TWI768809B - 微型氣體傳輸裝置 - Google Patents

Abstract

一種微型氣體傳輸裝置，包含：一微型氣體泵，傳輸一氣體；一微型閥門，供微型氣體泵設置，微型閥門依序疊設一微型集氣板、一微型閥片膜及一微型出氣板；微型集氣板，於四個角落處設有第一半蝕刻凹槽；微型閥片膜，沿微型閥片膜之四邊形成一隔離縫隙，使微型閥片膜形成一閥片膜外框與一閥片膜作動區；微型出氣板，供微型閥片膜佈置並於四個角落處設有第二半蝕刻凹槽。其中，微型集氣板及微型出氣板之第一半蝕刻凹槽、第二半蝕刻凹槽與微型閥片膜之隔離縫隙之間產生交集並形成一圈隔離結構，藉由圈隔離結構使閥片膜外框與閥片膜作動區之間形成一斷差，促使於閥片膜作動區上之一膠體不會滲入到閥片膜作動區，而影響到出氣及洩氣的效率。

Description

微型氣體傳輸裝置

本案係與氣體泵傳輸裝置有關，特別是指一種微型化之氣體泵傳輸裝置。

隨著科技的日新月異，氣體泵輸送裝置的應用愈來愈多元化，舉凡工業應用、生醫應用、醫療保健、電子散熱等等，甚至近來熱門的穿戴式裝置皆可見它的踨影，可見傳統的氣體輸送裝置已漸漸有朝向裝置微小化、微型化、流量極大化的趨勢。

請參閱第1圖，為習知氣體泵傳輸裝置之閥門立體分解示意圖，如圖所示，包含一閥門3，閥門3包含：一集氣板31、一閥片框架32、一閥片33及一出氣板34，集氣板31具有一挖空區310，閥片框架32設有一定位空間320供閥片33定位且閥片33設有一閥孔330，出氣板34設有一出氣孔340及一洩氣孔341，閥孔330設置於出氣孔340的中間位置，氣體在出氣時，因閥孔330孔徑小於出氣孔340孔徑而影響氣體的出氣路徑，導致出氣不順暢。而氣體在洩壓時，也因為閥孔330設置在出氣孔340的中間位置，導致氣體由出氣孔340進入後會經由閥孔330流入，使閥片33無法緊貼於集氣板31，導致部份氣體未經由洩氣孔341洩氣，造成氣體洩氣不完整。

再者，當閥門3供一氣體泵(未圖示)設置其上時為了防止氣體泵內的氣體外洩，通常會在閥片33之閥片框架32塗佈有膠體(未圖示)，並使膠體 環繞氣體泵外側而密封氣體泵。然而，當在進行組裝閥門3而壓合集氣板31與出氣板34時，位於閥片框架32上的膠體會產生溢膠現象而使膠體滲入閥片33，影響出氣及洩氣效率。

除此，目前的氣體泵傳輸裝置包括一氣體泵與一閥門相互結合，但由於閥門的厚度無法降低，造成氣體泵傳輸裝置整體厚度難以與負載裝置(例如：穿戴式裝置)結合，因此，如何降低閥門整體厚度以及因溢膠現象使膠體滲入閥片，影響出氣及洩氣效率，實為目前迫切需要解決之問題。

本案係為一種微型氣體傳輸裝置，其主要目的係提供一種微型氣體泵結合微型閥門的結構，不僅大幅降低氣體傳輸裝置的整體厚度，並且有效解決因溢膠現象造成出氣及洩氣效率不佳之問題。

