TWI804015B - 脈波直流電源產生器及其滅弧參數自動調整方法 - Google Patents

Abstract

一種脈波直流電源產生器，用以對腔體的基材進行濺鍍，且電源產生器包括第一電壓源、第二電壓源、開關單元、控制單元及偵測單元。控制單元提供第一控制訊號控制開關單元的切換，以將第一電壓源的第一電壓與第二電壓源的第二電壓整合為脈波電壓。控制單元根據脈波電壓處於第一電壓的工作期間中，電壓值的變動幅度高於範圍的次數高於發生次數時，調整用以滅弧的第一預定期間的參數。

Description

脈波直流電源產生器及其滅弧參數自動調整方法

本發明係有關一種電源產生器及其滅弧方法，尤指一種脈波直流電源產生器及其滅弧參數自動調整方法。

目前半導體製程領域的電漿系統中(如濺鍍、蝕刻等)，現行技術使用負壓電源及與其電壓等比例、相依式的正壓電源搭配作脈衝電源輸出，以週期性抑制於靶材表面產生的電弧。然而，對於需調整正壓電源的電壓準位以符合不同製程與濺鍍材料的應用，習知固定電壓比例、脈衝頻率輸出的正壓無法有效抑制電弧的產生，造成濺鍍速率慢及薄膜品質不佳等問題。

請參見圖1為習知的電源產生器電弧發生時的波形示意圖。當發生電弧的狀況時(即時間t1，脈波電壓Vp的電壓值被迅速改變)，代表傳遞至腔體的能量被快速洩漏，即得知腔體有電弧產生的狀況。因此，在短暫延遲後(時間t2)控制正壓電源輸出的脈寬調變訊號PWM轉為高準位一段時間(即時間t2~t3)來進行滅弧。然而，在此時間過後(時間t3)，脈衝電源回復到原本設定的 頻率及佔空比輸出，會造成回復瞬間的電流產生劇烈變化，造成過大的電壓(可稱之為突波或回復電壓)被傳遞至腔體側。過大電壓容易使腔體側發生第二次電弧，電弧次數越多會造成腔體內被鍍物的薄膜品質越差。另外一方面，在固定的滅弧參數下，當無法有效地滅弧時，電弧的狀況有很大的機率會持續發生，造成無法穩定被鍍物的薄膜品質的狀況。

所以，如何設計出一種脈波直流電源產生器及其滅弧參數自動調整方法，使脈波電壓不會產生過高的回復電壓，造成二次電弧的狀況，乃為本案創作人所欲行研究的一大課題。

為了解決上述問題，本發明係提供一種脈波直流電源產生器，以克服習知技術的問題。因此，本發明電源產生器用以對腔體的基材進行濺鍍，且電源產生器包括第一電壓源、第二電壓源、開關單元、控制單元及偵測單元。第一電壓源用以產生第一電壓，且第二電壓源用以產生與第一電壓極性相反的第二電壓，開關單元耦接於第一電壓源與第二電壓源之間。控制單元耦接開關單元，用以提供第一控制訊號控制開關單元切換，使第一電壓與第二電壓於輸出端產生脈波電壓。偵測單元耦接輸出端與控制單元，且用以偵測輸出端的脈波電壓。其中，脈波電壓處於第一電壓的工作期間中，第一電壓的電壓值的變動幅度高於範圍時，控制單元將脈波電壓切換為第二電壓第一預定期間來進行滅弧。

為了解決上述問題，本發明係提供一種電源產生器的滅弧參數自動調整方法，以克服習知技術的問題。因此，本發明滅弧參數自動調整方法係適 用於對腔體的基材進行濺鍍的電源產生器，且滅弧參數自動調整方法包括下列步驟：提供控制訊號控制電源產生器的開關單元的切換，以控制電源產生器將極性相反的第一電壓與第二電壓整合為脈波電壓。偵測脈波電壓，且判斷脈波電壓處於第一電壓的工作期間中，第一電壓的電壓值的變動幅度高於範圍。將脈波電壓切換為第二電壓第一預定期間來進行滅弧。

本發明之主要目的及功效在於，本發明的電源產生器係隨腔體環境自動調整其合適的滅弧參數，且待滅弧期間結束後，通過控制單元提供一段啟動期間供電源產生電路緩啟動，使得回復瞬間的電流不會產生劇烈變化而造成過大的電壓至輸出端，進而導致脈波電壓產生過高的突波之功效。

