TWI789529B - 多晶片模組(mcm)組件 - Google Patents
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Abstract
一種多晶片模組(MCM)組件,包含:一石墨基板,其具有一前表面及一後表面且包含安裝於該前表面上之複數個矽晶片;一印刷佈線板(PWB),其附著至該石墨基板且具備包圍該等矽晶片之外輪廓的開口,該石墨基板包含在該後表面上之一或多個墨水通道及穿過該石墨基板且與該各別一或多個墨水通道流體連通之一或多個墨水饋入槽,使得該等矽晶片中之每一者可饋入有一或多種不同類型之墨水,該MCM組件進一步包含用以覆蓋該石墨基板之該一或多個墨水通道之一石墨蓋板。
Description
本發明係關於一種熱墨水列印技術,尤其,係關於一種寬頁列印技術,且詳言之,係關於一種多晶片模組組件。
多晶片模組(multi-chip module; MCM)之概念已在長時間內被熟知,技術和經濟原因勸阻製造者不增加矽晶片之長度。因此,較長且較有效之列印行可僅經由複數個矽晶片來合理地獲得,矽晶片恰當地安置於剛性基板上,且藉此形成MCM。以一合適方式將一單一MCM之外輪廓成形允許經由若干MCM之簡單並置建置甚至更長的列印條。
US 5016023揭露一種包含列印頭之結構,該等列印頭相對於鄰近列印頭偏移至少等於一列印頭之一寬度尺寸的一量。所揭露之結構涉及將陶瓷材料用作適合於承受某些高溫之基板。然而,陶瓷基板之製造製程相當昂貴,因為其需要特定模具來立刻得到所要的形狀,或替代地,使用某一硬模設備來機械加工此硬材料。此外,在US 5016023中揭露的匯流排線及IC封裝之集合亦相當複雜,且因此技術效率低、不可靠且無成本效益。
US 5939206描述一種裝置,其包含安置於一基板上之至少一個半導體晶片,該基板包含一多孔導電部件,該部件具有電泳沈積於其上的一聚合材料之一塗層,其中該多孔導電部件包含石墨或一燒結材料。然而,電泳沈積線之構造及維修相當昂貴,此使裝置製造製程複雜且成本高。
因此,本發明之一目標為克服先前技術之缺點,及提供一多晶片模組組件,歸因於消除了複雜操作及使用模製零件之需求,其簡單、穩固、有效、安全、廉價、易於製造,且其具有總體改良之可靠性。
根據一個態樣,本發明係關於一種多晶片模組(multi-chip module; MCM)組件,其包含:
一石墨基板,其具有一前表面及一後表面且包含安裝於該前表面上之複數個矽晶片,
其中該MCM組件進一步包含一印刷佈線板(Printed Wiring Board; PWB),其附著至該石墨基板且具備包圍該等矽晶片之外輪廓的開口,該石墨基板包含在該後表面上之一或多個墨水通道及穿過該石墨基板且與該各別一或多個墨水通道流體連通之一或多個墨水饋入槽,使得該等矽晶片中之每一者可饋入有一或多種不同類型之墨水,且
其中該MCM組件進一步包含一石墨蓋板,其用以覆蓋該石墨基板之該一或多個墨水通道。
具備包圍該MCM組件之該等矽晶片之開口的一簡單印刷佈線板(Printed Wiring Board; PWB)之使用提供實現電接點之一簡單方式,即使結合墊沿著該晶片之相對側分佈。歸因於墨水口與直接在該石墨基板上之墨水通道的整合,不需要如在先前技術中經成形以容納該等墨水通道的一模製墨水口。與該石墨基板結合之石墨蓋板提供一緊湊模組,易於製造及易於安裝至主要設備/自主要設備移除。