為達上述目的，本發明為一種微型氣體傳輸裝置，包括：一微型氣體泵，傳輸一氣體；一微型閥門，供微型氣體泵設置，微型閥門依序疊設一微型集氣板、一微型閥片膜及一微型出氣板；微型集氣板，於四個角落處設有第一半蝕刻凹槽；微型閥片膜，圍繞微型閥片膜之四邊形成一隔離縫隙，使微型閥片膜形成一閥片膜外框與一閥片膜作動區；微型出氣板，供微型閥片膜佈置並於四個角落處設有第二半蝕刻凹槽。其中，微型集氣板及微型出氣板之第一半蝕刻凹槽、第二半蝕刻凹槽與微型閥片膜之隔離縫隙之間產生交集並形成一圈隔離結構，藉由隔離結構使閥片膜外框與閥片膜作動區之間形成一斷差，促使於閥片膜作動區上之一膠體不會滲入到閥片膜作動區，而影響到出氣及洩氣的效率。

1:微型氣體泵

100:微型氣體傳輸裝置

11:進氣板

111:第一表面

112:第二表面

113:進氣孔

114:匯流腔室

115:進氣流道

12:共振片

121:中心孔

122:振動部

123:固定部

13:致動件

131:振動板

131a:上表面

131b:下表面

131c:凸部

132:框架

132a:第一導電接腳

133:連接部

134:壓電片

135:氣體通道

14:第一絕緣框架

15:導電框架

151:框架部

152:電極部

153:第二導電接腳

16:第二絕緣框架

17:振動腔室

2:微型閥門

21:微型集氣板

210:挖空區

211:洩氣契合部

2100:第一半蝕刻凹槽

22:微型閥片膜

220:閥孔

221:隔離縫隙

222:閥片膜外框

223:閥片膜作動區

23:微型出氣板

230:出氣表面

2300:第二半蝕刻凹槽

231:洩氣表面

232:出氣凹槽

233:出氣孔

234:洩氣分流槽

235:洩壓孔

236:洩壓溝渠

3:閥門

31:集氣板

310:挖空區

32:閥片框架

320:定位空間

33:閥片

330:閥孔

34:出氣板

340:出氣孔

341:洩氣孔

A-A、B-B、C-C、D-D:剖線

D1:斷差

E:膠體

第1圖為習知閥門立體示意圖。

第2A圖為本案微型氣體傳輸裝置立體示意圖。

第2B圖為本案微型氣體傳輸裝置另一角度之立體示意圖。

第3A圖為本案微型氣體泵之分解示意圖。

第3B圖為本案微型氣體泵另一角度之分解示意圖。

第4A圖為本案微型氣體泵之剖面示意圖。

第4B至4D圖為本案微型氣體泵之作動示意圖。

第5A圖為微型閥門與微型氣體泵的分解示意圖。

第5B圖為微型閥門與微型氣體泵另一角度的分解示意圖。

第6圖為本案微型氣體傳輸裝置之平面示意圖。

第7圖為本案微型氣體傳輸裝置依第6圖之A-A剖線之氣體輸出剖面示意圖。

第8圖為本案微型氣體傳輸裝置之氣體輸出平面示意圖。

第9圖為本案微型氣體傳輸裝置依第6圖之B-B剖線之氣體洩壓剖面示意圖。

第10圖為本案微型氣體傳輸裝置之氣體洩壓平面示意圖。

第11圖為本案微型氣體傳輸裝置依第6圖之C-C剖線之剖面示意圖。

第12圖為本案微型氣體傳輸裝置依第6圖之D-D剖線之剖面示意圖。

體現本案特徵與優點的實施例將在後段的說明中詳細敘述。應理解的是本案能夠在不同的態樣上具有各種的變化，其皆不脫離本案的範圍，且其中的說明及圖示在本質上當作說明之用，而非用以限制本案。

請參閱第2A圖至第2B圖所示，第2A圖為本發明微型氣體傳輸裝置立體示意圖，第2B圖為本發明微型氣體傳輸裝置另一角度之立體示意圖。 本案提供一種微型氣體傳輸裝置100，包含一微型氣體泵1及一微型閥門2，微型氣體泵1設置於微型閥門2上。

