TWI787781B - 監控自動光學檢測裝置的方法及系統 - Google Patents

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Abstract

本揭露提出一種監控自動光學檢測裝置的方法，包括：藉由一自動光學檢測(Automatic Optical Inspection，AOI)裝置產生錯誤日誌(log)資訊；以及藉由一計算裝置接收上述自動光學檢測裝置所傳送之上述錯誤日誌資訊，將上述錯誤日誌資訊經過一統計運算取得一統計值；以及藉由一計算裝置使用一檢定方法判斷上述統計值是否超出一閾值。

Description

監控自動光學檢測裝置的方法及系統
本揭露係有關於一種監控自動光學檢測(Automatic Optical Inspection，AOI)裝置的方法及系統，且特別係有關於利用大數據分析之一種監控自動光學檢測裝置的方法及系統。
自動光學檢測(Automated Optical Inspection，AOI)技術可實現晶圓、晶片或其他待測物件的快速、高精度、無損傷檢測。此該技術廣泛地應用於PCB、IC晶圓、LED、TFT以及太陽能面板等多個領域。自動光學檢測技術一般採用高精度光學成像系統對待測物件進行成像，工作台承載待檢測物件進行高速掃描以實現高速測量。系統將掃描的圖像和理想參考圖像進行比較，或透過特徵提取等方式，識別出待檢測物件的表面缺陷。然而，當自動光學檢測裝置失效時，未能及時發現，則會影響稼動率。
因此，需要一種監控自動光學檢測裝置的方法及系統，以改善上述問題。
以下揭露的內容僅為示例性的，且不意指以任何方式加以限制。除所述說明方面、實施方式和特徵之外，透過參照附圖和下述具體實施方式，其他方面、實施方式和特徵也將顯而易見。即，以下揭露的內容被提供以介紹概念、重點、益處及本文所描述新穎且非顯而易見的技術優勢。所選擇，非所有的，實施例將進一步詳細描述如下。因此，以下揭露的內容並不意旨在所要求保護主題的必要特徵，也不意旨在決定所要求保護主題的範圍中使用。
因此，本揭露之主要目的即在於提供一種監控自動光學檢測裝置的方法及系統，以改善上述缺點。
本揭露提出一種監控自動光學檢測裝置的系統，包括：包括：一自動光學檢測(Automatic Optical Inspection，AOI)裝置，產生錯誤日誌(log)資訊；以及一計算裝置，接收上述自動光學檢測裝置所傳送之上述錯誤日誌資訊，將上述錯誤日誌資訊經過一統計運算取得一統計值，並使用一檢定方法判斷上述統計值是否超出一閾值。
本揭露提出一種監控自動光學檢測裝置的方法，包括：藉由一自動光學檢測裝置產生錯誤日誌資訊；以及藉由一計算裝置接收上述自動光學檢測裝置所傳送之上述錯誤日誌資訊，將上述錯誤日誌資訊經過一統計運算取得一統計值；以及藉由一計算裝置使用一檢定方法判斷上述統計值是否超出一閾值。
在下文中將參考附圖對本揭露的各方面進行更充分的描述。然而，本揭露可以具體化成許多不同形式且不應解釋為侷限於貫穿本揭露所呈現的任何特定結構或功能。相反地，提供這些方面將使得本揭露周全且完整，並且本揭露將給本領域技術人員充分地傳達本揭露的範圍。基於本文所教導的內容，本領域的技術人員應意識到，無論是單獨還是結合本揭露的任何其它方面實現本文所揭露的任何方面，本揭露的範圍旨在涵蓋本文中所揭露的任何方面。例如，可以使用本文所提出任意數量的裝置或者執行方法來實現。另外，除了本文所提出本揭露的多個方面之外，本揭露的範圍更旨在涵蓋使用其它結構、功能或結構和功能來實現的裝置或方法。應可理解，其可透過申請專利範圍的一或多個元件具體化本文所揭露的任何方面。
詞語「示例性」在本文中用於表示「用作示例、實例或說明」。本揭露的任何方面或本文描述為「示例性」的設計不一定被解釋為優選於或優於本揭露或設計的其他方面。此外，相同的數字在所有若干圖示中指示相同的元件，且除非在描述中另有指定，冠詞「一」和「上述」包含複數的參考。
可以理解，當元件被稱為被「連接」或「耦接」至另一元件時，該元件可被直接地連接到或耦接至另一元件或者可存在中間元件。相反地，當該元件被稱為被「直接連接」或「直接耦接」至到另一元件時，則不存在中間元件。用於描述元件之間的關係的其他詞語應以類似方式被解釋（例如，「在…之間」與「直接在…之間」、「相鄰」與「直接相鄰」等方式）。
