TWI815073B - 吸取夾具、物件處置器、載台裝置、及微影裝置 - Google Patents

吸取夾具、物件處置器、載台裝置、及微影裝置 Download PDF

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Abstract

本發明提供一種用於夾持一物件之吸取夾具。該吸取夾具包含：一基座結構，其包含一基座及一連接區域；及一第一襯墊，其用於收納該物件。該吸取夾具進一步包含一彈性部件，該彈性部件將該第一襯墊連接至該基座結構之該連接區域，使得該第一襯墊相對於該基座在用於收納該物件之一收納位置與用於夾持該物件之一夾持位置之間可移動，其中該彈性部件經調適以使該第一襯墊偏置至該收納位置。該吸取夾具進一步包含一吸取開口，該吸取開口配置於該基座中且經調適以連接至一吸取器件，該吸取器件用於提供一吸取力以用於將該物件夾持於該第一襯墊上。

Description

吸取夾具、物件處置器、載台裝置、及微影裝置
本發明係關於夾持諸如基板或晶圓之物件的技術領域。特定言之，本發明係關於吸取夾具、物件處置器、載台裝置及微影裝置。
微影裝置為經建構以將所要圖案施加至基板上之機器。微影裝置可用於例如積體電路(IC)之製造中。微影裝置可例如將圖案化器件(例如光罩)之圖案(常常亦被稱作「設計佈局」或「設計」)投影至提供於基板(例如晶圓)上的輻射敏感材料(抗蝕劑)層上。
隨著半導體製造程序繼續進步，幾十年來，電路元件之尺寸已不斷地減小，而每器件的諸如電晶體之功能元件之量已在穩固地增加，此遵循通常被稱作「莫耳定律(Moore's law)」之趨勢。為了跟得上莫耳定律，半導體行業正追逐使能夠產生愈來愈小特徵的技術。為了將圖案投影於基板上，微影裝置可使用電磁輻射。此輻射之波長判定圖案化於基板上之特徵之最小大小。當前在使用中之典型波長為365nm(i線)、248nm、193nm及13.5nm。相比於使用例如具有193nm之波長之輻射的微影裝置，使用具有在4nm至20nm之範圍內之波長(例如6.7nm或13.5nm)之極紫外線(EUV)輻射的微影裝置可用以在基板上形成較小特徵。
當圖案經投影於基板上時，基板通常安裝於基板支撐件上。為了將基板配置於基板支撐件上，複數個支撐部件經配置以收納基板。該等支撐部件可包含用於使用夾持力來夾持基板之一或多個吸取夾具。在收納基板之後，支撐部件同時向下豎直移動，直至基板由基板支撐件支撐。
通常，基板係由物件夾緊器配置至該等支撐部件上。夾緊器亦可包含用於使用夾持力來夾持基板之一或多個吸取夾具。
近年來諸如所謂的3DNAND及3D Xpoint基板的開發已導致基板更常常不平坦，而是具有平面外形狀，例如翹曲或彎曲。此可為例如具有內應力之層數目增加的後果。已觀測到，此類翹曲或彎曲基板並不總是由物件處置器及/或支撐銷釘之習知吸取夾具適當地夾持。
本發明之目標係至少提供用於先前技術器件之替代方案。本發明之目標為減輕先前技術器件之一或多個缺點。特定言之，本發明之目標為提供對彎曲或翹曲之物件之改良之夾持。
根據本發明之一第一態樣，以上目標中之一或多者係運用用於夾持一物件之一吸取夾具來達成。該吸取夾具包含：一基座結構，其包含一基座及一連接區域；及一第一襯墊，其用於收納該物件。該吸取夾具進一步包含一彈性部件，該彈性部件將該第一襯墊連接至該基座結構之該連接區域，使得該第一襯墊相對於該基座在用於收納該物件之一收納位置與用於夾持該物件之一夾持位置之間可移動，其中該彈性部件經調適以使該第一襯墊偏置至該收納位置。該吸取夾具進一步包含一吸取開口，該吸取開口配置於該基座中且經調適以連接至一吸取器件，該吸取器件用於 提供一吸取力以用於將該物件夾持於該第一襯墊上。
當該彈性部件使該第一襯墊朝向該收納位置偏置時，該第一襯墊在一物件配置至該吸取夾具上時配置於該收納位置中。該物件可例如為一基板或一晶圓。即使在該物件具有一翹曲表面時，亦確保該物件之該翹曲表面之至少一下部部分由該第一襯墊嚙合。由於該彈性部件允許該第一襯墊朝向該夾持位置移動，因此至少在其與該翹曲表面嚙合之情況下，該翹曲表面之一較高部分亦由該第一襯墊嚙合。當該第一襯墊接著朝向該夾持位置移動時，該翹曲表面實質上藉由該吸取力而拉直。該物件可適當地夾持在一明確界定之位置中。
在一實施例中，該吸取夾具進一步包含一壓降部件，該壓降部件經配置以在經由該吸取開口提供該吸取力時，致使該壓降部件下游的一內部壓力低於該第一襯墊上游的一環境壓力。有利地，該壓降部件增大施加於該物件上之該吸取力。
在一實施例中，該壓降部件相對於該基座配置於一固定位置中，且其中至少在該第一襯墊之該收納位置中，在該第一襯墊與該壓降部件之間存在一間隙。有利地，在此實施例中，該壓降部件係耐磨的。
在一實施例中，該壓降部件配置於該吸取開口與該第一襯墊之間。已發現，此配置有益於該壓降部件對施加於該物件上之該夾持力的效應。
在一實施例中，該壓降部件鄰近於該第一襯墊而配置，其中在該第一襯墊之一夾持位置中，該第一襯墊及該壓降部件係鄰接的。有利地，在該夾持位置中，減少了吸取空氣之任何洩漏。
在一實施例中，該第一襯墊係一環形元件，視情況圓形或 橢圓環形，及/或其中該壓降部件係一環形元件，視情況圓形或橢圓環形。已發現此配置對於夾持物件係有利的。
在一實施例中，該第一襯墊包含至少一第一分區及一第二分區，其中該第一分區經調適以能夠自該收納位置移動至該夾持位置，而該第二分區保持處於該收納位置。有利地，當該物件具有一翹曲表面時，該第一分區可首先與該翹曲表面之一下部部分嚙合，而該第二分區在該第一分區已經移動至該夾持位置時與該翹曲表面之一較高部分嚙合。因而，該翹曲表面可被更好地夾持。
在一實施例中，該基座結構包含一襯墊收納區域，該襯墊收納區域經調適以在該第一襯墊處於該夾持位置時與該第一襯墊嚙合。有利地，該第一襯墊之位置被明確界定於該夾持位置中，且因而同樣如此界定了該物件之位置。
在一實施例中，該第一襯墊經調適以在該收納位置與該夾持位置之間移動的一距離小於0.5mm、較佳小於0.3mm，例如大致0.2mm。已發現，此對於相對翹曲物件係足夠的，同時仍允許明確界定該物件之位置。
在一實施例中，該彈性部件係一彈簧，例如一片彈簧。已發現此係相對簡單地生產同時達成令人滿意之結果的配置。
