TWI770300B - 磁性軸承組件以及施用一或多個所述磁性軸承組件的線性導軌組件 - Google Patents

磁性軸承組件以及施用一或多個所述磁性軸承組件的線性導軌組件 Download PDF

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Abstract

本發明是關於一種磁性軸承組件，用以將一剛體沿著一線性替換路徑相對另一剛體進行非接觸式的線性替換。本發明亦關於一線性導軌組件，其施用了一或多個前述的磁性軸承組件。所述磁性軸承組件包括至少一磁性軸承模組，裝設於該二剛體的其中一者上，以及至少包含有一鐵磁芯、一第一磁性件位於該鐵磁芯的一第一側、一線圈纏繞於該鐵磁芯上，以及至少一第一靜態背鐵，裝設於該二剛體的另一者上，且該第一靜態背鐵在使用中位於與該軸承模組相隔一特定距離之處。

Description

磁性軸承組件以及施用一或多個所述磁性軸承組件的線性導軌組件
本發明係與磁性軸承組件有關，用以將一剛體沿著一線性替換路徑相對另一剛體進行非接觸式的線性替換。
本發明亦與一線性導軌組件有關，所述線性導軌組件施用了一或多個前述的磁性軸承組件。
磁性軸承組件（或者簡稱磁性軸承）可以做為習用的轉動件軸承具優勢的替代品。考量到磁性軸承是非接觸式的，沒有機械摩擦，所以不太會產生微粒。不僅如此，磁性軸承組件沒有使用潤滑油的必要，是以在真空操作中不會有明顯的分子污染釋放。這些理由使得防污密封可以省略。在高科技真空環境系統中施用磁性軸承的主要挑戰，在於要最小化線圈散熱、最小化渦流效應、穩定控制系統的施用，以及對典型非線性特徵進行線性化。
磁性軸承技術已經使用在工業應用的領域裡。可轉動的磁性軸承可以商業取得，並且應用在各種場域，比如說醫療系統、渦輪分子真空幫浦、低溫系統，以及工具機。還有另一個種類，就是無軸承馬達，這種馬達是透過磁性懸浮的。磁浮廣泛使用在平坦平台上的致動，通常是根據勞侖茲力而作用。磁性軸承有一個獨立的類別，是基於遲滯力來運作的，其中類似的概念也可以當作致動器之用。
雖然磁性軸承的應用也使用在其他領域，但在商業規模上（例如應用在高淨度基板加工機器人）的更進一步發展卻面臨技術和結構限制的挑戰。一般所知的磁性軸承應用之特徵，在於其設計規模有限，然而若要實現高檔的磁性軸承應用，會需要發展具有顯著重量、大小和成本的磁性軸承，且習用的轉動件軸承就可以達到類似的目的。
有鑑於此，本發明之目的在於提供一種能解決前述問題的辦法，使得一剛體可以沿著一線性的替換路徑相對另一剛體進行線性替換，或者更明確來說，是得以去控制一剛體相對另一剛體的平移自由度。
緣以達成上述目的，本發明提供的一種磁性軸承組件包含有包括有一剛體與另一剛體、至少一軸承模組，以及至少一第一靜態背鐵，其中該至少一軸承模組係裝設於該剛體，且包括有一鐵磁芯、一第一磁性件，以及一線圈；該第一磁性件位於該鐵磁芯的一第一側，該線圈纏繞於該鐵磁芯；該至少一第一靜態背鐵係裝設於該另一剛體，且在使用時，位於與該軸承模組相隔一縫距之處。
像這樣的磁性軸承組件之設計，允許該剛體相對該另一剛體進行無接觸式的線性替換，由於沒有摩擦力，所以不會產生微粒，也不會有潤滑油洩漏的問題。更明確來說，該些剛體相對彼此的線性替換因此有可能垂直於整體架構的剛性方向。
於一例中，該第一靜態背鐵係位於該鐵磁芯的該第一側。
