TWI798986B - 變焦透鏡模組 - Google Patents

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Abstract

提供一種變焦透鏡模組,包含液態透鏡、剛性透鏡及致動器。液態透鏡具有相對之二側面。其中,液態透鏡的光軸通過二側面,並且二側面的至少其中之一為可變形的側面。剛性透鏡具有不為平面的整形面。剛性透鏡可以是設置於液態透鏡的內部或是外部,並且整形面朝向可變形的側面。致動器連接於液態透鏡以及剛性透鏡其中之一,用以驅動可變形的側面與整形面之間相對移動,使整形面接觸並壓迫可變形的側面變形。

Description

變焦透鏡模組
本發明有關於液態透鏡,特別是關於一種變焦透鏡模組。
如圖1所示,現有的液態透鏡1,是將透光液體2封裝在可變形的中空容器3中。中空容器3的一側面以透明玻璃4貼合封裝,另一側面以可變形的薄膜5封裝。薄膜5的折射率大致配合液體的折射率。液態透鏡1的變焦方式,是以整形器6壓迫薄膜5,使薄膜5產生形變改變曲率,進而改變液態透鏡1的焦距,以達到在極小空間達成光學變焦的效果。
由於整形器6是位於光路上,因此,整形器6具有一中空區域,以供光線通過。在整形器6壓迫薄膜5時,整形器6對於薄膜5表面的邊緣區域直接施壓而使邊緣區域變形;而薄膜5對應於中空區域的中間區域不直接受壓,而是承受彎矩應力。此時,在邊緣區域以及中空區域的交界處將形成折角而有應力集中現象,容易導致薄膜5斷裂。
此外,由於薄膜5表面僅有邊緣區域直接受力,而被整形器6整形,而中間區域是承受彎矩應力變形。因此,邊緣區域與中間區域將出現曲率不一致,甚至在中間區域出現大區段未受力而曲率不變維持平面的狀況。中間區域的曲率變化難以控制,致使無法產生穩定的光學變焦效果。
本發明揭示一種變焦透鏡模組,包含液態透鏡、剛性透鏡及致動器。液態透鏡具有相對之二側面。其中,液態透鏡的一光軸通過二側面,並且二側面的至少其中之一為可變形的側面。剛性透鏡具有不為平面的一整形面;剛性透鏡可以是設置於液態透鏡的內部,或是設置於液態透鏡的外部,並且整形面朝向可變形的側面。致動器連接於液態透鏡以及剛性透鏡其中之一,用以驅動可變形的側面與整形面之間相對移動,使整形面接觸並壓迫可變形的側面變形。
依據一些實施例,剛性透鏡設置於液態透鏡的外部,並且整形面是外凸的曲面。
依據一些實施例,液態透鏡包含框架、剛性透明板、下薄膜及透光液體。框架具有中空區域,連通框架的兩面。剛性透明板以及下薄膜分別設置於框架的兩面,以密封中空區域,並且剛性透明板以及下薄膜分別形成液態透鏡的二側面,其中,下薄膜形成可變形的側面。透光液體填充於中空區域。
依據一些實施例,變焦透鏡模組更包含整形器,剛性透鏡設置於整形器,且整形器用於朝向下薄膜移動。
依據一些實施例,致動器是線性致動器,連接於整形器,用於驅動整形器朝向下薄膜移動。
依據一些實施例,致動器是線性致動器,並直接連接於剛性透鏡,以驅動剛性透鏡朝向下薄膜移動。
依據一些實施例,剛性透鏡設置於液態透鏡的內部,並且整形面是外凸的曲面。
依據一些實施例,剛性透鏡固定地設置於中空區域,並且浸泡於透光液體,且整形面朝向下薄膜。
依據一些實施例,整形器位於液態透鏡之外,並且對應於下薄膜設置,整形器環繞透光區域,使液態透鏡的光軸可通過透光區域。致動器連接於整形器,用於驅動整形器朝向的下薄膜移動,使下薄膜的局部朝向整形面移動,經由剛性透鏡壓迫下薄膜而使下薄膜貼合於整形面。
依據一些實施例,致動器包含液體泵浦以及管路,液體泵浦透過管路連通於液體空間,用於自液體空間抽吸透光液體,或泵送透光液體至液體空間,以改變透光液體在液體空間中的填充量。
依據一些實施例,液態透鏡的二側面都是可變形的側面,且變焦透鏡模組具有二剛性透鏡以及二致動器。二剛性透鏡分別液態透鏡的外部,並且分別以各整形面朝向二可變形的側面其中之一。二致動器分別連接二剛性透鏡,分別驅動各剛性透鏡朝向對應的可變形的側面移動,使各整形面分別接觸並壓迫對應的可變形的側面變形。
依據一些實施例,液態透鏡包含框架、上薄膜、下薄膜及透光液體。框架具有中空區域,連通框架的兩面。上薄膜以及下薄膜分別設置於框架的兩面,以密封中空區域,並且上薄膜以及下薄膜分別形成二可變形的側面。透光液體填充於中空區域。
依據一些實施例,變焦透鏡模組包含二剛性透鏡以及二致動器,且液態透鏡包含框架、剛性透明板、上薄膜、下薄膜及透光液體。框架具有中空區域,連通框架的兩面。剛性透明板設置於中空區域,而分隔中空區域為分別對應兩面的上區域、下區域。上薄膜設置於上區域,並且在剛性透明板與上薄膜之間隔離出第一液體空間。下薄膜設置於下區域,並且於剛性透明板與下薄膜之間隔離出第二液體空間,且第一液體空間與第二液體空間之間不連通。透光液體填充於第一液體空間以及第二液體空間,上薄膜以及下薄膜分別形成可變形的側面。其中,各剛性透鏡固定於框架中,並且位於第一、第二液體空間之外,且各整形面分別朝向上薄膜以及下薄膜。
依據一些實施例,各致動器包含液體泵浦以及管路。各液體泵浦透過對應之各管路連通於第一液體空間及第二液體空間,用於自第一液體空間及第二液體空間抽吸透光液體,或泵送透光液體至第一、第二液體空間,以改變透光液體在第一液體空間及第二液體空間中的填充量。
依據一些實施例,各整形面是內凹的曲面。
