TWI801391B - 使用多邊形鏡掃描器及振鏡掃描器的積層製造的系統、方法和光學引擎 - Google Patents

使用多邊形鏡掃描器及振鏡掃描器的積層製造的系統、方法和光學引擎 Download PDF

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大衛正幸 石川
保羅Ｊ 史戴法斯
納格Ｂ 帕逖邦德拉
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美商應用材料股份有限公司
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Abstract

積層製造系統包括平台、在該平台的頂表面上分配複數個進料層的分配器、用於產生第一光束及第二光束的光源、多邊形鏡掃描器、位於該多邊形鏡掃描器附近的振鏡掃描器，及控制器。控制器經耦合至光源、多邊形鏡掃描器及振鏡掃描器，及該控制器經配置成使光源及多邊形鏡掃描器將第一光束施加至進料層的區域，及使光源及振鏡掃描器將第二光束施加至進料層的該區域的至少一部分。

Description

使用多邊形鏡掃描器及振鏡掃描器的積層製造的系統、方法 和光學引擎
本說明書係與積層製造(亦稱為3D列印)相關。
積層製造(AM)，也稱為固體自由形式製造或3D列印，係指通過將原料(例如，粉末、液體、懸浮液或熔融固體)連續分配至兩維層中來構建三維物體的製造處理。對之，傳統的加工技術係涉及從原料(例如，木塊、塑膠或金屬塊)切割出物體的消去處理。
多種積層處理可用於積層製造。一些方法熔化或軟化材料以產生層，例如選擇性雷射熔化(SLM)或直接金屬雷射燒結(DMLS)、選擇性雷射燒結(SLS)、熔融沈積建模(FDM)，而其他方法係使用不同技術(例如，立體光刻(SLA))來固化液體材料。該等製程可在形成層以形成最終物體的方式及在製程中使用的兼容材料方面不同。
在某些形式的積層製造中，將粉末放置在平台上，及雷射光將圖案描繪到粉末上以將粉末熔化在一起以形成形狀。一旦形成形狀，降低平台並添加新的粉末層。重複此製程直到部件完全形成。
本說明書描述了與積層製造有關的技術。
在一態樣中，一種積層製造系統包括平台、用於在平台的頂表面上分配複數個進料層的分配器、用於產生第一光束及第二光束的光源、經配置成引導第一光束在平台上撞擊進料層的多邊形鏡掃描器、鄰近於多邊形鏡掃描器的振鏡掃描器及控制器。多邊形鏡掃描器經配置成引導經發射的第二光束在平台上撞擊進料層。控制器耦合至光源、多邊形鏡掃描器及振鏡掃描器，及控制器經配置成使光源及多邊形鏡掃描器將該第一光束施加至進料層的區域，及使光源及振鏡掃描器將第二光束施加至進料層的區域的至少一部分。
實施可包括下列特徵中的一或多個特徵。
控制器可經配置成使光源及多邊形鏡掃描器讓第一光束施加足夠的熱以將進料的溫度從第一溫度升高至低於第三溫度(TF)的第二溫度，該第三溫度(TF)為進料熔化的溫度。控制器可經配置成使光源及振鏡掃描器讓第二光束向進料施加足夠的熱，同時進料的溫度已由第一光束升高，以進一步將進料的溫度升高超過第三溫度。控制器可經配置成使光源及振鏡掃描器讓第二光束向進料施加足夠的熱，以進一步將進料的溫度升高到高於進料熔化的溫度(TF)。控制器可經配置成使光源及多邊形鏡掃描器在進料已熔化之後使第一光束向進料施加熱，以控制進料的冷卻速率。
光源可經配置成施加足夠的熱以熔化金屬粉末。進料的溫度可從第一溫度升高到低於進料熔化的溫度(TF)的第二溫度。由多邊形鏡掃描器引導的第一光束可具有比由振鏡掃描器引導的第二光束更低的功率密度。
光束分束器可經配置成將從光源發射的光束分成第一光束及第二光束。光源可包括用於發射第一光束的第一光源及用於發射第二光束的第二光源。多邊形鏡掃描器可為第一多邊形鏡掃描器，及積層製造系統可包括第二多邊形鏡掃描器。第一多邊形鏡掃瞄器可經配置成將光束引導到平台上的送料層的至少前半部分，及第二多邊形鏡可將光束引導到平台上的送料層的至少後半部分。控制器可經配置成使光源及第二多邊形鏡掃描器在進料已熔化之後使第三光束向進料施加熱以控制進料的冷卻速率。
三向光束分束器可經配置成將從光源發射的第一光束分成第二光束、第三光束及第四光束。第二光束可指向第一多邊形鏡掃描器、第三光束可指向振鏡掃描器，及第四光束可指向第二多邊形鏡掃描器。光源可為將第一光束引導至第一多邊形鏡掃描器的第一光源、及系統可包括在振鏡掃描器處引導第二光束的第二光源及在第二多邊形鏡掃描器處引導第三光束的第三光源。
在另一態樣中，積層製造方法包括以下步驟：藉由使用多邊形鏡掃描器掃描穿過進料層的第一光束來在平台上預熱進料層的第一區域至低於進料的結塊溫度，及在已預熱第一區域之後，藉由使用振鏡掃描器掃描穿過進料層的第二光束來熔化進料層的第一區域的至少一部分。
實施可包括以下特徵中的一或多者。
在已熔化第一區域的部分之後，可藉由將第三光束從多邊形鏡反射至進料層的第一區域上來對第一區域進行熱處理。多邊形鏡掃描器可為第一多邊形鏡。在已熔化第一區域的部分之後，藉由將第三光束從第二多邊形鏡掃描器反射至進料層的第一區域上，可對第一區域進行熱處理。
將進料層預熱至低於結塊溫度之步驟可包括以下步驟：用橫跨進料層的第一區域的第一掃描圖案來掃描第一光束。熔化進料層的第一區域之步驟包括以下步驟：用橫跨進料層的第一區域的部分的第二掃描圖案來掃描第二光束。第一掃描圖案可與第二掃描圖案不同。可僅藉由第二光束來在第一區域中熔合用於部件之圖案的輪廓。
在預熱進料層的第一區域之後，可用將第一光束反射至進料層的第二區域上的多邊形鏡掃描器預熱進料層的第二區域；第二區域不同於進料層的第一區域。在熔化進料層的第一區域之後，可用在已預熱第一區域後將第二光束反射至進料層的第二區域上的振鏡掃描器熔化進料層的第二區域，第二區域與進料層的第一區域不同。
在另一態樣中，光學引擎包括經配置成發射光束的光源、經配置成將從光源發射的第一光束分成第二光束及第三光束的光束分束器、經配置成引導第二光束在平台上撞擊進料層的多邊形鏡掃描器、及在多邊形鏡掃描器附近的振鏡掃描器，該振鏡掃描器經配置成引導第三光束在平台上撞擊進料層。
實施可包括以下特徵中的一或多者。