本揭露實施例提供一種監控自動光學檢測裝置的方法及系統，利用統計學及大數據分析技術，以進一步解決自動光學檢測裝置出現運行錯誤的問題。
第1圖係顯示根據本發明一實施例中監控自動光學檢測裝置的系統100的示例性示意圖。系統100可至少包括複數自動光學檢測裝置110A～110D、伺服器120、計算裝置130及複數接收端電腦140A～140D。
自動光學檢測裝置110A～110D可分別產生各自的錯誤日誌資訊並將錯誤日誌資訊傳送至伺服器120，其中上述錯誤日誌資訊包括：產線類別、AOI光學系統類型、AOI裝置名稱、錯誤嚴重程度、時間標記以及錯誤類型。
伺服器120連接至自動光學檢測裝置110A～110D及計算裝置130，收集上述自動光學檢測裝置110A～110D於一檢證週期所傳送之錯誤日誌資訊，並傳送錯誤日誌資訊至計算裝置130。在一實施例中，上述檢證週期係為一個月。
計算裝置130的類型範圍從小型手持裝置（例如，行動電話∕可攜式電腦）到大型主機系統（例如大型電腦）。計算裝置130接收由伺服器120於一檢證週期所收集之錯誤日誌資訊，並根據上述錯誤日誌資訊判斷自動光學檢測檢測裝置110A～110D是否出現運行錯誤。
當計算裝置130判斷自動光學檢測檢測裝置110A～110D出現運行錯誤時，將傳送一警告訊號至對應自動光學檢測檢測裝置110A～110D的接收端電腦140A～140D。接收端電腦140A～140D接收由計算裝置130所傳送的警告訊號後，將通知使用者自動光學檢測檢測裝置110A～110D出現運行錯誤。
在此系統中，自動光學檢測裝置110A～110D、伺服器120、計算裝置130及複數接收端電腦140A～140D可直接連接或透過網路相連接。
於一些實施例中，自動光學檢測檢測裝置110A～110D及接收端電腦140A～140D可使用的數量更可被擴充為多於四個或少於四個，因此本發明並不侷限於第1圖所示之實施方式。
應可理解，第1圖所示的自動光學檢測裝置110A～110D、伺服器120、計算裝置130及複數接收端電腦140A～140D係一監控自動光學檢測裝置的系統100架構的示例。第1圖所示的每個元件可經由任何類型的電子裝置來實現。
在一實施例中，自動光學檢測裝置110A～110D可用於進行光學膜的檢查。在一實施例中，光學膜可包含聚乙烯醇(polyvinyl alcohol，PVA)樹脂膜。在一些實施例中，光學膜可包含對光學之增益、配向、補償、轉向、直交、擴散、保護、防黏、耐刮、抗眩、反射抑制、高折射率等有所助益的膜片。
第2圖係顯示根據本揭露一實施例所述之監控自動光學檢測裝置的方法200之流程圖。此方法可執行於如第1圖所示之系統100中。
在步驟S205中，自動光學檢測裝置產生錯誤日誌(log)資訊，其中上述錯誤日誌資訊包括：產線類別、AOI光學系統類型、AOI裝置名稱、錯誤嚴重程度、時間標記以及錯誤類型。
在一實施例中，上述AOI光學系統類型包括：穿透檢查、反射檢查、直交檢查。
接著，在步驟S210中，計算裝置接收上述自動光學檢測裝置所傳送之上述錯誤日誌資訊，將上述錯誤日誌資訊經過一統計運算取得一統計值。在一實施例中，上述統計運算可為中央極限定理。
再來，在步驟S215中，計算裝置使用一檢定方法判斷上述統計值是否超出一閾值。在一實施例中，上述檢定方法可為雙尾檢定。
當計算裝置判斷上述統計值超出閾值時（步驟S215中的「是」），在步驟S220中，計算裝置傳送一警告訊號，以通知上述自動光學檢測檢測裝置出現運行錯誤。更詳細地說明，計算裝置會先傳送一警告訊號至接收端電腦。在接收端電腦接收由上述計算裝置所傳送的上述警告訊號後，將通知一使用者上述自動光學檢測裝置出現運行錯誤。
當計算裝置判斷上述統計值未超出閾值時（步驟S215中的「否」），在步驟S225中，計算裝置判斷上述自動光學檢測裝置運行正常。
下方將詳細說明計算裝置如何在步驟S210中利用一統計運算取得一統計值以及在步驟S215中使用一檢定方法判斷上述統計值是否超出一閾值。
由於錯誤日誌資訊可包括不同等級的錯誤嚴重程度：等級1為自動光學檢測裝置會立即失效；等級2為自動光學檢測裝置不會立即失效，但有機率一段時間後自動光學檢測裝置會失效；以及等級3為自動光學檢測裝置不會立即失效，且導致自動光學檢測裝置失效機率不高。而本實施例係以自動光學檢測裝置不會立即失效，且導致自動光學檢測裝置失效機率不高的等級3進行說明。