依據一些實施例,液態透鏡包含框架、可撓性液體容器、剛性透明板及透光液體。框架具有中空區域,連通框架的兩面。可撓性液體容器,可動地設置於中空區域。其中,可撓性液體容器具有相對的上薄膜以及下薄膜,形成液態透鏡的二側面。剛性透明板可動地且對應於中空區域設置,並且接觸下薄膜以承載可撓性液體容器。透光液體填充於可撓性液體容器。其中,剛性透鏡設置於框架,並且對應於中空區域,剛性透鏡以整形面朝向上薄膜,致動器用於驅動剛性透明板朝向剛性透鏡移動,以抬升可撓性液體容器,藉以帶動上薄膜朝向整形面移動。
依據一些實施例,液態透鏡包含液體容器、下剛性透明板及透光液體。液體容器具有可撓性的上薄膜,形成可變形的側面。下剛性透明板,用以承載液體容器。透光液體填充於液體容器中。其中,剛性透鏡設置於液體容器中,並且浸泡於透光液體。整形面接觸上薄膜,使得上薄膜常態地貼合於整形面;致動器用以使透光液體填充於上薄膜與整形面之間。
依據一些實施例,變焦透鏡模組更包含上剛性透明板,設置於上薄膜之上,並且與上薄膜保持間隙。
依據一些實施例,液體容器更包含下薄膜,上薄膜與下薄膜包覆透光液體,下剛性透明板用以接觸下薄膜以承載液體容器,且剛性透鏡以底面接觸下薄膜。
本發明另提供一實施例之一種變焦透鏡模組,包含液態透鏡及二致動器。
液態透鏡具有相對之二側面,該液態透鏡的光軸通過該二側面,並且該二側面的至少其中之一為可變形的側面,液態透鏡包含框架、剛性透明板、上薄膜、下薄膜、二固定器及透光液體。框架具有中空區域,連通該框架的兩面。剛性透明板,設置於該中空區域,而分隔該中空區域為分別對應兩面的上區域、下區域。上薄膜設置於該上區域,並且在該剛性透明板與該上薄膜之間隔離出第一液體空間。下薄膜設置於下區域,並且於剛性透明板與下薄膜之間隔離出第二液體空間,且第一液體空間與第二液體空間之間不連通。二固定器位於中空區域,且分別對應上薄膜及下薄膜設置,各固定器環繞透光區域,使液態透鏡的光軸可通過透光區域。透光液體填充於第一液體空間以及第二液體空間,上薄膜以及下薄膜分別形成可變形的側面。
各致動器連接於液態透鏡,各致動器包含液體泵浦以及管路。各液體泵浦透過對應之各管路連通於第一液體空間及第二液體空間,用於泵送或抽吸透光液體至第一液體空間及第二液體空間,而推動上薄膜及下薄膜變形。
依據本發明一些實施例,透過整形面直接接觸液態透鏡的可變形的側面,迫使可變形的側面依據整形面的形態變形。整形面與可變形的側面之間是面接觸,可避免折角產生,並且使側面形成所需要的曲面,達到預定的變焦效果。依據一些實施例,藉由泵浦抽吸或泵送液態透鏡以控制上薄膜及下薄膜的變形,產生無段式焦距變化。
請參閱圖2至圖3所示,分別為本發明第一實施例所揭露的一種變焦透鏡模組100,包含液態透鏡110、剛性透鏡120以及致動器130。
如圖2以及圖3所示,液態透鏡110具有相對之二側面110a, 110b,液態透鏡110的光軸L通過二側面110a, 110b,並且二側面110a, 110b其中之一為可變形的側面110b。剛性透鏡120具有相對的整形面122以及底面124,剛性透鏡120可以是設置於液態透鏡110的內部,或是設置於液態透鏡110的外部,並且以整形面122朝向液態透鏡110的可變形的側面110b。整形面122不為平面,可以是外凸或內凹的曲面。致動器130連接於液態透鏡110以及剛性透鏡120其中之一,用以驅動可變形的側面110b與整形面122之間相對移動,使整形面122接觸並壓迫可變形的側面110b變形,從而變更液態透鏡110的光學特性,達成變焦的效果。
如圖2以及圖3所示,在第一實施例中,液態透鏡110具有框架111、剛性透明板112、下薄膜113以及透光液體114。框架111具有中空區域A,連通框架111的兩面。剛性透明板112以及下薄膜113分別設置於框架111的兩面,以密封中空區域A,並且剛性透明板112以及下薄膜113分別形成液態透鏡110的二側面110a, 110b,特別是下薄膜113形成可變形的側面110b。透光液體114填充於中空區域A。在一實施例中,液態透鏡110還具有一上薄膜115,設置於框架111與剛性透明板112,且剛性透明板112設置於上薄膜115之上,使得剛性透明板112間接地透過上薄膜115固定於框架111。
如圖2以及圖3所示,在第一實施例中,剛性透鏡120設置於液態透鏡110的外部,並且以整形面122朝向該液態透鏡110的下薄膜113。在第一實施例中,整形面122是外凸的曲面,特別是一球面,但不排除為其他型態(profile)曲面。底面124可為平面、外凸之曲面或是內凹之曲面。剛性透鏡120用以朝向該液態透鏡110的下薄膜113移動,以使整形面122接觸下薄膜113,而使下薄膜113隨著整形面122的壓迫而變形。透過整形面122的整形(shape),下薄膜113(即可變形的側面110b)可以彎曲成預定之曲面,達到所需要的光學變焦效果,並且避免形成產生應力集中的折角。
如圖2以及圖3所示,在第一實施例中,變焦透鏡模組100還包含整形器140,剛性透鏡120設置於整形器140,且整形器140用於朝向下薄膜113移動,以帶動剛性透鏡120的整形面122移動並接觸下薄膜113,迫使下薄膜113依據整形面122變形,而在接觸部分形成與整形面122相同的曲率,改變透光液體114的型態,從而變更液態透鏡110的光學特性,達成變焦的效果。