以及，請參閱第3A圖及第3B圖所示，第3A圖為微型氣體泵的分解示意圖，第3B圖為微型氣體泵另一角度的分解示意圖。微型氣體泵1包含一進氣板11、一共振片12、一致動件13、一第一絕緣框架14、一導電框架15及一第二絕緣框架16。微型氣體泵1可為壓電式氣體泵，且總厚度為0.5~3mm，但並不以此為限。

其中，進氣板11具有一第一表面111、第二表面112、複數個進氣孔113、一匯流腔室114及複數個進氣流道115。第一表面111與第二表面112為相互對應的兩表面。複數個進氣孔113於本實施例中其數量為4個，但不以此為限，分別由第一表面111貫穿至第二表面112。匯流腔室114則由第二表面112凹陷形成，且位於第二表面112中央。複數個進氣流道115其數量與位置與進氣孔113相對應，故於本實施例中其數量同樣為4個。進氣流道115的一端分別與對應之進氣孔113連通，另一端則分別連通至匯流腔室114，使得氣體分別由自進氣孔113進入後，會通過其對應的進氣流道115，最後匯聚於匯流腔室114內。

共振片12結合於進氣板11的第二表面112，共振片12包含一中心孔121、振動部122及一固定部123，中心孔121於共振片12的中心位置穿透形成，振動部122位於中心孔121的周緣區域，固定部123位於振動部122的外緣，共振片12透過固定部123與進氣板11結合。當共振片12結合至進氣板11時，中心孔121、振動部122將與進氣板11的匯流腔室114垂直對應。

致動件13結合至共振片12，致動件13包含一振動板131、一框架132、複數個連接部133、一壓電片134及複數個氣體通道135。振動板131呈 一正方形態樣。框架132為一方型外框環繞於振動板131的外圍，且具有一第一導電接腳132a，第一導電接腳132a自框架132的外圍沿水平方向延伸。複數個氣體通道135則於振動板131、框架132及複數個連接部133之間。其中，致動件13透過框架132結合至共振片12的固定部123，複數個連接部133於本實施例中其數量為4個，但不以此為限。連接部133分別連接於振動板131與框架132之間，以彈性支撐振動板131。壓電片134其形狀與面積與振動板131相對應，於本實施例中，壓電片134亦為正方形態樣，其邊長小於或等於振動板131的邊長，且貼附於壓電片134。此外，振動板131具有相對的兩表面：一上表面131a及一下表面131b，上表面131a上具有一凸部131c，而壓電片134則是貼附於下表面131b。

第一絕緣框架14、第二絕緣框架16其外型與致動件13的框架132相同，皆為方形框架。導電框架15包含一框架部151、一電極部152及一第二導電接腳153，框架部151其形狀與第一絕緣框架14、第二絕緣框架16相同為方形框架，電極部152自框架部151內側向中心延伸，第二導電接腳153由框架部151的外周水平方向延伸。

請配合參閱第4A圖，第4A圖為微型氣體泵的剖面示意圖。進氣板11、共振片12、致動件13、第一絕緣框架14、導電框架15及第二絕緣框架16依序堆疊，共振片12與振動板131之間形成一振動腔室17。此外，導電框架15的電極部152將抵觸致動件13的壓電片134且電性連接，使得致動件13的第一導電接腳132a與導電框架15的第二導電接腳153可對外接收驅動訊號(包含驅動電壓及驅動頻率)，並將驅動訊號傳送至壓電片134。