須先說明的是，統計值可根據是否有大量的舊錯誤日誌資訊而有不同之計算方式，在此具三個例子進行說明。
方式一：需有大量的舊錯誤日誌資訊來與新錯誤日誌資訊做檢定
在方式一中，計算裝置已先取得大量（即，高於檢證週期數倍）的舊錯誤日誌資訊的平均數以及標準差。在此一實施例中，舊錯誤日誌資訊的檢證週期係為一年。
計算裝置先將於一檢證週期的新錯誤日誌資訊做中央極限定理，以使錯誤日誌資訊呈現常態分佈，其中此錯誤日誌資訊在檢證週期中每天自動光學檢測裝置發生之某一錯誤嚴重程度次數，此處為等級3的次數。根據上述常態分佈，可計算出一統計值Z。上述統計值Z係表示在新錯誤日誌資訊係為舊錯誤日誌資訊平均值的幾倍標準差
Figure 02_image001
，其中上述統計值Z可表示如下：
Figure 02_image003
(1) 其中，
Figure 02_image005
為在舊錯誤日誌資訊中每天自動光學檢測裝置發生錯誤嚴重程度為等級3的平均數、
Figure 02_image001
為在舊錯誤日誌資訊中每天自動光學檢測裝置發生錯誤嚴重程度為等級3的標準差、
Figure 02_image007
為在新錯誤日誌資訊中每天自動光學檢測裝置發生錯誤嚴重程度為等級3的平均數、 n係為檢證週期的天數。
接著，在計算裝置取得統計值Z後，可使用雙尾檢定判斷統計值Z是否超出一閾值。統計值Z是否超出閾值可以透過根據第3圖中所示的分佈函數300有更好地理解。例如，錯誤日誌資訊記錄等級3的次數有95%係分佈在範圍[
Figure 110112842-A0305-02-0011-12
-1.96σ，
Figure 110112842-A0305-02-0011-13
+1.96σ]上。因此，在此實施例中，定義閾值係為|
Figure 110112842-A0305-02-0011-14
±1.96σ|。也就是說，當統計值Z未超出閾值|
Figure 110112842-A0305-02-0011-15
±1.96σ|時，表示新錯誤日誌資訊與舊錯誤日誌資訊並無顯著差別，即自動光學檢測裝置的能力並未改變。
相反地，當統計值Z超出閾值|
Figure 110112842-A0305-02-0011-16
±1.96σ|時，表示新錯誤日誌資訊與舊錯誤日誌資訊有顯著差別，即自動光學檢測裝置的能力變差了。計算裝置傳送一警告訊號至對應此自動光學檢測裝置的接收端電腦，以通知一使用者上述自動光學檢測裝置出現運行錯誤，須立即查看。
方式二：不需有大量的舊錯誤日誌資訊來與新錯誤日誌資訊做檢定
在方式二中，計算裝置已先取得部份(例如，約一檢證週期)的舊錯誤日誌資訊的平均數以及標準差。在此一實施例中，舊錯誤日誌資訊的檢證週期係為新錯誤日誌資訊的前一個月。
計算裝置將最近一檢證週期的新錯誤日誌資訊做中央極限定理，以使錯誤日誌資訊呈現常態分佈，其中此錯誤日誌資訊在檢證週期中每天自動光學檢測裝置發生錯誤嚴重程度為等級3的次數。根據上述常態分佈，可計算出一統計值t。上述統計值t係表示在新錯誤日誌資訊係為舊錯誤日誌資訊平均值的幾倍標準差σ，其中上述統計值t可表示如下：
Figure 110112842-A0305-02-0012-1
 其中，
Figure 110112842-A0305-02-0012-2
為舊錯誤日誌資訊在上個月中自動光學檢測裝置發生錯誤嚴重程度為等級3的平均數、s 1為舊錯誤日誌資訊在上個月中自動光學檢測裝置發生錯誤嚴重程度為等級3的標準差、
Figure 110112842-A0305-02-0012-4
為新錯誤日誌資訊在這個月中自動光學檢測裝置發生錯誤嚴重程度為等級3的平均數、s 2為新錯誤日誌資訊在這個月中自動光學檢測裝置發生錯誤嚴重程度為等級3的標準差、n 1係為上個月的天數以及n 2係為這個月的天數。
在此實施例中，在計算裝置取得統計值t後，需計算舊錯誤日誌資訊與新錯誤日誌資訊的自由度。計算裝置再依據如表格1所示之自由度查表得知閾值，並可使用雙尾檢定判斷統計值t是否未超出閾值。若統計值t未超出閾值，則代表舊錯誤日誌資訊與新錯誤日誌資訊並無顯著差異。此判斷方式可由方式一之方式類推，在此不再贅述。
