TWI835647B - 電性連接裝置及其修復方法以及探針卡 - Google Patents

Abstract

本發明揭露一種電性連接裝置及其修復方法，其中，該電性連接裝置包括具有複數通孔之支撐件、插設於各該通孔中之複數第一導電彈性體以及設於各該第一導電彈性體之一端的複數第二導電彈性體，藉此，透過該些第二導電彈性體提供該些第一導電彈性體緩衝及強化端部之效果，以達到保護之目的，進而增加該些第一導電彈性體之使用壽命，另於任一第一導電彈性體損壞時，可以正常第一導電彈性體替換不良第一導電彈性體，藉以修復電性連接裝置，避免資源浪費。另外，本發明復揭露一種使用前述電性連接裝置之探針卡。

Description

電性連接裝置及其修復方法以及探針卡

本發明係關於電性連接之技術，尤指一種電性連接裝置及其修復方法以及使用該電性連接裝置之探針卡。

一般半導體或半導體封裝件之電性測試通常使用具有探針基板、空間轉換裝置以及設於該探針基板與該空間轉換裝置之間的電性連接裝置之探針卡，該探針卡主要置於測試系統與待測物之間，作為兩者之間訊號傳輸的橋樑，其中，該電性連接裝置常由支撐件以及排列設於該支撐件中的複數導電彈性體所構成，於使用時，該電性連接裝置受該探針基板與該空間轉換裝置壓抵，藉由各該導電彈性體提供該探針基板與該空間轉換裝置之間的電性連接，據此，測試系統即可透過該探針卡對待測物進行測試。

惟，於探針基板與空間轉換裝置壓抵該電性連接裝置時，各該導電彈性體之兩端直接受到擠壓，使得各該導電彈性體變形，雖該導電彈性體具有彈性，但隨著使用次數增加或擠壓力量過大，仍將造成該導電彈性體之兩端破損，或導致永久性變形，甚至斷裂，因而發生接觸失效現象，將無法繼續使用；再者，導電彈性體於受壓時，將對基板與空間轉換裝置產生反 作用力，因而於該導電彈性體之彈力較大時，將造成基板與空間轉換裝置之板體發生彎曲變形，導致基板與空間轉換裝置因而損壞。

另外，於導電彈性體損壞時，由於未具有可替換導電彈性體的設計，即使僅有部分、甚或一個導電彈性體損壞，仍須將整個電性連接裝置移除，替換上新的電性連接裝置，此將增加測試成本，且因所移除之電性連接裝置上仍具有許多堪用的其他導電彈性體，亦將造成資源浪費。

鑑於上述問題，如何提供一種電性連接裝置，特別是，可提供導電彈性體緩衝之功效，以降低其整體彈力變形以及能減少外力擠壓，或具可替換損壞之導電彈性體以修復電性連接裝置之功能，藉此增加彈性導電體之使用壽命以及改善電性連接裝置之更換頻率，藉以降低測試之成本，並避免造成資源浪費，此將成為目前本技術領域人員急欲追求之目標。

為解決上述現有技術之問題，本發明揭露一種電性連接裝置，係包括：一支撐件，係具有相對之第一表面與第二表面，以及連通該第一表面與該第二表面之複數通孔；複數第一導電彈性體，係分別設置於各該通孔中，且各該第一導電彈性體包括具有相對之第一端與第二端之彈性主體，以及與該彈性主體結合且自該第一端延伸至該第二端之導電單元；以及複數第二導電彈性體，係分別設於各該彈性主體之該第一端。

於一實施例中，各該第二導電彈性體係與該導電單元電性連接，且包含一膠體以及嵌埋於該膠體中之複數導電粒子。

於一具體實施例中，該複數導電粒子係包括粒徑大於等於20μm之複數大粒徑導電粒子以及粒徑小於20μm之複數小粒徑導電粒子。

於另一實施例中，於該第二導電彈性體中，該複數大粒徑導電粒子所佔體積大於該複數小粒徑導電粒子所佔體積。

於另一實施例中，各該第二導電彈性體其硬度為30度至65度之蕭氐(Shore A)硬度，以及其阻值為10mΩ至20mΩ。

於另一實施例中，各該第二導電彈性體中之該複數導電粒子之體積百分比為63至78%。

於另一實施例中，各該第二導電彈性體係設於各該第一端之頂面且具有不同的長度，使各該第一導電彈性體與相對應之該第二導電彈性體結合後之結合長度相同，或使各該第二導電彈性體之頂端與該第一表面之間的距離相同。

