TWI775845B - 雷射軟焊方法及裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明之課題在於提供可防止基板或周圍之不耐熱零件之燒焦或殘渣等之產生的雷射軟焊技術。
本發明係一種自動軟焊方法及其裝置，該軟焊方法係使用具備有雷射軟焊裝置1及Z軸驅動裝置43之自動軟焊裝置40者，其特徵在於包含有如下之步驟：將雷射軟焊裝置1之高度對準於，雷射光之照射直徑D1成為大於焊料熔滴S之直徑之被預先設定之大小的位置；對焊料熔滴S照射雷射光而以助焊劑之溶劑成分會揮發且焊料粉不會熔融之溫度進行加熱；將雷射軟焊裝置之高度對準於，雷射光之照射直徑D2成為小於焊料熔滴S之直徑之被預先設定之大小的位置；及對焊料熔滴S照射雷射光而以焊料粉會熔融之溫度加熱從而進行軟焊。

Description

雷射軟焊方法及裝置
本發明係關於用以使對被安裝於佈線基板表面之零件所進行之軟焊作業自動化之雷射軟焊方法及裝置。
習知以來，已知有對軟焊對象呈點狀地投射雷射光而進行軟焊之雷射軟焊裝置及方法。藉由雷射軟焊裝置及方法，而可非接觸地進行對微細部分之軟焊。另一方面，於雷射軟焊方法中，存在有如下之課題：由於進行急遽之加熱，因此對印刷基板所賦予局部之熱應力較大，而燒損佈線基板、產生焊球、或產生飛散至軟焊區域外之殘渣。
圖11(a)~(c)係說明使雷射照射區域L3之直徑小於焊料熔滴S之直徑之情形時之焊料熔滴S及軟焊區域(land area)45之狀態的俯視圖，圖11(d)~(f)係說明使雷射照射區域L4之直徑大於軟焊區域45之情形時之焊料熔滴S及軟焊區域45之狀態的俯視圖。於圖11(a)中，於作為軟焊區域45之電極焊墊(焊盤；land)形成有焊料熔滴S。於圖11(b)中，表示將雷射照射區域L3調整為相較於焊料熔滴S之直徑足夠小之狀態。於圖11(c)中，表示自圖11(b)之狀態照射雷射光後之狀態，而於軟焊區域45之周邊產生有殘渣46。
於圖11(d)中，於作為軟焊區域45之電極焊墊(焊盤)形成有焊料熔滴S。於圖11(e)中，表示將雷射照射區域L4調整為相較 於軟焊區域45足夠大之狀態。於圖11(f)中，表示自圖11(e)之狀態照射雷射光後之狀態，而於軟焊區域45之周邊產生有燒焦47。
近年來，為了防止因急遽之加熱所導致助焊劑之爆沸或基板燒損等問題，而進行預加熱直至焊料粉不會熔融而助焊劑之溶劑成分氣化，其後，進行主加熱至焊料粉之熔融溫度。該預加熱既存在有利用加熱器等來進行之情形，亦存在有利用雷射光之照射來進行之情形。例如，於專利文獻1中提案有除了軟焊用雷射以外還設置預加熱用雷射，而將照射直徑較大之預加熱用雷射及軟焊用雷射同時地照射來進行軟焊之裝置。
[先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本專利特公平8-18125號公報
於在電極焊墊(焊盤)之表面塗佈焊料熔滴並利用雷射光進行加熱之技術中，存在有若將雷射光照射包含焊盤區域之外側，基板或周圍之不耐熱零件便會燒焦之課題。另一方面，存在有若對相較於被塗佈於焊盤區域之焊料熔滴之直徑足夠小之區域照射雷射光，殘渣便會因助焊劑之爆沸等而飛散至焊盤區域外(軟焊區域外)、在未熔融之狀態下散亂至周圍、或變為焊球之課題。
又，於藉由雷射軟焊裝置對佈線基板等工件自動地進行軟焊之情形時，必須將該裝置搭載於XYZ機器人之機器人頭部。此處，由於若機器人頭部之重量增加，驅動裝置亦必須大型化，因此較佳為謀求搭載於機器人頭部之雷射軟焊裝置之輕量化。另一方 面，亦存在有欲於機器人頭部搭載相機來檢查軟焊之狀況的需求。
因此，本發明之目的在於提供可防止基板或周圍之不耐熱零件之燒焦或殘渣等之產生的雷射軟焊技術。又，其目的亦在於提供具有適合輕量化之構造之雷射軟焊裝置。