在一實施例中，該基座結構包含一第一突起部，其中該第一突起部包含該連接區域。有利地，該彈性部件可容易附接至該突起部，例如在不妨礙其他組件或被其他組件妨礙的情況下。
在本發明之一第二態樣中，本發明係關於一種吸取夾具，其具有至少一第一襯墊，其中該第一襯墊具有一不對稱形狀，該不對稱形 狀當在該吸取夾具之俯視圖中被查看時包含：具有一第一質心之一第一末端、具有一第二質心之一第二末端、該第一末端與該第二末端之間的具有一第三質心之一中間部分，該中間部分在一第一側上具有一第一邊界部分且在一第二側上具有一第二邊界部分，其中該第一邊界部分及該第二邊界襯墊部分彼此平行，其中當在自該第一側至該第二側之一方向上查看時，該第三質心位於該第一質心與該第二質心之間。已發現，運用根據該第二態樣之一吸取夾具來批准該夾持。
本發明之該第二態樣可與該第一態樣組合，但本發明因而亦關於該第二態樣。
在一實施例中，該第一末端包含一第一非平行邊界且該第二末端包含一第二非平行邊界，其中該第一非平行邊界及該第二非平行邊界經調適以與該物件非同心。
在另該第二態樣之另一實施例中，當在垂直於自該第一側至該第二側之該方向的一方向上查看時，該第二末端長於該第一末端。
本發明進一步係關於一種物件夾緊器，其至少包含根據本發明之該第一及/或第二態樣的一第一吸取夾具。有利地，該物件可被更好地夾持，從而減少該物件在該物件夾緊器之移動期間相對於該物件夾緊器之移動。
在一實施例中，該物件夾緊器進一步包含根據本發明之該第一及/或第二態樣的一第二吸取夾具，及一第三吸取夾具。有利地，該物件可被更好地夾持，從而減少該物件在該物件夾緊器之移動期間相對於該物件夾緊器之移動。
本發明進一步係關於一種物件處置器，其包含根據本發明 之一物件夾緊器，及連接至第一吸取夾具及/或第二吸取夾具及/或第三吸取夾具之吸取開口的一吸取器件。有利地，物件可被較好地夾持，從而允許該物件處置器更準確地定位該物件。
本發明進一步係關於一種用於收納一物件之載台裝置，該載台裝置包含一物件支撐件，及根據本發明之一物件夾緊器、一物件處置器，其中該物件夾緊器經組態以將該物件配置於該物件支撐件上方。有利地，該物件可更準確地定位於該物件支撐件上方。
本發明進一步係關於一種微影裝置，其包含：用於收納包含一基板之一物件的根據本發明之一載台裝置，及用於將一圖案投影至該基板上之一投影系統。有利地，因為該物件已更準確地定位，所以該圖案可更準確地經投影。
101:載台裝置
102:物件支撐件
103:支撐部件
103.1:吸取夾具
104:物件夾緊器
104.1:第一吸取夾具
104.2:第二吸取夾具
104.3:第三吸取夾具
104.4:凹部
105:物件
105':虛線
105.1:翹曲表面
201:洩漏
202:水平軸
203:豎軸
204:吸取力
204':第一曲線圖
205:變形力
205':第二曲線圖
206:區域
301:物件處置器
304:機器人臂
305:控制單元
305.1:第一輸出端子
305.1a:第一控制信號
501:吸取夾具
502:基座結構
503:連接區域
504:第一突起部
505:第一襯墊
505a:第一分區
505b:第二分區
506:壓降部件
507:吸取開口/吸取孔
508:箭頭
509:彈性部件
510:間隙
511:基座
512:選用襯墊收納區域
531:上游環境壓力
532:下游內部壓力
601:距離
602:距離
701:第一末端
702:第一質心
703:中間部分
704:第三質心
705:第一邊界部分
706:第二邊界部分
707:第二末端
708:第二質心
711:第一非平行邊界
712:第二非平行邊界
1104:物件夾緊器
1104.1:第一吸取夾具
1104.2:第二吸取夾具
1104.3:第三吸取夾具
1104.4:凹部
1104.5:中心點
2104:物件夾緊器
2104.1:第一吸取夾具
2104.2:第二吸取夾具
2104.3:第三吸取夾具
2105.1:第一襯墊
ACT:致動器
B:輻射光束
BD:光束遞送系統
BF:基座框架
BM:平衡塊
C:目標部分
FB:回饋控制器
FF:前饋控制器
IL:照明系統/照明器
IS:振動隔離系統
LA:微影裝置
M1:光罩對準標記
M2:光罩對準標記
MA:圖案化器件
MF:度量衡框架
P:設備
P1:基板對準標記
P2:基板對準標記
PCS:位置控制系統
PM:第一定位器
PMS:位置量測系統
PS:投影系統
PW:第二定位器
SO:輻射源
SP:設定點產生器
W:基板
WT:基板支撐件/基板台
現在將僅作為實例參看隨附示意性圖式來描述本發明之實施例，在該等圖式中：- 圖1描繪微影裝置之示意性綜述；- 圖2描繪圖1之微影裝置之部分的詳細視圖；- 圖3示意性地描繪位置控制系統；- 圖4a展示包含物件支撐件之載台裝置的側視圖；- 圖4b以俯視圖示意性地展示物件處置器；- 圖5a展示物件夾緊器及翹曲物件之側視圖；- 圖5b展示依據洩漏之大小而變化的吸取力及變形力之曲線圖；- 圖6a至圖6c以示意性橫截面展示根據第一態樣之吸取夾具；- 圖6d展示如圖6a至圖6c中所展示之吸取夾具的示意性俯視圖； - 圖7展示根據本發明之物件夾緊器；- 圖8a至圖8b說明本發明之第二態樣；- 圖9a至圖9c說明本發明之第三態樣。
在本發明文件中，術語「輻射」及「光束」用以涵蓋所有類型之電磁輻射，包括紫外線輻射(例如，具有為365nm、248nm、193nm、157nm或126nm之波長)及極紫外線輻射(EUV，例如，具有在約5nm至100nm之範圍內之波長)。
如本文中所採用之術語「倍縮光罩」、「光罩」或「圖案化器件」可被廣泛地解譯為係指可用以向入射輻射光束賦予經圖案化橫截面之通用圖案化器件，該經圖案化橫截面對應於待在基板之目標部分中產生之圖案。在此內容背景中，亦可使用術語「光閥」。除經典光罩(透射或反射；二元、相移、混合式等)以外，其他此類圖案化器件之實例包括可程式化鏡面陣列及可程式化LCD陣列。