於另一實施例中，各該導電單元為金屬導線。

於另一實施例中，各該第二導電彈性具有曲狀表面。

於又一實施例中，該彈性主體之該第一端低於該第一表面且該第二導電彈性體係凸出於該第一表面，以及該彈性主體與所在之該通孔之內側壁間具有間隙。

本發明復揭露一種探針卡，係包括：一基板，係訊號連接一測試系統；一空間轉換裝置，係位於該基板之下方；一探針裝置，位於該空間轉換裝置下方；以及如前各實施例所述之電性連接裝置，係位於該基板以及該空間轉換裝置之間，且該第二端及該第二導電彈性體分別與該基板以及該空間轉換裝置電性連接。

本發明復揭露一種電性連接裝置之修復方法，係包括：取得包含不良第一導電彈性體之一電性連接裝置；自該電性連接裝置之通孔中移出該不良第一導電彈性體；將正常第一導電彈性體移入該電性連接裝置中已移出該不良第一導電彈性體之該通孔內；以及將該正常第一導電彈性體定置於該通孔中。

於一實施例中，該電性連接裝置為前面實施例所述之電性連接裝置。

於另一實施例中，各該複數第一導電彈性體係透過固定膠定置於各該通孔中，以於移出該不良第一導電彈性體之前，先軟化固定該不良第一導電彈性體之固定膠，以及於該正常第一導電彈性體移入之後，固化該固定膠以固定該正常第一導電彈性體。

由上可知，本發明提出之電性連接裝置，藉由於第一導電彈性體上設置第二導電彈性體，以提供緩衝效果，且使整體彈力下降，達到保護第一導電彈性體之目的，藉此增加第一導電彈性體之使用壽命；其次，本發明提出有關電性連接裝置之修復方法，主要說明第一導電彈性體透過固定膠而固定於支撐件，且於第一導電彈性體因受損而無法正常運作時，可使用正常的第一導電彈性體來替換不良的第一導電彈性體，亦即僅單一第一導電彈性體之替換，藉此修復電性連接裝置，如此可避免造成資源浪費；另外，本發明復提出一種使用前述之電性連接裝置的探針卡，該電性連接裝置設置於基板與空間轉換裝置之間，用於提供待測元件之檢測。

1:電性連接裝置

11:支撐件

111a:第一表面

111b:第二表面

112:通孔

113:內側壁

12:第一導電彈性體

121:彈性主體

122:第一端

123:第二端

124:導電單元

125:中心柱

126:頂面

13,13a,13b,13c,13d,13e:第二導電彈性體

131:膠體

132:導電粒子

133:導電層

134:膠層

135:支撐體

51,61:基板

52,62:金屬墊

63:導電元件

7:探針卡

71:基板

72:空間轉換裝置

73:探針裝置

91:雷射

92:點膠機

93:導電膠

A-A:剖面線

G:間隙

L:結合長度

D:距離

S810-S820:步驟

S1010-S1050:步驟

圖1係本發明之電性連接裝置的立體結構圖。

圖2A-2B係本發明之電性連接裝置沿圖1之剖面線A-A的剖面圖。

圖3係本發明之電性連接裝置之導電彈性體結構的局部剖面圖。

圖4A-4E係本發明之電性連接裝置不同態樣之第二導電彈性體的示意圖。

圖5A-5B係本發明之電性連接裝置之第二導電彈性體凸出於支撐件的使用狀態示意圖。

圖6A-6B係本發明之電性連接裝置之第二導電彈性體未凸出於支撐件的使用狀態示意圖。

圖7係本發明之探針卡的結構示意圖。

圖8係本發明之製造電性連接裝置之方法的步驟圖。

圖9A-9C係本發明形成第二導電彈性體的過程示意圖。

圖10係本發明之電性連接裝置之修復方法的步驟圖。

以下藉由特定的具體實施形態說明本發明之技術內容，熟悉此技藝之人士可由本說明書所揭示之內容輕易地瞭解本發明之優點與功效。然本發明亦可藉由其他不同的具體實施形態加以施行或應用。