Figure 110112842-A0305-02-0012-5
Figure 110112842-A0305-02-0013-1
舉一例子說明，假設過去一檢證週期
Figure 02_image023
為一個月29天，自動光學檢測裝置發生錯誤嚴重程度為等級3的平均數
Figure 02_image027
是5次，標準差
Figure 02_image019
為9次。新的一驗證週期
Figure 02_image025
為一個月30天，自動光學檢測裝置發生錯誤嚴重程度為等級3的平均數
Figure 02_image029
是4次，標準差
Figure 02_image021
為4次。統計值t可表示如下：
Figure 02_image031
在計算出統計值t後，需計算系統查表取得過去一檢證週期及新檢證週期的自由度（degree of freedom，df）。自由度係根據df及α查表得知。df可表示如下：
Figure 02_image033
而α＝0.05，其中α＝0.05是指在統計值t之分佈函數中左尾機率及右尾機率為0.05以下的部份。經由表格1中的自由度查表可知，當α＝0.05且df為40時，閾值係為1.684。因此，統計值t＝0.548未超出閾值1.684，代表舊錯誤日誌資訊與新錯誤日誌資訊並無顯著差異。
方式三：具有新抽撿的舊錯誤日誌資訊即可
在方式三中，計算裝置已先取得去年（一整年）的舊錯誤日誌資訊的平均數以及標準差。
計算裝置將一檢證週期（去年中的其中一個月）的新錯誤日誌資訊做中央極限定理，以使錯誤日誌資訊呈現常態分佈，其中此錯誤日誌資訊在檢證週期中每天自動光學檢測裝置發生錯誤嚴重程度為等級3的次數。根據上述常態分佈，可計算出一統計值
Figure 02_image035
。上述統計值
Figure 02_image035
係表示在新錯誤日誌資訊係為舊錯誤日誌資訊平均值的幾倍標準差
Figure 02_image001
，其中上述統計值
Figure 02_image035
可表示如下：
Figure 02_image037
(3) 其中， s為舊錯誤日誌資訊在去年中一個月自動光學檢測裝置發生錯誤嚴重程度為等級3的標準差、
Figure 02_image039
為舊錯誤日誌資訊在去年一整年中自動光學檢測裝置發生錯誤嚴重程度為等級3的標準差、 n係為上個月的錯誤日誌資訊之數量。
在此實施例中，在計算裝置取得統計值
Figure 02_image035
後，需計算舊錯誤日誌資訊與新錯誤日誌資訊抽樣的自由度。計算裝置再依據如表格2所示之自由度查表得知閾值，並可使用單尾檢定判斷統計值
Figure 02_image035
是否超出一閾值。此判斷方式可由方式一之方式類推，在此不再贅述。
df
Figure 02_image041
Figure 02_image043
Figure 02_image045
Figure 02_image047
Figure 02_image049
Figure 02_image051
Figure 02_image053
Figure 02_image055
1 2 3 4 5 0.0000393 0.0100247 0.0717235 0.2006984 0.411751 0.0009821 0.0506357 0.2157949 0.484419 0.831209 0.0039322 0.1025862 0.3518460 0.710724 1.145477 0.0157907 0.2107208 0.5843755 1.063624 1.610309 2.705541 4.605176 6.251394 7.779434 9.236349 3.841455 5.991476 7.814725 9.487728 11.0705 5.023903 7.377779 9.348404 11.1433 12.8325 6.634891 9.210351 11.3449 13.2767 15.0863