如圖2以及圖3所示,整形器140的具體實施例為環狀,固定於剛性透鏡120的底面124,且環繞透光區域S,使液態透鏡110的光軸L可通過透光區域S。在不同實施例中,整形器140固定在剛性透鏡120的邊緣。致動器130是線性致動器,連接於整形器140,用於驅動整形器140朝向下薄膜113移動。在不同實施例中,致動器130可以是直接連接於剛性透鏡120,而直接驅動剛性透鏡120朝向下薄膜113移動。在不同實施例中,致動器130可以是音圈馬達(Voice Coil Motor, VCM)、記憶金屬馬達(Shape Memory Alloys, SMA)、壓電馬達(Piezo)或者其中兩者以上之組合,只要能夠在平行於液態透鏡110的光軸之方向上進行線性致動即可。
如圖3以及圖4所示,隨著剛性透鏡120進給的行程不同,整形面122與下薄膜113的接觸程度也不同,使得下薄膜113的曲面型態、液態透鏡110的整體形狀也會有所不同。
請參閱圖5以及圖6所示,為本發明第二實施例所揭露的一種變焦透鏡模組100,包含液態透鏡110、剛性透鏡120、致動器130以及整形器140。在第二實施例中,剛性透鏡120設置於液態透鏡110的內部,並且以整形面122朝向該液態透鏡110的下薄膜113。在第二實施例中,整形面122是外凸的曲面,特別是球面,但不排除為其他型態(profile)曲面。致動器130用以致使下薄膜113的局部朝向剛性透鏡120的整形面122移動,以使整形面122接觸並壓迫下薄膜113,而使下薄膜113並隨著整形面122的壓迫而變形並且貼合於整形面122。透過整形面122的整形(shape),下薄膜113(即可變形的側面110b)可以彎曲成預定之曲面,達到所需要的光學變焦效果,並且避免形成產生應力集中的折角。
如圖5以及圖6所示,第二實施例的液態透鏡110具有框架111、剛性透明板112、下薄膜113、透光液體114以及上薄膜115。液態透鏡110的結構大致與第一實施例相同,以下不再贅述。
如圖5以及圖6所示,剛性透鏡120固定地設置於框架111的中空區域A,並且剛性透鏡120浸泡於透光液體114中。整形面122朝向下薄膜113,並且常態地保持間隔距離。前述間隔距離也可以省略,使得整形面122保持恰好接觸下薄膜113但不對下薄膜113施壓。在一實施例中,剛性透鏡120的底面124直接地固定於剛性透明板112或間接地透過上薄膜115固定於剛性透明板112。在不同實施例中,剛性透鏡120透過連接件固接於框架111。
如圖5以及圖6所示,整形器140的具體實施例為環狀,位於液態透鏡110之外,並且對應於下薄膜113設置。整形器140環繞透光區域S,使液態透鏡110的光軸L可通過該透光區域S。致動器130連接於整形器140,用於驅動整形器140朝向的下薄膜113移動,以使下薄膜113的局部朝向整形面122移動。
如圖6所示,隨著整形器140進給而推動下薄膜113的局部,下薄膜113的局部朝向剛性透鏡120的整形面122移動,經由剛性透鏡120壓迫下薄膜113而使下薄膜113貼合於剛性透鏡120的整形面122。下薄膜113隨著整形面122變形為具有適當曲率的曲面。隨著整形器140進給行程的不同,整形面122與下薄膜113的接觸程度也不同,使得下薄膜113的曲面型態、液態透鏡110的整體形狀也會有所不同。
請參閱圖7以及圖8所示,分別為本發明第三實施例所揭露的一種變焦透鏡模組100,包含液態透鏡110、剛性透鏡120以及致動器130。
如圖7以及圖8所示,液態透鏡110具有框架111、剛性透明板112、下薄膜113以及透光液體114。框架111具有中空區域A,連通框架111的兩面。剛性透明板112設置於兩面的其中之一。下薄膜113設置於中空區域A中,並且於剛性透明板112與下薄膜113之間隔離出液體空間R,亦即,剛性透明板112、下薄膜113以及框架111共同定義液體空間R。透光液體114填充於液體空間R,下薄膜113形成可變形的側面110b,而剛性透明板112形成另一側面110a。
如圖7以及圖8所示,剛性透鏡120具有相對的整形面122以及底面124。剛性透鏡120固定於框架111中,剛性透鏡120位於液體空間R之外,並且整形面122朝向液態透鏡110的下薄膜113(即可變形的側面110b)設置,並且常態地保持間隔距離。前述間隔距離也可以省略,使得整形面122保持洽接觸下薄膜113但不對下薄膜113施壓的狀態。整形面122是曲面。在第三實施例中,整形面122是突出的曲面,特別是一球面,但不排除為其他型態(profile)曲面。底面124可為平面、突出之曲面或是內凹之曲面。
如圖7以及圖8所示,在第三實施例中,致動器130包含液體泵浦132以及管路134。液體泵浦132透過管路134連通於液體空間R,用於自液體空間R抽吸透光液體114,或泵送透光液體114至液體空間R,以改變透光液體114在液體空間R中的填充量。於第三實施例中,管路134是框架111的部分,且液體泵浦132是埋設於框架111中。在不同實施例,液體泵浦132與管路134是分別設置於框架111之外。
如圖8所示,液體泵浦132透過管路134泵送透光液體114至液體空間R,而增加透光液體114在液體空間R中的填充量。此時,液體空間R將對外膨脹,而推動下薄膜113朝向剛性透鏡120變形,並且進一步接觸剛性透鏡120的整形面122。隨著液體空間R持續對外膨脹,下薄膜113將貼合於整形面122,而使得下薄膜113與整形面122具有相同的曲面型態,從而改變透光液體114的形態。