光束分束器可進一步將第一光束分成第四光束。多邊形鏡掃描器可為第一多邊形鏡掃描器，及光學引擎可包括第二多邊形鏡掃描器，該第二多邊形鏡掃描器經配置成引導第四光束以在平台上撞擊進料層。第一多邊形鏡掃描器可能夠掃描平台的至少前半部分，及第二多邊形鏡掃描器可能夠掃描平台的至少後半部分。
可實施本說明書中所描述的標的的特定實施，以便實施以下優勢中的一或多者。可控制預熱及後加熱。可減少用於熔合的光束所需的功率量，及/或光束可更快地在整個層上移動，從而可增加產量。另外，可減少溫度變動的大小，因此可減小熱應力，及可改善正製造中的物體的材料特性。使用旋轉多邊形來預熱或熱處理粉末可允許加熱以用高速/低功率施加​​至小區域，及可用重複掃描來處理粉末以模擬藉由一系列燈的加熱。
在附加圖式及以下描述中闡述了本說明書中描述的標的的一或多個實施方式的細節。根據說明書、附加圖式及申請專利範圍，本標的的其他特徵、態樣及優勢將變得顯而易見。
積層製造處理可涉及在壓板或先前沉積的層上分配進料(例如粉末)層，接著是熔化進料層部分的方法。能量源加熱進料並使其凝固，例如使粉末熔化。然而，由粉末材料的逐點燒結或熔化引起的溫度變動可在印刷物體內產生熱應力。該等熱應力會導致部件在製造過程中彎曲及破裂。熱應力亦可形成多孔區域。
在積層製造處理中，可在沉積在壓板上之前加熱進料。這可減少掃描光束使特定立體像素凝固所需的功率量。這允許光束在層上更快地移動，因此可增加產量。另外，這可減小溫度變動的大小，從而降低熱應力並改善材料性能。
預熱支撐粉末的平台可減少溫度變動及增加淺的部件的產量，但對於較深的部件(部件的深度太大而無法使預熱平台充分加熱)來說並不能減輕裂縫及變形。其他預熱方法可導致大部分粉末在平台上「結塊」並使粉末不適於再次利用。
然而，在熔化之前可藉由掃描光束對進料粉末進行預熱，以便在製造過程中降低熱梯度，這可提高燒結品質及產量。所減小的熱梯度可至少部分地減少製造過程中的熱應力。在熔化(也稱為「熱處理」或「後加熱」)之後，亦可藉由掃描光束將熱量施加至熔化部分，以控制冷卻速率，從而減少殘餘應力及進一步(例如)藉由降低部件彎曲及破裂的可能性來改善燒結品質。亦可使用熱來補償由於輻射、對流及傳導損耗引起的熱不均勻性。
本申請案描述了用於積層製造的方法及設備。設備可包括具有至少一個振鏡掃描器及至少一個多邊形鏡掃描器的光學引擎。包括此種光學引擎的光學組件能夠引導一或多個光束在製造過程中預熱、熔化及/或熱處理進料。
圖1圖示了示例性的積層製造系統100。積層製造系統100包括用於保持正製造中的物體的構建平台116、用於在支撐件109上傳送連續的進料層的進料輸送系統，及用於產生多個將用於每個進料層的熔化、預熱及/或熱處理的光束的光學組件111。
在一些實施方式中，如圖1中所示的實施方式，進料輸送系統107可包括扁平葉片或槳葉，以將進料自進料儲存器108推過構建平台116。在這種實施方式中，進料儲存器108亦可包括鄰近構建平台116定位的進料平台118。可升高進料平台118以將一些進料升高到構建平台116的水平面上方，及刀片可將進料104從進料平台118推到構建平台116上。
替代地或另外地，進料輸送系統107可包括懸掛在平台116上方及具有複數個孔或噴嘴的分配器；粉末流過該複數個孔或噴嘴。例如，粉末可在重力下流動或(例如)藉由壓電致動器噴射。可藉由氣動閥、微機電系統(MEMS)閥、電磁閥及/或磁力閥來控制各個孔或噴嘴的分配。可用於分配粉末的其他系統包括具有孔的輥及具有複數個孔的管內的螺旋物。
可選地，系統100可包括壓實和/或調平機構，以壓實和/或平滑沉積在構建平台116上的進料層。例如，系統可包括可藉由驅動系統(例如線性致動器)平行於平台116的表面移動的輥或葉片。
進料105可包括金屬顆粒。金屬顆粒的範例包括金屬、合金及金屬間合金。用於金屬顆粒的材料的範例包括鋁、鈦、不銹鋼、鎳、鈷、鉻、釩，及該等金屬的各種合金或金屬間合金。
進料105可包括陶瓷顆粒。陶瓷材料的範例包括金屬氧化物，如二氧化鈰、氧化鋁、二氧化矽、氮化鋁、氮化矽、碳化矽，或該等材料的組合(如鋁合金粉末)。
進料可為乾粉或液體懸浮液中的粉末，或材料的漿料懸浮液。例如，對於使用壓電列印頭的分配器而言，進料通常是液體懸浮液中的顆粒。例如，分配器可將粉末輸送至載體流體中，例如高蒸氣壓載體、例如異丙醇(IPA)、乙醇或N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)，以形成粉末材料層。載體流體可在層的燒結步驟之前蒸發。替代地，可採用乾式分配機構(例如，由超聲波攪拌及加壓惰性氣體輔助的噴嘴陣列)來分配第一顆粒。
積層製造系統100包括控制器119，該控制器119可存儲表示可形成物體106的預定圖案的數位資料。控制器119控制光學組件111以產生將用於熔化、預熱及/或進料層的熱處理的多個光束。
光學組件111包括光源101，以產生光束102以撞擊進料105的最外層104。光束102選擇性地輸送足夠的熱以使進料105以存儲在控制器119中的預定圖案熔化。在本說明書的上下文中的熔化可包括熔化及固化、或仍為固體形式的燒結，或熔融粉末的其它過程。雖然所示的實施方式利用發射單個光束的單個光源，但可使用多個光源來產生多個光束。稍後在本申請案內容中更詳細地給出此類實施方式的範例。
光束102由光學引擎103引起，以至少沿第一軸(也稱為Y軸)掃描。光學引擎103由控制器119控制，且稍後在本申請案內容中更詳細地描述。
Y軸可平行於分配器107的運動方向(例如，在圖1中係從左到右)，例如橫跨平台的刀片或噴嘴。或者，Y軸可垂直於分配器107的運動方向。
可藉由平台116的運動、保持光學引擎103的支撐件的運動、藉由使光學引擎的一部分繞Y軸傾斜，或藉由位於光學引擎103之前或光學引擎103之後及在光束的路徑內以沿X軸偏轉光束之單獨的振鏡掃描器，來促進沿X軸的移動。不同的光束可使用不同的機構；例如，旋轉多邊形鏡掃描器可藉由致動器橫向移動以提供沿X軸的運動，而振鏡掃描器可具有第二振鏡掃描器以提供光束沿X軸的移動。在一些實施方式中，可獨立地控制不同光束沿X軸的運動。在一些實施方式中，例如，在掃描器附接至可橫向移動的相同支撐件的情況下，光束沿X軸具有固定的相對位置。