6 7 8 9 10 0.675733 0.989251 1.344403 1.734911 2.155845 1.237342 1.689864 2.179725 2.700389 3.246963 1.635380 2.167349 2.732633 3.325115 3.940295 2.204130 2.833105 3.489537 4.168156 4.865178 10.6446 12.0170 13.3616 14.6837 15.9872 12.5916 14.0671 15.5073 16.9190 18.3070 14.4494 16.0128 17.5345 19.0228 20.4832 16.8119 18.4753 20.0902 21.6660 23.2093
11 12 13 14 15 2.603202 3.073785 3.565042 4.074659 4.600874 3.815742 4.403778 5.008738 5.628724 6.262123 4.574809 5.226028 5.891861 6.570632 7.260935 5.577788 6.303796 7.041500 7.789538 8.546753 17.2750 18.5393 19.8119 21.0641 22.3071 19.6752 21.0261 22.3620 23.6848 24.9958 21.9200 23.3367 24.7356 26.1189 27.4884 24.7250 26.2170 27.6882 29.1412 30.5780
16 17 18 19 20 5.142164 5.697274 6.264766 6.843923 7.433811 6.907664 7.564179 8.230737 8.906514 9.590772 7.961639 8.671754 9.390448 10.1170 10.8508 9.312235 10.0852 10.8649 11.6509 12.4426 23.5418 24.7690 25.9894 27.2036 28.4120 26.2962 27.5871 28.8693 30.1435 31.4104 28.8453 30.1910 31.5264 32.8523 34.1696 31.9999 33.4087 34.8052 36.1908 37.5663
21 22 23 24 25 8.033602 8.642681 9.260383 9.886199 10.5196 10.2829 10.9823 11.6885 12.4011 13.1197 11.5913 12.3380 13.0905 13.8484 14.6114 13.2396 14.0415 14.8480 15.6587 16.4734 29.6151 30.8133 32.0069 33.1962 34.3816 32.6706 33.9245 35.1725 36.4150 37.6525 35.4789 36.7807 38.0756 39.3641 40.6465 38.9322 40.2894 41.6383 42.9798 44.3140
26 27 28 29 30 11.1602 11.8077 12.4613 13.1211 13.7867 13.8439 14.5734 15.3079 16.0471 16.7908 15.3792 16.1514 16.9279 17.7084 18.4927 17.2919 18.1139 18.9392 19.7677 20.5992 35.5632 36.7412 37.9159 39.0875 40.2560 38.8851 40.1133 41.3372 42.5569 43.7730 41.9231 43.1945 44.4608 45.7223 46.9792 45.6416 46.9628 48.2782 49.5878 50.8922