請參閱圖9所示,為本發明第四實施例所揭露的一種變焦透鏡模組100,包含液態透鏡110、二剛性透鏡120以及二致動器130。
如圖9所示,液態透鏡110的二側面110a, 110b,都是可變形的側面110a, 110b。二剛性透鏡120分別液態透鏡110的外部,並且分別以整形面122朝向該液態透鏡110的二可變形的側面110b其中之一。二致動器130分別連接二剛性透鏡120,分別驅動各剛性透鏡120朝向對應的可變形的側面110b移動,使各整形面122分別接觸並壓迫對應的可變形的側面110b變形,從而變更液態透鏡110的光學特性,達成變焦的效果。
如圖9所示,在第四實施例中,液態透鏡110具有框架111、上薄膜115、下薄膜113以及透光液體114。框架111具有中空區域A,連通框架111的兩面。上薄膜115以及下薄膜113分別設置於框架111的兩面,以密封該中空區域A,並且上薄膜115以及下薄膜113分別形成液態透鏡110的二側面110a, 110b,特別是上薄膜115分別下薄膜113形成各可變形的側面110a, 110b。透光液體114填充於中空區域A。
如圖9所示,在第四實施例中,二剛性透鏡120設置於液態透鏡110的外部,並且分別以整形面122朝向對應的下薄膜113。變焦透鏡模組100還包含二整形器140,各剛性透鏡120分別設置於各整形器140。各致動器130分別是線性致動器,連接於整形器140,用於驅動各整形器140朝向上薄膜115或下薄膜113移動。在不同實施例中,致動器130可以是直接連接於剛性透鏡120,而直接驅動剛性透鏡120朝向上薄膜115或下薄膜113移動。隨著剛性透鏡120進給的行程不同,整形面122與上薄膜115/下薄膜113的接觸程度也不同,使得上薄膜115/下薄膜113的曲面型態、液態透鏡110的整體形狀也會有所不同。
請參閱圖10以及圖11所示,為本發明第五實施例所揭露的一種變焦透鏡模組100,包含液態透鏡110、二剛性透鏡120以及二致動器130。
如圖10以及圖11所示,液態透鏡110具有框架111、剛性透明板112、上薄膜115、下薄膜113以及透光液體114。框架111具有中空區域A,連通框架111的兩面。剛性透明板112設置於中空區域A,而分隔中空區域A為分別對應兩面的上區域A1、下區域A2。
上薄膜115設置於上區域A1,並且在剛性透明板112與上薄膜115之間隔離出第一液體空間R1。下薄膜113設置於下區域A2,並且於剛性透明板112與下薄膜113之間隔離出第二液體空間R2。第一液體空間R1與第二液體空間R2之間不連通,並且透光液體114填充於第一液體空間R1以及第二液體空間R2,上薄膜115以及下薄膜113分別形成可變形的側面110a, 110b。
如圖10以及圖11所示,各剛性透鏡120具有相對的整形面122以及底面124。剛性透鏡120固定於框架111中,並且位於第一、第二液體空間R2之外。二剛性透鏡120的整形面122分別朝向該上薄膜115以及下薄膜113(即可變形的側面110a, 110b)設置。在第五實施例中,整形面122是內凹的曲面,但不排除為其他型態(profile)曲面。底面124可為平面、突出之曲面或是內凹之曲面。
如圖10以及圖11所示,在第五實施例中,致動器130包含液體泵浦132以及管路134。各液體泵浦132透過對應之管路134連通於第一、第二液體空間R2,用於自第一液體空間R1及第二液體空間R2抽吸透光液體114,或泵送透光液體114至第一液體空間R1及第二液體空間R2,以改變透光液體114在第一液體空間R1及第二液體空間R2中的填充量。
如圖11所示,液體泵浦132透過管路134泵送透光液體114至第一液體空間R1及第二液體空間R2,而增加透光液體114在第一液體空間R1及第二液體空間R2中的填充量。此時,第一液體空間R1及第二液體空間R2將對外膨脹,而推動上薄膜115/下薄膜113朝向剛性透鏡120變形,並且進一步接觸剛性透鏡120的整形面122。隨著第一液體空間R1或/及第二液體空間R2持續對外膨脹,上薄膜115/下薄膜113將貼合於整形面122,而使得下薄膜113與整形面122具有相同的曲面型態,從而改變透光液體114的形態。二個液體泵浦132並不必然需要同步做作動,亦即透光液體114在第一液體空間R1及第二液體空間R2中的填充量可以個別設定,且二個整形面122也不必然具有相同的曲面型態,而使得液態透鏡110的二側面110a, 110b可以個別變化,達成所需要的光學特性。
請參閱圖12以及圖13所示,為本發明第六實施例所揭露的一種變焦透鏡模組100,包含液態透鏡110、剛性透鏡120以及致動器130。
如圖12以及圖13所示,液態透鏡110具有框架111、可撓性液體容器116、剛性透明板112以及透光液體114。框架111具有中空區域A,連通框架111的兩面。可撓性液體容器116可動地設置於框架111的中空區域A。可撓性液體容器116具有相對的上薄膜115以及下薄膜113,分別形成液態透鏡110的二側面,且是二可變形的側面。透光液體114填充於可撓性液體容器116中。剛性透明板112可動地且對應於中空區域A設置,並且接觸該下薄膜113以承載可撓性液體容器116。