圖2A至圖2B分別圖示了示例性光學引擎103的正視圖和側視圖。光學引擎103可包括振鏡掃描器202，該振鏡掃描器202包括可移動鏡204及聚焦透鏡206。振鏡掃描器202可引導光束(如光束102)，以撞擊在平台116上的進料層105。聚焦透鏡206聚焦光束102，以從撞擊中獲得最佳效能。振鏡掃描器202可用於預熱進料粉末105、熔化進料粉末105，或在熔融後對進料粉末105進行熱處理，或任何組合。在本申請案的上下文中的熱處理包括控制進料已熔融後的冷卻速率。
光學引擎103亦可包括多邊形鏡掃描器208a。多邊形鏡掃描器可引導由光源101發射的光束(如光束102)，以撞擊在平台116上的進料層105。多邊形鏡掃描器208a可位於振鏡雷射掃描器202旁以為光學引擎103的部分。多邊形鏡掃描器208a可用於預熱進料粉末105、在已熔化進料粉末105後對進料粉末105進行熱處理，或兩者。
在一些實施方式中，光學引擎103可包括第二多邊形鏡掃描器208b。第二多邊形鏡掃描器208b亦可用於預熱進料粉末105、在已熔化進料粉末105後對進料粉末105進行熱處理，或兩者。在使用第一多邊形鏡掃描器208a及第二多邊形鏡掃描器208b兩者的實施方式中，第一多邊形鏡掃描器208a可用於在熔化之前預熱進料粉末105，及第二多邊形鏡208b可用於在熔化之後對進料粉末105進行熱處理。例如，可同時將光束發送至多邊形鏡掃描器208a及208b兩者，使得同時預熱及熱處理進料層的不同部分。
在一些實施方式中，第一多邊形鏡掃描器208a及第二多邊形鏡掃描器208b皆可用於預加熱進料粉末105及在進料粉末105已熔化後對進料粉末105進行熱處理。在此種實施方式中，第一多邊形鏡掃描器208a可具有覆蓋平台116的至少一半的掃描範圍，而第二多邊形鏡掃描器208b可具有覆蓋平台116的至少一半的掃描範圍，該範圍與由第一多邊形鏡掃描器208a覆蓋的一半範圍分離。
對於每個光束來說，當光束沿著層上的路徑掃過時，可(例如)藉由使相應的光源開啟及關閉光束來調變光束，以便將能量傳遞至進料層110的選定區域。圖3A至圖3D示出了一組示例性的掃描區域。在圖3A中，可用振鏡雷射掃描器202追蹤第一光路。遵循此路徑的光束可使進料的溫度升高到TF以上。在圖3B中，第一多邊形鏡掃描器208a或第二多邊形鏡掃描器208b可引導光束掃描圖3A中略畫的圖案的內部，以將進料預熱到TF以下。如圖3C所示，在預熱區域後，遵循不同的掃描圖案經由由振鏡掃描器引導的光束可熔化區域。如圖3D所示，在熔化材料之後，區域可再次由具有由第一多邊形鏡掃描器208a或第二多邊形鏡掃描器208b引導的不同掃描圖案的光束掃描。雖然所示的實施方式示出了沿相同區域的掃描，但可由不同的光學組件同時掃描不同的區域。此允許每個光束預熱、熔化及/或熱處理進料層的獨立可選區域。
圖4A展示可用本發明的態樣實施的光源101配置的範例。在所示的實施方式中，光源101朝向光束分束器304發射第一光束302。光束分束器304可將從光源101發射的第一光束302分成第二光束302a、第三光束302b，及第四光束302c。第二光束302a指向第一多邊形鏡掃描器208a、第三光束302b指向振鏡掃描器202，及第四光束302c指向第二多邊形鏡掃描器208b。雖然所示的實施方式示出了光束分束器304將光束引導至三個不同的光學元件，但光束分束器304可經配置成引導任何數量的光束。例如，若光學引擎103僅包括第一多邊形雷射掃描器208a及振鏡雷射掃描器202，則光束分束器304可僅產生第二光束302a及第三光束302b。在一些實施方式中，第一光束302的功率密度可由光源101調變。在一些實施方式中，光束分束器可包括用於一個或一個以上光束的功率密度調變機制。在一些實施方式中，可使用一個或多個單獨的、獨立的功率密度調變機制。
圖4B示出了可利用本申請案的態樣實施的示例性光學引擎配置。所示實施方式包括第一光源304a，第二光源304b及第三光源304c。第一光源304a朝向第一多邊形鏡雷射掃描器208a發射第一光束302a。第二光源304b朝向振鏡掃描器204發射第二光束302b。第三光源304c朝向第二多邊形鏡掃描器208b發射第三光束302c。
雖然所示的實施方式示出了三個單獨的將光束引導至三個不同的光學元件的光源，但可使用任何數量的光源。例如，若光學引擎103僅包括第一多邊形鏡掃描器208a及振鏡雷射掃描器202，則第一光源304a及第二光源可為唯一包含於其中的光源。每個光源可單獨調變光束的功率密度。在一些實施方式中，可使用一或多個單獨的、獨立的功率密度調製機制。
雖然已在單獨的實施方式中描述了光束分束器304及多個光源304a、304b及 304c的使用，但可組合使用該兩個概念。例如，可從第一光源朝向光束分束器發射第一光束。光束分束器可將第一光束分成第二光束及第三光束。可將第二光束引導至第一多邊形鏡掃描器208a，而可將第三光束引導至第二多邊形鏡掃描器208b。第二光源可朝向振鏡掃描器202發射第四光束。
在操作的一些態樣中，如圖5A所示，控制器119可使光源101及第一多邊形鏡掃描器208a將第一光束施加至進料層105的區域。如圖5B所示，控制器119亦可使光源101及振鏡掃描器202將第二光束施加至進料層105的區域的至少一部分。
在一些實施方式中，控制器119可控制光源101及第二多邊形鏡掃描器208a以使第一光束302a施加足夠的熱以將進料105的溫度從第一溫度升高到低於熔化溫度(第三溫度(TF)，在該第三溫度處進料熔化)的第二溫度。第二溫度可低於或高於進料結塊的溫度。控制器可控制光源101及振鏡掃描器202以使第二光束302b向進料105施加足夠的熱，同時已藉由第一光束302a來升高進料的溫度，以進一步提高進料的溫度高於熔化溫度TF。
在一些實施方式中，控制器119可控制光源101及振鏡掃描器202以使第二光束302b向進料105施加足夠的熱，以進一步將進料溫度升高到高於熔化溫度TF，而不是由先前掃描的光束所提高的溫度。