根據本發明之再一態樣,該MCM組件進一步包含佈置於該石墨蓋板與該石墨基板之間的一預浸漬的複合纖維之一中間黏著層。一預浸漬的複合纖維之該中間黏著層包含與該石墨基板之該等墨水通道保形之孔隙。
根據本發明之再一態樣,該石墨蓋板之一內表面係平的。替代地,該石墨蓋板之一內表面可包含與該石墨基板之該等墨水通道保形之墨水通道。
根據本發明之再一態樣,該PWB藉由具有與該石墨基板之該等墨水通道保形之孔隙的一預浸漬的複合纖維之一中間黏著層附著至該石墨基板。替代地,該PWB可包含具有與該石墨基板之該等墨水通道保形之孔隙的一預浸漬的複合纖維之一層。
較佳地,該石墨蓋板包含具有密封O形環之墨水入口及出口。此實現在插入於該列印設備中後的該模組之氣密性密封。
根據本發明之再一態樣,在該石墨蓋板與該石墨基板之間的該預浸漬的複合纖維屬於與在該PWB與該石墨基板之間的該預浸漬的複合纖維相同的類型。替代地,在該石墨蓋板與該石墨基板之間的該預浸漬的複合纖維屬於與在該PWB與該石墨基板之間的該預浸漬的複合纖維不同的類型。
下文將參考附圖更充分地描述本發明,其中相同數字貫穿不同圖表示相同元件,且其中說明本發明之顯著態樣及特徵。
為了增大列印頭中的行長度,一種可能解決方案為將複數個矽晶片對準至一單一基板上,從而形成一多晶片模組(Printed Wiring Board; MCM)以獲得有效較大列印行。
基板材料應為硬的,以便避免可損壞矽晶片之可能的危險彎曲,且其熱膨脹係數(Coefficient of Thermal Expansion; CTE)應靠近矽之CTE,以便防止在組裝後引起之大應力。其應易於機械加工以提供用於晶片固定之平表面及用於組裝之所有細節:用於自背側饋入墨水之墨水槽、用於至外部支撐件之MCM固定之軸套外殼、容納耐水膠之溝槽等等。燒結石墨為用於此目的之合適材料:其可滿足所有提到之要求,且此外,其廉價。燒結石墨之板可例如購自TOYO TANSO——大阪(日本)。燒結石墨之一可能缺點為其孔隙率,其允許材料吸墨水,尤其當使用溶劑墨水時。然而,合適的密封劑及化學相容膠水(諸如但不限於,在WO 2017198819 A1或WO 2017198820 A1中揭露之密封劑及化學相容膠水)之實施實現在用密封劑處理後將矽晶片附著至石墨基板。
根據本發明,印刷佈線板(Printed Wiring Board; PWB)固定至該MCM之基板,以提供與複數個矽晶片之電連接。將矽晶片組裝至基板上,該熱機械穩定性允許維持噴射元件之各別位置及對準,而PWB提供與外部控制器之電連接。若將矽晶片直接組裝至PWB上,則其不良熱機械穩定性將阻止噴射元件之穩定各別定位,對列印品質具有不利效應。
如在第1圖中所說明,為了提供至矽晶片之合適電接點,PWB 11具有包圍矽晶片2之外輪廓之開口8。參考MCM中的右下方矽晶片之右側,虛線圓圈10中圍封之區域包括在相互面對之矽晶片及PWB兩者上之結合墊,其經由合適方法(例如,線結合)與導電線連接。在線結合後可塗覆密封膠,以便併有晶片及板兩者之結合墊,與連接線一起,以便給予電保護及機械保護。
下伏石墨基板之外輪廓由虛線9指示。由MCM及附著之PWB構成之結構形成MCM組件,其中晶片墊與板墊電連接。