圖1示意性地描繪微影裝置LA。該微影裝置LA包括：照明系統(亦被稱作照明器)IL，其經組態以調節輻射光束B(例如UV輻射、DUV輻射或EUV輻射)；光罩支撐件(例如光罩台)MT，其經建構以支撐圖案化器件(例如光罩)MA且連接至經組態以根據某些參數來準確地定位該圖案化器件MA之第一定位器PM；基板支撐件(例如晶圓台)WT，其經建構以固持基板(例如抗蝕劑塗佈晶圓)W且連接至經組態以根據某些參數來準確地定位基板支撐件之第二定位器PW；及投影系統(例如折射投影透鏡系統)PS，其經組態以將由圖案化器件MA賦予至輻射光束B之圖案投影至基板W之目標部分C(例如包含一或多個晶粒)上。
在操作中，照明系統IL例如經由光束遞送系統BD自輻射源SO接收輻射光束。照明系統IL可包括用於引導、塑形及/或控制輻射的各種類型之光學組件，諸如折射、反射、磁性、電磁、靜電及/或其他類型之光學組件，或其任何組合。照明器IL可用以調節輻射光束B，以在圖案化器件MA之平面處在其橫截面中具有所要空間及角強度分佈。
本文所使用之術語「投影系統」PS應被廣泛地解譯為涵蓋適於所使用之曝光輻射及/或適於諸如浸潤液體之使用或真空之使用之其他因素的各種類型之投影系統，包括折射、反射、反射折射、合成、磁性、電磁及/或靜電光學系統，或其任何組合。可認為本文中對術語「投影透鏡」之任何使用皆與更一般之術語「投影系統」PS同義。
微影裝置LA可屬於如下類型：其中基板之至少一部分可由具有相對較高折射率之液體(例如水)覆蓋，以便填充投影系統PS與基板W之間的空間-此亦被稱作浸潤微影。以引用方式併入本文中之US6952253中給出關於浸潤技術之更多資訊。
微影裝置LA亦可屬於具有兩個或多於兩個基板支撐件WT(又名「雙載台」)之類型。在此「多載台」機器中，可並行地使用基板支撐件WT，及/或可對位於基板支撐件WT中之一者上的基板W進行準備基板W之後續曝光的步驟，同時將另一基板支撐件WT上之另一基板W用於在該另一基板W上曝光圖案。
除了基板支撐件WT以外，微影裝置LA亦可包含量測載台。量測載台經配置以固持感測器及/或清潔器件。感測器可經配置以量測投影系統PS之屬性或輻射光束B之屬性。量測載台可固持多個感測器。清潔器件可經配置以清潔微影裝置之部分，例如投影系統PS之部分或提 供浸潤液體之系統之部分。量測載台可在基板支撐件WT遠離投影系統PS時在投影系統PS下方移動。
在操作中，輻射光束B入射於被固持於光罩支撐件MT上之圖案化器件(例如光罩)MA上，且係由存在於圖案化器件MA上之圖案(設計佈局)而圖案化。在已橫穿圖案化器件MA的情況下，輻射光束B穿過投影系統PS，該投影系統將該光束聚焦至基板W之目標部分C上。憑藉第二定位器PW及位置量測系統IF，可準確地移動基板支撐件WT，例如以便使不同目標部分C在輻射光束B之路徑中定位於經聚焦且對準之位置處。相似地，第一定位器PM及可能另一位置感測器(其未在圖1中明確地描繪)可用以相對於輻射光束B之路徑來準確地定位圖案化器件MA。可使用光罩對準標記M1、M2及基板對準標記P1、P2來對準圖案化器件MA及基板W。儘管如所說明之基板對準標記P1、P2佔據專用目標部分，但該等標記可位於目標部分之間的空間中。當基板對準標記P1、P2位於目標部分C之間時，此等基板對準標記P1、P2被稱為切割道對準標記。
為闡明本發明，使用笛卡爾座標系。笛卡爾座標系具有三個軸，亦即，x軸、y軸及z軸。三個軸中之每一者與其他兩個軸正交。圍繞x軸之旋轉被稱作Rx旋轉。圍繞y軸之旋轉被稱作Ry旋轉。圍繞z軸之旋轉被稱作Rz旋轉。x軸及y軸界定水平平面，而z軸在豎直方向上。笛卡爾座標系不限制本發明，而僅用於闡明。實情為，另一座標系，諸如圓柱形座標系可用以闡明本發明。笛卡爾座標系之定向可不同，例如，使得z軸具有沿著水平平面之分量。
圖2展示圖1之微影裝置LA之一部分的更詳細視圖。微影裝置LA可具備基座框架BF、平衡塊BM、度量衡框架MF及振動隔離系統 IS。度量衡框架MF支撐投影系統PS。另外，度量衡框架MF可支撐位置量測系統PMS之部分。度量衡框架MF係由基座框架BF經由振動隔離系統IS支撐。振動隔離系統IS經配置以防止或減小振動自基座框架BF傳播至度量衡框架MF。
第二定位器PW經配置以藉由在基板支撐件WT與平衡塊BM之間提供驅動力來加速基板支撐件WT。驅動力使基板支撐件WT在所要方向上加速。歸因於動量守恆，亦將驅動力以相等的量值但以與所要方向相反的方向施加至平衡塊BM。通常，平衡塊BM之質量顯著大於第二定位器PW及基板支撐件WT之移動部分之質量。
在一實施例中，第二定位器PW係由平衡塊BM支撐。舉例而言，其中第二定位器PW包含用以使基板支撐件WT懸浮於平衡塊BM上方之平面馬達。在另一實施例中，第二定位器PW係由基座框架BF支撐。舉例而言，其中第二定位器PW包含線性馬達且其中第二定位器PW包含用以使基板支撐件WT懸浮於基座框架BF上方之軸承，如氣體軸承。
位置量測系統PMS可包含適合於判定基板支撐件WT之位置之任何類型的感測器。位置量測系統PMS可包含適合於判定光罩支撐件MT之位置之任何類型的感測器。該感測器可為光學感測器，諸如干涉計或編碼器。位置量測系統PMS可包含干涉計及編碼器之組合系統。感測器可為另一類型之感測器，諸如磁感測器、電容式感測器或電感感測器。位置量測系統PMS可判定相對於參考件，例如度量衡框架MF或投影系統PS之位置。位置量測系統PMS可藉由量測位置或藉由量測位置之時間導數(諸如速度或加速度)來判定基板台WT及/或光罩支撐件MT之位置。
位置量測系統PMS可包含編碼器系統。舉例而言，編碼器 系統自特此以引用方式併入的於2006年9月7日申請之美國專利申請案US2007/0058173A1係已知的。編碼器系統包含編碼器頭、光柵及感測器。編碼器系統可接收初級輻射光束及次級輻射光束。初級輻射光束以及次級輻射光束兩者源自同一輻射光束，亦即原始輻射光束。藉由運用光柵來繞射原始輻射光束來產生初級輻射光束及次級輻射光束中之至少一者。若藉由運用光柵繞射原始輻射光束來產生初級輻射光束及次級輻射光束兩者，則初級輻射光束需要具有與次級輻射光束相比不同的繞射階。舉例而言，不同繞射階為+1階、-1階、+2階及-2階。編碼器系統將初級輻射光束及次級輻射光束光學地組合成組合之輻射光束。編碼器頭中之感測器判定組合之輻射光束之相位或相位差。感測器基於該相位或相位差而產生信號。該信號表示編碼器相對於光柵之位置。編碼器頭及光柵中之一者可配置於基板結構WT上。編碼器頭及光柵中之另一者可配置於度量衡框架MF或基座框架BF上。舉例而言，複數個編碼器頭配置於度量衡框架MF上，而光柵配置於基板支撐件WT之頂部表面上。在另一實例中，光柵配置於基板支撐件WT之底部表面上，且編碼器頭配置於基板支撐件WT下方。