不管第一多邊形鏡掃描器208a是否用於預加熱進料105，光學組件111可用於使第一光束302a對進料進行熱處理。例如，控制器119可控制光源101及第一多邊形鏡掃描器208a，以使第一光束302a在已熔化進料105之後將熱施加到進料105，以控制進料105的冷卻速率。作為另一個實例，控制器119可控制光源101及第二多邊形鏡掃描器208b，以使第三光束302c在已熔化進料105之後向進料105施加熱以控制進料105的冷卻速率。
在一些實施方式中，光源能施加足夠的熱以熔化金屬粉末，以將進料105的溫度從第一溫度升高至低於熔化溫度TF的第二溫度。在一些實施方式中，由第一多邊形鏡掃描器208a引導的第一光束302a具有比由振鏡掃描器202引導的第二光束302b低的功率密度。在一些實施方式中，由第二多邊形鏡掃描器208b引導的第三光束302c的功率密度低於由振鏡掃描器202引導的第二光束302b。
圖6為可結合本申請案的態樣使用的示例性方法400的流程圖。在402處，藉由用多邊形鏡掃描器(如第一多邊形鏡掃描器208a)掃描穿過進料層的第一光束來在平台上預熱進料層的第一區域至低於進料的結塊溫度。預熱進料層至低於結塊溫度之步驟可包括以下步驟：用橫跨進料層的第一區域的第一掃描圖案掃描第一光束。
在404處，在已預熱第一區域之後，藉由用振鏡掃描器202掃描穿過進料層的第二光束來熔化進料層的第一區域的至少一部分。熔化進料層的第一區域之步驟可包括以下步驟：用橫跨進料層的第一區域的部分的第二掃描圖案掃描第二光束。第一掃描圖案可與第二掃描圖案不同。以第一光束掃描進料層的第一區域與以第二光束掃描該第一區域之間的時間間隔足夠短，以使得該區域保持後續光束熔化材料所需的熱。對於一些實施方式來說，此時間間隔可在毫秒範圍內，例如1-10毫秒。
在406處，在已熔化第一區域的部分之後，藉由將第三光束自多邊形鏡掃描器(如多邊形鏡掃描器208a)反射至進料層的第一區域上來對第一區域進行熱處理。替代地，在408處，在已熔化第一區域的部分之後，藉由將第三光束從第二多邊形鏡掃描器(如多邊形鏡掃描器208b)反射至進料層的第一區域上來對第一區域進行熱處理。在一些實施方式中，第一區域中之部件的圖案的輪廓可僅由第二光束熔化。因此，在一些實施方式中，藉由從多邊形鏡掃描器反射光束來對第一區域進行熱處理，但未預熱該區域(因此步驟402不會發生)。
在一些實施方式中，積層製造系統100包括另一熱源，例如經佈置成將熱引導至進料的最上層的一或多個IR燈。在使用另一個熱源來預加熱進料層的第一區域之後，可用將第一光束反射至進料層的第二區域上的多邊形鏡掃描器(如多邊形鏡掃描器208a)來預熱進料層的第二區域。第二區域可與進料層的第一區域不同。在熔化進料層的第一區域之後，可用在已預熱第一區域後將第二光束反射至進料層的第二區域上的振鏡掃描器(如振鏡掃描器202)來熔化進料層的第二區域。第二區域可與進料層的第一區域不同。
控制器及計算裝置可實施該等操作及本文所描述的其他過程與操作。如上所述，控制器119可包括連接至系統100的各種元件的一或多個處理裝置。控制器119可協調操作並使設備100執行上述各種功能操作或步驟序列。
可在數位電子電路中實施或在電腦軟體、韌體或硬體中實施作為本文所描述的系統的一部分的控制器119及其他計算裝置。例如，控制器可包括執行儲存在電腦程式產品中(例如，在非暫態機器可讀取儲存媒體中)的電腦軟體的處理器。可用任何形式的程式語言(包括編譯或直譯語言)來編寫此類電腦程式(亦稱為程式、軟體、軟體應用程式或代碼)，及可用任何形式部署此類電腦程式，該任何形式包括作為獨立程式或作為模組、元件、子常式或其他適用於計算環境的單元。
所描述之系統的控制器119及其他計算裝置部分可包括用於儲存資料物件的非暫態電腦可讀取媒體，該資料物件例如為計算機輔助設計(CAD)兼容的檔案，該檔案識別應對每一層沉積進料的模式。例如，資料物件可為STL格式的檔案、3D製造格式(3MF)檔案或附加製造文件格式(AMF)檔案。例如，控制器可從遠端電腦接收資料物件。例如由韌體或軟體控制的控制器119中的處理器可直譯從電腦接收的資料物件，以產生控制系統100的組件熔化每層的指定圖案所必需的信號集。
金屬和陶瓷的積層製造的處理條件與塑膠的處理條件明顯不同。例如，通常來說，金屬及陶瓷需要明顯更高的處理溫度。因此，塑膠的3D列印技術可能不適於金屬或陶瓷加工，且設備可能不相同。然而，本文描述的一些技術可適用於聚合物粉末，例如，尼龍、ABS、聚醚醚酮(PEEK)、聚醚酮酮(PEKK)及聚苯乙烯。
雖然本說明書包含眾多具體的實施細節，但該等不應被解釋為對任何發明或可能要求保護之發明的範疇的限制，而是作為特定於特定發明的特定實施之特徵的描述。在單獨實施方式的上下文中，在本說明書中所描述的某些特徵亦可在單一實施方式中組合實施。相反地，亦可單獨地或以任何合適的子組合在多個實施方式中實施在單一實施方式的上下文中描述的各種特徵。此外，儘管特徵可如上文所述描述成以某些組合起作用(且甚至最初是如此主張)，但在一些情況下特徵仍可從組合中切除，且所要求保護的組合可針對子組合或子組合的變化。
類似地，雖然在附加圖式中以特定順序描繪了操作，但此事不應被理解為要求以所示的特定順序或按順序來執行該等操作或要執行所有示出的操作以實施所欲結果。此外，上述實施方式中的各種系統元件的分離不應被理解為在所有實施方式中都需要此種分離，且應當理解的是，所描述的程式元件及系統通常可在單個軟體產品中整合在一起或被打包至多個軟體產品中。
因此，已描述了標的的特定實施方式。其他實施方式在以下申請專利範圍的範疇內。
●可選地，積層製造系統100的一些部件(例如，構建平台116及進料輸送系統107)可由殼體包圍。例如，殼體可允許真空環境保持在殼體內的腔室中，例如，壓力在約1Torr或更低。替代地，腔室的內部可為大體上純的氣體(例如，已過濾而除去顆粒的氣體)，或可讓腔室排放到大氣中。純氣體可構成惰性氣體，如氬氣、氮氣、氙氣及混合的惰性氣體。
在一些情況下，申請專利範圍中所記載的動作可用不同的順序執行且仍然實現期望的結果。另外，附加圖式中描繪的處理不一定需要以所示的特定順序或連續順序來實現期望的結果。
100:積層製造系統
101:光源
102:光束
103:光學引擎
104:最外層
105:進料
106:物體
107:進料輸送系統
108:進料儲存器
109:支撐件
110:進料層
111:光學組件
116:構建平台
118:進料平台
