測試壓頭60位於第二運料元件3b的正上方，初始化位置如圖14和圖15所示。

第二步：第一測試機構2a和第二測試機構2b同時取料IC。

第一運料組件3a和第二運料元件3b同時運動至放料位，此時第一運料組件3a上的待測試的IC位於第一測試機構2a的測試壓頭60的正下方，第二運料元件3b上的待測試的IC位於第二測試機構2b的測試壓頭60的正下方。之後第一測試機構2a垂直向下運動到第一運料組件3a上吸取待測IC，第二測試機構2b垂直向下運動到第二運料元件3b上吸取待測IC，示意圖如圖16和圖17所示。

第三步：第一測試機構2a和第二測試機構2b同時運動至測試區102進行下壓測試。

如圖18和圖19所示，第一測試機構2a和第二測試機構2b吸取IC後，同時運動至測試區102進行下壓測試。與此同時，第一運料組件3a和第二運料元件3b同時運行到各自入料位元，第一運料組件3a、第二運料元件3b分別等待第一取料測試機構2和第二取料測試機構2放置已經完成測試的IC。第一運料組件3a、第二運料元件3b分別接收上料元件放置的待測試的IC。

第四步：第一測試機構2a和第二測試機構2b同時將完成測試的IC搬運至第一運料組件3a和第二運料元件3b上，並吸取新的待測試的IC。

當IC測試完成後，第一測試機構2a和第二測試機構2b將完成測試的IC分別放置到第一運料組件3a和第二運料元件3b。之後第一運料組件3a和第二運料元件3b分別移動至各自的入料位，接著第一測試機構2a和第二測試機構2b分別從第一運料組件3a和第二運料元件3b吸取新的待測的IC，之後將重複以上第二步至第四步，整個測試流程迴圈重複。

實施例二：

本實施例與實施例一的區別在於，第一驅動源402、垂直驅動件、壓桿405以及測試壓頭60均同軸設置。本實施例中，第一驅動源402設置在垂直驅動件的正上方，第一驅動源402為馬達，垂直驅動件為垂直螺桿403，此時，垂直螺桿403的一端與馬達的輸出軸相連接，另一端與壓桿405螺紋連接，測試壓頭60設置在壓桿405的下方，由於馬達、垂直螺桿403、壓桿405以及測試壓頭60均同軸設置，馬達對測試壓頭60的驅動力直接轉化為測試壓頭60對IC的下壓力，測試壓頭60受到的垂直向下移動的驅動力和被測試的IC反作用於測試壓頭60的反作用力同軸且方向相反，從而消除了測試壓頭60受到的彎矩負 載，使得IC測試壓力均勻分佈，從而避免了測試壓頭60結構變形傾斜的問題，保證了IC測試關鍵指標的測試良率。

本實施例中，第一驅動源402可以為馬達，也可以為氣缸。

本實施例中該IC測試裝置的其餘特徵與實施例一中記載的一致，此處不再贅述。

本發明在上文中已以較佳實施例揭露，然熟習本項技術者應理解的是，該實施例僅用於描繪本發明，而不應解讀為限制本發明之範圍。應注意的是，舉凡與該實施例等效之變化與置換，均應設為涵蓋於本發明之範疇內。因此，本發明之保護範圍當以申請專利範圍所界定者為準。

1:檢測平台

101:通孔

102:測試區

2:測試機構

3:運料組件

20:水平驅動系統

201:第二驅動源

202:水平絲桿

204:水平導軌

205:水平滑塊

212:平衡絲桿

216:配重塊

220:平衡導軌

40:垂直驅動系統

60:測試壓頭

Claims (13)