如圖12以及圖13所示,剛性透鏡120設置於框架111,並且對應於中空區域A。剛性透鏡120以整形面122朝向可撓性液體容器116的上薄膜115。在第六實施例中,整形面122是外凸的曲面,特別是一球面,但不排除為其他型態(profile)曲面。底面124可為平面、外凸之曲面或是內凹之曲面。在第六實施例中,剛性透鏡120是固定設置於中空區域A,並以整形面122朝向可撓性液體容器116的上薄膜115。如圖中所示,整形面122是朝向框架111內部而朝向上薄膜115,而底面124是朝向框架111外部。
如圖12以及圖13所示,致動器130是一線性致動器,連接於剛性透明板112,用於驅動剛性透明板112朝向剛性透鏡120移動,以抬升可撓性液體容器116,藉以帶動上薄膜115朝向整形面122移動。
如圖13所示,隨著可撓性液體容器116被抬升,上薄膜115被整形面122壓迫變形而逐漸貼合於整形面122,而使得上薄膜115與整形面122具有相同的曲面型態,從而改變透光液體114的形態。
在前述一或多個實施例中,剛性透鏡120是固定設置於框架111而不相對於框架111移動,可以避免剛性透鏡120的位移導致光路偏移,特別是可以避免剛性透鏡120本身的光軸L在偏斜或平移而無法準確落在預期的位置的問題。因此,剛性透明板112作為移動端帶動可撓性液體容器116,剛性透鏡120作為固定端,以剛性透明板112帶動可撓性液體容器116,可以使得上薄膜115將剛性透鏡120空隙的部分填滿,達到預想的曲率變化,同時避免光軸L偏斜或平移。
請參閱圖14以及圖15所示,為本發明第七實施例所揭露的一種變焦透鏡模組100,包含液態透鏡110、剛性透鏡120以及致動器130。
如圖14以及圖15所示,液態透鏡110具有液體容器117’、下剛性透明板112a、上剛性透明板112b、以及透光液體114。液體容器117’具有可撓性的上薄膜115以及下薄膜113,形成液態透鏡110的二可變形的側面。透光液體114填充於液體容器117’中,使上薄膜115與下薄膜113包覆透光液體114。下剛性透明板112a用以接觸下薄膜113以承載液體容器117’,以使下薄膜113所形成的液態透鏡110的另一側面維持型態而不變形。
如圖14以及圖15所示,剛性透鏡120設置於液體容器117’中,底面124接觸下薄膜113,並且剛性透鏡120浸泡於透光液體114。剛性透鏡120以整形面122接觸上薄膜115,使得上薄膜115常態地貼合於整形面122,而具有與整形面122相同的曲率。在第七實施例中,整形面122是外凸的曲面,特別是一球面,但不排除為其他型態(profile)曲面。底面124可為平面,並且直接或間接地固定於下剛性透明板112a,以利用下剛性透明板112a支撐底面124,並且固定剛性透鏡120在光軸上的位置。上剛性透明板112b設置於上薄膜115之上,並且與上薄膜115保持間隙G。
如圖14以及圖15所示,致動器130具有懸臂131、壓制塊132’以及壓電元件133。懸臂131的一端固定於液體容器117’,另一端為自由端。壓制塊132’設置於懸臂131的自由端,並且對應於上薄膜115的局部配置。壓電元件133設置於懸臂131,用以驅動懸臂131變形,而帶動壓制塊132’壓制上薄膜115的局部配置。
如圖14所示,在致動器130未作動的情況下,上薄膜115貼合於漸貼合於整形面122,而使得上薄膜115與整形面122具有相同的曲面型態。
如圖15所示,在致動器130作動的情況下,透光液體114填充於上薄膜115與整形面122之間,使得液態透鏡110的型態改變而變更光學特性。隨著上薄膜115的向外膨脹變形,間隙G中的氣體可被排出,使得上薄膜115逐漸貼合於上剛性透明板112b。在不同實施例中,上剛性透明板112b可置換為另一剛性透鏡,具有朝向上薄膜115的另一整形面,而使得上薄膜115的向外膨脹變形後進行貼合而具有另一曲率。在不同實施例中,致動器130可為液體泵浦,直接以抽吸或泵送方式帶動透光液體114離開或進入液體容器117’。
參閱圖16所示,為致動器130的另一例示。致動器130具有磁性元件134’以及磁力線圈135。磁性元件134’固定於上薄膜115的局部。磁力線圈135結合於下剛性透明板112a,並且隔著液態透鏡117對應於磁性元件134’。磁力線圈135用以於通電產生磁力吸引磁性元件134’,而使磁性元件134’壓制上薄膜115的局部而擠壓透光液體114,使透光液體114填充於上薄膜115與整形面122之間。
如圖14以及圖15所示,在致動器130作動前以及作動後,上薄膜115都是貼合於剛性透鏡120/上剛性透明板112b,有效控制上薄膜115的曲率。兩段光學變焦的位置可以更精準的定位,而不是單靠薄膜的材料特性變形,進而提昇變焦/對焦的精準度。
請參閱圖17及圖18所示,分別為本發明第八實施例所揭露的一種變焦透鏡模組100,包含液態透鏡110及二致動器130。