119:控制器
202:振鏡掃描器
204:可移動鏡
206:聚焦透鏡
208a:多邊形鏡掃描器
208b:多邊形鏡掃描器
302:第一光束
302a:第二光束
302b:第三光束
302c:第四光束
304:光束分束器
304a:第一光源
304b:第二光源
304c:第三光源
400:方法
402:方塊
404‧‧‧方塊406‧‧‧方塊408‧‧‧方塊
圖1為示例性積層製造系統的透視橫截面示意圖。
圖2A為示例性光學引擎的正視圖的示意圖。
圖2B是示例性光學引擎的側視圖的示意圖。
圖3A至圖3D為示例性掃描路徑的示意圖。
圖4A為示例性光學引擎的俯視圖的示意圖。
圖4B為示例性光學引擎的俯視圖的示意圖。
圖5A至圖5B為示例性有源光學組件的示意圖。
圖6為積層製造的示例性方法的流程圖。
各附加圖式中之相同的元件符號及名稱表示相同的元件。
國內寄存資訊 (請依寄存機構、日期、號碼順序註記) 無 國外寄存資訊 (請依寄存國家、機構、日期、號碼順序註記) 無
100:積層製造系統
101:光源
102:光束
103:光學引擎
104:最外層
105:進料
106:物體
107:進料輸送系統
108:進料儲存器
109:支撐件
110:進料層
111:光學組件
116:構建平台
118:進料平台
119:控制器

Claims (25)

  1. 一種積層製造系統，包括：一平台；一分配器，該分配器用於在該平台的一頂表面上分配複數個進料的層；一光源，該光源用於產生一第一光束及一第二光束；一多邊形鏡掃描器，該多邊形鏡掃描器經配置成引導該第一光束在該平台上撞擊該進料的一層並沿著一Y軸掃描該第一光束；一致動器，該致動器用於沿著一X軸移動該多邊形鏡掃描器；一振鏡掃描器，該振鏡掃描器經配置成引導該第二光束在該平台上撞擊該進料的該層並沿著該X軸和該Y軸掃描該第一光束；及一控制器，該控制器經耦合至該光源、該多邊形鏡掃描器及該振鏡掃描器，該控制器經配置成使該光源及多邊形鏡掃描器將該第一光束施加至進料的該層的一區域以預熱或熱處理該區域，及使該光源及振鏡掃描器將該第二光束施加至進料的該層的該區域的至少一部分以熔化該至少一部分。
  2. 如請求項1所述的系統，其中該控制器經配 置成使該光源及多邊形鏡掃描器讓該第一光束施加足夠的熱以將該進料的一溫度從一第一溫度升高到低於一第三溫度(TF)的一第二溫度，該第三溫度(TF)係該進料熔化的溫度。
  3. 如請求項2所述的系統，其中該控制器經配置成使該光源及振鏡掃描器讓該第二光束向該進料施加足夠的熱，同時已藉由該第一光束升高該進料的該溫度，以進一步將該進料的該溫度升高到該第三溫度以上。
  4. 如請求項1所述的系統，其中該控制器經配置成使該光源及振鏡掃描器讓該第二光束向該進料施加足夠的熱，以將該進料的一溫度升高到該進料熔化的一溫度(TF)以上。
  5. 如請求項4所述的系統，其中該控制器經配置成使該光源及多邊形鏡掃描器在該進料已熔化後讓該第一光束向該進料施加熱，以控制該進料的一冷卻速率。
  6. 如請求項1所述的系統，其中由該多邊形鏡掃描器引導的該第一光束具有相較於由該振鏡掃描器引導的該第二光束而言一較低的功率密度。
  7. 如請求項1所述的系統，進一步包括一光束分束器，該光束分束器經配置成將從一光源發射的一 光束分成該第一光束及該第二光束，或其中該光源包括用於發射該第一光束的一第一光源及用於發射該第二光束的一第二光源。
  8. 如請求項1所述的系統，其中該多邊形鏡掃描器及該振鏡掃描器經固定至可相對於該平台橫向移動的一公共支撐件。
  9. 如請求項1所述的系統，其中該控制器經配置成使該光源及振鏡掃描器讓該第二光束熔化該層中的一部分的一輪廓，而不用以該第一光束進行預加熱。
  10. 如請求項1所述的系統，其中該多邊形鏡掃描器為一第一多邊形鏡掃描器，及其中該積層製造系統進一步包括一第二多邊形鏡掃描器。
  11. 如請求項10所述的系統，其中該第一多邊形鏡掃描器經配置成將該第一光束引導至該平台上的該進料的該層的至少一前半部分，及該第二多邊形鏡掃描器經配置成將一第三光束引導至該平台上的該進料的該層的至少一後半部分。
  12. 如請求項10所述的系統，其中該控制器經配置成使該光源及第一多邊形鏡掃描器在已熔化該進料之前讓該第一光束預熱該進料，及使該光源及第二多邊形鏡掃描器在已熔化該進料之後讓一第三光束向 該進料施加熱，以控制該進料的一冷卻速度。
  13. 一種積層製造方法，包括以下步驟：藉由用一多邊形鏡掃描器掃描穿過一進料層的一第一光束來在一平台上預熱該進料層的一第一區域至低於進料的一結塊溫度；及在已預熱該第一區域之後，藉由用一振鏡掃描器掃描穿過該進料層的一第二光束來熔化該進料層的該第一區域的至少一部分。
  14. 如請求項13所述的方法，其中將該進料層預熱至該結塊溫度以下的步驟包括以下步驟：用橫跨該進料層的該第一區域的一第一掃描圖案掃描該第一光束，及熔化該進料層的該第一區域之步驟包含以下步驟：用橫跨該進料層的該第一區域的該部分的一第二掃描圖案掃描該第二光束。
  15. 如請求項14所述的方法，其中該第一掃描圖案與該第二掃描圖案不同。
  16. 如請求項13所述的方法，進一步包括以下步驟：在沒有藉由該第一光束預熱的情況下，藉由該第二光束熔化一部件的一輪廓。
  17. 如請求項13所述的方法，進一步包括以下步驟：在預熱該進料層的該第一區域之後，用將該第一光 束反射至該進料層的一第二區域上的該多邊形鏡掃描器預熱該進料層的該第二區域，該第二區域與該進料層的該第一區域不同；及在熔化該進料層的該第一區域之後，用在已預熱該第一區域後將該第二光束反射至該進料層的該第二區域上的一振鏡掃描器熔化該進料層的該第二區域，該第二區域與該進料層的該第一區域不同。
  18. 如請求項13所述的方法，進一步包括以下步驟：在已熔化該第一區域的該部分後，藉由將該第一光束從該第一多邊形鏡掃描器反射或藉由將一第三光束從一第二多邊形鏡掃描器反射至該進料層的一第一區域上來對該第一區域進行熱處理。
  19. 如請求項18所述的方法，其中預熱該進料層的步驟包括以下步驟：用一第一掃描圖案來在該進料層上掃描該第一光束，及熔化該進料層的步驟包括以下步驟：用一第二掃描圖案來在該進料層上掃描該第二光束，其中該第一掃描圖案不同於該第二掃描圖案，及其中熱處理該進料層的步驟包括以下步驟：用一第三掃描圖案來在該進料層上掃描該第一光束或該第三光束，其中第三掃描圖案與該第二掃描圖案不同。