圖1為本發明之電性連接裝置的立體結構圖，圖2A-2B為電性連接裝置沿圖1之剖面線A-A所呈現之剖面圖，以及圖3為本發明之電性連 接裝置之導電彈性體結構的局部剖面圖。如圖所示，本發明之電性連接裝置1包括支撐件11、複數第一導電彈性體12以及複數第二導電彈性體13，其中，各該第一導電彈性體12設於該支撐件11中，藉由將各該第二導電彈性體13設於對應之第一導電彈性體12的一端，據此，本發明之電性連接裝置1於測試過程中，當各該第一導電彈性體12受到電路裝置(例如基板或空間轉換裝置)壓抵時，藉由各該第二導電彈性體13提供緩衝壓抵與降低整體彈力之效果，避免各該第一導電彈性體12或電路裝置易受損壞。有關本發明之電性連接裝置1的詳細說明，如下所陳。

該支撐件11係具有相對之第一表面111a與第二表面111b，且於該第一表面111a及該第二表面111b之間開設有複數通孔112，即各該通孔112連通該第一表面111a與該第二表面111b。

於一實施例中，該支撐件11由具有上通孔之上支撐單元及具有下通孔之下支撐單元所組合而成，其中，該上通孔及該下通孔分別呈階梯狀，該上支撐單元及該下支撐單元之間透過黏膠層接合，據此，該上通孔及該下通孔對應連通而形成通孔112。

另外，如圖2A所示，於另一實施例中，該第一導電彈性體12之第一端122鄰近且低於該第一表面111a，如此可限制各電路裝置壓抵該第一導電彈性體12之程度，避免該第一導電彈性體12過度形變而造成損壞，藉以提供另類保護，另外，該第一導電彈性體12之第一端122與該通孔112之內側壁113之間具有間隙G，由於該第一導電彈性體12具有彈力，因此，於受力時，該間隙G提供該第一導電彈性體12可側向產生彈性形變之空間。 於本實施例中，各第一導電彈性體12的大小可為相同，各第二導電彈性體13亦然，但不以此為限，後面會有其他組合之示例說明。

如圖3所示，該第一導電彈性體12係具有彈性，且設置於對應之通孔112中，其外觀可呈短柱狀，具體而言，該第一導電彈性體12包含具有相對的第一端122與第二端123並具彈性之彈性主體121以及與該彈性主體121結合且自該第一端122一體延伸至該第二端123之導電單元124，其中，該導電單元124之二端係分別露出於該第一端122及該第二端123，該第一端122與該第二導電彈性體13電性連接，據此，該彈性主體121提供彈性支撐力，而該導電單元124提供該第一端122與該第二端123兩端之間的電性連接。於一實施例中，該導電單元124係嵌埋於該彈性主體121中，與該彈性主體121結合成一體；於另一實施例中，該導電單元124係位於該彈性主體121外側，例如以圍繞該彈性主體121之方式，而與該彈性主體121結合，以下以導電單元124嵌埋於彈性主體121作為示例說明，但不以此為限。

於一實施例中，該第一導電彈性體12復可包括嵌埋於該彈性主體121中且向彈性主體121之第一端122及第二端123延伸之中心柱125，該導電單元124位於該中心柱125之外側，透過該中心柱125之設置，能提供該彈性主體121額外的支撐力與彈性力。

具體而言，該導電單元124可為單一金屬導線(例如金線、銅線或由其他金屬材質所製成之導線)並直接從該第一端122延伸至該第二端123，又或是，該導電單元124可形成彈簧狀之結構以減少金屬導線之剛性，另外，該導電單元124亦可為複數金屬導線直接自該第一端122延伸至該第二端123，或如圖3所示由兩個以上金屬導線編織成網狀結構。於本實施例中，如圖3所示，於該導電單元124為複數金屬導線時，使各金屬導線圍繞於該中心柱125外側。

