TWI799326B - 廠房跨區系統及其過渡裝置 - Google Patents

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TWI799326B
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邱毓絜
呂強尼
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Abstract

本發明公開一種廠房跨區系統及其過渡裝置。所述過渡裝置用以設置在隔開兩室的一隔間牆上，並且所述過渡裝置包含一腔體及安裝於所述腔體的一過濾模組。所述腔體的內部形成有一過渡通道，並且所述過渡通道的兩端各具有一出入口。所述腔體以其中一個所述出入口用來對應於所述隔間牆的一連通孔。所述過濾模組連通至所述過渡通道。所述過濾模組能執行一換氣過濾作業，用以持續自所述過渡裝置的外部進行抽氣、且經過濾而排氣至所述過渡通道。

Description

廠房跨區系統及其過渡裝置
本發明涉及一種過渡裝置，尤其涉及一種提高跨區效率的廠房跨區系統及其過渡裝置。
現今安裝於廠房內的過渡裝置大都設有自動門，據以有效地區隔兩個區域。然而，現有過渡裝置因採用的自動門，所以整體成本較高，並且兩個所述區域之間的物件輸送需等待上述自動門的開關，因而使所述廠房的產能難以被進一步地提升。
於是，本發明人認為上述缺陷可改善，乃特潛心研究並配合科學原理的運用，終於提出一種設計合理且有效改善上述缺陷的本發明。
本發明實施例在於提供一種廠房跨區系統及其過渡裝置，其能有效地改善現有過渡裝置所可能產生的缺陷。
本發明實施例公開一種廠房跨區系統，其包括：一第一室與一第二室，其彼此相鄰設置，並且所述第一室的一第一潔淨度要求是低於所述第二室的一第二潔淨度要求；一隔間牆，隔開所述第一室與所述第二室，並且所述隔間牆形成有連通所述第一室與所述第二室的一連通孔； 一軌道模組，通過穿越所述連通孔而配置於所述第一室與所述第二室，用以供一搬運車在其上移動；以及一過渡裝置，設置於所述第一室且其位置對應於所述連通孔；其中，所述過渡裝置包含：一腔體，其內部形成有一過渡通道，並且所述過渡通道的兩端各具有一出入口；其中，所述腔體以其中一個所述出入口對應所述連通孔，並且所述軌道模組穿過所述過渡通道；及一過濾模組，安裝於所述腔體並且連通至所述過渡通道；其中，所述過濾模組能執行一換氣過濾作業，以持續對所述第一室進行抽氣、且經過濾而排氣至所述過渡通道。
本發明實施例也公開一種廠房跨區系統的過渡裝置，其用以設置在隔開兩室的一隔間牆上，並且所述過渡裝置包括：一腔體，其內部形成有一過渡通道，並且所述過渡通道的兩端各具有一出入口；其中，所述腔體以其中一個所述出入口用來對應於所述隔間牆的一連通孔；以及一過濾模組，安裝於所述腔體並且連通至所述過渡通道；其中，所述過濾模組能執行一換氣過濾作業，用以持續自所述過渡裝置的外部進行抽氣、且經過濾而排氣至所述過渡通道。
綜上所述，本發明實施例所公開的廠房跨區系統，其通過在所述第一室安裝有所述過渡裝置，以通過所述過濾模組的所述換氣過濾作業，而能夠有效地取代現有過渡裝置所需採用的自動門，據以避免氣流自所述第一室經過所述過渡通道而流向所述第二室，並提升所述軌道模組與至少一台所述搬運車於所述第一室與所述第二室之間的物件搬運效率，並進一步優化廠房的產能。
為能更進一步瞭解本發明的特徵及技術內容，請參閱以下有關本發明的詳細說明與附圖，但是此等說明與附圖僅用來說明本發明，而非對本發明的保護範圍作任何的限制。
以下是通過特定的具體實施例來說明本發明所公開有關“廠房跨區系統及其過渡裝置”的實施方式，本領域技術人員可由本說明書所公開的內容瞭解本發明的優點與效果。本發明可通過其他不同的具體實施例加以施行或應用，本說明書中的各項細節也可基於不同觀點與應用，在不悖離本發明的構思下進行各種修改與變更。另外，本發明的附圖僅為簡單示意說明，並非依實際尺寸的描繪，事先聲明。以下的實施方式將進一步詳細說明本發明的相關技術內容，但所公開的內容並非用以限制本發明的保護範圍。
應當可以理解的是，雖然本文中可能會使用到“第一”、“第二”、“第三”等術語來描述各種元件或者信號，但這些元件或者信號不應受這些術語的限制。這些術語主要是用以區分一元件與另一元件，或者一信號與另一信號。另外，本文中所使用的術語“或”，應視實際情況可能包括相關聯的列出項目中的任一個或者多個的組合。
[實施例一]
請參閱圖1至圖6所示，其為本發明的實施例一。本實施例公開一種廠房跨區系統100，其較佳是應用於一半導體廠房的潔淨室（cleanroom）之中，但本發明不以此為限。其中，所述廠房跨區系統100包含有一第一室1、相鄰於所述第一室1的一第二室2、隔開所述第一室1以及所述第二室2的一隔間牆3、貫穿所述隔間牆3的一軌道模組4、及設置於所述隔間牆3的一過渡裝置5。