於另一更具優勢的實施例中，該磁性軸承模組更包含有一設定模組，位於該鐵磁芯上與該第一側相反的另一側。主動式的軸承模組包含一E形磁芯、一永久磁鐵，以及一線圈。一第二磁性件位在該剛體上，其磁力作用方向相反於該主動式軸承模組，以產生預載及靜力平衡。該二元件都可以透過機械調整相對位置，以微調穩定狀態下的作用力平衡，並補償公差（例如永久磁鐵之公差）。此架構的另一額外優點，是在穩定狀態的情況下不會有力量逸散。這允許了磁力軸承模組能有更進一步的設定可能性，該鐵磁芯及該第一磁性件會產生朝向該第一靜態背鐵的吸引力，而藉由沿著與此吸引力相反的方向施加一持續的預載，可以控制在該二剛體之間的縫距，使得在該二剛體之間的非接觸式線性替換不會有任何熱能逸散。更明確來說，在帶有該設定模組的實作中，在靜止情況下施加在磁性軸承模組上的淨力可受控制，因此磁性軸承模組（其中一該剛體）相對該另一剛體的位置（縫距）也可受控制。
更明確來說，所述設定模組包含有該第二磁性件，可以強化對施加在磁性軸承模組上之淨力的控制，藉此也可以強化對磁性軸承模組（該剛體）相對該另一剛體的位置（縫距）之控制。
根據本發明而設計的又一個磁性軸承組件範例裡，該至少一軸承模組包含有另一靜態背鐵，裝設在又另一剛體上，且在使用中時，位於與該設定模組相隔一縫距之處，其中該設定模組被安排來設定該軸承模組和裝設在該又另一剛體上的該另一靜態背鐵之間的縫距。
更明確來說，該設定模組為一可控設定模組，藉此可允許沿一方向預先設定持續的預載，而此處所指的方向係相反於該鐵磁芯和該第一磁性件所產生的朝向該第一靜態背鐵的吸引力。這樣的設計能夠更進一步去控制該二剛體之間的縫距，且該二剛體間相對的無接觸式線性替換也同樣能夠有更進一步的控制。更明確來說，在包含有具預先設定功效的該設定模組之實作裡，施加在該磁性軸承模組上的淨力可以得到更多的控制，端視施用了該磁性軸承模組的裝置或架構而定，藉此該磁性軸承模組（該剛體）相對該另一剛體的位置（縫距）也同樣能更好地控制，得到作用力的穩定平衡，並最小化能量耗散。
在更進一步的例子裡，該鐵磁芯是一E形磁芯，具有一底座、一中心腳，以及二外腳，其中該第一磁性件位於該中心腳上，該線圈纏繞於該中心腳。
更明確來說，該E形磁芯是層壓製成的，且該第一磁性件為一永久磁鐵，該第二磁性件也可以是一永久磁鐵。
根據本發明而設計的具有一或多個磁性軸承組件的應用或實作可以是一個線性導軌組件，包含有一剛體，形成一線性導軌，定義出一線性替換路徑，另外還有一或多個剛體，形成產品載體，而該些產品載體係可以沿著所述線性導軌接受替換，其中所述線性導軌組件更包含有一或多個像這樣的磁性軸承組件。
為能更清楚地說明本發明，茲舉多個實施例並配合圖式詳細說明如後。在圖式中描繪的一磁性軸承組件之建議概念包含有複數個小的軸承件，可以限制一剛體相對另一剛體的一單一平移自由度。需注意的是，複數個軸承件可以結合而限制或控制多個平移自由度，如同圖３a和圖３b中的實施例所示範。
基於本發明的一可變磁阻之磁性軸承組件的第一實施例如圖１所示。圖１示例的該磁性軸承組件以標號10標示（在圖２a～２b中也是標號10），並允許一剛體沿著一線性替換路徑相對另一剛體進行一非接觸式線性替換（或一單一平移自由度）。在圖１中，該剛體係以標號30標示（在圖２a～２b中亦同，而在圖３a～３b中的標號為300），其中該另一剛體則以標號20標示（在圖２a～２b中標示為20a、20b，在圖３a～３b中則標示為標號110、120）。