該第二導電彈性體13係設於所對應之該第一導電彈性體12之該第一端122。於一實施例中，該第二導電彈性體13可使用導電膠並以點膠之方式進行製作，使其形成具有曲狀表面之結構(例如半球狀)，或可利用其他製造方式而呈其他幾何體(如圓柱體)，以結合於第一端122之頂面126，並與該導電單元124電性連接，其中，該第二導電彈性體13具有彈性，以於接觸其他電路裝置(例如基板或空間轉換裝置)之導電元件(例如錫球)時，可提供緩衝之效果，避免該第一導電彈性體12之第一端122直接受到該導電元件壓抵而損壞。須說明者，該第二導電彈性體13可於該第一導電彈性體12之第一端122或第二端123，甚至兩端皆可設置，目的就是為了緩衝外部之電路裝置或電路裝置之導電元件產生之擠壓，為方便說明，本發明僅以第一端122設置來解說。

關於該第一導電彈性體12與該第二導電彈性體13之組合關係，於一實施例中，如圖2B所示，將各該第二導電彈性體13設置於各該第一端122之頂面時，使各該第一導電彈性體12與相對應之該第二導電彈性體13結合後之結合長度L相同，又或是，使各該第二導電彈性體13之頂端與該第一表面111a之間的距離D相同。

詳言之，如圖2B所示，於製造過程中，該第一導電彈性體12可能因存有製造公差，致使各該第一導電彈性體12可能具有不同之長度，是以，本發明之電性連接裝置可透過調整該第二導電彈性體13之長度，使得結合後之該第一導電彈性體12及該第二導電彈性體13之結合長度L維持固定，亦即各結合長度L皆為相同。

另外，習知之電性連接裝置在將導電彈性體組裝於支撐件中時，可能發生組裝公差，導致電性連接裝置之整體將具有不同高度差之導電彈性體，對此，本發明之電性連接裝置透過控制各該第二導電彈性體13之長度，使得各該第二導電彈性體13之頂端與該支撐件的第一表面111a之間的各距離D(具體地例如垂直距離)皆為相同。

綜上，本發明之電性連接裝置可透過控制各該第二導電彈性體13之長度，提供長度補償之效果，其中，該長度補償係可透過例如利用不等量之導電膠之膠量進行補償，使得不同之第二導電彈性體13可具有不同之長度，俾令結合後相對應之第一導電彈性體12及第二導電彈性體13所形成之各導電彈性體結構於各該通孔112時，達到具有實質同一水平面高度之目的，確保後續進行半導體測試時，能有效地進行電性連接，另外，復可使得各該導電彈性體結構之受力均勻。

又如圖3所示，該第二導電彈性體13係包含膠體131以及嵌埋於該膠體131中之複數導電粒子132，於實際製作上，可由具有複數導電粒子132之導電膠材(例如導電膠)黏著於該第一端122之頂面126，使該導電膠材固化後，於該第一端122之頂面126形成包含導電粒子132及膠體131之第二導電彈性體13。

於一具體實施例中，該導電粒子132之粒徑為8μm至80μm，具體來說，該導電粒子132可包括粒徑為8-20μm之小粒徑導電粒子，以及粒徑大於20μm之大粒徑導電粒子，其中，於第二導電彈性體13中，該些大粒 徑導電粒子具有大於該些小粒徑導電粒子之總體積，也就是該些大粒徑導電粒子所佔體積大於該些小粒徑導電粒子所佔體積，據此，藉由該些大粒徑導電粒子填充膠體，藉由該些小粒徑導電粒子增加第二導電彈性體13與導電單元124之電性接觸性，以提供較佳的電性連接效果，俾達到提供良好導電效果之目的；再者，於各該第二導電彈性體13中，其中的導電粒子132於所在第二導電彈性體13中之體積百分比為63至78%，於一較佳實施例中，該導電粒子132於該第二導電彈性體13中之體積百分比係為65至69%；另外，該第二導電彈性體13之硬度為30度至65度之蕭氐(Shore A)硬度，且其阻值為10mΩ至20mΩ，為較佳設計。