本發明之自動軟焊方法係使用具備有雷射軟焊裝置、及將雷射軟焊裝置沿著上下方向加以驅動之Z軸驅動裝置之自動軟焊裝置者；其特徵在於，上述雷射軟焊裝置具備有：本體，其具有下部開口及與下部開口連通之照射用孔；雷射裝置；光纖，其將來自雷射裝置之雷射光入射至照射用孔；以及鏡，其使雷射光反射或透過並將其引導下部開口；該自動軟焊方法包含有：第一高度對準步驟，其藉由上述Z軸驅動裝置，將雷射軟焊裝置之高度對準於，自上方觀察之情形時，雷射光之照射直徑D1成為大於焊料熔滴S之直徑之被預先設定之大小的位置；預加熱步驟，其對上述雷射裝置發送照射指令，對焊料熔滴S照射雷射光而以助焊劑之溶劑成分會揮發且焊料粉不會熔融之溫度進行加熱；第二高度對準步驟，其藉由上述Z軸驅動裝置，將雷射軟焊裝置之高度對準於，自上方觀察之情形時，雷射光之照射直徑D2成為小於焊料熔滴S之直徑之被預先設定之大小的位置；以及主加熱步驟，其對上述雷射裝置發送照射指令，對焊料熔滴S照射雷射光而以焊料粉會熔融之溫度加熱從而進行軟焊。
於上述自動軟焊方法中，其特徵亦可在於：上述雷射裝置係由單一之雷射裝置所構成。於上述自動軟焊方法中，其特徵亦可在於：於上述第一高度對準步驟中，將上述照射直徑D1設定在 上述焊料熔滴S之直徑之1.1倍~2倍的範圍內。於上述自動軟焊方法中，其特徵亦可在於：於上述第二高度對準步驟中，將上述照射直徑D2設定在上述焊料熔滴S之直徑之0.1倍~0.9倍的範圍內。於上述自動軟焊方法中，其特徵亦可在於：於上述主加熱步驟中，以相較於上述預加熱步驟更高之輸出來照射雷射光。於上述自動軟焊方法中，其特徵亦可在於：上述本體具備有拍攝用孔，進一步具備有經由拍攝用孔及上述鏡來拍攝工件之拍攝裝置，於上述主加熱步驟中，對軟焊後之工件進行拍攝。於上述自動軟焊方法中，其特徵亦可在於：儲存有複數種模式之上述焊料熔滴S之直徑、對應於該直徑之照射直徑D1及D2之組合、以及雷射光之輸出，並根據所選擇之一種模式來執行上述第一高度對準步驟及上述第二高度對準步驟。
本發明之自動軟焊裝置係具備有雷射軟焊裝置、將雷射軟焊裝置沿著上下方向加以驅動之Z軸驅動裝置、以及控制雷射軟焊裝置及Z軸驅動裝置之動作之控制裝置者；其特徵在於，上述雷射軟焊裝置具備有：本體，其具有下部開口及與下部開口連通之照射用孔；雷射裝置；光纖，其將來自雷射裝置之雷射光入射至照射用孔；以及鏡，其使雷射光反射或透過並將其引導至下部開口；且上述控制裝置執行如下之步驟：第一高度對準步驟，其藉由上述Z軸驅動裝置，將雷射軟焊裝置之高度對準於，自上方觀察之情形時雷射光之照射直徑D1成為大於焊料熔滴S之直徑之被預先設定之大小的位置；預加熱步驟，其對上述雷射裝置發送照射指令，對焊料熔滴S照射雷射光而以助焊劑之溶劑成分會揮發且焊料粉不會熔融之溫度進行加熱；第二高度對準步驟，其藉由上述Z軸驅動裝置， 將雷射軟焊裝置之高度對準於，自上方觀察之情形時，雷射光之照射直徑D2成為小於焊料熔滴S之直徑之被預先設定之大小的位置；以及主加熱步驟，其對上述雷射裝置發送照射指令，對焊料熔滴S照射雷射光而以焊料粉會熔融之溫度加熱從而進行軟焊。於上述自動軟焊裝置中，其特徵亦可在於：上述雷射裝置係由單一之雷射裝置所構成。於上述自動軟焊裝置中，其特徵亦可在於：於上述第一高度對準步驟中，可將上述照射直徑D1設定在上述焊料熔滴S之直徑之1.1倍~2倍的範圍內。於上述自動軟焊裝置中，其特徵亦可在於：於上述第二高度對準步驟中，可將上述照射直徑D2設定在上述焊料熔滴S之直徑之0.1倍~0.9倍之範圍內。於上述自動軟焊裝置中，其特徵亦可在於：於上述主加熱步驟中，可以相較於上述預加熱步驟更高之輸出來照射雷射光。於上述自動軟焊裝置中，其特徵亦可在於：上述本體具備有拍攝用孔，進一步具備有經由拍攝用孔及上述鏡來拍攝工件之拍攝裝置。於上述自動軟焊裝置中，其特徵亦可在於：上述拍攝用孔係垂直孔，且自上述拍攝用孔之下側之端部開口即上述下部開口照射上述雷射光，上述照射用孔係水平孔，且於上述拍攝用孔與上述照射用孔之交點配置有上述鏡。