  20. 一種積層製造方法，包括以下步驟： 藉由使用一振鏡掃描器掃描穿過一進料層的一第二光束來在一平台上熔化該進料層的一部分；及在熔化該部分之後，藉由用一多邊形鏡掃描器掃描穿過該進料層的一第一光束來熱處理該進料層的至少該部分。
  21. 如請求項20所述的方法，其中熱處理該進料層之步驟包括以下步驟：用橫跨該進料層的至少該部分的一第一掃描圖案掃描該第一光束，及熔化該進料層之步驟包括以下步驟：用橫跨該進料層的該部分的一第二掃描圖案掃描該第二光束。
  22. 如請求項21所述的方法，其中該第一掃描圖案與該第二掃描圖案不同。
  23. 一種光學引擎，包括：一光源，該光源經配成發射一光束；一光束分束器，該光束分束器經配置成將從該光源發射的一第一光束分成一第二光束及一第三光束；一用於預熱或熱處理的多邊形鏡掃描器，該多邊形鏡掃描器經配置成引導該第二光束在一平台上撞擊一進料層；及一用於熔化的振鏡掃描器，該振鏡掃描器位於該多邊形鏡掃描器附近，該振鏡掃描器經配置成引導該第三光束在該平台上撞擊一進料層。
  24. 如請求項23所述的光學引擎，其中該光束分束器進一步將該第一光束分成一第四光束，其中該多邊形鏡掃描器為一第一多邊形鏡掃描器，及其中該光學引擎進一步包括經配置以引導該第四光束在該平台上撞擊一進料層的一第二多邊形鏡掃描器。
  25. 如請求項24所述的光學引擎，其中該第一多邊形鏡掃描器經配置成掃描該平台之至少一前半部分，及該第二多邊形鏡掃描器經配置成掃描該平台之至少一後半部分。
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10792757B2 (en) * 2016-10-25 2020-10-06 Arcam Ab Method and apparatus for additive manufacturing
US10730240B2 (en) 2017-03-09 2020-08-04 Applied Materials, Inc. Additive manufacturing with energy delivery system having rotating polygon
US10981323B2 (en) 2017-05-26 2021-04-20 Applied Materials, Inc. Energy delivery with rotating polygon and multiple light beams on same path for additive manufacturing
US10940641B2 (en) 2017-05-26 2021-03-09 Applied Materials, Inc. Multi-light beam energy delivery with rotating polygon for additive manufacturing
US11065689B2 (en) 2017-06-23 2021-07-20 Applied Materials, Inc. Additive manufacturing with polygon and galvo mirror scanners
CN112313066A (zh) * 2018-05-09 2021-02-02 应用材料公司 使用多边形扫描仪的增材制造
CN110560688A (zh) * 2019-09-23 2019-12-13 华中科技大学 一种增材制造方法
US11237386B2 (en) 2020-03-11 2022-02-01 Rohr, Inc. Substrate perforation system and method using polygon mirror(s)
KR102362216B1 (ko) * 2020-12-10 2022-02-15 주식회사 신영 파우더 베드 융합 시스템

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20140263209A1 (en) * 2013-03-15 2014-09-18 Matterfab Corp. Apparatus and methods for manufacturing
TW201641260A (zh) * 2015-05-20 2016-12-01 三益海棠股份有限公司 光固化3d成型機光學系統校正方法及其裝置

Family Cites Families (49)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4616132A (en) 1984-05-29 1986-10-07 Eastman Kodak Company Synchronization apparatus for scanner
US4643569A (en) 1985-06-18 1987-02-17 Lincoln Laser Company Dual beam laser inspection apparatus
JPH01316415A (ja) * 1988-06-17 1989-12-21 Nippon Steel Corp ポリゴンミラーを用いたレーザ熱処理装置及び方法
JPH0332481A (ja) * 1989-06-29 1991-02-13 Komatsu Ltd レーザ肉盛溶接装置
JPH10242617A (ja) 1997-02-28 1998-09-11 Murata Mfg Co Ltd セラミックグリーンシートの加工方法及びレーザ加工装置
JP3271055B2 (ja) 1997-07-14 2002-04-02 住友重機械工業株式会社 レーザによる光学材料のマーキング方法及びマーキング装置
JP2002069507A (ja) * 2000-09-01 2002-03-08 Hitachi Ltd 金属物品の製造方法及びその装置並びにレーザ光集光装置