進一步地，不僅要使該第二導電彈性體13具有彈性，更要使其彈性小於第一導電彈性體12之彈性，亦即，該第二導電彈性體13較該第一導電彈性體12為軟，據以提供緩衝之效果，且使得該第一導電彈性體12與該第二導電彈性體13結合之整體彈力下降。詳言之，本發明之電性連接裝置通常設於二電路裝置(例如基板以及空間轉換裝置)之間，藉以提供二電路裝置之電性連接，其中，於該第一導電彈性體12及該第二導電彈性體13為二電路裝置之壓抵而受有作用力時，由於該第二導電彈性體13較該第一導電彈性體12容易發生形變，因而可減少該第一導電彈性體12形變之程度，甚或不生形變，故可達到緩衝之目的，藉以保護該第一導電彈性體12免於磨損、變形或斷裂之損壞，以延長其使用壽命；此外，相較於習知未設置第二導電彈性體13之電性連接裝置而言，由於本發明之電性連接裝置具有較低之整體彈力，因而可減低受力時之反作用力，故可達到保護各電路裝置之目的。

圖4A-4E為本發明之電性連接裝置不同態樣之第二導電彈性體的示意圖。如圖4A所示，該第二導電彈性體13a係包含膠體131、複數導電粒子132以及導電層133，其中，該第二導電彈性體13a定義有以膠體131及複數導電粒子132形成包覆第一導電彈性體12之第一端122之頂面及側面的內層，以及透過該導電層133形成位於該膠體131之外露表面的外層，藉此，該內層可提供緩衝之功能，而該外層具有堅固及耐磨之特性，故可達到強化表面以及抗磨損之目的，更可提升該第二導電彈性體13a與其他電路裝置之電性連接效果之功效。

於另一實施例中，如圖4B所示，亦可使該第二導電彈性體13b僅具有該導電層133，以提供第一導電彈性體12之第一端122的表面抗磨損之目的，且使該第一端122為該導電層133緊緊包覆而不易因受力而造成破損開花之損壞。

於另一實施例中，如圖4C所示，該第二導電彈性體13c可為圍繞該第一端122之線體(例如金屬線)，藉由該線體緊緊纒縛於該第一端122，達到強化該第一端122之效果，使該第一導電彈性體12與其他電路裝置接觸時，不易發生端部開花而破損之問題。

於另一實施例中，如圖4D所示，該第二導電彈性體13d可具有由該第一導電彈性體12之第一端122之側面延伸至該第一導電彈性體12之第二端123之側面的膠層134以及覆蓋於該膠層134之外露表面的支撐體135，據以強化該第一導電彈性體12之結構強度。

另外，如圖4E所示，該第二導電彈性體13e可為形成於該第一導電彈性體12之第一端122的銀膠，構成位於該第一導電彈性體12一端之短柱結構。

圖5A-5B為本發明之電性連接裝置之第二導電彈性體凸出於支撐件的使用狀態示意圖。如圖所示，以基板51具有金屬墊52為例，本發明之電性連接裝置1於使用上，令該第一導電彈性體12之第一端122的頂面未超出該支撐件11之第一表面111a，僅使該第二導電彈性體13凸出於第一表面111a，於該基板51向下壓抵本發明之電性連接裝置1時，由於該支撐件11之第一表面111a可限制該基板51之位置，因而該基板51以該金屬墊52壓抵且電性連接該第二導電彈性體13及該第一導電彈性體12時(如圖5B所示)，不會造成該第一導電彈性體12過度變形，如此該第二導電彈性體13同時提供緩衝效果，更可減少該第一導電彈性體12之形變程度，故可保護該第一導電彈性體12。

圖6A-6B為本發明之電性連接裝置之第二導電彈性體未凸出於支撐件的使用狀態示意圖。如圖所示，以基板61具有金屬墊62以及形成於該金屬墊62上之導電元件63(例如錫球)為例，於該基板61向下壓抵本發明之電性連接裝置1時，使該電性連接裝置1之支撐件11對該基板61進行限位，其中，該基板61之該導電元件63伸入該電性連接裝置1之通孔112中並垂直壓抵該第二導電彈性體13，經該第二導電彈性體13與該第一導電彈性體12電性連接，由於該導電元件63與該第二導電彈性體13接觸之部位皆為球狀，此時，藉由該支撐件11之限位功能，可避免該導電元件63過度壓抵該第一導電彈性體12，且透過該第二導電彈性體13之緩衝效果，更可 減少該第一導電彈性體12之形變程度，即便該導電元件63未以垂直方向壓抵該第二導電彈性體13，仍可減少該第一導電彈性體12受力彎曲的情況，因而能提供保護之功效。