接續，說明微型氣體泵1的作動，請參考第4B圖至第4D圖，壓電片134收到驅動訊號後，因壓電效應開始產生形變，進而帶動振動板131上下位移。請先參閱第3B圖，當振動板131向下位移時，帶動共振片12的振動部122向下移動，使得匯流腔室114的容積增加，開始通過進氣孔113、進氣流道115汲取外部的氣體進入至匯流腔室114內。再如第4C圖所示，振動板131被壓電片134向上帶動時，會將振動腔室17內的氣體由中心向外側推動，推至氣體通道135，以通過氣體通道135向下導送，同時共振片12會向上移動，推擠匯流腔室114內的氣體通過中心孔121向下傳輸。最後如第4D圖所示，當振動板131向下位移復位時，同步帶動共振片12的振動部122向下移動，振動部122接近振動板131的凸部131c，推動振動腔室17的氣體向外移動，以進入氣體通道135，且由於振動部122向下位移，使得匯流腔室114的容積大幅提升，進而由進氣孔113、進氣流道115吸取外部的氣體進入匯流腔室114內，不斷重複以上動作，將氣體持續的向下傳輸至微型閥門2。

再者，請參閱第5A圖至第5B圖，第5A圖為微型閥門與微型氣體泵的分解示意圖，第5B圖為微型閥門與微型氣體泵另一角度的分解示意圖。其中，一微型氣體泵1設置於一微型閥門2上，微型閥門2包含一微型集氣板21、一微型閥片膜22及一微型出氣板23。

微型集氣板21具有一挖空區210，挖空區210凸設一洩氣契合部211。微型閥片膜22具有複數閥孔220，且複數閥孔220與微型集氣板21之挖空區210錯位。於本實施例中，複數個閥孔220的數量以偶數為佳，較佳為2個，但不以此為限。以及微型閥片膜22係採用聚醯亞胺(Polyimide，簡稱PI)膜材質，PI膜材質的厚度僅為0.025mm，可讓微型閥片膜22整體厚度減少10%，並且在其它物件不變的前提下，微型閥片膜22可以展 現更大的彈性變形量，提供更敝的流通空間，降低流體阻力，提高出氣及洩氣的效率。再者，值得一提的是，微型集氣板21與微型出氣板23的四個角落處分別設有一第一半蝕刻凹槽2100與第二半蝕刻凹槽2300，再加上微型閥片膜22自身圍繞四邊所形成之長條隔離縫隙221，當微型集氣板21、微型出氣板23與微型閥片膜22組合後，第一半蝕刻凹槽2100與第二半蝕刻凹槽2300與長條隔離縫隙221產生交集，形成一圈隔離結構，避免微型閥片膜22之一閥片膜外框222上一膠體E滲入微型閥片膜22之一閥片膜作動區223。

此外，微型出氣板23更具有一出氣表面230、一與出氣表面230為兩相對表面之洩氣表面231，一由出氣表面230凹陷而成之出氣凹槽232、一設置於出氣凹槽232之出氣孔233及洩壓孔235，出氣孔233及洩壓孔235貫穿出氣表面230與洩氣表面231、一由出氣表面230凹陷而成之洩氣分流槽234，洩氣分流槽234的位置係對應挖空區210之洩氣契合部211設置並與出氣凹槽232錯開、以及一自洩氣表面231凹陷形成之洩壓溝渠236並與洩壓孔235連通，且洩壓溝渠236之面積自洩壓孔235處朝遠離洩壓孔235方向逐漸擴大。於本實施例中，微型出氣板23之洩氣分流槽234係以半蝕刻製程所蝕刻出來，且蝕刻深的深度為0.1~0.15mm時，消除噪音效果最佳。

以及，微型閥片膜22之兩閥孔220與微型出氣板23之出氣孔233的中心點並非設置在同一中心線而是形成一偏心設計，使兩閥孔220未設置於出氣孔233的中心位置，而微型閥片膜22設置於微型集氣板21上，而微型集氣板21供微型氣體泵1設置其上。請參閱第2A圖至2B圖，第2A圖為微型氣體傳輸裝置立體示意圖，第2B圖為微型氣體傳輸裝置另一角 度的立體示意圖。本實施例中，上述之微型集氣板21及微型出氣板23皆為金屬材質，(例如：為相同的金屬材質之不鏽鋼)。