根據本發明，可提供可防止將基板或周圍之不耐熱零件燒焦或殘渣等之產生之雷射軟焊技術。又，可提供具有適合輕量化之構造之雷射軟焊裝置。
1‧‧‧雷射軟焊裝置(第一實施形態)
2‧‧‧軟焊裝置本體
3‧‧‧拍攝裝置
4‧‧‧光纜
5‧‧‧拍攝用孔
6‧‧‧照射用孔
7‧‧‧下部開口
8‧‧‧安裝構件
11、11a、11b‧‧‧鏡
12‧‧‧拍攝用透鏡
13‧‧‧光纖用透鏡
14‧‧‧聚光透鏡
21‧‧‧光纖核心
22‧‧‧連結部
23‧‧‧螺帽
30‧‧‧吐出裝置
31‧‧‧噴嘴
32‧‧‧貯存容器
33‧‧‧容器保持具
34‧‧‧固定構件
35‧‧‧適配器
36‧‧‧管
40‧‧‧自動軟焊裝置
41‧‧‧X驅動裝置
42‧‧‧Y驅動裝置
43‧‧‧Z驅動裝置(機器人頭部)
44‧‧‧載台
45‧‧‧軟焊區域(焊盤區域)
46‧‧‧殘渣
47‧‧‧燒焦
50‧‧‧自動軟焊裝置本體
51‧‧‧X方向
52‧‧‧Z方向
60‧‧‧雷射軟焊裝置(第二實施形態)
70‧‧‧雷射軟焊裝置(第三實施形態)
D1、D2‧‧‧雷射照射直徑
L1、L2、L3、L4‧‧‧雷射照射區域
S‧‧‧焊料熔滴
圖1係第一實施形態之雷射軟焊裝置之前視圖。
圖2係第一實施形態之雷射軟焊裝置之前視剖面圖。
圖3係被安裝於安裝構件之雷射軟焊裝置及吐出裝置之前視圖。
圖4係第一實施形態之自動軟焊裝置之前視圖。
圖5係表示第一實施形態之自動軟焊方法之處理順序之流程圖。
圖6(a)係表示未超出在自動軟焊開始前所形成之軟焊區域之焊料熔滴S之俯視圖，圖6(b)係表示步驟2之焊料熔滴S及照射區域L1之俯視圖，圖6(c)係表示步驟3之焊料熔滴S之俯視圖，圖6(d)係表示步驟4之焊料熔滴S及照射區域L2之俯視圖，圖6(e)係表示已經過步驟5之軟焊完成狀態之俯視圖。
圖7(a)係表示超出在自動軟焊開始前所形成之軟焊區域之焊料熔滴S之俯視圖，圖7(b)係表示步驟2之焊料熔滴S及照射區域L1之俯視圖，圖7(c)係表示步驟3之焊料熔滴S之俯視圖，圖7(d)係表示步驟4之焊料熔滴S及照射區域L2之俯視圖，圖7(e)係表示已經過步驟5之軟焊完成狀態之俯視圖。
圖8(a)係表示步驟2之焊料熔滴S及雷射軟焊裝置之側視圖，圖8(b)係表示步驟4之焊料熔滴S及雷射軟焊裝置之側視圖。
圖9係第二實施形態之雷射軟焊裝置之前視剖面圖。
圖10係第三實施形態之雷射軟焊裝置之前視剖面圖。
圖11(a)係表示習知技術之自動軟焊開始前之焊料熔滴S之俯視圖，圖11(b)係表示即將進行雷射照射之焊料熔滴S及照射區域L3之俯視圖，圖11(c)係表示自動軟焊完成後之焊料熔滴S之俯視圖，圖11(d)係表示習知技術之自動軟焊開始前之焊料熔滴S之俯視圖，圖 11(e)係表示即將進行雷射照射之焊料熔滴S及照射區域L4之俯視圖，圖11(f)係表示自動軟焊完成後之焊料熔滴S之俯視圖。
[第一實施形態] <構成>
如圖1所示，第一實施形態之雷射軟焊裝置1係構成為具備有軟焊裝置本體2、拍攝裝置3、及光纜4。軟焊裝置本體2係前視呈L字形，且於內部形成有作為圓筒狀之垂直孔之拍攝用孔5及作為圓筒狀之水平孔之照射用孔6(參照圖2)。於軟焊裝置本體2之側端部，光學連接有被覆光纖(即光纖核心21及纖殼)而成之光纜4。於拍攝用孔5之上部開口部分設置有拍攝裝置3，自拍攝用孔5之下部開口7對塗佈區域進行拍攝。拍攝裝置3例如為彩色CCD(電荷耦合元件；Charge Coupled Device)相機，且拍攝裝置3之拍攝中心與雷射光之光軸一致。於第一實施形態中，由於可藉由Z驅動裝置43將聚光透鏡14相對於工件進行升降，因此不需要點直徑調整用之可變焦距透鏡。另一方面，亦存在如下之情形：若以預加熱時或主加熱時之高度使焦點對準，由於可不進行升降動作而將拍攝裝置3之焦點對準，因而較佳。為了可以預加熱時或主加熱時之高度進行焦點對準，亦可設置可調節拍攝裝置3相對於裝置本體2之物理位置之拍攝位置調節機構(未圖示)。該拍攝位置調節機構例如由滾珠螺桿與電動馬達之組合所構成。