該磁性軸承組件10包含有：至少一軸承模組，設置在該剛體30上，並且包含有至少一鐵磁芯31。為便於理解本發明，應該注意的是，任何的鐵磁芯設計都可以實作；然而，在這個較佳的範例中，該鐵磁芯31是一個E形磁芯，其具有一底座31a、一中心腳33，以及二外腳32a、32b。在該鐵磁芯31的一第一側，設置有一第一磁性件34，且在這個範例中，該鐵磁芯31的一第一端被定義係位於該中心腳33的一自由端面33a。同樣也在此一範例中，有一線圈35纏繞在該E形磁芯的該中心腳33之上。
然後，需注意的是，任何具有一線圈纏繞在其中心元件、以及具有一磁性件位於其第一側的鐵磁芯設計，都可以施用在以本發明為基礎的該磁性軸承組件10。
除了該磁性軸承組件10，圖１亦呈現有至少一第一靜態背鐵或後側軸承。該至少一第一靜態背鐵或後側軸承係設置在所述另一剛體20上，或者做為所述另一剛體20的一部份。在使用時，所述至少一第一靜態背鐵或後側軸承的位置與所述至少一軸承模組相距一特定的縫距40，在圖１中以標號g1標示。
較佳但非必要的是，該鐵磁芯31係設計為經層壓而成的E形磁芯，該第一磁性件34則被解釋為一永久磁鐵。
在使用或是在操作時，該第一靜態背鐵或後側軸承（或說該另一剛體20）位於與E形磁芯組件（包含該鐵磁芯31、該第一磁性件34，以及該線圈35）間隔有該縫距40（g1）之處。這樣的設置定義了一低磁阻路徑，在該處，由該縫距40定義的該空氣間隙中產生的磁通密度會產生一個與間隙相關的吸引力，作用在該E形磁芯組件（以及該剛體30）相對該另一剛體20之間，其中該另一剛體20係示意性地以該第一靜態背鐵（後側軸承）來描述之。
根據通過該線圈35的電流方向及強度，纏繞在該鐵磁芯31（即E形磁芯）的該中心腳35（或稱凸齒）的該線圈35可以用來增強或減弱該空氣間隙40（g1)中的該磁通密度。需注意的是，該磁性軸承組件10（事實上，是該至少一軸承模組）在該鐵磁芯31（即E形磁芯）和該第一靜態背鐵（後側軸承）（或說該另一剛體20）之間只能產生吸引力，無法產生斥力。
圖２a～２b所示的是一磁性軸承組件（標示為10’）的另一範例。在這個實施例中，該磁性軸承組件10’額外設置有一設定模組50，其中該設定模組50位在該鐵磁芯31（E形磁芯）上與該第一磁性件34相反的一側，亦即在該中心腳33的該自由端面33a的相反側。較佳但非必要的是，該設定模組50設置有一第二磁性件51。
該設定模組50提供或施加一持續的預載給該磁性軸承組件10’，方向與產生在該鐵磁芯31（E形磁芯）以及該第一磁性件34之間的吸引力相反。像這樣在具磁性的軸承模組（包含該鐵磁芯31、該第一磁性件34、以及該設定模組50）上造成的淨力是可受控的，因此該剛體30的位置（事實上是該距離g1）也是可受控的；所謂該剛體30的位置，指的是設置於該剛體30上具磁性的該軸承模組（包含該鐵磁芯31、該第一磁性件34、以及該設定模組50）相對於另一靜態背鐵而言的位置，其中該另一靜態背鐵係設置在該另一剛體20a、20b上，或做為該另一剛體20a、20b的一部份。
需注意的是，在圖２a～２b中，標號20a、20b都被視為是結構性的元件，是待審查的請求項中對應定義之剛體的一部份；另一方面，標號30則構成該另一剛體，且此處描述的該磁性軸承組件10’允許該些剛體的其中一者（標號20a、20b，或標號30者）相對另一者（標號30，或標號20a、20b者）沿著一線性替換路徑進行非接觸式線性替換。
根據該軸承模組（包含該鐵磁芯31、該第一磁性件34、以及該設定模組50）設置在該剛體30上的方向，帶磁性的該軸承模組（包含該鐵磁芯31、該第一磁性件34、以及該設定模組50）具有的重量所決定的重力可以提供所述預載的至少一部分。