圖7為本發明之探針卡的結構示意圖。如圖所示，請一併參考圖2A，本發明之探針卡7係使用本發明前述之電性連接裝置1，具體而言，本發明之探針卡7包括基板71、位於該基板71下方之空間轉換裝置72以及位於該基板71以及該空間轉換裝置72之間且分別與該基板71以及該空間轉換裝置72電性連接之電性連接裝置1，其中，該電性連接裝置1可為前述之電性連接裝置(如圖1-3所示)，使第一導電彈性體12之該第二端123及該第二導電彈性體13分別與該基板71以及該空間轉換裝置72電性連接，該基板71係訊號連接一測試系統，該空間轉換裝置72則可連接待測元件，因而透過探針卡7即可進行待測元件之測試。進一步地，當該電性連接裝置1受該基板71以及該空間轉換裝置72夾壓時，能提供該基板71以及該空間轉換裝置72之間電性連接之功效，由於本發明之電性連接裝置1具有第二導電彈性體13能保護第一導電彈性體12，因而不易因該基板71以及該空間轉換裝置72之夾壓而造成損壞，故可增加本發明之探針卡7之使用壽命，再者，由於本發明之電性連接裝置1具有第一導電彈性體12及第二導電彈性體13之設置，因而可在降低整體彈力下，減小對該基板71以及該空間轉換裝置72之反作用力，避造成板體彎曲之問題，故復具有保護基板71以及空間轉換裝置72之功效。

於另一實施例中，本發明之探針卡7復包括設於該空間轉換裝置72下方且與該空間轉換裝置72電性連接之探針裝置73，亦即，該空間轉換裝置72透過該探針裝置73與待測元件電性連接。

圖8為本發明之製造電性連接裝置之方法的步驟圖，圖9A-9C為本發明形成第二導電彈性體的過程示意圖。如圖8所示，本發明之製造電性連接裝置之方法包括以下步驟。

於步驟S810，提供具有第一導電彈性體設置其中之支撐件。本步驟係說明，提供具有複數通孔之支撐件，且於各該通孔中分別設置有第一導電彈性體，其中，該第一導電彈性體包含具有相對的第一端與第二端之彈性主體以及與於該彈性主體結合且自該第一端延伸至該第二端之導電單元。

於步驟S820，於該第一導電彈性體上形成第二導電彈性體。本步驟係說明，於各該第一導電彈性體之第一端處形成第二導電彈性體，藉以保護該第一導電彈性體的接觸端。具體而言，步驟S820係包括以下步驟。

提供導電膠，其中，該導電膠包括含膠材以及與該膠材混合之導電粒子。

於該第一導電彈性體上進行點膠，即以該導電膠對該第一端之頂面進行點膠。如圖9A所示，可先利用雷射91對各該第一導電彈性體12進行對位以及高度量測，接著，如圖9B所示，控制點膠機92依據該雷射91之對位結果，對該第一導電彈性體12進行點膠，且依據該高度資訊提供對應之膠量，以將該導電膠93形成於該第一導電彈性體12上，其中，本發明之製造電性連接裝置之方法透過控制擠出該導電膠之壓力或時間，以提供對應 該高度資訊之膠量，亦即，透過較大的壓力或較長點膠時間以提供較多的膠量，之後，如圖9C所示，使點膠機92依據下一個對位結果以及高度資訊，對另一第一導電彈性體12進行點膠，據以於所有之第一導電彈性體12上形成導電膠93，而導電膠93固化後，即成為本發明所述之第二導電彈性體，據此，如圖9A所示，各該第一導電彈性體可能因製造公差之故，而有長短之別，另外，各該第一導電彈性體復可能因組裝公差，致各該第一導電彈性體之頂面與該支撐件之第一表面之間的垂直距離相異，是以，透過提供不同膠量之導電膠，以形成長度不同之各該第二導電彈性體，如此，對具有不同長度之各該第一導電彈性體提供對應之補償長度之各該第二導電彈性體，以提供長度補償之效果。