位置量測系統PMS可包含干涉計系統。舉例而言，干涉計系統自特此以引用方式併入的於1998年7月13日申請之美國專利US6,020,964係已知的。干涉計系統可包含光束分裂器、鏡面、參考鏡面及感測器。輻射光束係由光束分裂器分裂成參考光束及量測光束。量測光束傳播至鏡面且由鏡面反射回至光束分裂器。參考光束傳播至參考鏡面且由參考鏡面反射回至光束分裂器。在光束分裂器處，量測光束及參考光束組合成組合之輻射光束。組合之輻射光束入射於感測器上。感測器判定組合之輻射光束之相位或頻率。感測器基於該相位或該頻率產生信號。該信 號表示鏡面之位移。在一實施例中，鏡面連接至基板支撐件WT。參考鏡面可連接至度量衡框架MF。在一實施例中，藉由額外光學部件而非光束分裂器將量測光束及參考光束組合成組合之輻射光束。
第一定位器PM可包含長衝程模組及短衝程模組。短衝程模組經配置以遍及小移動範圍以高準確度相對於長衝程模組來移動光罩支撐件MT。長衝程模組經配置以遍及大移動範圍以相對低準確度相對於投影系統PS來移動短衝程模組。在長衝程模組及短衝程模組組合的情況下，第一定位器PM能夠遍及大移動範圍以高準確度相對於投影系統PS來移動光罩支撐件MT。相似地，第二定位器PW可包含長衝程模組及短衝程模組。短衝程模組經配置以遍及小移動範圍以高準確度相對於長衝程模組來移動基板支撐件WT。長衝程模組經配置以遍及大移動範圍以相對低準確度相對於投影系統PS來移動短衝程模組。在長衝程模組及短衝程模組之組合的情況下，第二定位器PW能夠遍及大移動範圍以高準確度相對於投影系統PS來移動基板支撐件WT。
第一定位器PM及第二定位器PW各自具備一致動器以分別移動光罩支撐件MT及基板支撐件WT。致動器可為用以沿著單軸(例如y軸)提供驅動力之線性致動器。可應用多個線性致動器以沿著多個軸提供驅動力。致動器可為用以沿著多個軸提供驅動力之平面致動器。舉例而言，平面致動器可經配置以在6個自由度中移動基板支撐件WT。致動器可為包含至少一個線圈及至少一個磁體之電磁致動器。致動器經配置以藉由將電流施加至至少一個線圈而相對於至少一個磁體移動至少一個線圈。致動器可為移動磁體型致動器，其具有分別耦接至基板支撐件WT、耦接至光罩支撐件MT之至少一個磁體。致動器可為移動線圈型致動器，其具有 分別耦接至基板支撐件WT、耦接至光罩支撐件MT之至少一個線圈。致動器可為音圈致動器、磁阻致動器、勞侖茲(Lorentz)致動器或壓電致動器，或者任何其他合適的致動器。
微影裝置LA包含如圖3中示意性地描繪之位置控制系統PCS。位置控制系統PCS包含設定點產生器SP、前饋控制器FF及回饋控制器FB。位置控制系統PCS將驅動信號提供至致動器ACT。致動器ACT可為第一定位器PM或第二定位器PW之致動器。致動器ACT驅動設備(plant)P，該設備可包含基板支撐件WT或光罩支撐件MT。設備P之輸出為位置量，諸如位置或速度或加速度。藉由位置量測系統PMS來量測位置量。位置量測系統PMS產生一信號，該信號為表示設備P之位置量的位置信號。設定點產生器SP產生信號，該信號為表示設備P之所要位置量之參考信號。舉例而言，參考信號表示基板支撐件WT之所要軌跡。參考信號與位置信號之間的差形成回饋控制器FB之輸入。基於該輸入，回饋控制器FB向致動器ACT提供驅動信號之至少一部分。參考信號可形成前饋控制器FF之輸入。基於該輸入，前饋控制器FF向致動器ACT提供驅動信號之至少一部分。前饋FF可利用關於設備P之動力特性之資訊，諸如質量、剛度、共振模式及固有頻率。
圖4a展示載台裝置101之側視圖，該載台裝置包含經組態以支撐物件105之物件支撐件102，該物件例如為基板W或晶圓。物件支撐件102可例如由如圖4a中所展示之另一支撐件支撐。載台裝置101例如包含用於支撐物件105之複數個支撐部件103，該複數個支撐部件經配置以自物件夾緊器104收納物件105且將物件105配置於物件支撐件102上，及/或反之亦然。支撐部件103在垂直於第一平面xy之至少豎直方向z上係 可移動的。在所展示實施例中，載台裝置101包含三個支撐部件103，其中兩個在圖4a中所展示之側視圖中可見。該三個支撐部件103較佳經配置成使得當見於俯視圖中時，可繪製假想等邊三角形，其中支撐部件103位於拐角上。然而，應注意，任何合適數目個支撐部件103可應用於任何適合之配置中。
裝載物件105，亦即將物件105配置於物件支撐件102上，可接著例如藉由如下操作來實現。在圖4a中所展示之情形中，物件105由支撐部件103支撐且物件夾緊器104已部分縮回。在此情形之前，物件105由物件夾緊器104支撐，該物件夾緊器將物件105配置在物件支撐件102上方以將物件105提供至載台裝置101。物件夾緊器104可例如由機器人(例如多軸機器人臂)驅動，該機器人為提供物件105之物件處置器之一部分。支撐部件103接著自縮回位置豎直向上移動至圖4a中所展示之支撐位置，在該縮回位置中，該等支撐部件配置於物件支撐件102下方。在該豎直向上移動期間，支撐部件103與物件105嚙合。一旦物件105由支撐部件103支撐，就可縮回夾緊器104以對應於圖4a中所展示之情形。當夾緊器104在水平方向上縮回時，支撐部件103接著豎直向下移動直至物件105配置於物件支撐件102上，如由虛線105'所指示。
可(例如)在圖案已投影於物件105上之後以相似方式卸載物件105。當物件105配置於物件支撐件102上時，支撐部件103在物件支撐件102之頂部表面下方處於縮回位置。支撐部件103可在豎直方向z上豎直向上移動直至其與物件105嚙合，使得物件105由支撐部件103而非物件支撐件102支撐。支撐部件103可接著在豎直方向z上進一步豎直向上移動，直至其到達支撐位置，如圖4a中再次所展示。物件夾緊器104可接著在物 件105下方移動以支撐物件105。舉例而言，物件夾緊器104可在配置於物件105之下之後豎直向上移動以便與物件嚙合。亦有可能在物件夾緊器104已配置於物件105下方之後豎直向下移動支撐部件103，直至物件夾緊器104與物件105嚙合。替代地，物件夾緊器104可在物件105上方移動。舉例而言，物件夾緊器104可在配置於物件105上方之後豎直向下移動以便與物件嚙合。應注意，在一實施例中，用於卸載物件105之物件夾緊器可為不同於用於提供物件105之物件夾緊器104的物件夾緊器，例如兩個夾緊器可配置於物件105之相對側上，例如圖4a中的左側及右側。