需額外說明的是，所述廠房跨區系統100於本實施例中是以所述第一室1、所述第二室2、所述隔間牆3、所述軌道模組4、及所述過渡裝置5相互搭配來進行說明，但本發明不以此為限。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，所述過渡裝置5也可以依據設計需求而被單獨地應用（如：販賣）或是搭配其他構件使用。
於本實施例中，所述第一室1具有一第一潔淨度要求，其低於所述第二室2的一第二潔淨度要求，並且所述第一室1的氣壓也是低於所述第二室2的氣壓。舉例來說，所述第一室1的所述第一潔淨度要求可以是Class 100K，所述第一室1的所述第二潔淨度要求則可以是Class 1K，並且所述第一室1的所述氣壓與所述第二室2的所述氣壓之間的壓差可以是介於2帕（Pa）～5帕之間，但本發明不以此為限。
再者，所述隔間牆3形成有連通所述第一室1與所述第二室2的一連通孔31，並且所述連通孔31位於所述隔間牆3的頂部，而所述軌道模組4通過穿越所述過渡裝置5與所述連通孔31而配置於所述第一室1與所述第二室2，用以供至少一台搬運車200在其上移動。
於本實施例中，所述連通孔31包含有兩個子開口311，並且所述軌道模組4可以是空中走行式搬運系統（Overhead Hoist Transfer，OHT），其包含分別穿過兩個所述子開口311的兩條軌道41，以使每條所述軌道41可供一台所述搬運車200在其上移動，但本發明不以此為限。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，所述連通孔31所述形的所述子開口311數量可依設計需求而調整變化（如：一個或多個），所述軌道模組4則是包含有穿過所述連通孔31的至少一條所述軌道41。
所述過渡裝置5設置於所述第一室1且其位置對應於所述連通孔31，並且所述過渡裝置5包含一腔體51及安裝於所述腔體51的一過濾模組52。進一步地說，所述腔體51的內部形成有一過渡通道C，並且所述過渡通道C的兩端各具有一出入口C1。
其中，所述腔體51以其中一個所述出入口C1的位置與形狀分別對應所述連通孔31的位置與形狀（如：所述連通孔31與相對應的所述出入口C1相鄰接且彼此連通），並且所述軌道模組4經由兩個所述出入口C1穿過所述過渡通道C。也就是說，對應於所述連通孔31的所述出入口C1，其於本實施例中也形成有兩個子出入口C11，其分別對應於兩個所述子開口311，但本發明不以此為限。
更詳細地說，所述腔體51於本實施例中大致呈長方體並且包含有一底板511、連接於所述底板511周緣的兩個側板512與兩個端板513、及連接兩個所述側板512與兩個所述端板513的一頂板514。其中，所述底板511未形成有孔洞，兩個所述出入口C1分別形成於兩個所述端板513，並且其中一個所述端板513抵靠（或固定）於所述隔間牆3，以使形成於其上的所述出入口C1能夠鄰接於所述連通孔31，但本發明不受限於此。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，所述腔體51也可以通過省略兩個所述端板513之中的至少一個，而形成有相對應的所述出入口C1。
所述過濾模組52連通至所述過渡通道C，並且所述過濾模組52能執行一換氣過濾作業，以持續對所述第一室1進行抽氣、且經過濾而排氣至所述過渡通道C。換個角度來說，所述第一室1與所述第二室2可以通過所述過渡通道C而於空間上保持彼此連通。
於本實施例中，所述過濾模組52包含有多個風機過濾機組521（fan filter unit，FFU），並且多個所述風機過濾機組521能夠同步對所述第一室1進行抽氣、且經過濾而排氣至所述過渡通道C。 再者，所述過濾模組52（或多個所述風機過濾機組521）可以是安裝於兩個所述側板512與所述頂板514的至少其中之一，並且所述過濾模組52較佳是安裝在所述腔體51的外側，但本發明不以此為限。
據此，本實施例中所公開的所述廠房跨區系統100，其通過在所述第一室1安裝有所述過渡裝置5，以通過所述過濾模組52的所述換氣過濾作業，而能夠有效地取代現有過渡裝置所需採用的自動門，據以避免氣流自所述第一室1經過所述過渡通道C而流向所述第二室2，並能提升所述軌道模組4與至少一台所述搬運車200於所述第一室1與所述第二室2之間的物件搬運效率，進一步優化廠房的產能。