液態透鏡110具有相對之二側面110a,110b,液態透鏡110的光軸通過二側面110a,110b,並且二側面110a,110b的至少其中之一為可變形的側面,液態透鏡110包含框架111、剛性透明板112、上薄膜115、下薄膜113、二固定器150及透光液體114。框架111具有中空區域A,連通框架111的兩面。剛性透明板112,設置於中空區域A,而分隔中空區域A為分別對應兩面的上區域A1、下區域A2。上薄膜115設置於上區域A1,並且在剛性透明板112與上薄膜115之間隔離出第一液體空間R1。下薄膜113設置於下區域A2,並且於剛性透明板112與下薄膜113之間隔離出第二液體空間R2,且第一液體空間R1與第二液體空間R2之間不連通。二固定器150位於中空區域A,且分別對應上薄膜115及下薄膜113設置,各固定器150環繞透光區域S,使液態透鏡110的光軸可通過透光區域S。透光液體114填充於第一液體空間R1以及第二液體空間R2,上薄膜115以及下薄膜113分別形成可變形的側面110a,110b。
各致動器130連接於液態透鏡110,各致動器130包含液體泵浦132以及管路134。各液體泵浦132透過對應之各管路134連通於第一液體空間R1及第二液體空間R2,用於泵送或抽吸透光液體114至第一液體空間R1及第二液體空間R2,而推動上薄膜115及下薄膜113變形。依據圖17及圖18所示實施例,藉由泵浦132抽吸或泵送液態透鏡110以控制上薄膜115及下薄膜113的變形,產生無段式焦距變化。
依據本發明一些實施例,透過整形面122直接接觸液態透鏡110的可變形的側面110a/110b,迫使可變形的側面110a/110b依據整形面122的形態變形。整形面122與可變形的側面110a/110b之間是面接觸,可避免折角產生,並且使側面110a/110b形成所需要的曲面,達到預定的變焦效果。依據一些實施例,藉由泵浦132抽吸或泵送液態透鏡110以控制上薄膜115及下薄膜113的變形,產生無段式焦距變化。
具體而言,剛性透鏡120的整形面122可為球面鏡或非球面,其可設置於液態透鏡110的內部或外部,以液體泵浦132或整形器140驅動整形面122與可變形的側面110a/110b接觸。具體分類如表1:
表1
類型 第1種 第2種 第3種 第4種 第5種 第6種 第7種 第8種
整形面種類 球面 球面 球面 球面 非球面 非球面 非球面 非球面
剛性透鏡位置 在內部 在內部 在外部 在外部 在內部 在內部 在外部 在外部
驅動方式 液體泵浦驅動可變形的側面 整形器推動可變形的側面 液體泵浦驅動可變形的側面 整形器推動剛性透鏡位移 液體泵浦驅動可變形的側面 整形器推動可變形的側面 液體泵浦驅動可變形的側面 整形器推動可變形的側面
100:變焦透鏡模組 1:液態透鏡 110:液態透鏡 110a:側面 110b:側面 111:框架 112:剛性透明板 113:下薄膜 114:透光液體 115:上薄膜 116:可撓性液體容器 117:液態透鏡 117’:液體容器 120:剛性透鏡 122:整形面 124:底面 130:致動器 131:懸臂 132:泵浦 132’:壓制塊 133:壓電元件 134’:磁性元件 134:管路 140:整形器 150:固定器 2:透光液體 3:中空容器 4:透明玻璃 5:薄膜 6:整形器 L:光軸 A:中空區域 A1:上區域 A2:下區域 G:間隙 S:透光區域 R:液體空間 R1:第一液體空間 R2:第二液體空間
[圖1] 係習知一實施例之液態透鏡之側視圖。 [圖2] 係本發明第一實施例所揭露的變焦透鏡模組之側視圖。 [圖3] 係本發明第一實施例所揭露的變焦透鏡模組之側視圖。 [圖4] 係本發明第一實施例所揭露的變焦透鏡模組之側視圖。 [圖5] 係本發明第二實施例所揭露的變焦透鏡模組之側視圖。 [圖6] 係本發明第二實施例所揭露的變焦透鏡模組之側視圖。 [圖7] 係本發明第三實施例所揭露的變焦透鏡模組之側視圖。 [圖8] 係本發明第三實施例所揭露的變焦透鏡模組之側視圖。 [圖9] 係本發明第四實施例所揭露的變焦透鏡模組之側視圖。 [圖10] 係本發明第五實施例所揭露的變焦透鏡模組之側視圖。 [圖11] 係本發明第五實施例所揭露的變焦透鏡模組之側視圖。 [圖12] 係本發明第六實施例所揭露的變焦透鏡模組之側視圖。 [圖13] 係本發明第六實施例所揭露的變焦透鏡模組之側視圖。 [圖14] 係本發明第七實施例所揭露的變焦透鏡模組之側視圖。 [圖15] 係本發明第七實施例所揭露的變焦透鏡模組之側視圖。 [圖16] 係本發明一實施例所揭露的致動器之側視圖。 [圖17] 係本發明第八實施例所揭露的變焦透鏡模組之側視圖。 [圖18] 係本發明第八實施例所揭露的變焦透鏡模組之側視圖。
100:變焦透鏡模組
110:液態透鏡
110a:側面
110b:側面
111:框架
112:剛性透明板
113:下薄膜
114:透光液體
115:上薄膜
120:剛性透鏡
122:整形面
130:致動器
140:整形器
L:光軸
A:中空區域
S:透光區域

Claims (21)

  1. 一種變焦透鏡模組,包含:一液態透鏡,具有相對之二側面;其中,該液態透鏡的一光軸通過該二側面,並且該二側面的至少其中之一為可變形的側面;一剛性透鏡,具有不為平面的一整形面;該剛性透鏡可以是設置於該液態透鏡的內部,或是設置於該液態透鏡與該致動器之間,並且該整形面朝向該可變形的側面;以及一致動器,連接於該液態透鏡以及該剛性透鏡其中之一,用以驅動該可變形的側面與整形面之間相對移動,使該整形面接觸並壓迫該可變形的側面變形。