圖4b以俯視圖示意性地展示物件處置器301。應注意，為清楚起見，圖4b未描繪所有組件，而是聚焦於對於以下之解釋相關的彼等組件。物件處置器301包含經組態以將物件105提供至物件支撐件102之機器人臂304，及控制單元305。圖4b進一步展示控制單元305具有用於運用第一控制信號305.1a控制機器人臂304之第一輸出端子305.1。機器人臂304包含物件夾緊器104，且因此可如此控制物件夾緊器104之位置。由於物件夾緊器104將物件105配置於物件支撐件102上方以使支撐部件與物件105嚙合，因此可如此控制物件105相對於物件支撐件102之位置。機器人臂304可進一步能夠以高精度重複性地重複其移動，使得每一物件105可相對於物件支撐件102配置於實質上相同的位置上。
圖4a進一步展示支撐部件103包含吸取夾具103.1，且圖4b展示所展示實施例中之物件夾緊器104包含第一吸取夾具104.1、第二吸取夾具104.2及第三吸取夾具104.3。凹部104.4可進一步提供於物件夾緊器104中，例如以允許載台裝置之支撐部件與物件105嚙合。吸取夾具103.1、104.1、104.2、104.3以流體方式連接至一或多個未展示之吸取 源，該等吸取源在物件105上提供吸取力。然而，當物件105具有翹曲表面時，吸取夾具103.1、104.1、104.2、104.3可能不能夠適當地夾持物件105。此藉由圖5a說明，其中物件夾緊器104以側視圖展示，其中第一吸取夾具104.1及第三吸取夾具104.3係可見的。
圖5a展示歸因於物件105之翹曲表面105.1，第一吸取夾具104.1並未由物件105完全覆蓋，從而導致洩漏201。經由洩漏201，環境空氣係由吸取源吸入，從而導致施加至物件105上之較低吸取力。
為了適當地夾持物件105，第一吸取夾具104.1應由物件105儘可能地覆蓋。圖5b展示曲線圖，其中在水平軸202上為洩漏201之大小，且在豎軸203上為以牛頓為單位所表示之力。第一曲線圖204'展示施加於物件105上之吸取力204，其大致與洩漏201成反比。第二曲線圖205'展示使物件105變形且因而朝向第一吸取夾具104.1吸取物件105所需之變形力205。變形力205大致與物件105之剛度成比例，物件之剛度又隨著洩漏201減小而增大，此係由於進一步變形需要更多力。
歸因於物件105之翹曲增大，可發生如圖5b中所展示之情形。在吸取力204小於變形力205的區域206中，物件105將不再變形且因此將未被充分夾持。當例如關於物件夾緊器之第一吸取夾具104發生此情形時，物件105可在物件夾緊器例如在水平方向上之移動期間相對於該物件夾緊器移動。此可導致物件105相對於物件支撐件102之不準確的位置，且最終導致圖案至物件105上之不準確的投影。
根據第一態樣，本發明因此提議吸取夾具501，其實例以示意性橫截面在圖6a至圖6c中展示。圖6d進一步展示吸取夾具501之示意性俯視圖。吸取夾具501包含基座結構502。基座結構502包含基座511及 連接區域503。吸取夾具501包含用於收納物件105之第一襯墊505。吸取夾具501進一步包含彈性部件509，該彈性部件將第一襯墊505連接至基座結構502之連接區域503使得第一襯墊505相對於基座511在用於收納物件105之收納位置(如圖6a中所展示之情形)與用於夾持物件105之夾持位置(如圖6c中所展示之情形)之間可移動。彈性部件509經調適以使第一襯墊505偏置至收納位置。吸取夾具501進一步包含吸取開口507，該吸取開口配置於基座511中且經調適以連接至吸取器件(圖中未繪示)以用於提供吸取力以將物件105夾持於第一襯墊505上。
圖6a展示處於收納位置之第一襯墊505。由於彈性部件509經調適以使第一襯墊505朝向此位置偏置，因此此將為在任何物件105與第一襯墊505嚙合之前的情形。彈性部件509將具有至少一向上分量之彈簧力施加於第一襯墊505上。物件105可例如為具有翹曲表面之基板或晶圓。應注意，吸取夾具501顯著小於物件105，且在圖6a至圖6c中所展示之物件105之部分上，翹曲表面之曲率實際上可為可忽略的。物件105因此被示意性地展示為直線。然而，如可看到，因為物件105翹曲，所以物件105並不平行於基座511。此導致圖6a中所展示之情形，其中物件105首先在圖6a至圖6c中之右側上與第一襯墊505嚙合。
第一襯墊505曝露於向下力，該向下力包括經由吸取孔507提供之吸取力，且當物件105與第一襯墊嚙合時，曝露於物件105之重量。當向下力超過由彈性部件509施加之彈簧力的向上分量時，第一襯墊505向下移動。較佳地，彈性部件509允許第一襯墊505之至少一部分朝向夾持位置移動，即使當不提供吸取力時亦如此。由於在圖6a中，物件105僅在右側上與第一襯墊505嚙合，因此第一襯墊505最初將僅在右側上向 下移動，直至出現圖6b中之情形。在圖6b中，第一襯墊505已在右側上向下移動，直至物件105亦在左側上與第一襯墊505嚙合。
有利地，由於彈性部件509允許第一襯墊505之一部分向下移動，因此第一襯墊505之較大部分由物件105覆蓋。因此與習知吸取夾具相比，任何洩漏已減小，且由吸取器件經由吸取開口507所提供的施加至物件105上的吸取力已增大。現在，第一襯墊505之左側亦開始向下移動，直至已達到圖6c中之情形。當施加至物件105上之吸取力大於變形力時，物件105變形且亦向下移動。圖6c中之結果展示其中物件105已令人滿意地被夾持之情形。
基座結構502可例如配置於物件夾緊器或支撐部件上或由物件夾緊器或支撐部件嵌入。在所展示實例中，基座結構502包含第一突起部504。第一突起部504包含連接區域503。儘管圖6a至圖6c展示在吸取夾具501中心的第一突起部504，但此並非必需的。舉例而言，第一突起部504亦可自第一襯墊505徑向地向外配置。