拍攝裝置3只要為可利用軟體處理所拍攝之圖像者，則亦可採用CCD相機以外者，亦可視需要而具備有放大鏡或照明裝 置。再者，於本實施形態中，由於將拍攝裝置3配置於聚光透鏡14之正上方，因此工件之朝向與拍攝圖像之朝向一致(未如後述之第二實施形態及第三實施形態般拍攝圖像之朝向反轉的部分較為有利)。於本實施形態中，拍攝裝置3不具備透鏡，而於軟焊裝置本體2設置有後述之拍攝用透鏡12及聚光透鏡14。此處，透鏡倍率由「拍攝用透鏡12之f值/聚光透鏡14之f值」所附屬性地決定。就重量及成本之觀點而言，較佳為使用透鏡構成片數較少之單焦點透鏡。為了高精度地測量工件之位置、尺寸，較佳為使用倍率相對較高且景深較淺之高倍率之透鏡。
於拍攝用孔5配置有鏡11、拍攝用透鏡12、及聚光透鏡14。鏡11係被配置於拍攝用孔5及照射用孔6正交之位置，供可見光透過而反射雷射光之半反射鏡。鏡11係配置為相對於來自光纖核心21之照射光之光軸傾斜45度，相對於拍攝裝置3供來自聚光透鏡14之光透過而將來自光纖核心21之照射光反射並入射至聚光透鏡14。拍攝用透鏡12係將來自鏡11之透過光引導至拍攝裝置3之透鏡。聚光透鏡14係用以將來自焊料及軟焊區域45之反射光聚集，並將來自光纖核心21之雷射光呈點狀地照射至作為軟焊區域45之電極焊墊(焊盤)之平凸透鏡。
於照射用孔6配置有光纖用透鏡13。光纖用透鏡13係使自光纖核心21之端部所發出之光成為平行光而入射至鏡11之準直透鏡。於照射用孔6之與鏡11為相反側之端部，在相較於照射用孔6大幅地較細之貫通孔插通有光纖核心21之端部。於沿著水平方向延伸之光纖核心21之與鏡11之相反側，設置有連結部22。於連結部22連結有與被設置於光纜4之終端部之套接管相連結之螺帽23。 再者，於圖2中，將連結部22及螺帽23簡化而加以描繪。光纜4係連接於雷射裝置(未圖示)，且傳送自雷射裝置所射出之雷射光。該雷射裝置例如於預加熱時照射數百mW~30W(或數百mW~20W)之雷射光數秒鐘，而於主加熱時照射數W~數十W之雷射光數秒鐘。將雷射光之照射輸出設為何種程度，係根據工件之種類及塗佈直徑所設定。
雷射軟焊裝置1係安裝於與Z驅動裝置43連結之安裝構件8。如圖3所示，安裝構件8係由大致矩形之板狀構件所構成，且雷射軟焊裝置1及吐出裝置30被配置於同一平面上。藉由安裝構件8保持雷射軟焊裝置1及吐出裝置30，可利用XZ驅動裝置(41、43)同時地移動雷射軟焊裝置1及吐出裝置30。藉由安裝構件8，雖無須於雷射軟焊裝置1及吐出裝置30設置分開之驅動裝置，但由於被安裝於安裝構件8之機器之總重量會增加，因此各驅動裝置之負荷會變高。因此，較佳為搭載於安裝構件8之雷射軟焊裝置1及吐出裝置30，分別謀求輕量化。
吐出裝置30具備有噴嘴31、貯存容器32、容器保持具33、固定構件34、適配器35、及管36。噴嘴31係裝卸自如地被連結於貯存容器32之下部開口之通用噴嘴，可更換為噴嘴直徑不同者。貯存容器32係由通用注射器所構成，且插入容器保持具33而被保持。於貯存容器32填充有糊狀之焊料(焊膏)。糊狀之焊料係將焊料粉末與液狀或糊狀(高黏性)之助焊劑混合而成者。糊狀之助焊劑，其黏度利用溶劑而被調整為例如數萬~數十萬mPa‧s。焊料粉末例如由含有錫(Sn)作為母體而含有鉛(Pb)、銀(Ag)、銅(Cu)、鋅(Zn)、鎳(Ni)、銻(Sb)、銦(In)、鉍(Bi)中之任一種或兩種以上作為添加材之 合金所構成。