為了能更進一步瞭解本發明為達成預定目的所採取之技術、手段及功效，請參閱以下有關本發明之詳細說明與附圖，相信本發明之目的、特徵與特點，當可由此得一深入且具體之瞭解，然而所附圖式僅提供參考與說明用，並非用來對本發明加以限制者。

100:電源產生器

1:電源產生電路

1-1:輸入端

1-1A:第一端

1-1B:第二端

1-2:輸出端

1-2A:第三端

1-2B:第四端

L:功率電感

SW:開關單元

Vs1:第一電壓源

Vs2:第二電壓源

12:緩衝電路

14:突波抑制電路

2:控制單元

3:偵測單元

200:腔體

300:靶材

400:基材

V1:第一電壓

V2:第二電壓

Vp:脈波電壓

Vr:反向電壓

PWM:脈寬調變訊號

Sc:控制訊號

Sc 1:第一控制訊號

Sc 2:第二控制訊號

Ss:偵測訊號

t1~tz’:時間

T:工作期間

T1、T1’:第一預定期間

T2:第二預定期間

R:範圍

Np:發生次數

N:次數

(S100)~(S140):步驟

圖1為習知的電源產生器電弧發生時的波形示意圖；圖2為本發明脈波直流電源產生器的電路方塊圖；圖3為本發明電源產生電路的電路方塊圖；圖4A為本發明的電源產生器緩啟動控制的第一實施例之波形示意圖；圖4B為本發明的電源產生器緩啟動控制的第二實施例之波形示意圖； 圖5A為本發明的電源產生器滅弧期間的滅弧參數調整第一實施例之波形示意圖；圖5B為本發明的電源產生器滅弧期間的滅弧參數調整第二實施例之波形示意圖；及圖6為本發明電源產生器的滅弧參數自動調整方法之方法流程圖。

茲有關本發明之技術內容及詳細說明，配合圖式說明如下：請參閱圖2為本發明脈波直流電源產生器的電路方塊圖，復配合參閱圖1。電源產生器100用以提供脈波電壓Vp至腔體200，以利用脈波電壓Vp將腔體200中的靶材300上的原子濺鍍至基材400上。電源產生器100包括電源產生電路1、控制單元2及偵測單元3，且電源產生電路1提供脈波電壓Vp至腔體200。控制單元2耦接電源產生電路1，且偵測單元3耦接電源產生電路1的輸出端與控制單元2。偵測單元3用以偵測電源產生電路1輸出端的脈波電壓Vp(即腔體200的實際電壓)，且提供相應於脈波電壓Vp的偵測訊號Ss至控制單元2。控制單元2通過偵測訊號Ss得知脈波電壓Vp的狀況，且根據脈波電壓Vp的狀況相應地控制電源產生電路1，以控制電源產生電路1使腔體200中的基材400進行濺鍍。其中，控制單元2也通過偵測訊號Ss得知耦接電源產生電路1輸出端的靶材300表面是否有電弧(arc)產生的狀況，以對此狀況自動地調整控制電源產生電路1的參數。

請參閱圖3為本發明電源產生電路的電路方塊圖，復配合參閱圖2。電源產生電路1包括第一電壓源Vs1、第二電壓源Vs2、電感L及開關單元 SW，且電源產生電路1還包括耦接第一電壓源Vs1的輸入端1-1與提供脈波電壓Vp的輸出端1-2。輸入端1-1包括第一端1-1A與第二端1-1B，輸出端1-2包括第三端1-2A與第四端1-2B。電感L的一端耦接第一端1-1A，且電感L的另一端耦接開關單元SW的一端與第三端1-2A。第二電壓源Vs2的一端耦接開關單元SW的另一端，且第二電壓源Vs2的另一端耦接第二端1-1B與第四端1-2B。控制單元2耦接開關單元SW的控制端，且偵測單元3耦接第三端1-2A或第四端1-2B，以偵測脈波電壓Vp。