視情況，第一襯墊505係由彈性體製成，例如非晶塑膠，諸如聚醚醯亞胺。舉例而言，第一襯墊505可由在商標名Semitron 410 ESD下可商購的材料製成。彈性部件509可為彈簧，例如片彈簧。彈性部件509可例如具有在1N/mm至3N/mm之間的彈簧常數，例如大致2N/mm。第一襯墊經調適以在收納位置與夾持位置之間移動的距離可例如小於0.5、較佳小於0.3mm，例如大致0.2mm，使得物件105之位置在水平及豎直方向兩者上被明確界定。
吸取開口507連接至吸取器件，吸取器件可例如為泵或壓縮機，例如真空泵。吸取器件可經配置以將空氣吸入通道中、遠離吸取夾 具501，如由圖6a至圖6c中之箭頭508所指示。
圖6a至圖6c展示視情況，吸取夾具501進一步包含壓降部件506。壓降部件506經配置以在經由吸取開口507提供吸取力時，致使該壓降部件506之下游內部壓力532低於第一襯墊505之上游環境壓力531。物件105在外側上曝露於環境壓力，且在內側上曝露於內部壓力或至少由該內部壓力部分地判定之壓力。藉由運用壓降部件506在該內部壓力與環境壓力之間提供壓降，內部壓力得以減小。施加於物件105上之吸取力因而增大。
在一些實施例中，壓降部件506可體現為第一襯墊505與基座結構502之間的密封件。然而，在所展示實例中，壓降部件506相對於基座511配置於固定位置中，且至少在第一襯墊505之收納位置中，在第一襯墊505與壓降部件506之間存在間隙510。壓降部件506可例如配置於基座511上，例如由與第一襯墊505相同之材料製成。替代地，壓降部件506可例如為基座結構502之一體式部分，例如為自基座511延伸之突起部。
空氣藉由吸取器件經由間隙510而被吸取至吸取開口507中。由於間隙510相對較小，因此可達成相對較高壓降。此配置有時被稱作「洩漏密封」。有利地，此實施例無需第一襯墊505與壓降部件506之間的實體接觸。因而，不同於例如習知密封件，壓降部件506並不易於由於第一襯墊505之移動而磨損。
圖6a至圖6c展示在吸取開口507與第一襯墊505之間，尤其自第一襯墊505徑向向內的壓降部件506。此已被發現係引起令人滿意的結果的實務配置。然而，亦有可能將壓降部件506自第一襯墊505徑向地 向外配置。
圖6c進一步展示壓降部件506鄰近於第一襯墊505而配置。視情況，在第一襯墊505之夾持位置中，該第一襯墊505及該壓降部件506係鄰接的。因而，封閉間隙510，且在夾持位置中不存在通過間隙510之空氣洩漏。
圖6d說明在所展示實例中，第一襯墊505及壓降部件506為環形元件，尤其為圓形。然而，環形元件可成橢圓形或以其他合適形狀成形，如本文中參看圖8a至圖8b進一步解釋。
圖6d亦展示彈性部件509可例如包含連接第一襯墊505與連接區域503的若干分支。
在圖6b中最佳可見的是，進一步，視情況第一襯墊505包含至少第一分區505a及第二分區505b，其中該第一分區505a經調適以能夠自收納位置移動至夾持位置，而該第二分區505b保持處於收納位置。
圖6a至圖6c進一步展示基座結構502包含選用襯墊收納區域512，該選用襯墊收納區域在第一襯墊505處於夾持位置時經調適以嚙合第一襯墊505，如圖6c中所展示。在所展示實例中，襯墊收納區域512配置於基座511中，特定言之配置為凹部。襯墊收納區域512為基座結構502上之固定已知位置，且因此相對於連接區域503處於固定已知位置。當第一襯墊505在夾持位置中嚙合襯墊收納區域512時，第一襯墊505之位置因而亦係已知的。因此，物件105可以高準確度定位。
圖7展示根據本發明之物件夾緊器1104。在所展示實例中，物件夾緊器1104包含第一吸取夾具1104.1、第二吸取夾具1104.2及第三吸取夾具1104.3，以及凹部1104.4。物件之中心可配置於中心點1104.5 上方。根據本發明，根據本發明體現了吸取夾具1104.1、1104.2、1104.3中之至少一者。特定言之，在所展示實施例中，根據本發明體現了第一吸取夾具1104.1及第二吸取夾具1104.2。
在所展示實例中，第一吸取夾具1104.1及第二吸取夾具1104.2配置於物件夾緊器1104之外端處。第三吸取夾具1104.3配置於物件夾緊器1104之中心部分處。圖7進一步展示第三吸取夾具1104.3可例如小於第一吸取夾具1104.1及第二吸取夾具1104.2。另外，第三吸取夾具1104.3可視情況不根據本發明體現。亦即，第三吸取夾具1104.3可體現為不具有允許第一襯墊在收納位置與夾持位置之間移動的彈性部件。
圖8a及圖8a說明本發明之第二態樣，其係關於具有特定形狀之吸取夾具2104.1、2104.2。圖8a展示具有根據第二態樣體現的第一吸取夾具2104.1及第二吸取夾具2104.2以及第三吸取夾具2104.3之物件夾緊器2104。圖8b展示第一吸取夾具2104.1之放大視圖。應注意，為清楚起見，僅展示用於第一吸取夾具2104之第一襯墊2105.1。然而，第一襯墊2105.1可根據本發明之第一態樣而體現，但此並非必需的。
根據第二態樣之第一襯墊2105.1之形狀可被描述如下：第一襯墊2105.1具有不對稱形狀，該不對稱形狀當在吸取夾具2104.1之俯視圖中被查看時，包含具有第一質心702之第一末端701，及具有第二質心708之第二末端707。第一襯墊2105.1進一步具有在第一末端701與第二末端707之間的具有第三質心704之中間部分703。該中間部分703在第一側上具有第一邊界部分705且在第二側上具有第二邊界部分706。第一邊界部分705及第二邊界部分706在圖8b中在x方向上配置於物件夾緊器2104之邊界處。在所展示實例中，第一邊界部分705及第二邊界部分706兩者皆 為筆直襯墊部分且彼此平行。在圖8b中，第一側為右側且第二側為左側。根據第三態樣，當在自第一側至第二側之方向上查看時，第三質心704位於第一質心702與第二質心708之間。
較佳地，第一末端701包含第一非平行邊界711且第二末端707包含第二非平行邊界712，其中該第一非平行邊界711及該第二非平行邊界712經調適以與物件非同心。