標號20a定義了該第一靜態背鐵（或後側軸承）所在的剛體，而標號20b定義了另一靜態背鐵（或後側軸承）所在的又另一剛體。
所述預載可以透過所述設定模組50包含的該第二磁性件51而得到增強，其中該第二磁性件51位在該鐵磁芯31（E形磁芯）的該中心腳33、該線圈35，以及該第一磁性件34構成的組態之相反側，如圖２a所示。更明確來說，該第二磁性件51可以是一永久磁鐵，且能夠設置在該鐵磁芯31（E形磁芯）（明確來說是該底座31a）的該另一側。
這個第二（永久）磁性件51會在設置於該剛體30上具磁性的該軸承模組（包含該鐵磁芯31、該第一磁性件34、該線圈35、該設定模組50）以及該另一剛體20b之間的一空氣間隙g2（41）裡產生一預載力。透過微調該設定模組50所施加的磁性預載力，該軸承模組的能量耗散可以最小化，這麼一來所有靜力都得到了平衡。在這個例子裡，該電磁鐵（鐵磁芯31和線圈35）只需要抵消該剛體30相對該另一剛體20a、20b進行該線性替換的過程中出現的動態干擾。製造公差以及該些永久磁鐵在尺寸和磁矩方面相對較大的變化可能會造成偏離靜態力平衡的結果。
在基於本發明的又一例子之磁性軸承組件10”裡（見圖２b），該設定模組50在該第二永久磁性件51旁包含有一可控調整機制52，位在該鐵磁芯31（E形磁芯）的該底座31a以及該第二（永久）磁性件51之間。藉此，在設置於該剛體30上具磁性的該軸承模組（包含有該鐵磁芯31、該第一磁性件34、該線圈35、該設定模組50）與該另一剛體20b之間的距離（或稱該空氣間隙g2，即41）是有可能預先調整的，因而可允許對該預載力加以調整。如此一來，由該第一和第二磁性件34、51施加的靜力可達到平衡，且任何能量耗散可以最小化。
這個例子可以結合一位置感應器（或一通量感應器）以及一動作控制軟體（圖未示)，包含有一電流控制迴路以及一位置控制迴路，使得在具磁性的該軸承模組（包含有該鐵磁芯31、該第一磁性件34、該線圈35）以及設置在該另一所述剛體20a的該第一靜態背鐵之間的該空氣間隙40（g1）可以受到主動控制，藉由調節通過該電磁鐵（即中心腳33與線圈35）的電流，補償該剛體30相對該另一剛體20a、20b進行該線性替換的過程中所發生的動態干擾作用力。
為了使結構緊湊，以及避免微粒污染（淨度考量），具磁性的該軸承模組（包含有該鐵磁芯31、該第一磁性件34、該線圈35、該設定模組50）整體可以封裝在一非磁性材質中（見圖４)，比如說不鏽鋼或樹脂，並接著如圖３a～３b的應用實施例中所示例，設置在該些剛體20a、20b，或30的其中一者。
在圖３a～３b中，描繪有包含了複數個磁性軸承組件的實施方式或應用的範例。在這個僅做為示例、但不為本發明限制的範例中，共有五個磁性軸承組件，以下為方便起見，分別標號為30-1┼50-1、30-2┼50-2、30-3┼50-3、30-4┼50-4，以及30-5┼50-5，代表其係由剛體30-X及設定模組50-X構成（在此例中，X為1、2、3、4，或5），且該些磁性軸承組件與剛體110、120和300互動。
需注意的是，在圖３a～３b中，標號110、120（對應至20a、20b）都被認為是做為待審查的請求項中所定義的對應剛體其中一部份的結構性元件，而標號300則構成該另一剛體，且此處敘述的該些磁性軸承組件30-1┼50-1、30-2┼50-2、30-3┼50-3、30-4┼50-4、30-5┼50-5允許該些剛體的其中一者（標號110、120，或者標號300）相對另一者（標號300，或者標號110、120）沿著一線性替換路徑，進行非接觸式的線性替換。