更詳細地說，所述過渡通道C與所述第二室2於所述連通孔31所產生的一氣壓差，其能通過所述過濾模組52持續執行所述換氣過濾作業而維持在不大於0.5帕（Pa）。也就是說，所述過渡通道C內未有任何所述搬運車200穿過時，所述過渡通道C內的流場處於一穩定狀態，並且所述過濾模組52能通過持續執行所述換氣過濾作業而於所述過渡通道C內建立足夠壓力，進而使所述連通孔31處的氣流趨近於零。
再者，當至少一台所述搬運車200沿所述軌道模組4而自所述第一室1穿過所述過渡通道C而移動至所述第二室2時，所述過渡通道C內的所述流場自所述穩定狀態被擾動成一擾亂狀態，而所述過濾模組52能對處於所述擾亂狀態的所述流場執行所述換氣過濾作業，以於一預設時間之內使所述流場回復至所述穩定狀態。其中，所述預設時間可以是3秒～25秒之內，但所述預設時間的實際數值可依據設計需求而加以調整變化，本發明在此不加以限制。
[實施例二]
請參閱圖7和圖8所示，其為本發明的實施例二。由於本實施例類似於上述實施例一，所以兩個實施例的相同處不再加以贅述，而本實施例相較於上述實施例一的差異大致說明如下：
於本實施例中，所述底板511形成有多個孔洞5111，以使所述過渡通道C能經由多個所述孔洞5111而連通外（如：連通至所述第一室1）。其中，所述底板511的多個所述孔洞5111較佳是具有不大於25%的一開孔率（較佳為10%～20%）。 進一步地說，當以本實施例的所述底板511的所述開孔率為15%相較於所述底板511未形成有任何所述孔洞的實施例一來說，所述廠房跨區系統100的所述預設時間於本實施例能夠被控制的比上述實施例一還要來的低，據以有效地進一步提升廠房的產能。
[實施例三]
請參閱圖9至圖11所示，其為本發明的實施例三。由於本實施例類似於上述實施例一和二，所以上述多個實施例的相同處不再加以贅述，而本實施例相較於上述實施例一和二的差異大致說明如下：
於本實施例中，所述廠房跨區系統100進一步包括有安裝於所述隔間牆3的至少一個氣簾門6，並且至少一個所述氣簾門6位於所述第二室2且對應於所述連通孔31設置。也就是說，所述過渡裝置5與至少一個所述氣簾門6可以分別安裝於所述隔間牆3的相反兩側。
其中，至少一個所述氣簾門6能夠通過持續地排氣來封閉所述連通孔31，進而有效地避免氣流自所述第一室1經過所述過渡通道C而流至所述第二室2。再者，至少一個所述氣簾門6的每分鐘排出空氣體積（cubic meter per minute，CMM）可以是20～50立方公尺/每分（m 3/min），但本發明不以此為限。
[本發明實施例的技術效果]
綜上所述，本發明實施例所公開的廠房跨區系統，其通過在所述第一室安裝有所述過渡裝置，以通過所述過濾模組的所述換氣過濾作業，而能夠有效地取代現有過渡裝置所需採用的自動門，據以避免氣流自所述第一室經過所述過渡通道而流向所述第二室，並能提升所述軌道模組與至少一台所述搬運車於所述第一室與所述第二室之間的物件搬運效率，並進一步優化廠房的產能。
再者，本發明實施例所公開的廠房跨區系統及其過渡裝置，還能在所述腔體的所述底板進一步形成有構成特定開孔率（如：不大於25%）的多個所述孔洞，據以利於縮短所述流場自所述擾亂狀態回復至所述穩定狀態所需的時間。
此外，本發明實施例所公開的廠房跨區系統及其過渡裝置，還能夠依據設計需求而在所述隔間牆加裝有所述氣簾門，以利於通過所述氣簾門的持續地排氣來封閉所述連通孔，進而有效地避免氣流自所述第一室經過所述過渡通道而流至所述第二室。
以上所公開的內容僅為本發明的優選可行實施例，並非因此侷限本發明的專利範圍，所以凡是運用本發明說明書及圖式內容所做的等效技術變化，均包含於本發明的專利範圍內。
100:廠房跨區系統 1:第一室 2:第二室 3:隔間牆 31:連通孔 311:子開口 4:軌道模組 41:軌道 5:過渡裝置 51:腔體 511:底板 5111:孔洞 512:側板 513:端板 514:頂板 52:過濾模組 521:風機過濾機組 6:氣簾門 200:搬運車 C:過渡通道 C1:出入口 C11:子出入口
圖1為本發明實施例一的廠房跨區系統的立體示意圖。
圖2為圖1另一視角的立體示意圖。
圖3為圖1的側視示意圖。
圖4為圖1的剖視示意圖。
圖5為圖4的搬運車自第一室移動進入過渡裝置的剖視示意圖。
圖6為圖5的搬運車自所述過渡裝置移動進入第二室的剖視示意圖。
圖7為本發明實施例二的廠房跨區系統的立體示意圖。
圖8為圖7的剖視示意圖。
圖9為本發明實施例三的廠房跨區系統的立體示意圖。
圖10為圖10的剖視示意圖。
圖11為圖10的另一剖視示意圖。
100:廠房跨區系統
1:第一室
2:第二室
3:隔間牆
31:連通孔
311:子開口
4:軌道模組
41:軌道
5:過渡裝置
51:腔體
512:側板
513:端板
514:頂板
52:過濾模組
521:風機過濾機組
200:搬運車
C:過渡通道
C1:出入口
C11:子出入口