可進一步看到，視情況，當在垂直於自第一側至第二側之方向的方向上查看時，第二末端707長於第一末端701。
若干因素可貢獻於根據第二態樣之吸取夾具2104.1、2401.2之有利效應，尤其當用於夾持翹曲物件時。第一，當與習知吸取夾具相比時，大致維持表面積。因此，維持總夾持力。第二，在圖8b中在y方向上之介於第一襯墊2105.1之外部點與吸取開口之間的距離增大。此擴大了施加於物件上之氣動扭矩，且因而增大力以使物件在所需方向上變形。第三，第一末端701具有第一非平行邊界711，且第二末端707具有第二非平行邊界712，該第一非平行邊界及該第二非平行邊界形成物件之支撐點。第一非平行邊界711及第二非平行邊界712經配置在距中心點1104.5徑向距離處，該中心點與物件之中心對應，在該中心點處，第一非平行邊界711與第二非平行邊界712之間的徑向距離相對較小。當物件尚未被夾持時，總洩漏得以最小化。因而，已發現碗形及傘形物件被更好地夾持。第四，第一非平行邊界711及第二非平行邊界712與物件非同心。此具有以下有利效應：翹曲物件(尤其碗形及傘形)在圖8b中在+y及-y方向上距第一吸取夾具2104.1之中心儘可能遠地與第一吸取夾具2104.1形成接觸。此增大了施加於物件上之氣動扭矩。
應進一步注意，如圖8a至圖8b中所展示之第一吸取夾具2104.1及第二吸取夾具2104.2針對傘形及碗形物件予以最佳化。一般而言，預期物件之翹曲在x方向及/或y方向上具有正方形形狀。翹曲可被描述為在x方向上之第一翹曲值及在y方向上之第二翹曲值。當第一翹曲值及第二翹曲值兩者係正的時，物件成碗形，亦即，局部物件曲率之中心在物件上方。當第一翹曲值及第二翹曲值兩者皆為負時，物件為傘形，亦即，局部物件曲率之中心在物件下方。鞍形物件在x方向上具有正第一翹曲值且在y方向上具有負第二翹曲值，或反之亦然。半管形物件僅使第一及第二翹曲值中之一者為非零。具有除碗及傘之外之形狀的物件有可能在不同位置處觸摸第一吸取夾具2104.1及/或第二吸取夾具2104.2。然而，此等物件更易於夾持，此係由於在一個方向上無翹曲或翹曲之反轉跡象會沿著第一吸取夾具2104.1及/或第二吸取夾具2104.2產生較小的局部洩漏，及/或此等物件歸因於物件中之較小應力而更易於變形。
圖9a、圖9b及圖9c進一步說明本發明之第三態樣。第三態樣可與第一及/或第二態樣組合，但此並非必需的。
圖9a以側視圖展示亦展示於圖7中的物件夾緊器1104。根據此實例中之第一態樣體現的第一吸取夾具1104.1以及第三吸取夾具1104.3係可見的。支撐部件103亦係可見的，其可為載台裝置之部分且可經調適以經由物件夾緊器1104.1之凹部與物件105嚙合。
圖9a展示第三吸取夾具1104.3之中心配置於距第一吸取夾具1104.1之中心一定距離601處。距離601與習知配置對應。如在圖9a中可看到，此可導致關於翹曲物件105之彎曲表面的問題。因為物件105翹曲，所以第三吸取夾具1104.3不能夠與物件105嚙合。因而形成洩漏，此 係由於環境空氣經由第三吸取夾具1104.3被吸入。施加於物件105上吸取力減小且可能不足以使物件變形。因此，物件105可能未被充分夾持。
如圖9b中所展示，本發明之第三態樣因此提議將第三吸取夾具1104.3之中心配置成距第一吸取夾具1104.1之中心一定距離602處。距離602大於距離601。舉例而言，距離602可比距離601大25mm。在一實施例中，距離602亦可比距離601大20mm至30mm。
由於第三吸取夾具1104.3經配置成更遠離第一吸取夾具，因此與圖9a中所展示之情形相比，在圖9b中所展示之情形中自第三吸取夾具1104.3向上至物件105之距離實際上更大。然而，因為距離602大於距離601，所以使物件105變形使得第三吸取夾具1104.3被嚙合所需之變形力較小。物件105之剛度判定所需之變形力，其隨著距離602增加而減小，例如與距離602成反比。因此，可達成圖9c中所展示之情形，其中第三吸取夾具1104.3由物件105覆蓋。一旦物件105配置於第三吸取夾具1104.3上，就歸因於物件105之可撓性而使物件105保持夾持於其上所需之力比上文所提及之變形力低得多。
如在圖9a至圖9c中可進一步看到，第三吸取夾具1104.3較佳小於第一吸取夾具1104.1，且可能小於第二吸取夾具1104.2。有利地，至少當物件105在至少一個位置中與第三吸取夾具1104.3接觸時，在第三吸取夾具1104.3處之洩漏比在第一吸取夾具1104.1處之洩漏小，且吸取力較高。當物件105由吸取夾具1104.1、1104.2、1104.3夾持時，在第三吸取夾具1104.3處施加於物件105上之吸取力因此高於在第一吸取夾具1104.1處施加於物件105上的吸取力。
舉例而言，習知值可為以下各者：物件105具有50N/mm 之剛度、第三吸取夾具1104.3之半徑可為約17mm，且第三吸取夾具1104.3與物件105之間在夾持之前的向上距離可為0.7mm，且第三吸取夾具1104.3之最大吸取力可為5N。通常，距離601可接著為大致130mm。根據第三態樣，距離602可例如增大至155mm。
圖9c中之情形進一步確保物件105在第一吸取夾具1104.1與第三吸取夾具1104.3之間相對平坦。支撐部件103將與物件105嚙合所處之高度因此被明確界定。因此，支撐部件103可以高準確度將物件105定位於例如載台裝置之物件支撐件上。
本發明進一步係關於一種物件處置器，其包含根據本發明之態樣中之一或多者的物件夾緊器，例如如圖7中所展示。該物件處置器可進一步包含連接至第一吸取夾具1104.1及/或第二吸取夾具1104.2及/或第三吸取夾具1104.3之吸取開口的吸取器件。物件處置器可進一步包含如參考圖4b中所展示之物件處置器301所解釋的組件，特定言之機器人臂304及控制單元305。
本發明進一步係關於一種用於收納物件之載台裝置。該載台裝置可包含圖4a中所展示之載台裝置101之組件中的一或多者，諸如物件支撐件102、支撐部件103等。在一實施例中，載台裝置可包含根據本發明之物件夾緊器或物件處置器。在一實施例中，支撐部件103可具備根據本發明之吸取夾具。