40 50 60 80 100 20.7066 27.9908 35.5344 51.1719 67.3275 24.4331 32.3574 40.4817 57.1532 74.2219 26.5093 34.7642 43.1880 60.3915 77.9294 29.0505 37.6886 46.5689 64.2778 82.3581 54.8050 63.1671 74.3970 96.5782 118.498 55.7585 67.5048 79.0820 101.879 124.342 59.3417 71.4202 83.2977 106.629 129.561 63.6908 76.1538 88.3794 112.329 135.807
表格 2
舉一例子說明，假設過去一年每天自動光學檢測裝置發生錯誤嚴重程度為等級3的標準差
Figure 02_image039
為6.25。而去年六月份（一驗證週期n為一個月30天）自動光學檢測裝置發生錯誤嚴重程度為等級3的標準差為4。統計值
Figure 02_image035
可表示如下：
Figure 02_image057
在計算出統計值
Figure 02_image035
後，需計算系統查表取得去年一年及去年六月的自由度。自由度係根據df及
Figure 02_image059
查表得知，其中Df係為n-1=29。經由表格2中的自由度查表可知，當df＝29及
Figure 02_image059
時，閾值係為42.5569。因此，統計值
Figure 02_image061
未超出閾值42.5569，代表去年一年的錯誤日誌資訊與去年六月的錯誤日誌資訊並無顯著差異。
第4圖係顯示根據本揭露一實施例所述之自動光學檢測裝置產生錯誤日誌資訊400之示意圖。如圖所示，錯誤日誌資訊400可至少顯示了錯誤嚴重程度、時間標記、錯誤類型以及自動光學檢測(AOI)裝置名稱。
第5圖係顯示根據本揭露一實施例所述之伺服器根據錯誤日誌資訊進行分類建立資料庫CSV檔500之示意圖。如圖所示，資料庫CSV檔500可至少顯示了錯誤資訊510（AOI裝置的IP位址、時間標記、錯誤內容）、建立時間520、AOI裝置的IP位址530、時間540及錯誤嚴重程度550（等級）等資訊。
須注意的是，第4圖中錯誤日誌資訊400及第5圖中資料庫CSV檔500的容及資訊並不用以限定本揭露，所屬技術領域中具有通常知識者得以根據本實施例作適當更換或調整。例如，產線類別、AOI光學系統類型等資訊可被加入至上述示意圖中。
第6A~6B圖係顯示根據本揭露一實施例之監控自動光學檢測裝置的實驗數據表格，其檢證週期係為6月份一個月（30天）。假設，過去一年每天自動光學檢測裝置發生錯誤嚴重程度為等級3的平均數
Figure 02_image007
係為4次，標準差
Figure 02_image001
為3。
第6A圖係顯示根據本揭露一實施例之伺服器統計6月份中自動光學檢測裝置發生錯誤嚴重程度為等級3的天數及發生次數之散佈圖610。如圖所示，此月份自動光學檢測裝置發生錯誤嚴重程度為等級3的平均數
Figure 02_image063
係為4次，總天數為30。計算裝置將上述參數以公式(1)進行運算，可取得統計值Z為1.828倍的
Figure 02_image001
。
第6B圖係顯示根據本揭露一實施例之計算裝置根據分佈函數620。如圖所示，在此實施例中，錯誤日誌資訊記錄等級3的次數有95%係分佈在範圍[
Figure 02_image065
，1.96
Figure 02_image001
]上。因此，閾值被定義為1.96
Figure 02_image067
。換言之，當計算裝置判斷統計值Z為1.828
Figure 02_image001
並未超出閾值1.96
Figure 02_image001
時，表示新錯誤日誌資訊與舊錯誤日誌資訊並無顯著差別，即自動光學檢測裝置的能力並未改變。
此外，在一實施例中，當接收端電腦接收由計算裝置所傳送的警告訊號後，可透過相關使用者介面，例如：發光二極體(LED)、顯示器、麥克風、蜂鳴器(Buzzer)、藍牙串流，提醒使用者自動光學檢測裝置出現運行錯誤。在另一實施例中，接收端電腦亦可發送email至使用者信箱來通知使用者。
因此，透過本揭露監控自動光學檢測裝置的方法及系統，可有效在自動光學檢測裝置失效前阻止其發生，使妥善率持續穩定並改善，並實現設備生產長期穩定，妥善率長期提升的願景。換言之，本揭露監控自動光學檢測裝置的方法及系統可有效減少風險批、減少人力消耗、減少客訴風險、減少停機修復時間及增加產能稼動率。