固定構件34係被插入容器保持具33所具有之螺紋溝且前端部具有抵接部之螺絲構件。可藉由將固定構件34正旋轉而利用抵接部加以按壓來固定貯存容器32，或進行逆旋轉來解除固定。於貯存容器32之上部開口裝卸自如地安裝有適配器35。適配器35與管36連結，來自空氣供給源(未圖示)之加壓空氣經由管36而被供給至貯存容器32內之上部空間。再者，作為吐出裝置30，並不限定於例示之空氣式分配器，而可使用噴射式、柱塞式、螺旋式等任意方式之吐出裝置(分配器)。噴射式吐出裝置雖存在有當形成一滴液滴時使針之前端抵接於閥座之就座型之噴射式吐出裝置、及當形成一滴液滴時不使針之前端抵接於閥座之非就座型之噴射式吐出裝置，但本發明可應用於任一者。
圖4所示之自動軟焊裝置40主要由雷射軟焊裝置1、吐出裝置30、X驅動裝置41、Y驅動裝置42、Z驅動裝置43、載台44、自動軟焊裝置本體50、及控制各驅動裝置(41、42、43)之動作之控制裝置(未圖示)所構成。載台44由與Y驅動裝置42連結之板狀構件所構成，於載台44上載置有工件(例如，於表面形成有佈線圖案，供半導體元件安裝之基板)。於第一實施形態之工件標示有對準標記，以對準標記為基準而進行上述拍攝裝置3之焦點調節及對準。再者，亦可利用半導體晶片之角等來作為對準標記。
雷射軟焊裝置1及吐出裝置30係經由安裝構件8而被搭載於Z驅動裝置43，且被設為可沿著上下方向(即Z方向)52移動。具備有Z驅動裝置43之機器人頭部係搭載於X驅動裝置41，且被設為可沿著左右方向(即X方向)51移動。雷射軟焊裝置1及吐出裝置30能 夠相對於與Y驅動裝置42連結之載台44於XYZ方向相對移動。各驅動裝置(41、42、43)可以微小距離間隔(例如0.1mm以下之精度)連續地進行定位，例如，使用滾珠螺桿與電動馬達之組合或線性馬達來構成。
控制裝置(未圖示)係具備有運算裝置、儲存裝置、顯示裝置及輸入裝置之電腦，且經由連接電纜(未圖示)而與自動軟焊裝置40連接。控制裝置將塗佈座標(=軟焊區域45之中心座標=焊料熔滴S之中心座標)、與塗佈座標對應之焊料熔滴S之直徑、及與焊料熔滴S之直徑對應之雷射照射直徑D1及D2、以及雷射光之輸出儲存於儲存裝置。照射直徑D1始終大於預加熱前之焊料熔滴S之直徑，例如，被設定在焊料熔滴S之直徑之1.1倍~2倍之範圍內。於預加熱時，雖然雷射之功率密度較低而將零件或基板燒焦之風險較小，但亦可使照射直徑D1不超出作為軟焊區域45之電極焊墊(焊盤)。照射直徑D2係設定在預加熱前之焊料熔滴S之直徑之例如0.1倍~0.9倍之範圍內。預加熱前之焊料熔滴S之直徑既存在有如圖6所例未超出軟焊區域45之範圍之大小之情形，亦存在有如圖7所例示般超出軟焊區域45之範圍內之大小之情形(焊料熔滴S之直徑大於軟焊區域45之短邊之情形)。另一方面，照射直徑D2係設定為未超出軟焊區域45之範圍，例如為作為軟焊區域45之電極焊墊(焊盤)之短邊或直徑之50~95%。
與焊料熔滴S之直徑對應之雷射照射直徑D1及D2係根據事前之實驗所決定。於每個軟焊區域45所形成之焊料熔滴S之直徑不同之情形時，對應之雷射照射直徑D1及D2亦成為不同者。較佳為對焊料熔滴S之直徑之變更範圍設定閾值，而於存在有超過 閾值之直徑變更之情形時，變更照射直徑D1及D2。例如，即便於對一片佈線基板形成多個不同直徑之焊料熔滴S之情形時，在直徑變更係於閾值內被進行時，亦不必變更照射直徑D1及D2。較佳為與焊料熔滴S之直徑對應之雷射照射直徑D1及D2以及雷射光之輸出之關係預先準備複數種模式，並儲存於儲存裝置，而執行根據塗佈作業所選擇之一種模式。
自動軟焊裝置本體50係由桌上型之架台所構成，於內部內置有Y驅動裝置42等。再者，於本實施形態中雖已揭示具備有X驅動裝置41、Y驅動裝置42及Z驅動裝置43之態樣，但用以實現本發明之自動軟焊方法之自動軟焊裝置，只要至少具備有Z驅動裝置43即可。例如，藉由將搬送工件之周知之輸送帶裝置與僅具備有Z驅動裝置43之自動軟焊裝置加以組合，亦可實現本發明之自動軟焊方法。
<動作>