具體而言，第一電壓源Vs1用以產生第一電壓，且第二電壓源Vs2用以產生與第一電壓極性相反的第二電壓。其中，第一電壓源Vs1與第二電壓源Vs2的極性僅為示意，其可以依照實際需求對調其極性。控制單元2用以通過提供控制訊號Sc(可以為脈波寬度調變訊號PWM)控制開關單元SW的切換而控制電源產生電路1將第一電壓與第二電壓整合為脈波電壓Vp。在控制單元2控制開關單元SW關斷時(在此實施例以單一開關示意)，第一電壓源Vs1產生之第一電壓傳遞至輸出端1-2，使脈波電壓Vp的電壓值為第一電壓。在控制單元2控制開關單元SW導通時，第二電壓源Vs2產生之第二電壓通過開關單元SW傳遞至輸出端1-2，使脈波電壓Vp的電壓值為第二電壓。因此，控制單元2主要係用以控制開關單元SW的切換而將第一電壓與第二電壓整合為具有正負極性的脈波電壓Vp，以將脈波電壓Vp通過第三端1-2A與第四端1-2B提供至腔體200。

其中，以本實施例的第一電壓源Vs1與第二電壓源Vs2極性為例，通常第一端1-2A係耦接靶材300，且第二端1-2B係耦接腔體外殼(圖未示)，然實際耦接的位置依實際的靶材300材料及濺鍍的方式而定，在此不加以限制。值 得一提，於本發明之一實施例中，開關單元SW並不限定僅如同圖3所示為單一開關，其可以為包括多個開關的切換電路，且控制單元2利用多個控制訊號Sc控制切換電路來產生脈波電壓Vp。因此，舉凡可通過電源切換的方式而整合出具有正負極性的脈波電壓Vp的電源產生電路1，皆應包含在本實施例之範疇當中。此外，於本發明另一實施例中，控制單元2可以使用例如但不限於類比電路所構成的控制電路，或內含特定控制程式的控制器等裝置來實施。

電源產生電路1還可以包括緩衝電路12與突波抑制電路14。具體而言，突波抑制電路14的一端耦接第二電壓源Vs2的另一端，且突波抑制電路14的另一端耦接第四端1-2B。緩衝電路12的一端耦接電感L的另一端，且緩衝電路12的另一端耦接突波抑制電路14的另一端與第四端1-2B。透過緩衝電路12用以抑制功率電感L至緩衝電路12方向的的正向突波，且突波抑制電路14用以抑制緩衝電路12至突波抑制電路14方向與第二電壓源Vs2的另一端至突波抑制電路14方向的雙向突波。其中，緩衝電路12與突波抑制電路14主要係用在開關單元SW切換時，可能產生較高突波的場合。當電源產生電路1所產生的突波較低或未有突波的場合中，使用者可選擇不加裝緩衝電路12與突波抑制電路14，或可根據實際需求而擇一安裝。

請參閱圖4A為本發明的電源產生器緩啟動控制的第一實施例之波形示意圖，復配合參閱圖1~3。在電源產生電路1啟動後(即時間t1以前)，控制單元2提供第一控制訊號Sc1控制開關單元SW切換，使輸出端1-2產生第一電壓V1(由第一電壓源Vs1提供)與第二電壓V2(由第二電壓源Vs2提供)交錯的脈波電壓Vp。其中，脈波電壓Vp的縱座標箭頭方向僅表示由第一電壓V1進行濺鍍。控制單元2通過偵測單元3持續地偵測輸出端1-2脈波電壓Vp的狀況， 以得知耦接輸出端1-2的靶材300表面是否有電弧(arc)產生的狀況。其中，控制單元2係設定脈波電壓Vp處於第一電壓V1預定的工作期間T。當控制單元2通過偵測訊號Ss得知脈波電壓Vp處於第一電壓V1預定的工作期間T中，第一電壓V1的電壓值的變動幅度高於預定的範圍R(係為電壓差的範圍)時(即時間t1)，代表靶材300表面有電弧產生的狀況。

然後，控制單元2在短暫延遲後(時間t2)導通開關單元SW一段第一預定期間T1(即時間t2~t3)，以提供第二電壓V2來進行滅弧。因此，第一預定期間T1可代表對腔體200進行滅弧程序的滅弧期間。待第一預定期間T1結束後(即時間t3)，控制單元2提供一段第二預定期間T2(即時間t3~t4)供電源產生電路1緩啟動，使得回復瞬間在電感L上的電流不會產生劇烈變化而造成過大的電壓至輸出端1-2，進而導致脈波電壓Vp產生過高的突波的狀況。因此，第二預定期間T2可代表對腔體200進行啟動程序的啟動期間。為避免產生過高尖峰而造成二次電弧的狀況，控制單元2在第二預定期間T2提供第二控制訊號Sc2來控制開關單元SW的切換以進行啟動程序。