於一實施例中，該導電膠93可包括膠材以及混合於膠材中之導電粒子。於實際製作上，該導電膠93可由具有複數大粒徑導電粒子之第一膠體以及具有複數小粒徑導電粒子之第二膠體混合所形成，其中，該大粒徑導電粒子之粒徑為20-80μm，該小粒徑導電粒子之粒徑為8-20μm。於另一實施例中，前述之導電膠93所形成之第二導電彈性體的硬度可為30度至65度之蕭氐(Shore A)硬度，以及其阻值為10mΩ至20mΩ。

另外，於形成該第二導電彈性體後，復可利用濺鍍、蒸鍍、噴塗或紫外線(UV)固化膠之方式，形成覆蓋於該第二導電彈性體之表面之導電層。

本發明還提出一種電性連接裝置之修復方法，目的是在僅有少數第一導電彈性體損壞下，不用置換整個電性連接裝置，而可恢復電性連接裝置之導電功能，該修復方法包括：先取得包含不良第一導電彈性體之一電 性連接裝置，接著，自該電性連接裝置之通孔中移出該不良第一導電彈性體，之後，將正常第一導電彈性體移入該電性連接裝置中已移出該不良第一導電彈性體之該通孔內，最終，將該正常第一導電彈性體定置於該通孔中。

於上述方法中，電性連接裝置內之複數第一導電彈性體，可透過不同型態之固定結構而定置於各通孔中，例如膠體或夾持件等固定結構，並無限制第一導電彈性體之固定方式。於一具體實施例中，倘若固定結構為固定膠時，於移出該不良第一導電彈性體之前，須先軟化固定該不良第一導電彈性體之固定膠，以及於該正常第一導電彈性體移入該通孔之後，須固化該固定膠，而使該正常第一導電彈性體固定於該通孔中。

另外，前述電性連接裝置中的第一導電彈性體，可為本發明所述之設有第二導電彈性體之第一導電彈性體。

圖10為本發明之電性連接裝置之修復方法的步驟圖，於此以使用固定膠固定第一導電彈性體以及設有第二導電彈性體之第一導電彈性體之範例來說明，係包括以下步驟。

於步驟S1010，取得包含不良第一導電彈性體之電性連接裝置。簡言之，該電性連接裝置包括具有通孔之支撐件以及利用固定膠設於該通孔中之第一導電彈性體，具體而言，所述之不良第一導電彈性體為已變形損壞、或端部呈開花狀、或無法正常提供電性連接之第一導電彈性體。

於一實施例中，前述之電性連接裝置包括設於第一導電彈性體之一端的第二導電彈性體，而該第二導電彈性體係包含膠體以及嵌埋於該膠體中之複數導電粒子，第二導電彈性體能提供第一導電彈性體之端部的保護。

於步驟S1020，軟化固定該不良第一導電彈性體之固定膠。具體而言，可使用溶劑(例如乙醇之有機溶劑)將該固定膠進行軟化，即把固定該不良第一導電彈性體於電性連接裝置之通孔中的固定膠進行軟化，以利後續該不良第一導電彈性體之移出。

於步驟S1030，移除該不良第一導電彈性體。本步驟係將該不良第一導電彈性體從該電性連接裝置中移出，此時，不會更動正常運作之其他第一導電彈性體。

於步驟S1040，置入正常第一導電彈性體。本步驟係將正常第一導電彈性體置入該電性連接裝置中已移出該不良第一導電彈性體之通孔內。

於步驟S1050，固化固定膠。簡言之，使該固定膠固化而固定該正常第一導電彈性體，據此，本發明藉由將已損壞或不良第一導電彈性體移除，且以另一正常第一導電彈性體替代之，使受損之電性連接裝置獲得修復，而無須將整個電性連接裝置更換，因而可減少資源浪費並降低成本。