至於標號20a-X（在這個包含五個磁性軸承組件的範例裡，X為1、2、3、4，或5）所指的是靜態背鐵（或後側軸承），而標號20b-X（其中X為1、2、3、4，或5）則指向各該磁性軸承組件30-X┼50-X（在這個包含五個磁性軸承組件的範例裡，X為1、2、3、4，或5）的另一靜態背鐵（或後側軸承）。
更明確來說，本範例描繪了一線性導軌組件100的上視圖（見圖３a）以及一前視圖（圖３b），該線性導軌組件100包含有剛體110、120，各自形成一線性導軌，共同定義一線性替換路徑；同時一或多個剛體300則形成產品載體，可以沿著所述剛體110、120定義的該些線性導軌位移，或者在該些線性導軌之間位移。該線性導軌組件100更包含有一或多個（此處有五個）磁性軸承組件30-1┼50-1、30-2┼50-2、30-3┼50-3、30-4┼50-4、30-5┼50-5，而各該磁性軸承組件係根據圖１、２a、２b中該些範例的任一或多個而設計的。
該線性導軌組件100包含有剛體110、120形成的該二導引軌道，其係平行設置，彼此間隔一定的距離。在這個僅做為示例、但不為本發明限制的範例中，各該剛體110、120形成的導引軌道分別設置有一導引槽111、121，沿著各該剛體110、120形成的導引軌道之長軸向延伸。該二導引槽111、121的位置使著該二導引槽111、121彼此面對。該二導引槽111、121用以容置一或多個（此處為三個）磁性軸承組件30-1┼50-1、30-2┼50-2，以及30-3┼50-3，而該些磁性軸承組件接受容置的方式，係如同圖４中所描繪的封裝模組，且該些磁性軸承組件30-1┼50-1、30-2┼50-2、30-3┼50-3係裝設在該剛體300形成的產品載體之承載支架300-1、300-2、300-3上，其中該剛體300形成的產品載體設置在由該剛體110、120形成的該二導引軌道定義的該線性導軌之間，並沿著該線性導軌受到導引。
需注意的是，該剛體300構成該產品載體，該另二剛體110、120構成該些導引軌道，此處所述的該剛體與該另二剛體之定義係如同待審查之請求項中所述，也如同圖２a、２b中的範例所界定。
更明確來說，在此一範例的該線性導軌組件100中，該些磁性軸承組件30-1┼50-1、30-2┼50-2、30-3┼50-3、30-4┼50-4，以及30-5┼50-5係實作在一直線導軌內，具有以600毫米為例的替換行程，做為在高淨度基材處理環境內一基材載體處理機器人的一部份。該直線導軌必須限制一載體與一做為該機器人之手臂或加工連桿一部份的替換柱（圖未示）相對的五個自由度。這個範例應用了五個磁性軸承組件30-1┼50-1、30-2┼50-2、30-3┼50-3、30-4┼50-4，以及30-5┼50-5，做為包含一或二個習用的側向導軌或軌道之概念的替代方案。
其中三個磁性軸承組件30-1┼50-1、30-2┼50-2，以及30-3┼50-3，限制了該剛體300形成的載體相對該些剛體110、120形成之導引軌道的平面自由度，分別稱作z、Ф和Ψ方向。另外兩個額外的磁性軸承組件30-4┼50-4以及30-5┼50-5則施加了剩餘的平面上自由度y和ϴ。