具體地，第一控制訊號Sc1包括第一切換頻率與第一佔空比，且第二控制訊號Sc2包括第二切換頻率與第二佔空比。控制單元2係控制第二控制訊號Sc2的切換頻率或佔空比不同於第一控制訊號Sc1，以達成緩啟動的功效。在此實施例中，控制單元2於第二預定期間T2係控制第二切換頻率高於第一切換頻率，且第二佔空比等於第一佔空比，以使脈波電壓Vp階段性地提升，避免再次產生電弧而導致脈波電壓Vp的突波過高的狀況。最後，在啟動結束後(時間t4)，控制單元2將脈寬調變訊號PWM由第二控制訊號Sc2調回至第一控制訊號Sc1，以使電源產生電路1續行濺鍍的作業。

請參閱圖4B為本發明的電源產生器緩啟動控制的第二實施例之波形示意圖，復配合參閱圖1~4A。圖4B之實施例與圖4A差異在於，控制單元2於第二預定期間T2的控制方式略有不同。於第二預定期間T2，控制單元2係控制第二切換頻率同於第一切換頻率，且第二佔空比由小於第一佔空比逐漸增加至等於第一佔空比。值得一提，於本發明之一實施例中，控制單元2控制電源產生電路1緩啟動的原因在於，避免電源產生電路1又再次因脈波電壓Vp產生過高的突波而導致二次電弧發生的狀況。因此，並不限定第二控制訊號Sc2所產生的脈衝數量、頻率高低及佔空比的大小。舉凡可達成抑制突波的控制方式，皆應包含在本實施例之範疇當中。此外，圖4B的第二預定期間T2與圖4A第二預定期間T2並不限定第二預定期間T2的時間長度，其可以依照緩啟動的控制方式需求而自行調整。而且，雖然圖4A及圖4B兩種實施例一者僅改變”頻率”，另一者僅改變”佔空比”，然而本發明並不限定僅能改變一者或是限定僅能改變這兩者參數。意即，本領域技術人員可依照本發明之精隨，改變至少一者參數，且參數種類並不限定在”頻率”與”佔空比”。

請參閱圖5A為本發明的電源產生器滅弧期間的滅弧參數調整第一實施例之波形示意圖，復配合參閱圖2~4B。由於在某些狀況下，電弧的能量無法完全消散，會造成滅弧後又持續的發生電弧的現象，此現象可能意味著當下的滅弧參數無法有效快速地滅弧，因此本發明額外地提供了第一預定期間T1的滅弧參數調整機制。具體而言，控制單元2用以設定預定密度，且預定密度為單位時間內發生電弧的發生次數Np。在控制單元2根據偵測訊號Ss判斷且計數於單位時間內，脈波電壓Vp處於第一電壓V1的工作期間T中，第一電壓V1的 電壓值變動幅度高於範圍R的次數N高於發生次數Np時，控制單元2調整第一預定期間T1的參數，以提供有效且快速地滅弧效果。

舉例而言，預定密度可以為變動或固定的參數，其例如但不限於可以為，在一段固定時間內計算固定次數，在此固定時間電弧實際發生次數超過預定次數則判斷為次數N高於發生次數Np。或者，在一段固定時間內計算特定次數，例如將3毫秒內發生2次、在5毫秒內發生3次等多組條件統整為一組預定密度，只要符合此條件即判定為次數N高於發生次數Np。

在本實施例中，以滅弧的參數為時間長度為例。控制單元2根據次數N高於發生次數Np而增加第一預定期間T1的時間長度。如圖5A所示，在時間tx~ty發生數次的電弧現象，且控制單元2根據偵測訊號Ss判斷且計數於單位時間內，脈波電壓Vp處於第一電壓V1的工作期間T中，第一電壓V1的電壓值變動幅度高於範圍R的次數N高於發生次數Np。因此，控制單元2調整第一預定期間T1的時間長度，以提供有效且快速地滅弧效果。意即，原始的第一預定期間T1係由ty~tz，但由於控制單元2判斷第一電壓V1的電壓值變動幅度高於範圍R的次數N高於發生次數Np，因此控制單元2調整滅弧的參數而使得第一預定期間T1的結束時間延長至變更為tz’，即第一預定期間T1的時間長度延長至T1’。藉此，以提供有效且快速地滅弧效果。