上述實施例僅為例示性說明，而非用於限制本發明。任何熟習此項技藝之人士均可在不違背本發明之精神及範疇下，對上述實施例進行修飾與改變。因此，本發明之權利保護範圍係由本發明所附之申請專利範圍所定義，只要不影響本發明之效果及實施目的，應涵蓋於此公開技術內容中。

1:電性連接裝置

11:支撐件

12:第一導電彈性體

13:第二導電彈性體

A-A:剖面線

Claims (14)

1. 一種電性連接裝置，係包括：一支撐件，係具有相對之第一表面與第二表面，以及連通該第一表面與該第二表面之複數通孔；複數第一導電彈性體，係分別設置於各該通孔中，且各該第一導電彈性體包括具有相對之第一端與第二端之彈性主體，以及與該彈性主體結合且自該第一端延伸至該第二端之導電單元；以及複數第二導電彈性體，係分別設於各該彈性主體之該第一端。
2. 如請求項1所述之電性連接裝置，其中，各該第二導電彈性體係與該導電單元電性連接，且包含一膠體以及嵌埋於該膠體中之複數導電粒子。
3. 如請求項2所述之電性連接裝置，其中，該複數導電粒子係包括粒徑大於等於20μm之複數大粒徑導電粒子以及粒徑小於20μm之複數小粒徑導電粒子。
4. 如請求項3所述之電性連接裝置，其中，於該第二導電彈性體中，該複數大粒徑導電粒子所佔體積大於該複數小粒徑導電粒子所佔體積。
5. 如請求項1所述之電性連接裝置，其中，各該第二導電彈性體其硬度為30度至65度之蕭氐(Shore A)硬度，以及其阻值為10mΩ至20mΩ。
6. 如請求項2所述之電性連接裝置，其中，各該第二導電彈性體中之該複數導電粒子之體積百分比為63至78%。
7. 如請求項1所述之電性連接裝置，其中，各該第二導電彈性體設於各該第一端之頂面且具有不同的長度，使各該第一導電彈性體與相對應之該第二導電彈性體結合後之長度相同，或使各該第二導電彈性體之頂端與該第一表面之間的距離相同。
8. 如請求項1所述之電性連接裝置，其中，各該導電單元為金屬導線。
9. 如請求項1所述之電性連接裝置，其中，各該第二導電彈性體具有曲狀表面。
10. 如請求項1所述之電性連接裝置，其中，該彈性主體之該第一端低於該第一表面且該第二導電彈性體係凸出於該第一表面，以及該彈性主體與所在之該通孔之內側壁間具有間隙。
11. 一種探針卡，係包括：一基板，係訊號連接一測試系統；一空間轉換裝置，係位於該基板之下方；一探針裝置，位於該空間轉換裝置下方；以及如請求項1-10之任一者所述之電性連接裝置，係位於該基板以及該空間轉換裝置之間，且該第二端及該第二導電彈性體分別與該基板以及該空間轉換裝置電性連接。
12. 一種電性連接裝置之修復方法，係包括：取得包含不良第一導電彈性體之一電性連接裝置；軟化固定該不良第一導電彈性體之固定膠；自該電性連接裝置之通孔中移出該不良第一導電彈性體； 將正常第一導電彈性體移入該電性連接裝置中已移出該不良第一導電彈性體之該通孔內；將該正常第一導電彈性體定置於該通孔中；以及固化該固定膠以固定該正常第一導電彈性體。
13. 一種電性連接裝置之修復方法，係包括：取得包含不良第一導電彈性體之一電性連接裝置，其中，該電性連接裝置為請求項1-10之任一者所述之電性連接裝置；自該電性連接裝置之通孔中移出該不良第一導電彈性體；將正常第一導電彈性體移入該電性連接裝置中已移出該不良第一導電彈性體之該通孔內；以及將該正常第一導電彈性體定置於該通孔中。
14. 如請求項13所述之電性連接裝置之修復方法，其中，各該複數第一導電彈性體係透過固定膠定置於各該通孔中，以於移出該不良第一導電彈性體之前，先軟化固定該不良第一導電彈性體之固定膠，以及於該正常第一導電彈性體移入之後，固化該固定膠以固定該正常第一導電彈性體。

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