一邊參照圖5~圖8，一邊對自動軟焊裝置40之軟焊動作進行說明。處於在作為軟焊區域45之電極焊墊(焊盤)形成有焊料熔滴S之狀態(參照圖6(a)及圖7(a))。步驟1：控制裝置對X驅動裝置41及Y驅動裝置42進行驅動，而以焊料熔滴S之中心位於下部開口7之中心正下方之方式進行機器人頭部(Z驅動裝置)43之水平對位。步驟2：控制裝置使機器人頭部(Z驅動裝置)43上升或下降移動，而將高度對準於自上方觀察之情形時雷射光之照射區域L1成為大於焊料熔滴S之直徑之被預先設定之大小的位置(第一高度對準步驟，參照圖6(b)及圖7(b))。用以實現焊料熔滴S之直徑及照射區域L1(=照射直徑D1)之機 器人頭部(Z驅動裝置)43之高度座標，係預先輸入於控制裝置。
步驟3：控制裝置對雷射裝置發送照射指令，自下部開口7對焊料熔滴S照射雷射光數秒鐘而進行預加熱。藉此，焊料熔滴S以焊料熔滴S所含有之助焊劑之溶劑成分會揮發且焊料粉不會熔融之溫度(例如100~170℃)被加熱，揮發成分之至少一部分蒸發而成為半固體形狀(參照圖6(c)及圖7(c))。再者，於預加熱中，雷射光之照射輸出雖只要設為固定即可，但亦可變更照射輸出。步驟4：控制裝置使機器人頭部(Z驅動裝置)43上升或下降移動，而將高度對準於自上方觀察之情形時雷射光之照射區域L2成為小於焊料熔滴S之直徑之被預先設定之大小的位置(第二高度對準步驟，參照圖6(d)、圖7(d)及圖8(b))。用以實現照射區域L2(=照射直徑D2)之機器人頭部(Z驅動裝置)43之高度座標係預先輸入於控制裝置。步驟5：控制裝置對雷射裝置發送照射指令，自下部開口7對焊料熔滴S照射相較於預加熱更高輸出之雷射光數秒鐘而進行主加熱。藉此，焊料粉熔融，對塗佈區域之軟焊作業完成(參照圖6(e)及圖7(e))。若雷射光之照射停止，熔融之焊料便急速地固化。再者，於主加熱中，亦可變更雷射光之照射輸出。例如，亦可在最初以數W照射0.1~2秒鐘，接著花費1~4秒鐘使輸出逐漸地增大至數十W之後停止輸出(共2~6秒鐘之照射)。
於上述之步驟2及4中，亦可調節雷射光之照射區域L1及L2之大小(焦點與聚光透鏡14之距離)，而調節助焊劑之溶劑成分之揮發情況及焊料粉之熔融情況。基本上雖不必進行雷射光之光量之調節，但亦可於上述之步驟5中進行將照射之雷射光之強度增強等之調整。於上述之各步驟中，亦可利用拍攝裝置3來拍攝焊料熔 滴S之狀態，並將其顯示於顯示裝置。此處，於拍攝裝置3不具備變焦功能之情形時，亦可以於步驟2或步驟4之高度對準完成時使焦點對準之方式來進行調節。尤其，若於步驟4事先以焦點對準之方式進行調節，便可拍攝軟焊作業完成後(步驟5完成後)之狀態，而可判定軟焊作業之合格與否。再者，亦可設置對透鏡12之上下方向位置進行調節之位置調節機構。
根據以上所說明之第一實施形態之雷射軟焊裝置1，可提供可藉由進行預加熱及主加熱來防止將基板或周圍之不耐熱零件燒焦或殘渣等之產生之雷射軟焊裝置。又，可藉由將雷射裝置(光源)設為一個，並將光學零件之數量設為最小限度而謀求雷射軟焊裝置之輕量化。
[第二實施形態]
圖9係第二實施形態之雷射軟焊裝置60之前視剖面圖。第二實施形態與第一實施形態主要的差異點，在於拍攝裝置3被配置於軟焊裝置本體2之側方且光纜4被配置於軟焊裝置本體2之上方。軟焊裝置本體2係前視呈L字形，且於內部形成有作為圓筒狀之水平孔之拍攝用孔5及作為圓筒狀之垂直孔之照射用孔6。在被設置於照射用孔6之端部之下部開口7安裝有聚光透鏡14。拍攝裝置3及光纜4與第一實施形態相同。鏡11係半反射鏡，且自光纜之端部所照射之雷射光透過鏡11而被照射至電極焊墊(焊盤)。入射至聚光透鏡14之可見光由鏡11反射而入射至拍攝裝置3。拍攝用透鏡12、光纖用透鏡13及聚光透鏡14與第一實施形態相同。
根據以上所說明之第二實施形態之雷射軟焊裝置 60，可提供可藉由進行預加熱及主加熱來防止將基板或周圍之不耐熱零件燒焦或殘渣等之產生之雷射軟焊裝置。又，可藉由將雷射裝置(光源)設為一個，並將光學零件之數量設為最小限度而謀求雷射軟焊裝置之輕量化。再者，於第二實施形態中，由於拍攝裝置3之拍攝圖像之朝向與工件之朝向反轉，因此必須利用軟體進行圖像處理、或設置用以使拍攝圖像再反轉之鏡(於該部分，第一實施形態較為有利)。