JP2003080604A (ja) 2001-09-10 2003-03-19 Fuji Photo Film Co Ltd 積層造形装置
KR100460987B1 (ko) 2002-05-21 2004-12-09 삼성전자주식회사 레이저 프린터의 레이저 스캐닝장치
KR100556586B1 (ko) 2004-08-03 2006-03-06 주식회사 이오테크닉스 오차 보정이 가능한 폴리곤 미러를 이용한 레이저 가공장치
US7339712B2 (en) 2005-03-22 2008-03-04 3D Systems, Inc. Laser scanning and power control in a rapid prototyping system
DE102006023484A1 (de) 2006-05-18 2007-11-22 Eos Gmbh Electro Optical Systems Vorrichtung und Verfahren zum schichtweisen Herstellen eines dreidimensionalen Objekts aus einem pulverförmigen Aufbaumaterial
JP4916392B2 (ja) 2007-06-26 2012-04-11 パナソニック株式会社 三次元形状造形物の製造方法及び製造装置
KR100969946B1 (ko) 2007-07-24 2010-07-14 주식회사 이오테크닉스 레이저 빔 분할을 이용한 레이저 가공 장치 및 방법
EP2185344B1 (en) 2007-08-23 2018-06-13 3D Systems, Inc. Automatic geometric calibration using laser scanning reflectometry
WO2010070940A1 (ja) 2008-12-17 2010-06-24 三菱電機株式会社 レーザ加工装置、レーザ加工方法、および光起電力装置の製造方法
DE102010008960A1 (de) 2010-02-23 2011-08-25 EOS GmbH Electro Optical Systems, 82152 Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen eines dreidimensionalen Objekts, das sich insbesondere für den Einsatz in der Mikrotechnik eignet
DE102010048335A1 (de) 2010-10-13 2012-04-19 Mtu Aero Engines Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur generativen Herstellung
DE202011003443U1 (de) * 2011-03-02 2011-12-23 Bego Medical Gmbh Vorrichtung zur generativen Herstellung dreidimensionaler Bauteile
DK2726264T3 (en) 2011-06-28 2017-02-27 Global Filtration Systems Dba Gulf Filtration Systems Inc Apparatus for forming three-dimensional objects using an ultraviolet laser diode
US20130112672A1 (en) 2011-11-08 2013-05-09 John J. Keremes Laser configuration for additive manufacturing
US8778252B2 (en) 2012-01-20 2014-07-15 Wisconsin Alumni Research Foundation Three-dimensional printing system using dual rotation axes
CN103358555A (zh) 2012-03-30 2013-10-23 通用电气公司 用于激光快速成型加工设备的多束激光扫描系统及方法
DE102013206458A1 (de) 2013-04-11 2014-10-16 Eos Gmbh Electro Optical Systems Rotationsbeschichter und Vorrichtung zum generativen Herstellen eines Objekts mit dem Rotationsbeschichter
US9415443B2 (en) 2013-05-23 2016-08-16 Arcam Ab Method and apparatus for additive manufacturing
EP3007879B1 (en) 2013-06-10 2019-02-13 Renishaw Plc. Selective laser solidification apparatus and method
US9751260B2 (en) * 2013-07-24 2017-09-05 The Boeing Company Additive-manufacturing systems, apparatuses and methods
US20150102531A1 (en) 2013-10-11 2015-04-16 Global Filtration Systems, A Dba Of Gulf Filtration Systems Inc. Apparatus and method for forming three-dimensional objects using a curved build platform