請參閱第6圖及第7圖，第6圖為本案微型氣體傳輸裝置之平面示意圖，第7圖為第6圖之A-A剖線之氣體輸出剖面示意圖。微型集氣板21、微型閥片膜22及微型出氣板23依序由下往上堆疊固定。而微型氣體泵1結合微型閥門2。在輸出氣體時，微型氣體泵1傳輸氣體至微型閥門2，氣體由微型集氣板21之挖空區210進入，此時，位於出氣凹槽232的微型閥片膜22部分區域因氣體擠壓而被向上推動，使氣體進入出氣凹槽232內，並通過兩閥孔220流經出氣孔233順利排出至一負載空間(未圖示)。

請參閱第8圖，為本發明微型氣體傳輸裝置之氣體輸出平面示意圖。本案為避免微型氣體泵1在輸出氣體時產生阻塞的情況，因此將微型閥片膜22之兩閥孔220與微型出氣板23之出氣孔233的中心點不設置在同一中心線而形成偏心設計，同時兩閥孔220與出氣孔233重疊形成一貫穿孔洞，供氣體由貫穿孔洞及出氣孔233輸出至負載空間，完成氣體輸出而不會造成阻塞。

請再配合參閱第9圖所示，第9圖為第6圖之B-B剖線之氣體洩壓剖面示意圖。當微型氣體傳輸裝置100停止傳輸氣體至負載空間時，負載空間的氣壓大於外部氣壓，便開始通過微型閥片膜22進行洩壓作業，氣體從出氣孔233回壓至微型出氣板23時，因微型閥片膜22之兩閥孔220與微型出氣板23之出氣孔233中心點並非設置在同一中心線而是呈偏心設計，使兩閥孔220不設置在出氣孔233的中心位置，因此大部份的氣體無法由兩閥孔220流入穿過微型閥片膜22而流經洩氣分流槽234，同時微型閥片膜22受到氣體的推動而緊貼密合於微型集氣板21上，且位於微型集氣板21之挖空區210上方的微型閥片膜22部分區域因氣體推 擠而向下推動，使氣體可經由微型閥片膜22的上方進入到挖空區210，再流經洩氣分流槽234並由洩壓孔235輸出至洩壓溝渠236向外洩壓，順利完成洩壓作業。其中，當氣體經由至洩壓溝渠236洩壓時，因洩壓溝渠236之面積由洩壓孔235處朝遠離洩壓孔235方向逐漸擴大設計，使氣體可更順利地洩壓。

請參閱第10圖，為本案微型氣體傳輸裝置之氣體洩壓平面示意圖。為避免微型氣體泵1在進行洩壓時產生噪音的情況，因此微型集氣板21之挖空區210對應微型出氣板23之洩氣分流槽234位置設有洩氣契合部211。洩氣時，藉由洩氣契合部211緊貼於洩氣分流槽234，因此當氣體經由出氣孔233進入而流至洩氣分流槽234時，氣體會被迫分成二路後再匯集一併透過洩壓孔235排出微型氣體傳輸裝置100外，完成洩壓作業。藉由洩氣分流槽234的設計，無論氣體是分路或匯流都能有效降低因氣體直接衝擊洩氣分流槽234所造成的噪音。於本實施例中，洩氣分流槽234概呈一V形，並設有一V形分流結構，V形分流結構與洩氣契合部211垂直對應。

請參閱第11圖與第12圖，第11圖為第6圖之C-C剖線之剖面示意圖，第12圖為第6圖之D-D剖線之剖面示意圖，其中，微型集氣板21之第一半蝕刻凹槽2100、微型出氣板23之第二半蝕刻凹槽2300與微型閥片膜22之長條隔離縫隙221會產生交集，形成一圈隔離結構，當微型集氣板21、微型出氣板23與微型閥片膜22組合後，膠體E受到上、下壓合的壓力而向外擴張時，可藉由隔離結構使閥片膜外框222與閥片膜作動區223之間形成一斷差D1，避免膠體E滲入到閥片膜作動區223，確保膠體E只能停留在閥片膜外框222，而不會影響到閥片膜作動區223的上下作動，提昇出氣及洩氣的效率。