對於本發明已描述的實施例，下文描述了可以實現本發明實施例的示例性操作環境。
本發明可在電腦程式碼或機器可使用指令來執行本發明，指令可為程式模組的電腦可執行指令，其程式模組由電腦或其它機器，例如個人數位助理或其它可攜式裝置執行。一般而言，程式模組包括例程、程式、物件、元件、數據結構等，程式模組指的是執行特定任務或實現特定抽象數據類型的程式碼。本發明可在各種系統組態中實現，包括可攜式裝置、消費者電子產品、通用電腦、更專業的計算裝置等。本發明還可在分散式運算環境中實現，處理由通訊網路所連結的裝置。
在此所揭露程序之任何具體順序或分層之步驟純為一舉例之方式。基於設計上之偏好，必須了解到程序上之任何具體順序或分層之步驟可在此文件所揭露的範圍內被重新安排。伴隨之方法權利要求以一示例順序呈現出各種步驟之元件，也因此不應被此所展示之特定順序或階層所限制。
申請專利範圍中用以修飾元件之「第一」、「第二」、「第三」等序數詞之使用本身未暗示任何優先權、優先次序、各元件之間之先後次序、或方法所執行之步驟之次序，而僅用作標識來區分具有相同名稱（具有不同序數詞）之不同元件。
雖然本揭露已以實施範例揭露如上，然其並非用以限定本案，任何熟悉此項技藝者，在不脫離本揭露之精神和範圍內，當可做些許更動與潤飾，因此本案之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
100:系統 110A～110D:自動光學檢測裝置 120:伺服器 130:計算裝置 140A～140D:接收端電腦 200:方法 S205,S210,S215,S220,S225:步驟 300:分佈函數 400:錯誤日誌資訊 500:資料庫CSV檔 510:錯誤資訊 520:建立時間 530:IP位址 540:時間 550:等級 610:散佈圖 620:分佈函數
第1圖係顯示根據本發明一實施例中監控自動光學檢測裝置的系統的示例性示意圖。 第2圖係顯示根據本揭露一實施例所述之監控自動光學檢測裝置的方法之流程圖。 第3圖係顯示根據本揭露一實施例所述之分佈函數。 第4圖係顯示根據本揭露一實施例所述之自動光學檢測裝置產生錯誤日誌資訊之示意圖。 第5圖係顯示根據本揭露一實施例所述之伺服器根據錯誤日誌資訊進行分類建立資料庫CSV檔之示意圖。 第6A圖係顯示根據本揭露一實施例之伺服器統計6月份中自動光學檢測裝置發生錯誤嚴重程度為等級3的天數及發生次數之散佈圖。 第6B圖係顯示根據本揭露一實施例之計算裝置根據分佈函數。
200:方法
S205,S210,S215,S220,S225:步驟

Claims (15)

  1. 一種監控自動光學檢測裝置的系統，包括：一自動光學檢測(Automatic Optical Inspection，AOI)裝置，於一檢證週期產生錯誤日誌(log)資訊；以及一計算裝置，接收上述自動光學檢測裝置所傳送之上述錯誤日誌資訊，將上述錯誤日誌資訊經過一統計運算取得一統計值，並使用一檢定方法判斷上述統計值是否超出一閾值；其中上述錯誤日誌資訊包括：產線類別、AOI光學系統類型、AOI裝置名稱、錯誤嚴重程度、時間標記以及錯誤類型。
  2. 如請求項1所述之監控自動光學檢測裝置的系統，其中上述系統更包括：一伺服器，耦接至上述自動光學檢測裝置及上述計算裝置，收集上述自動光學檢測裝置於上述檢證週期的上述錯誤日誌資訊，並傳送上述錯誤日誌資訊至上述計算裝置；及/或一接收端電腦，當上述統計值超出上述閾值時，接收由上述計算裝置所傳送的一警告訊號，並通知一使用者上述自動光學檢測裝置出現運行錯誤。
  3. 如請求項1所述之監控自動光學檢測裝置的系統，其中上述自動光學檢測裝置可用於進行光學膜的檢查，且上述AOI光學系統類型包括：穿透檢查、反射檢查、直交檢查。
  4. 如請求項1所述之監控自動光學檢測裝置的系統，其中上述錯誤日誌資訊包括：其中上述錯誤嚴重程度選自等級1為上述自動光學檢測裝置會立即失效；等級2為上述自動光學檢測裝置不會立即失效；以及 等級3為上述自動光學檢測裝置不會立即失效，且導致上述自動光學檢測裝置失效機率不高所組成之群組。
  5. 如請求項1所述之監控自動光學檢測裝置的系統，其中上述統計運算係為中央極限定理。