[第三實施形態]
圖10係第三實施形態之雷射軟焊裝置70之前視剖面圖。第三實施形態與第一實施形態主要的差異點，在於拍攝裝置3及光纜4之雙方被配置於軟焊裝置本體2之上方。軟焊裝置本體2係前視呈ㄈ字形，且具備有：第一筒，其於內部形成有作為圓筒狀之垂直孔之拍攝用孔5；及第二筒，其於內部形成有作為圓筒狀之垂直孔之照射用孔6。在被設置於照射用孔6之端部之下部開口7安裝有聚光透鏡14。拍攝裝置3及光纜4與第一實施形態相同。鏡11a係半反射鏡，且自光纜之端部所照射之雷射光透過鏡11a而被照射至電極焊墊(焊盤)。被入射至聚光透鏡14之可見光由鏡11a所反射而入射至鏡11b，並由鏡11b所反射而入射至拍攝裝置3。鏡11b可由普通之鏡子所構成。拍攝用透鏡12、光纖用透鏡13及聚光透鏡14與第一實施形態相同。
根據以上所說明之第三實施形態之雷射軟焊裝置60，可提供可藉由進行預加熱及主加熱來防止將基板或周圍之不耐熱零件燒焦或殘渣等之產生之雷射軟焊裝置。再者，於第三實施形 態中，由於具有兩片鏡子，因此不會產生拍攝圖像之反轉，但由於光學零件增加，且軟焊裝置本體2亦變大，因此於輕量化的部分第一實施形態較為有利。
以上，雖已對本發明較佳之實施形態例進行說明，但本發明之技術範圍並非被限定於上述實施形態例之記載者。可對上述實施形態例施加各種變更、改良，且經施加如此之變更或改良之形態者，亦包含於本發明之技術範圍。

Claims (21)

  1. 一種自動軟焊方法，係使用具備有雷射軟焊裝置、及將雷射軟焊裝置沿著上下方向加以驅動之Z軸驅動裝置之自動軟焊裝置者；其特徵在於，上述雷射軟焊裝置具備有：本體，其具有下部開口、與下部開口連通之拍攝用孔、及與下部開口連通之照射用孔；鏡，其使雷射光反射或透過並將其引導至下部開口，並且使朝向下部開口的入射光反射或透過；拍攝裝置，其經由上述拍攝用孔及上述鏡對工件進行拍攝；雷射裝置，其係由單一之雷射光源所構成；以及光纜，其將來自雷射裝置之雷射光入射至照射用孔；該自動軟焊方法包含有：第一高度對準步驟，其藉由上述Z軸驅動裝置，將雷射軟焊裝置之高度對準於，自上方觀察之情形時，雷射光之照射直徑D1成為大於焊料熔滴S之直徑之被預先設定之大小的位置；預加熱步驟，其對上述雷射裝置發送照射指令，對上述焊料熔滴S照射雷射光而以助焊劑之溶劑成分會揮發且焊料粉不會熔融之溫度進行加熱；第二高度對準步驟，其藉由上述Z軸驅動裝置，將雷射軟焊裝置之高度對準於，自上方觀察之情形時，雷射光之照射直徑D2成為小於上述焊料熔滴S之直徑之被預先設定之大小的位置；以及主加熱步驟，其對上述雷射裝置發送使雷射光以相較於上述預加熱步驟更高之輸出而射出之照射指令，對上述焊料熔滴S照射雷射 光而以焊料粉會熔融之溫度加熱來進行軟焊。
  2. 如請求項1之自動軟焊方法，其中，於上述第二高度對準步驟中，以在上述主加熱步驟中照射的雷射光不會超出電極焊墊之範圍的方式，來對準雷射軟焊裝置的高度。
  3. 如請求項2之自動軟焊方法，其中，上述焊料熔滴S被形成為超出上述電極焊墊之範圍的大小。
  4. 如請求項1至3中任一項之自動軟焊方法，其中，於上述第一高度對準步驟中，將上述照射直徑D1設定在上述焊料熔滴S之直徑之1.1倍~2倍的範圍內。
  5. 如請求項4之自動軟焊方法，其中，於上述第二高度對準步驟中，將上述照射直徑D2設定在上述焊料熔滴S之直徑之0.1倍~0.9倍的範圍內。
  6. 如請求項1至3中任一項之自動軟焊方法，其中，於上述主加熱步驟中，包含有使上述雷射光之輸出逐漸增大的步驟。
  7. 如請求項6之自動軟焊方法，其中，於上述主加熱步驟中，以固定的輸出將雷射光照射被預先設定的時間，接著使雷射光之輸出逐漸增大。