Claims (8)

  1. 一種廠房跨區系統，其包括：一第一室與一第二室，其彼此相鄰設置，並且所述第一室的一第一潔淨度要求是低於所述第二室的一第二潔淨度要求；一隔間牆，隔開所述第一室與所述第二室，並且所述隔間牆形成有連通所述第一室與所述第二室的一連通孔；一軌道模組，通過穿越所述連通孔而配置於所述第一室與所述第二室，用以供至少一台搬運車在其上移動；以及一過渡裝置，設置於所述第一室且其位置對應於所述連通孔；其中，所述過渡裝置包含：一腔體，其內部形成有一過渡通道，並且所述過渡通道的兩端各具有一出入口；其中，所述腔體以其中一個所述出入口對應所述連通孔，並且所述軌道模組穿過所述過渡通道；及一過濾模組，安裝於所述腔體並且連通至所述過渡通道；其中，所述過濾模組能執行一換氣過濾作業，以持續對所述第一室進行抽氣、且經過濾而排氣至所述過渡通道；其中，所述腔體包含有一底板、連接於所述底板的兩個側板、及連接兩個所述側板的一頂板；所述底板形成有多個孔洞，以使所述過渡通道能經由多個所述孔洞而連通至所述第一室；所述過濾模組安裝於兩個所述側板與所述頂板的至少其中之一。
  2. 如請求項1所述的廠房跨區系統，其中，所述過濾模組包含有多個風機過濾機組(fan filter unit，FFU)，並且多個所 述風機過濾機組能同步對所述第一室進行抽氣、且經過濾而排氣至所述過渡通道。
  3. 如請求項1所述的廠房跨區系統，其中，所述過渡通道與所述第二室於所述連通孔所產生的一氣壓差，其能通過所述過濾模組持續執行所述換氣過濾作業而維持在不大於0.5帕(Pa)。
  4. 如請求項1所述的廠房跨區系統，其中，所述底板的多個所述孔洞具有不大於25%的一開孔率。
  5. 如請求項1所述的廠房跨區系統，其中，所述廠房跨區系統進一步包括有安裝於所述隔間牆的至少一個氣簾門，並且至少一個所述氣簾門對應於所述連通孔設置。
  6. 如請求項1所述的廠房跨區系統，其中，當至少一台所述搬運車沿所述軌道模組而自所述第一室穿過所述過渡通道而移動至所述第二室時，所述過渡通道內的流場自一穩定狀態被擾動成一擾亂狀態，而所述過濾模組能對處於所述擾亂狀態的所述流場執行所述換氣過濾作業，以於一預設時間之內使所述流場回復至所述穩定狀態。
  7. 一種廠房跨區系統的過渡裝置，其用以設置在隔開兩室的一隔間牆上，並且所述過渡裝置包括：一腔體，其內部形成有一過渡通道，並且所述過渡通道的兩端各具有一出入口；其中，所述腔體以其中一個所述出入口用來對應於所述隔間牆的一連通孔；以及 一過濾模組，安裝於所述腔體並且連通至所述過渡通道；其中，所述過濾模組能執行一換氣過濾作業，用以持續自所述過渡裝置的外部進行抽氣、且經過濾而排氣至所述過渡通道；其中，所述腔體包含有一底板、連接於所述底板的兩個側板、及連接兩個所述側板的一頂板；所述底板形成有多個孔洞，以使所述過渡通道能經由多個所述孔洞而連通於外；所述過濾模組安裝於兩個所述側板與所述頂板的至少其中之一。
  8. 如請求項7所述的廠房跨區系統的過渡裝置，其中，所述底板的多個所述孔洞具有不大於25%的一開孔率。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200602599A (en) * 2004-06-16 2006-01-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd Clean room, local cleaning system, methods of use thereof, and clean room monitoring system
CN105531548A (zh) * 2013-10-25 2016-04-27 株式会社日本组织工程 清洁作业装置

Patent Citations (2)

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