與PWB經由雙側黏著性膠帶附著至MCM之下伏基板的先前技術大不相同,已開發用於將PWB結合至MCM之基板的更高效方法。其在於使用中間黏著層,該中間黏著層為預浸漬的複合纖維之薄層,包括熱固性材料或所謂的預浸漬體。預浸漬體可例如購自TUC——竹北(臺灣)。熱固性材料僅部分固化,以有助於搬運。藉由在長時間(約3小時)內將高壓(約20巴)及高溫(約200℃)施加至由PWB+預浸漬體+基板構成之「三明治」,獲得該等零件之間的非常可靠結合。PWB可包含初步安置至表面上且合適地成形以便與PWB輪廓保形之中間黏著層(或預浸漬體層)。
為了產生自PWB至外部控制器之電接觸,可使用不同方法。可採用安裝於PWB上之標準多接腳插口,其能夠容納連接至可撓性電纜之插塞,可撓性電纜又進入控制器。然而,此解決方案展示關於機械穩定性的在插塞與插口之間的電接觸之不良可靠性,且在MCM之正常工作期間找到未接觸並不稀少罕見。
可使用一系列「彈簧針」作為列印設備上之接觸陣列來獲得更穩定接觸,在PWB上具有對應的接觸墊陣列。彈簧針接觸器例如可購自INGUN——Fino Mornasco(意大利)。由於每一針係彈簧加載,因此該等零件之間的接觸之機械強度更高得多,且電連續性變得穩定。另一方面,陣列中的針之較高數目暗示相當大的總偏置力,其又轉移至PWB。鑒於此,用於將PWB結合至石墨基板之預浸漬體解決方案變得非常有效,以便提供該等零件之間的非常強的結合,從而減小當偏置接觸針時拆離之風險。作為再一替代方案(未展示),可使用具有內嵌於剛性結構中之一可撓性電纜之PWB,其中可撓性電纜之延伸的外部分與一系列接觸墊端接,以又插入至一外部插口內。
第2圖說明將墨水口及墨水通道直接整合至容納六個晶片之石墨基板內之一實施例。石墨基板21之後表面展示分別用於兩個類型之墨水的獨立墨水通道17及18。經由石墨基板21實現墨水饋入槽19及20,其分別與墨水通道17及18流體連通,以便安裝於石墨基板21之相對側處的MCM中的矽晶片中之每一者可饋入有兩種墨水。
由於墨水通道內嵌於石墨基板21中,因此不存在對如在先前技術中經成形以容納該等墨水通道的一模製墨水口之需求。
應用於基板之背部上以在基板表面處閉合通道的一蓋板22係足夠的。蓋板22由輕且易於機械加工之石墨製成,且包含對應於墨水通道17及18之端部的合適墨水入口及出口,如在第3圖中所說明。
在描繪之實施例中,蓋板具備四個墨水入口/出口,此係由於設計MCM以便經由兩個不同通道傳遞墨水,例如,以用兩種不同墨水列印。事實上,墨水入口23及墨水出口24對應於第2圖中之墨水通道17之端部部分,而墨水入口25及墨水出口26對應於墨水通道18。
為了避免如在先前技術中使用突出軟管配件,每一墨水埠可容納O形環29,以在插入於列印設備(未展示)中後提供模組之氣密性密封。在其操作佈置中,抵靠列印設備推動MCM,列印設備又具有合適的支座與O形環形成對照。藉由此設計,不需要插入於墨水埠中之墨水軟管,且安裝MCM及自列印設備拆卸MCM變得容易得多。
如在第4圖中說明,蓋板22之內表面32可為平的,或具備墨水通道。詳言之,蓋板22之內表面32平的解決方案描繪於第4A圖中。在此情況下,內表面32僅充當在第2圖中描繪的石墨基板21之墨水通道17及18之頂板。作為一替代方案,在石墨蓋板22中實現分別與石墨基板21中之墨水通道17及18保形之墨水通道37及38,如在第4B圖中所描繪,以便增大實際通道橫截面。此解決方案係有用的,例如,當需要寬通道橫截面時及當必須避免歸因於通道之大深度的材料之可能弱化(若通道全部在基板中製作,則可能會發生)時。