任何如上述對其中三個平面磁性組件30-1┼50-1、30-2┼50-2、30-3┼50-3施加的預載動作，都是透過該些設置在各自對應的鐵磁芯31（E形磁芯）底座31a上的設定模組50-1、50-2、50-3而進行的。同樣在本例中，所述預載包含一（永久）磁性件51-1、51-2、51-3，各自裝設至一可控調整機制52-1、52-2、52-3；該可控調整機制52-1、52-2、52-3可以是一機械式設定機制，用以預先設定介於各磁性組件（裝設至該剛體300，即產品載體）和該些另二剛體110、120（即導引軌道）之間（尤其是包圍各該導引槽111-121的該二靜態背鐵20b-2、20b-3，其中該二靜態背鐵20b-2、20b-3係做為導引輪緣）的空氣間隙g2（此處標號為41-1、41-2、41-3）。
同樣地，由各該剛體30-1、30-2、30-3（磁性組件）的該鐵磁芯31（E形磁芯）和該線圈35形成的各個電磁鐵，與各自對應的該些第一磁性件34-1、34-2、34-3（永久磁鐵）共同預先設定、控制了介於該剛體300（即產品載體）以及該另二剛體110、120（即導引軌道）之間的該空氣縫距g1（此處標號為40b-1、40b-2、40b-3）。
平面上的自由度係由其中二該磁性組件30-4┼50-4、30-5┼50-5所預載的。此處，對應的該二設定模組50-4、50-5與該二剛體30-4、30-5（即具磁性的軸承模組，分別包含有該鐵磁芯31、該線圈35，以及該第一磁性件34-4、34-5）皆裝設在該剛體300（即產品載體）的相反側，而該剛體300（即產品載體）係用來控制或維持該剛體300（即產品載體）和該二導引槽111、121之間分別要有的該空氣間隙，這裡所述的空氣間隙於圖中係位於靜態背鐵20b-5及20a-5標號所指之處。
本案不同於五個自由度受到限制的習用滾動元件線性軸承，所述五個限制的自由度可以使用主動可控的該些磁性軸承組件30-1┼50-1、30-2┼50-2、30-3┼50-3、30-4┼50-4、30-5┼50-5來主動控制，藉此修正在該線性導軌組件100的該二導引軌道（即該另二剛體110、120）之間替換該產品載體（即該剛體300）的機器人所做出的不必要動態行為。
如待審查的請求項所定義，上述磁性軸承組件的例子非常適合實作在商業規模的高淨度基材處理之機器人應用。本發明的磁性軸承組件能夠以較小的尺寸和較低的成本打造，而且能夠很容易地實作在溫度條件嚴格的系統以及真空環境裡，比如說晶圓基材處理應用；在這樣的應用裡，基材載體（如上述的剛體300）能夠相對導軌組件（如上述的另二剛體110、120）進行穩定而控制良好的線性替換動作，對於要達成確保品質之目的來說，是至關重大的要件。
更明確來說，在像這樣具有嚴格溫度條件的系統和真空環境裡，如前所提議的磁性軸承組件能夠提供穩定的替換動作、高度的剛性，以及良好的能源耗散表現，而這是習知的滾動軸承不可能辦到的。
以上所述僅為本發明較佳可行實施例而已，舉凡應用本發明說明書及申請專利範圍所為之等效結構變化，理應包含在本發明之專利範圍內。