1. 一種IC測試裝置，其包含檢測平台以及設置在該檢測平台上的一個或多個測試機構，該測試機構包括水平驅動系統、垂直驅動系統以及對該IC進行下壓測試的測試壓頭，該垂直驅動系統安裝於該水平驅動系統上，並藉由該水平驅動系統驅動該垂直驅動系統進行水平移動，該測試壓頭設置在該垂直驅動系統上，並藉由該垂直驅動系統驅動該測試壓頭進行垂直移動，該垂直驅動系統對該測試壓頭的驅動力與該IC對該測試壓頭的反作用力同軸設置，該垂直驅動系統包括第一驅動源、垂直驅動件以及壓桿，該第一驅動源連接該垂直驅動件以驅動該垂直驅動件轉動，該壓桿與該垂直驅動件相連，且該垂直驅動件轉動時能夠控制該壓桿沿垂直方向移動，該測試壓頭連接於該壓桿的一端以隨著該壓桿的移動而移動，該垂直驅動系統包括固定架，該固定架固定在該水平驅動系統上，該垂直驅動件包括垂直螺桿，該垂直螺桿沿垂直方向設置且可轉動地安裝於該固定架上，該第一驅動源連接該垂直螺桿以驅動該垂直螺桿轉動，該壓桿套設在該垂直螺桿外側並與該垂直螺桿螺紋連接。
2. 如請求項1所述之IC測試裝置，其中該測試壓頭與該垂直驅動件同軸設置。
3. 如請求項1所述之IC測試裝置，其中該垂直驅動系統還包括第一主動輪、第一從動輪以及第一同步帶，該第一驅動源固定於該固定架上，該第一驅動源連接該第一主動輪，該垂直螺桿的上端與該第一從動輪相連，該第一同步帶套設於該第一主動輪和該第一從動輪外側。
4. 如請求項1所述之IC測試裝置，其中該垂直驅動系統還包括垂直導軌以及垂直滑塊，該垂直導軌固定連接該壓桿，該垂直滑塊與該垂直導軌滑動配合，且該垂直滑塊固定連接該固定架。
5. 如請求項4所述之IC測試裝置，其中該垂直驅動系統包括至少一對該垂直導軌，至少一對該垂直導軌對稱設置於該壓桿兩側，且該測試壓頭至少部分被夾持於至少一對該垂直導軌之間。
6. 一種IC測試裝置，其包含檢測平台以及設置在該檢測平台上的一個或多個測試機構，該測試機構包括水平驅動系統、垂直驅動系統以及對該IC進行下壓測試的測試壓頭，該垂直驅動系統安裝於該水平驅動系統上，並藉由該水平驅動系統驅動該垂直驅動系統進行水平移動，該測試壓頭設置在該垂直驅動系統上，並藉由該垂直驅動系統驅動該測試壓頭進行垂直移動，該垂直驅動系統對該測試壓頭的驅動力與該IC對該測試壓頭的反作用力同軸設置，該垂直驅動系統包括固定架，該固定架固定在該水平驅動系統上，該水平驅動系統包括：第二驅動源、水平絲桿以及水平螺帽，該第二驅動源固定安裝於該檢測平台，該第二驅動源的輸出 軸連接該水平絲桿，以驅動該水平絲桿轉動，該水平螺帽套設於該水平絲桿外側，並與該水平絲桿螺紋配合，該固定架固定連接該水平螺帽，以在該第二驅動源驅動該水平絲桿轉動時，該垂直驅動系統能夠沿該水平絲桿的長度方向移動。
7. 如請求項6所述之IC測試裝置，其中該水平驅動系統還包括水平導軌和水平滑塊，該水平導軌固定於該檢測平台上，該水平滑塊與該水平導軌滑動配合，且該水平滑塊固定連接該固定架。
8. 如請求項6所述之IC測試裝置，其中該水平驅動系統還包括第二主動輪、第二從動輪以及第二同步帶，該第二驅動源連接該第二主動輪，該水平絲桿的一端連接該第二從動輪，該第二同步帶套設於該第二主動輪和該第二從動輪外側。
9. 如請求項6所述之IC測試裝置，其中該水平驅動系統還包括平衡元件，該平衡元件包括平衡絲桿、第一平衡支座、第二平衡支座、平衡螺帽以及配重塊，該平衡絲桿與該水平絲桿並列設置，該平衡絲桿一端連接該第二驅動源，以藉由該第二驅動源驅動該平衡絲桿轉動，該第一平衡支座和該第二平衡支座均固定於該檢測平台上，且該第一平衡支座和該第二平衡支座分別套設於該平衡絲桿兩端並與該平衡絲桿轉動配合，該平衡螺帽套設於該平衡絲桿外側並與該平衡絲桿螺紋配合，該配重塊套設於該平衡絲桿外側，且固定連接該平衡螺帽，該第二驅動源轉動時，該垂直驅動系統沿該水平絲桿的長度方向移動，該配重塊沿該平衡絲桿的 長度方向移動，該配重塊的移動方向與該垂直驅動系統的移動方向相反。
10. 如請求項9所述之IC測試裝置，其中該平衡元件還包括平衡主動輪、平衡從動輪以及平衡同步帶，該第二驅動源連接該平衡主動輪，該平衡絲桿的一端連接該平衡從動輪，該平衡同步帶套設於該平衡主動輪和該平衡從動輪外側。
11. 如請求項9所述之IC測試裝置，其中該平衡元件還包括平衡導軌，該配重塊與該平衡導軌滑動配合。
12. 如請求項1所述之IC測試裝置，其中該檢測平台的幾何中心開設有通孔，該通孔下方設置有測試區，該水平驅動系統安裝於該檢測平台上，且該垂直驅動系統至少部分穿過該通孔，以使該測試壓頭能夠移動至該測試區。
13. 如請求項12所述之IC測試裝置，其中該檢測平台上設置有兩個該測試機構，兩個該測試機構對稱設於該通孔兩側；該檢測平台下方設置有兩組運料組件，兩組該運料組件分別位於該測試區兩側。