  6. 如請求項1所述之監控自動光學檢測裝置的系統，其中上述檢定方法係為雙尾檢定。
  7. 一種監控自動光學檢測裝置的方法，包括：藉由一自動光學檢測(Automatic Optical Inspection，AOI)裝置於一檢證週期產生錯誤日誌(log)資訊；以及藉由一計算裝置接收上述自動光學檢測裝置所傳送之上述錯誤日誌資訊，將上述錯誤日誌資訊經過一統計運算取得一統計值，其中上述錯誤日誌資訊包括：產線類別、AOI光學系統類型、AOI裝置名稱、錯誤嚴重程度、時間標記以及錯誤類型；以及藉由一計算裝置使用一檢定方法判斷上述統計值是否超出一閾值。
  8. 如請求項7所述之監控自動光學檢測裝置的方法，其中上述方法更包括：當上述統計值超出上述閾值時，藉由上述計算裝置傳送一警告訊號，以通知上述自動光學檢測檢測裝置出現運行錯誤；及/或藉由一接收端電腦接收由上述計算裝置所傳送的上述警告訊號，並通知一使用者上述自動光學檢測裝置出現運行錯誤；及/或在上述計算裝置接收上述錯誤日誌資訊之前，上述方法更包括：藉由一伺服器收集上述自動光學檢測裝置於上述檢證週期的上述錯誤日誌資訊，並傳送上述錯誤日誌資訊至上述計算裝置。
  9. 如請求項7所述之監控自動光學檢測裝置的方法，其中上述自動光學檢測裝置可用於進行光學膜的檢查，且上述AOI光學系統類型包括：穿透檢查、反射檢查、直交檢查。
  10. 如請求項7所述之監控自動光學檢測裝置的方法，其中上述錯誤日誌資訊包括：其中上述錯誤嚴重程度選自等級1為上述自動光學檢測裝置會立即失效；等級2為上述自動光學檢測裝置不會立即失效；以及等級3為上述自動光學檢測裝置不會立即失效，且導致上述自動光學檢測裝置失效機率不高所組成之群組。
  11. 如請求項7所述之監控自動光學檢測裝置的方法，其中上述統計運算係為中央極限定理。
  12. 如請求項7所述之監控自動光學檢測裝置的方法，其中上述檢定方法係為雙尾檢定。
  13. 如請求項10所述之監控自動光學檢測裝置的方法，其中上述統計值表示如下：
    Figure 110112842-A0305-02-0023-6
     其中，
    Figure 110112842-A0305-02-0023-7
    為在舊錯誤日誌資訊中上述自動光學檢測裝置每天發生上述錯誤嚴重程度為一第一等級的一平均數、σ為在上述舊錯誤日誌資訊中上述自動光學檢測裝置每天發生上述錯誤嚴重程度為上述第一等級的一標準差、μ 0為在上述錯誤日誌資訊中上述自動光學檢測裝置每天發生上述錯誤嚴重程度為上述第一等級的一平均數、n係為上述自動光學檢測裝置產生上述錯誤日誌資訊之上述檢證週期的天數。
  14. 如請求項10所述之監控自動光學檢測裝置的方法，其中上述統計值表示如下：
    Figure 110112842-A0305-02-0024-8
     其中，
    Figure 110112842-A0305-02-0024-9
    為舊錯誤日誌資訊在一第二驗證週期中上述自動光學檢測裝置發生上述錯誤嚴重程度為一第一等級的一平均數、s 1為上述舊錯誤日誌資訊在上述第二驗證週期中上述自動光學檢測裝置發生上述錯誤嚴重程度為上述第一等級的一標準差、
    Figure 110112842-A0305-02-0024-10
    為上述錯誤日誌資訊在這個月中自動光學檢測裝置發生錯誤嚴重程度為等級3的平均數、s 2為上述自動光學檢測裝置產生上述錯誤日誌資訊之上述檢證週期中發生上述錯誤嚴重程度為上述第一等級的一標準差、n 1係為上述第二驗證週期的天數以及n 2係為上述檢證週期的天數。
  15. 如請求項10所述之監控自動光學檢測裝置的方法，其中上述統計值表示如下：
    Figure 110112842-A0305-02-0024-11
     其中，s為舊錯誤日誌資訊在一第一驗證週期中上述自動光學檢測裝置發生上述錯誤嚴重程度為一第一等級的一標準差、σ 0為上述舊錯誤日誌資訊在一第二驗證週期中上述自動光學檢測裝置發生上述錯誤嚴重程度為上述第一等級的一標準差、n係為上述自動光學檢測裝置在上述檢證週期中產生上述錯誤日誌資訊之數量。
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