為了有效地結合石墨蓋板22與石墨基板21,採用另一創新性解決方案,其表示相對於基於黏著膠之習知方法之改良。本解決方案在於將預浸漬的複合纖維之中間黏著層30置放於兩個部分之間,如在第5圖中所說明,而非塗覆黏著膠。
第5圖中之中間黏著層30為預浸漬的複合纖維之薄層,包括熱固性材料,如所謂的預浸漬體,其可為用以將PWB結合至石墨基板之相同材料,或可為具有黏著性質之不同複合纖維材料。
在此實施例中,石墨蓋板(未展示)包含一非常平之表面,其與中間黏著層30充分相容。在中間黏著層30中實現合適的孔隙27及28,且其分別與基板通道17及18(第2圖中描繪)保形,以便延伸通道壁,從而增大實際通道深度。用於石墨基板之相同密封劑可用於石墨蓋,以便防止由其孔隙率造成之問題。
形狀分別似墨水通道17及18的中間黏著層30中之孔隙27及28允許墨水口23、24、25及26與墨水通道17及18之流體連通,且經由墨水饋入槽19及20,墨水可流動至噴射晶片。
對任何熟習此項技術者充分明顯的是,在不脫離本發明之範疇之情況下,藉由僅使用一種墨水之MCM或甚至藉由使用多於兩種墨水之MCM,在一些簡單調整後,可實現描述之實施例。
亦明顯的是,在中間黏著層30中之孔隙27及28可限定至墨水口區域,以便保證至墨水通道之墨水流,其限制性條件為,石墨基板21中之墨水通道足夠深。在此不同解決方案(未展示)中,石墨基板中之墨水饋入槽應僅藉由在石墨基板中實現之墨水通道供應有墨水。又,蓋板之內表面可為平的或其亦可具備與墨水入口及出口連通之墨水通道,僅為了增大墨水再流通流動速率。
在高溫及高壓下結合的夾在石墨基板21與石墨蓋板22之間的中間黏著層30提供穩固且有效的組裝,其中墨水通道及噴射晶片包括於緊湊結構中。
在第6圖中以分解圖(第6A圖)以及以組裝圖說明組成根據本發明的完整多晶片模組組件之零件之全集,組裝圖分裂為後視圖(第6B圖)及正視圖(第6C圖)。預浸漬體層之最終固化較佳地在一唯一階段中對包括PWB的零件之全集進行。
在一個實施例中,在石墨蓋板與石墨基板之間的預浸漬體層(預浸漬的複合纖維)屬於與在PWB與石墨基板之間的預浸漬體層(預浸漬的複合纖維)相同的類型。替代地,在石墨蓋板與石墨基板之間的預浸漬體層(預浸漬的複合纖維)屬於與在該PWB與該石墨基板之間的預浸漬體(預浸漬的複合纖維)不同的類型。
如上提到,可構成MCM組件的零件之集合說明於第6A圖中。其自上而下包含:具有O形環29之一石墨蓋板22;預浸漬的複合纖維(預浸漬體)之一中間黏著層30;在背側具有墨水通道之一石墨基板21;安裝於石墨基板之相對表面處的複數個矽晶片2;具備開口8及一陣列接觸墊31之一PWB 11。PWB 11之面向石墨基板21之表面由用於結合之一合適的預浸漬體層組成。接觸墊31之陣列與列印設備中的彈簧偏置之「彈簧針」之對應陣列一致。
根據關於操作條件之方便性,可替代地使用描述的實施例中之一些,而一些其他實施例可接合在一起以得到表現極佳之列印設備,如可易於由熟習此項技術者理解。
與其他已知多晶片模組組件相比,描述之發明提供一種多晶片模組組件,歸因於消除了複雜操作及使用模製零件之需求,其簡單、穩固、有效、安全、廉價、易於製造,且其具有總體改良之可靠性。
以上揭露之標的應被視為說明性,且非限制性,且用以提供由獨立請求項定義的本發明之更好理解。
2:矽晶片
8:開口
9:下伏石墨基板之外輪廓
10:區域
11:印刷佈線板(PWB)
17:墨水通道
18:墨水通道