  2. 如請求項1所述的變焦透鏡模組,其中,該剛性透鏡設置於液態透鏡的外部,並且該整形面是外凸的曲面。
  3. 如請求項2所述的變焦透鏡模組,其中,該液態透鏡包含:一框架,具有一中空區域,連通該框架的兩面;一剛性透明板以及一下薄膜,分別設置於該框架的兩面,以密封該中空區域,並且該剛性透明板以及該下薄膜分別形成該液態透鏡的該二側面,其中,該下薄膜形成該可變形的側面;以及一透光液體,填充於該中空區域。
  4. 如請求項3所述的變焦透鏡模組,更包含一整形器,該剛性透鏡設置於該整形器,且該整形器用於朝向該下薄膜移動。
  5. 如請求項4所述的變焦透鏡模組,其中,該致動器是一線性致動器,連接於該整形器,用於驅動該整形器朝向該下薄膜移動。
  6. 如請求項3所述的變焦透鏡模組,其中,該致動器是一線性致動器,並直接連接於該剛性透鏡,以驅動該剛性透鏡朝向該下薄膜移動。
  7. 如請求項1所述的變焦透鏡模組,其中,該剛性透鏡設置於該液態透鏡的內部,並且該整形面是外凸的曲面。
  8. 如請求項7所述的變焦透鏡模組,其中,該液態透鏡包含:一框架,具有一中空區域,連通該框架的兩面;一剛性透明板以及一下薄膜,分別設置於該框架的兩面,以密封該中空區域,並且該剛性透明板以及該下薄膜分別形成該液態透鏡的該二側面,其中,該下薄膜形成該可變形的側面;以及一透光液體,填充於該中空區域。
  9. 如請求項8所述的變焦透鏡模組,其中,該剛性透鏡固定地設置於該中空區域,並且浸泡於該透光液體,且該整形面朝向該下薄膜。
  10. 如請求項9所述的變焦透鏡模組,其中,一整形器位於該液態透鏡之外,並且對應於該下薄膜設置,該整形器環繞一透光區域,使該液態透鏡的光軸可通過該透光區域;該致動器連接於該整形器,用於驅動該整形器朝向的該下薄膜移動,使該下薄膜的局部朝向該 整形面移動,經由該剛性透鏡壓迫該下薄膜而使該下薄膜貼合於該整形面。
  11. 如請求項3所述的變焦透鏡模組,其中,該致動器包含一液體泵浦以及一管路,該液體泵浦透過該管路連通於一液體空間,用於自該液體空間抽吸該透光液體,或泵送該透光液體至該液體空間,以改變該透光液體在該液體空間中的填充量。
  12. 如請求項3所述的變焦透鏡模組,其中,該液態透鏡的二側面都是可變形的側面,且該變焦透鏡模組具有二剛性透鏡以及二致動器;該二剛性透鏡分別該液態透鏡的外部,並且分別以各該整形面朝向該二可變形的側面其中之一;該二致動器分別連接該二剛性透鏡,分別驅動各該剛性透鏡朝向對應的可變形的側面移動,使各該整形面分別接觸並壓迫對應的該可變形的側面變形。
  13. 如請求項1所述的變焦透鏡模組,其中,該液態透鏡包含:一框架,具有一中空區域,連通該框架的兩面;一上薄膜以及一下薄膜分別設置於該框架的兩面,以密封該中空區域,並且該上薄膜以及該下薄膜分別形成該二可變形的側面;以及一透光液體,填充於該中空區域。
  14. 如請求項1所述的變焦透鏡模組,其中,該變焦透鏡模組包含二剛性透鏡以及二致動器,且該液態透鏡包含:一框架,具有一中空區域,連通該框架的兩面; 一剛性透明板,設置於該中空區域,而分隔該中空區域為分別對應兩面的一上區域、一下區域;一上薄膜,設置於該上區域,並且在該剛性透明板與該上薄膜之間隔離出一第一液體空間;一下薄膜,設置於該下區域,並且於該剛性透明板與該下薄膜之間隔離出一第二液體空間,且該第一液體空間與該第二液體空間之間不連通;以及一透光液體,填充於該第一液體空間以及該第二液體空間,該上薄膜以及該下薄膜分別形成可變形的側面;其中,各該剛性透鏡固定於該框架中,並且位於該第一液體空間、該第二液體空間之外,且各該整形面分別朝向該上薄膜以及該下薄膜。
  15. 如請求項14所述的變焦透鏡模組,其中,各該致動器包含一液體泵浦以及一管路;各該液體泵浦透過對應之各該管路連通於該第一、第二液體空間,用於自該第一、第二液體空間抽吸該透光液體,或泵送該透光液體至該第一液體空間、該第二液體空間,以改變該透光液體在該第一液體空間及該第二液體空間中的填充量。
  16. 如請求項14所述的變焦透鏡模組,其中,各該整形面是內凹的曲面。
  17. 如請求項1所述的變焦透鏡模組,其中,該液態透鏡包含:一框架,具有一中空區域,連通該框架的兩面; 一可撓性液體容器,可動地設置於該中空區域;其中,該可撓性液體容器具有相對的一上薄膜以及一下薄膜,型形成該液態透鏡的二側面;一剛性透明板,可動地且對應於中空區域設置,並且接觸該下薄膜以承載該可撓性液體容器;以及一透光液體,填充於該可撓性液體容器;其中,該剛性透鏡設置於該框架,並且對應於該中空區域,該剛性透鏡以該整形面朝向該上薄膜,該致動器用於驅動該剛性透明板朝向該剛性透鏡移動,以抬升該可撓性液體容器,藉以帶動該上薄膜朝向該整形面移動。
  18. 如請求項1所述的變焦透鏡模組,其中,該液態透鏡包含:一液體容器,具有可撓性的一上薄膜,形成該可變形的側面;一下剛性透明板,用以承載該液體容器;以及一透光液體,填充於該液體容器中;其中,該剛性透鏡設置於該液體容器中,並且該浸泡於該透光液體;該整形面接觸該上薄膜,使得該上薄膜常態地貼合於該整形面;該致動器用以使該透光液體填充於該上薄膜與該整形面之間。
  19. 如請求項18所述的變焦透鏡模組,更包含一上剛性透明板,設置於該上薄膜之上,並且與該上薄膜保持一間隙。