請參閱圖5B為本發明的電源產生器滅弧期間的滅弧參數調整第二實施例之波形示意圖，復配合參閱圖2~5A。本實施例與圖5A實施例的差異在於，滅弧的參數為電壓Vr。控制單元2根據次數N高於發生次數Np而額外疊加電壓Vr。在時間tx~ty發生數次的電弧現象，且控制單元2判斷第一電壓V1的電壓值變動幅度高於範圍R的次數N高於發生次數Nh。因此，控制單元 2對第二電壓V2額外疊加一個電壓Vr，以提供有效且快速地滅弧效果。意即，原始的第一預定期間T1的脈波電壓Vp為第二電壓V2，但由於控制單元2判斷第一電壓V1的電壓值變動幅度高於範圍Rt的次數N高於發生次數Np，因此控制單元2對第二電壓V2額外疊加一個電壓Vr，使第二電壓V2疊加電壓Vr後而成為V2’。藉此，以提供有效且快速地滅弧效果。

請參閱圖6為本發明電源產生器的滅弧參數自動調整方法之方法流程圖，復配合參閱圖2~5B。滅弧參數自動調整方法係適用於對腔體200的基材400進行濺鍍的電源產生器100，且滅弧參數自動調整方法包括，提供第一控制訊號控制電源產生器的開關單元的切換，以控制電源產生器將極性相反的第一電壓與第二電壓整合為脈波電壓(S100)。控制單元2主要係用以提供控制訊號Sc控制開關單元SW的切換而將第一電壓源Vs1所產生第一電壓V1與極性相反第二電壓源Vs2所產生第二電壓V2整合為具有極性相反的脈波電壓Vp，且在腔體200未發生電弧時，控制單元2的控制訊號Sc為第一控制訊號Sc1。

然後，偵測脈波電壓，且判斷脈波電壓被控制於第二電壓進行滅弧(S120)。電弧產生的狀況、判斷依據及控制方式，於前文有詳細地描述，在此不再加以贅述。控制單元2通過偵測單元3所提供的偵測訊號Ss得知脈波電壓Vp的狀況，且判斷電弧產生時，控制單元2導通開關單元SW一段第一預定期間T1(即圖4A~4B的時間t2~t3)，以提供第二電壓V2來進行滅弧。。

最後，待滅弧結束後的第二預定期間內，提供第二控制訊號控制開關單元切換(S140)。待第一預定期間T1結束後，控制單元2提供一段第二預定期間T2供電源產生電路1緩啟動，使得回復瞬間在電感L上的電流不會產生劇烈變化而造成過大的電壓至輸出端1-2，進而導致脈波電壓Vp產生過高的突 波的狀況。因此，控制單元2在第二預定期間T2所提供的控制訊號Sc為第二控制訊號Sc2，以通過第二控制訊號Sc2控制開關單元SW的切換。其中，第二控制訊號Sc2的切換頻率或佔空比不同於第一控制訊號Sc1，具體說明可參閱圖4A與4B，在此不再加以說明。值得一提，於本發明之一實施例中，圖6所示之流程可包含更為細部的控制方式，其控制方式的細部內容可配合參閱圖3~5B，在此不再加以說明。此外，於本發明之另一實施例中，圖6所描述的元件並不限定僅能由圖2~3的電路實施，舉凡具有相同功能的電路、內含程式的控制器等，皆應包含在本實施例之範疇當中。

綜上所述，本發明之各個實施例所達成之主要或次要功效在於：

1.可隨腔體環境自動調整其合適的滅弧參數，使其有效快速地降低電弧，尤其適用於容易發生電弧的靶材或是氧化物的濺鍍作業。

2.於滅弧期間後採用緩啟動，使其不會有過高的回復電壓造成二次電弧機率上升之風險。

惟，以上所述，僅為本發明較佳具體實施例之詳細說明與圖式，惟本發明之特徵並不侷限於此，並非用以限制本發明，本發明之所有範圍應以下述之申請專利範圍為準，凡合於本發明申請專利範圍之精神與其類似變化之實施例，皆應包括於本發明之範疇中，任何熟悉該項技藝者在本發明之領域內，可輕易思及之變化或修飾皆可涵蓋在以下本案之專利範圍。

(S100)~(S140):步驟

Claims (16)