本發明進一步係關於一種微影裝置，其可包含圖1中所展示之微影裝置LA之組件中的一或多者，諸如投影系統。該微影裝置可進一步包含根據本發明之載台裝置。
儘管可在本文中特定地參考在IC製造中之微影裝置之使 用，但應理解，本文所描述之微影裝置可具有其他應用。可能之其他應用包括製造整合式光學系統、用於磁疇記憶體之導引及偵測、平板顯示器、液晶顯示器(LCD)、薄膜磁頭等。
儘管可在本文中特定地參考在微影裝置之內容背景中之本發明之實施例，但本發明之實施例可用於其他裝置中。本發明之實施例可形成光罩檢測裝置、度量衡裝置或量測或處理諸如晶圓(或其他基板)或光罩(或其他圖案化器件)之物件之任何裝置之部分。此等裝置通常可被稱作微影工具。此微影工具可使用真空條件或環境(非真空)條件。
儘管上文可特定地參考在光學微影之內容背景中對本發明之實施例之使用，但應瞭解，本發明在內容背景允許之情況下不限於光學微影且可用於其他應用(例如壓印微影)中。
在內容背景允許的情況下，本發明之實施例可以硬體、韌體、軟體或其任何組合來實施。本發明之實施例亦可被實施為儲存於機器可讀媒體上之指令，該等指令可由一或多個處理器讀取及執行。機器可讀媒體可包括用於儲存或傳輸以可由機器(例如計算器件)讀取之形式之資訊的任何機構。舉例而言，機器可讀媒體可包括唯讀記憶體(ROM)；隨機存取記憶體(RAM)；磁性儲存媒體；光學儲存媒體；快閃記憶體器件；電形式、光形式、聲形式或其他形式之傳播信號(例如載波、紅外線信號、數位信號等)，及其他者。另外，韌體、軟體、常式、指令可在本文中被描述為執行某些動作。然而，應瞭解，此類描述僅係出於方便起見，且此等動作事實上起因於計算器件、處理器、控制器或執行韌體、軟體、常式、指令等且在執行此操作時可使致動器或其他器件與實體世界相互作用之其他器件。
雖然上文已描述本發明之特定實施例，但應瞭解，可以與所描述方式不同之其他方式來實踐本發明。以上描述意欲為說明性，而非限制性的。因此，對於熟習此項技術者將顯而易見，可在不脫離下文所闡明之申請專利範圍之範疇的情況下對所描述之本發明進行修改。
101:載台裝置
102:物件支撐件
103:支撐部件
103.1:吸取夾具
104:物件夾緊器
105:物件
105':虛線

Claims (14)

  1. 一種用於夾持一物件之吸取夾具(suction clamp)，其包含一基座結構，其包含一基座及一連接區域，其中該基座結構包含一第一突起部(protrusion)，其中該第一突起部包含該連接區域，一第一襯墊，其用於收納(receiving)該物件，一彈性部件(resilient member)，其將該第一襯墊連接至該基座結構之該第一突起部，使得該第一襯墊相對於該基座在用於收納該物件之一收納位置與用於夾持該物件之一夾持位置之間可移動(moveable)，其中該彈性部件經調適以使該第一襯墊偏置至該收納位置，一吸取開口，其配置於該基座中且經調適以連接至一吸取器件，該吸取器件用於提供一吸取力以用於將該物件夾持於該第一襯墊上。
  2. 如請求項1之吸取夾具，其進一步包含一壓降部件(pressure drop member)，該壓降部件經配置以在經由該吸取開口提供該吸取力時，致使該壓降部件下游的一內部壓力低於該第一襯墊上游的一環境壓力(ambient pressure)。
  3. 如請求項2之吸取夾具，其中該壓降部件相對於該基座配置於一固定位置中，且其中至少在該第一襯墊之該收納位置中，在該第一襯墊與該壓降部件之間存在一間隙。
  4. 如請求項2或請求項3之吸取夾具，其中該壓降部件配置於該吸取開口與該第一襯墊之間。
  5. 如請求項3之吸取夾具，其中該壓降部件鄰近於該第一襯墊而配置，其中在該第一襯墊之該夾持位置中，該第一襯墊及該壓降部件係鄰接的(adjoining)。
  6. 如請求項2或請求項3之吸取夾具，其中該第一襯墊係一環形元件，及/或其中該壓降部件係一環形元件。
  7. 如請求項1至3中任一項之吸取夾具，其中該第一襯墊包含至少一第一分區及一第二分區，其中該第一分區經調適以能夠自該收納位置移動至該夾持位置，而該第二分區保持處於該收納位置。
  8. 如請求項1至3中任一項之吸取夾具，其中該基座結構包含一襯墊收納區域(pad receiving area)，該襯墊收納區域經調適以在該第一襯墊處於該夾持位置時與該第一襯墊嚙合(engage)。
  9. 如請求項1至3中任一項之吸取夾具，其中該第一襯墊經調適以在該收納位置與該夾持位置之間移動的一距離小於0.5mm。
  10. 如請求項1至3中任一項之吸取夾具，其中該第一襯墊具有一不對稱 形狀，該不對稱形狀當在該吸取夾具之俯視圖中被查看時包含具有一第一質心(centre of mass)之一第一末端，具有一第二非平行邊界(non-parallel border)及一第二質心之一第二末端，在該第一末端與該第二末端之間的具有一第三質心之一中間部分，該中間部分在一第一側上具有一第一邊界部分且在一第二側上具有一第二邊界部分，其中當在自該第一側至該第二側之一方向上查看時，該第三質心位於該第一質心與該第二質心之間，且其中該第一末端係凸形的(convex shaped)且該第二末端係凹形的(concave shaped)，且其中該第一末端及該第二末端經調適以與該物件非同心(non-concentric)。
  11. 一種物件夾緊器(object gripper)，其包含至少一個如請求項1至10中任一項之吸取夾具。
  12. 一種物件夾緊器，其包含複數個如請求項1至10中任一項之吸取夾具，其中該複數個吸取夾具包含一第一吸取夾具及一第二吸取夾具，且該物件夾緊器進一步包含一第三吸取夾具。
  13. 一種用於收納一物件之載台裝置，該載台裝置包含一物件支撐件及如請求項11至12中任一項之物件夾緊器，其中該物件夾緊器經組態以將該物件配置於該物件支撐件上方。
  14. 一種微影裝置，其包含：用於收納包含一基板之一物件的如請求項13之載台裝置，及用於將一圖案投影(projecting)至該基板上之一投影系統。
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