JP5795657B1 (ja) 2014-04-04 2015-10-14 株式会社松浦機械製作所 積層造形装置及び積層造形方法
KR20150115596A (ko) 2014-04-04 2015-10-14 가부시키가이샤 마쓰우라 기카이 세이사쿠쇼 3차원 조형 장치 및 3차원 형상 조형물의 제조 방법
CA2952633C (en) 2014-06-20 2018-03-06 Velo3D, Inc. Apparatuses, systems and methods for three-dimensional printing
US9359897B2 (en) 2014-08-15 2016-06-07 Siemens Energy, Inc. Method for building a gas turbine engine component
RU2697470C2 (ru) 2014-08-20 2019-08-14 Этксе-Тар, С.А. Способ и система для аддитивного производства с использованием светового луча
US20170304895A1 (en) 2014-10-01 2017-10-26 Renishaw Plc Additive manufacturing apparatus and method
KR101612254B1 (ko) 2014-10-30 2016-04-15 한국생산기술연구원 단방향으로 회전하는 폴리곤미러를 구비하는 입체조형장비의 멀티채널헤드어셈블리 및 이를 이용하는 입체조형장비.
KR101645562B1 (ko) 2014-11-13 2016-08-05 최병찬 레이저 조사 장치 및 방법
KR101704553B1 (ko) * 2015-01-12 2017-02-23 한국생산기술연구원 조형광원어레이 및 폴리곤미러를 구비하는 입체조형장비의 헤드장치 및 이를 이용하는 조형평면 스캐닝 방법
KR20160109866A (ko) 2015-03-13 2016-09-21 김일환 3d 프린팅 장치 및 방법
JP2018524178A (ja) 2015-06-10 2018-08-30 アイピージー フォトニクス コーポレーション 複数ビーム付加的製造
WO2017014964A1 (en) 2015-07-20 2017-01-26 Applied Materials, Inc. Additive manufacturing with multiple heat sources
US10814387B2 (en) 2015-08-03 2020-10-27 General Electric Company Powder recirculating additive manufacturing apparatus and method
JP2018535310A (ja) * 2015-09-16 2018-11-29 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ 付加製造システムのためのプリントヘッドモジュール
KR101682087B1 (ko) 2015-11-27 2016-12-02 한국기계연구원 레이저와 분말을 이용한 3차원 형상 제조장치 및 제조방법
WO2017100695A1 (en) * 2015-12-10 2017-06-15 Velo3D, Inc. Skillful three-dimensional printing
US11278988B2 (en) 2015-12-17 2022-03-22 Eos Of North America, Inc. Additive manufacturing method using large and small beam sizes
US10730240B2 (en) 2017-03-09 2020-08-04 Applied Materials, Inc. Additive manufacturing with energy delivery system having rotating polygon
US10940641B2 (en) 2017-05-26 2021-03-09 Applied Materials, Inc. Multi-light beam energy delivery with rotating polygon for additive manufacturing
US10981323B2 (en) 2017-05-26 2021-04-20 Applied Materials, Inc. Energy delivery with rotating polygon and multiple light beams on same path for additive manufacturing
US11065689B2 (en) 2017-06-23 2021-07-20 Applied Materials, Inc. Additive manufacturing with polygon and galvo mirror scanners

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20140263209A1 (en) * 2013-03-15 2014-09-18 Matterfab Corp. Apparatus and methods for manufacturing
TW201641260A (zh) * 2015-05-20 2016-12-01 三益海棠股份有限公司 光固化3d成型機光學系統校正方法及其裝置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20200013066A (ko) 2020-02-05
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