  8. 如請求項1至3中任一項之自動軟焊方法，其中，儲存有複數種模式之上述焊料熔滴S之直徑、對應於該直徑之照射直徑D1及D2之組合、以及雷射光之輸出，並根據所選擇之一種模式來執行上述第一高度對準步驟及上述第二高度對準步驟。
  9. 如請求項1至3中任一項之自動軟焊方法，其中，上述拍攝裝置被構成為在上述第二高度對準步驟中焦點會對準。
  10. 一種自動軟焊裝置，係具備有雷射軟焊裝置、將雷射軟焊裝 置沿著上下方向加以驅動之Z軸驅動裝置、以及控制雷射軟焊裝置及Z軸驅動裝置之動作之控制裝置者；其特徵在於，上述雷射軟焊裝置具備有：本體，其具有下部開口、與下部開口連通之拍攝用孔、及與下部開口連通之照射用孔；鏡，其使雷射光反射或透過並將其引導至下部開口，並且使朝向下部開口的入射光反射或透過；拍攝裝置，其經由上述拍攝用孔及上述鏡對工件進行拍攝；雷射裝置，其係由單一之雷射光源所構成；以及光纜，其將來自雷射裝置之雷射光入射至照射用孔；且上述控制裝置執行如下之步驟：第一高度對準步驟，其藉由上述Z軸驅動裝置，將雷射軟焊裝置之高度對準於，自上方觀察之情形時，雷射光之照射直徑D1成為大於焊料熔滴S之直徑之被預先設定之大小的位置；預加熱步驟，其對上述雷射裝置發送照射指令，對上述焊料熔滴S照射雷射光而以助焊劑之溶劑成分會揮發且焊料粉不會熔融之溫度進行加熱；第二高度對準步驟，其藉由上述Z軸驅動裝置，將雷射軟焊裝置之高度對準於，自上方觀察之情形時，雷射光之照射直徑D2成為小於上述焊料熔滴S之直徑之被預先設定之大小的位置；以及主加熱步驟，其對上述雷射裝置發送使雷射光以相較於上述預加熱步驟更高之輸出而射出之照射指令，對上述焊料熔滴S照射雷射光而以焊料粉會熔融之溫度加熱來進行軟焊。
  11. 如請求項10之自動軟焊裝置，其中，於上述第二高度對準步 驟中，以在上述主加熱步驟中照射的雷射光不會超出電極焊墊之範圍的方式，來對準雷射軟焊裝置的高度。
  12. 如請求項10之自動軟焊裝置，其中，於上述第一高度對準步驟中，可將上述照射直徑D1設定在上述焊料熔滴S之直徑之1.1倍~2倍的範圍內。
  13. 如請求項12之自動軟焊裝置，其中，於上述第二高度對準步驟中，可將上述照射直徑D2設定在上述焊料熔滴S之直徑之0.1倍~0.9倍的範圍內。
  14. 如請求項10至13中任一項之自動軟焊裝置，其中，於上述主加熱步驟中，包含有使上述雷射光之輸出逐漸增大的步驟。
  15. 如請求項14之自動軟焊裝置，其中，於上述主加熱步驟中，以固定的輸出將雷射光照射被預先設定的時間，接著使雷射光之輸出逐漸增大。
  16. 如請求項10至13中任一項之自動軟焊裝置，其中，上述拍攝用孔係垂直孔，且自上述拍攝用孔之下側之端部開口即上述下部開口照射上述雷射光，上述照射用孔係水平孔，且於上述拍攝用孔與上述照射用孔之交點配置有上述鏡。
  17. 如請求項10至13中任一項之自動軟焊裝置，其中，於上述鏡與上述照射用孔之間配置有光纖用透鏡，並於上述鏡與上述拍攝用孔之間配置有拍攝用透鏡。
  18. 如請求項17之自動軟焊裝置，其中，上述拍攝用透鏡係單焦點透鏡，且具備有作為可調節上述拍攝裝置相對於上述本體之物理性位置的位置調節機構，或者，上述光纖用透鏡係單焦點透鏡，且 具備有作為可調節上述拍攝用透鏡之位置的位置調節機構。
  19. 如請求項10至13中任一項之自動軟焊裝置，其中。上述拍攝裝置被構成為在上述第二高度對準步驟中焦點會對準。
  20. 如請求項10至13中任一項之自動軟焊裝置，其進一步具備有：吐出裝置：以及安裝構件，其保持上述雷射軟焊裝置及上述吐出裝置，且被連結於上述Z軸驅動裝置。
  21. 如請求項20之自動軟焊裝置，其進一步具備有供上述Z軸驅動裝置搭載之X軸驅動裝置；且藉由上述Z軸驅動裝置及上述X軸驅動裝置，將上述雷射軟焊裝置及上述吐出裝置同時地加以移動。
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