10‧‧‧磁性軸承組件 20‧‧‧剛體 30‧‧‧剛體 31‧‧‧鐵磁芯 31a‧‧‧底座 33‧‧‧中心腳 32a‧‧‧外腳 32b‧‧‧外腳 33a‧‧‧自由端面 34‧‧‧第一磁性件 35‧‧‧線圈 40‧‧‧縫距 g1‧‧‧縫距 10’‧‧‧磁性軸承組件 20a、20b‧‧‧剛體 41‧‧‧空氣間隙 50‧‧‧設定模組 51‧‧‧第二磁性件 g2‧‧‧空氣間隙 10”‧‧‧磁性軸承組件 52‧‧‧可控調整機制 100‧‧‧線性導軌組件 20a-X、20b-X（其中X為1、2、3、4，或5）‧‧‧靜態背鐵 30-X┼50-X（其中X為1、2、3、4，或5）‧‧‧磁性軸承組件 110、120‧‧‧剛體 111、121‧‧‧導引槽 300‧‧‧剛體 300-X（其中X為1、2，或3）‧‧‧承載支架 30-X（其中X為1、2、3、4，或5）‧‧‧剛體 34-X（其中X為1、2、3、4，或5）‧‧‧第一磁性件 40b-X（其中X為1、2，或3）‧‧‧空氣間隙 41-X（其中X為1、2，或3）‧‧‧空氣間隙 50-X（其中X為1、2、3、4，或5）‧‧‧設定模組 51-X（其中X為1、2，或3）‧‧‧磁性件 52-X（其中X為1、2，或3）‧‧‧可控調整機制
圖１為本發明一實施例之磁性軸承組件的示意圖。 圖２a為本發明另一實施例之磁性軸承組件的示意圖。 圖２b為本發明又另一實施例之磁性軸承組件的示意圖。 圖３a為本發明一實施例之線性導軌組件的上視示意圖，其施用了多個本發明的磁性軸承組件。 圖３b為圖３a之前視圖。 圖４為一磁性軸承模組之示例的緊湊結構圖。
10‧‧‧磁性軸承組件
20‧‧‧剛體
30‧‧‧剛體
31‧‧‧鐵磁芯
31a‧‧‧底座
33‧‧‧中心腳
32a‧‧‧外腳
32b‧‧‧外腳
33a‧‧‧自由端面
34‧‧‧第一磁性件
35‧‧‧線圈
40‧‧‧縫距
g1‧‧‧縫距

Claims (11)

  1. 一種磁性軸承組件，包含有：一剛體與另一剛體；至少一軸承模組，裝設於該剛體，且包含有一鐵磁芯、一第一磁性件，以及一線圈，其中該第一磁性件位於該鐵磁芯的一第一側，該線圈纏繞於該鐵磁芯；至少一第一靜態背鐵，裝設於該另一剛體；在該磁性軸承組件受到使用時，該另一剛體位於與該軸承模組相隔一縫距之處；其特徵在於：該磁性軸承組件包含一設定模組，該設定模組位於該鐵磁芯與該第一側相反的另一側，且該設定模組包含有一第二磁性件；其中該設定模組係安排以設定介於該軸承模組和另一靜態背鐵之間的另一縫距。
  2. 如請求項1所述之磁性軸承組件，其中該第一靜態背鐵係位於該鐵磁芯的該第一側。
  3. 如請求項1所述之磁性軸承組件，其中該另一靜態背鐵裝設於又另一剛體上；在該磁性軸承組件受到使用時，該另一靜態背鐵位於與該設定模組相隔該另一縫距之處。
  4. 如請求項1至3中任一項所述之磁性軸承組件，其中該設定模組為一可控設定模組。
  5. 如請求項1所述之磁性軸承組件，其中該鐵磁芯為一E形磁芯，具有一底座、一中心腳，以及二外腳。
  6. 如請求項5所述之磁性軸承組件，其中該第一磁性件位於該中心腳上。
  7. 如請求項5所述之磁性軸承組件，其中該線圈係纏繞於該中心腳。
  8. 如請求項5所述之磁性軸承組件，其中該E形磁芯係經層壓製成的E形磁芯。
  9. 如請求項1所述之磁性軸承組件，其中該第一磁性件為一永久磁鐵。
  10. 如請求項1所述之磁性軸承組件，其中該第二磁性件為一永久磁鐵。
  11. 一線性導軌組件，包含有至少二剛體，以及至少一個如請求項1至10中任一項所述之磁性軸承組件，其中一該剛體形成一線性導軌，定義出一線性替換路徑；其餘各該剛體分別形成一產品載體，可沿著該線性導軌進行替換；該至少一磁性軸承組件係設置於形成該線性導軌之該剛體上。
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