1. 一種脈波直流電源產生器，用以對一腔體的一基材進行濺鍍，該電源產生器包括：一第一電壓源，用以產生一第一電壓；一第二電壓源，用以產生與該第一電壓極性相反的一第二電壓；一開關單元，耦接於該第一電壓源與該第二電壓源之間；一控制單元，耦接該開關單元，用以提供一第一控制訊號控制該開關單元切換，使該第一電壓與該第二電壓於一輸出端產生一脈波電壓；及一偵測單元，耦接該輸出端與該控制單元，且用以偵測該輸出端的該脈波電壓；其中，該脈波電壓處於該第一電壓的一工作期間中，該第一電壓的一電壓值的一變動幅度高於一範圍時，該控制單元將該脈波電壓切換為該第二電壓一第一預定期間來進行滅弧。
2. 如請求項1所述之電源產生器，其中於該第一預定期間後的一第二預定期間內，提供一第二控制訊號控制該開關單元切換，且該第二控制訊號的一切換頻率或一佔空比不同於該第一控制訊號。
3. 如請求項2所述之電源產生器，其中該第一控制訊號包括一第一切換頻率與一第一佔空比，且該第二控制訊號包括一第二切換頻率與一第二佔空比；於該第二預定期間，該控制單元控制該第二切換頻率同於該第一切換頻率，且控制該第二佔空比由小於該第一佔空比至等於該第一佔空比。
4. 如請求項2所述之電源產生器，其中該第一控制訊號包括一第一切換頻率與一第一佔空比，且該第二控制訊號包括一第二切換頻率與一第二 佔空比；於該第二預定期間，該控制單元控制該第二切換頻率高於該第一切換頻率，且控制該第二佔空比等於該第一佔空比。
5. 如請求項1所述之電源產生器，其中該控制單元用以設定一單位時間內的一發生次數；該控制單元判斷該脈波電壓於該單位時間內，該變動幅度高於該範圍的一次數高於該發生次數而調整該第一預定期間的一參數。
6. 如請求項5所述之電源產生器，其中該參數為一時間長度，該控制單元根據該次數高於該發生次數而增加該第一預定期間的該時間長度。
7. 如請求項5所述之電源產生器，其中該參數為一電壓，該控制單元根據該次數高於該發生次數而對該第二電壓額外疊加該電壓。
8. 如請求項2所述之電源產生器，其中該控制單元根據該第二預定期間結束而將該第二控制訊號調回該第一控制訊號。
9. 一種電源產生器的滅弧參數自動調整方法，係適用於對一腔體的一基材進行濺鍍的一電源產生器，且該滅弧參數自動調整方法包括下列步驟：提供一第一控制訊號控制該電源產生器的一開關單元的切換，以控制該電源產生器將極性相反的一第一電壓與一第二電壓整合為一脈波電壓；偵測該脈波電壓，且判斷該脈波電壓處於該第一電壓的一工作期間中，該第一電壓的一電壓值的一變動幅度高於一範圍；及將該脈波電壓切換為該第二電壓一第一預定期間來進行滅弧。
10. 如請求項9所述之參數自動調整方法，更包括下列步驟：於該第一預定期間結束後的一第二預定期間內，提供一第二控制訊號控制該開關單元切換；其中，該第二控制訊號的一切換頻率或一佔空比不同於該第一控制訊號。
11. 如請求項10所述之參數自動調整方法，更包括下列步驟：控制該第二控制訊號的一第二切換頻率同於該第一控制訊號的一第一切換頻率；及將該第二控制訊號的一第二佔空比由小於該第一控制訊號的一第一佔空比調升至等於該第一佔空比。
12. 如請求項10所述之參數自動調整方法，更包括下列步驟：控制該第二控制訊號的一第二切換頻率高於該第一控制訊號的一第一切換頻率；及控制該第二控制訊號的一第二佔空比等於該第一控制訊號的一第一佔空比。
13. 如請求項9所述之參數自動調整方法，更包括下列步驟：設定一預定密度，且該預定密度為一單位時間內的一發生次數；判斷該脈波電壓於該單位時間內，該變動幅度高於該範圍的一次數高於該預定密度；及調整該第一預定期間的一參數。
14. 如請求項13所述之參數自動調整方法，其中該參數為一時間長度，且更包括下列步驟：判斷該次數高於該發生次數；及增加該第一預定期間的該時間長度。
15. 如請求項13所述之參數自動調整方法，其中該參數為一電壓，且更包括下列步驟：判斷該次數高於該發生次數；及對該第二電壓額外疊加該電壓。
16. 如請求項10所述之參數自動調整方法，更包括下列步驟：判斷該第二預定期間結束；及將該第二控制訊號調回該第一控制訊號。

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