  20. 如請求項18所述的變焦透鏡模組,其中,該液體容器更包含一下薄膜,該上薄膜與該下薄膜包覆透光液體,該下剛性透明板 用以接觸該下薄膜以承載該液體容器,且該剛性透鏡以一底面接觸該下薄膜。
  21. 一種變焦透鏡模組,包含:一液態透鏡,具有相對之二側面,該液態透鏡的一光軸通過該二側面,並且該二側面的至少其中之一為可變形的側面,該液態透鏡包含:一框架,具有一中空區域,連通該框架的兩面;一剛性透明板,設置於該中空區域,而分隔該中空區域為分別對應兩面的一上區域、一下區域;一上薄膜,設置於該上區域,並且在該剛性透明板與該上薄膜之間隔離出一第一液體空間;一下薄膜,設置於該下區域,並且於該剛性透明板與該下薄膜之間隔離出一第二液體空間,且該第一液體空間與該第二液體空間之間不連通;二固定器,位於該中空區域,且分別對應該上薄膜及該下薄膜設置,各該固定器環繞一透光區域,使該液態透鏡的光軸可通過該透光區域;以及一透光液體,填充於該第一液體空間以及該第二液體空間,該上薄膜以及該下薄膜分別形成可變形的側面;以及二致動器,各該致動器連接於該液態透鏡,各該致動器包含一液體泵浦以及一管路;各該液體泵浦透過對應之各該管路連通於該第一液體空間及該第二液體空間,用於泵送或抽吸該透光液體至該第一液體空間及該第二液體空間,而推動該上薄膜及該下薄膜變形。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115166930B (zh) * 2022-07-27 2023-12-22 维沃移动通信有限公司 摄像模组和电子设备

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007128084A (ja) * 2005-11-01 2007-05-24 Samsung Electro Mech Co Ltd 液体ズームレンズ
CN104391345A (zh) * 2014-07-24 2015-03-04 西安应用光学研究所 含梯度折射率材料的电润湿型可变焦液体透镜
TWI485442B (zh) * 2013-04-10 2015-05-21 Lustrous Electro Optic Co Ltd 液態透鏡封裝結構
TWI600917B (zh) * 2015-05-25 2017-10-01 超金光學有限公司 一種光變焦方法與模組及其應用

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102005024163A1 (de) * 2005-05-23 2006-11-30 Carl Zeiss Smt Ag Optisches System einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
TWI464480B (zh) * 2011-12-13 2014-12-11 Lin Rou Yu 可變焦之彈性透鏡組
JP2015511723A (ja) * 2012-02-29 2015-04-20 ウェッブ、ガース ティ.WEBB, Garth T. 屈折境界面のプリズムおよび曲率変化を変えるための方法および装置
US9690015B2 (en) * 2015-03-19 2017-06-27 Oceanus Investment Inc. Fluid lens assembly
JP7241678B2 (ja) * 2016-08-12 2023-03-17 オプトチューン スウィッツァーランド アクチェンゲゼルシャフト 浸漬されたレンズ整形器を用いた調整可能非円形流体レンズ
CN115963588A (zh) * 2017-06-30 2023-04-14 珀莱特股份有限公司 自适应透镜
EP3704535A1 (en) * 2017-11-05 2020-09-09 Optotune AG Tunable non-round spectacles with immersed lens shaper
US10852553B2 (en) * 2018-09-21 2020-12-01 Apple Inc. Electronic device with a tunable lens
US11422357B2 (en) * 2019-08-23 2022-08-23 Tdk Taiwan Corp. Optical system

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007128084A (ja) * 2005-11-01 2007-05-24 Samsung Electro Mech Co Ltd 液体ズームレンズ
TWI485442B (zh) * 2013-04-10 2015-05-21 Lustrous Electro Optic Co Ltd 液態透鏡封裝結構
CN104391345A (zh) * 2014-07-24 2015-03-04 西安应用光学研究所 含梯度折射率材料的电润湿型可变焦液体透镜
TWI600917B (zh) * 2015-05-25 2017-10-01 超金光學有限公司 一種光變焦方法與模組及其應用

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