19:墨水饋入槽
20:墨水饋入槽
21:石墨基板
22:蓋板
23:墨水入口
24:墨水出口
25:墨水入口
26:墨水出口
27:孔隙
28:孔隙
29:O形環
30:中間黏著層
31:接觸墊
32:蓋板之內表面
37:墨水通道
38:墨水通道
第 1 圖
為根據本發明的MCM組件之示意圖。第 2 圖
提供多晶片模組之總圖。第 3 圖
提供蓋板之總圖。第 4A 圖
至第 4B 圖
說明蓋板之兩個替代性實施例,其中蓋板之內表面係平的(第4A圖)且其中蓋板之內表面包含墨水通道(第4B圖)。第 5 圖
提供預浸漬的複合纖維之中間黏著層之示意圖。第 6A 圖
至第 6C 圖
以分解圖(第6A圖)及以組裝圖說明組成根據本發明的完整多晶片模組組件之零件之全集,組裝圖以後視圖(第6B圖)及以正視圖(第6C圖)描繪。
國內寄存資訊 (請依寄存機構、日期、號碼順序註記)
無
國外寄存資訊 (請依寄存國家、機構、日期、號碼順序註記)
無
17:墨水通道
18:墨水通道
19:墨水饋入槽
20:墨水饋入槽
21:石墨基板
Claims (9)
- 一種多晶片模組(MCM)組件,其包含:一石墨基板(21),其具有一前表面及一後表面且包含安裝於該前表面上之複數個矽晶片(2),其特性在於,該MCM組件進一步包含一印刷佈線板(PWB)(11),其附著至該石墨基板(21)且具備包圍該等矽晶片(2)之外輪廓的開口(8),該石墨基板(21)包含在該後表面上之一或多個墨水通道(17、18)及穿過該石墨基板(21)且與該各別一或多個墨水通道(17、18)流體連通之一或多個墨水饋入槽(19、20),使得該等矽晶片(2)中之每一者可饋入有一或多種不同類型之墨水,其中該PWB(11)藉由具有與該石墨基板之該等墨水通道保形之孔隙的一預浸漬的複合纖維之一中間黏著層(30)附著至該石墨基板(21),且其中該MCM組件進一步包含一石墨蓋板(22),其用以覆蓋該石墨基板(21)之該一或多個墨水通道(17、18)。
- 如請求項1所述之組件,進一步包含佈置於該石墨蓋板(22)與該石墨基板(21)之間的一預浸漬的複合纖維之一中間黏著層(30)。
- 如請求項2所述之組件,其中一預浸漬的複 合纖維之該中間黏著層(30)包含與該石墨基板(21)之該等墨水通道(17、18)保形之孔隙(27、28)。
- 如請求項1所述之組件,其中該石墨蓋板(22)之一內表面(32)係平的。
- 如請求項1所述之組件,其中該石墨蓋板(22)之一內表面(32)包含與該石墨基板(21)之該等墨水通道(17、18)保形之墨水通道(37、38)。
- 如請求項1所述之組件,其中該PWB包含具有與該石墨基板之該等墨水通道保形之孔隙的一預浸漬的複合纖維之一層。
- 如請求項1所述之組件,其中該石墨蓋板(22)包含具有密封O形環(29)之墨水入口及出口(23、24、25、26)。
- 如請求項1所述之組件,其中在該石墨蓋板(22)與該石墨基板(21)之間的該預浸漬的複合纖維屬於與在該PWB(11)與該石墨基板(21)之間的該預浸漬的複合纖維相同的類型。
- 如請求項1所述之組件,其中在該石墨蓋板(22)與該石墨基板(21)之間的該預浸漬的複合纖維屬於與在該PWB(11)與該石墨基板(21)之間的該預浸漬的複合纖維不同的類型。
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