據此，經由上述敘明微型氣體傳輸裝置100的結構及動作後，可得知本發明確實具有以下功效：

第一點、透過使用微型集氣板21、微型閥片膜22及微型出氣板23等結構所組成的微型閥門2能夠大幅降低微型氣體傳輸裝置100的整體厚度，特別是微型閥片膜22的厚度僅為0.025mm，可讓微型閥片膜22整體厚度減少10%，並且在其它物件不變的前提下，微型閥片膜22可以展現更大的彈性變形量，提供更敝的流通空間，降低流體組力，提高出氣及洩氣的效率。

第二點、藉由隔離結構，使閥片膜外框222與閥片膜作動區223之間所形成的斷差D1，避免膠體E滲入到閥片膜作動區223，確保膠體E只能停留在閥片膜外框222，而不會影響到閥片膜作動區223的上下作動，提昇出氣及洩氣的效率。

第三點、本案的微型閥片膜22由原先的一個孔洞設置在出氣孔233的中間位置，改成兩個閥孔220，並且兩閥孔220與出氣孔233中心點並非設置在同一中心線而是呈偏心設計，此設計可避免氣體在回壓時通過兩閥孔220造成洩壓作業不完整，保障氣體洩氣順暢。

第四點、本案將微型集氣板21之挖空區210對應微型出氣板23之洩氣分流槽234的位置設有洩氣契合部211，洩氣時，藉由洩氣契合部211緊貼於洩氣分流槽234，使氣體經由出氣孔233進入而流至洩氣分流槽234時，氣體會被迫分成二路後再匯集一併透過洩壓孔235排出微型氣體傳輸裝置100外，完成洩壓作業。因此，無論氣體是分路或匯流都能有效降低氣體衝擊所產生的噪音。

100:微型氣體傳輸裝置

1:微型氣體泵

2:微型閥門

21:微型集氣板

210:挖空區

211:洩氣契合部

2100:第一半蝕刻凹槽

22:微型閥片膜

220:閥孔

221:隔離縫隙

222:閥片膜外框

223:閥片膜作動區

23:微型出氣板

230:出氣表面

233:出氣孔

235:洩壓孔

236:洩壓溝渠

Claims (16)

1. 一種微型氣體傳輸裝置，包含：一微型氣體泵，傳輸一氣體；一微型閥門，供該微型氣體泵設置，該微型閥門包含：一微型集氣板，具有一挖空區以及於四個角落處設有一第一半蝕刻凹槽；一微型閥片膜，具有複數閥孔，該複數閥孔與該微型集氣板之該挖空區錯位，且沿該微型閥片膜之四邊形成一隔離縫隙，使該微型閥片膜形成一閥片膜外框與一閥片膜作動區；以及一微型出氣板，供該微型閥片膜佈置並於四個角落處設有一第二半蝕刻凹槽，且該微型出氣板之該第一半蝕刻凹槽與該微型集氣板之該第二半蝕刻凹槽呈相對應位置，以及該微型出氣板具有一出氣表面、與該出氣表面為兩相對表面之一洩氣表面，由該出氣表面凹陷而成之一出氣凹槽，設置於該微型出氣板之一出氣孔與一洩壓孔，該出氣孔貫穿該出氣表面與該洩氣表面，以及該微型出氣板由該出氣表面凹陷而成一洩氣分流槽，且該洩壓孔貫穿該出氣表面與該洩氣表面並與該洩氣分流槽連通，以及一自該洩氣表面凹陷形成之一洩壓溝渠，該洩壓溝渠與該洩壓孔連通；其中，該微型集氣板、該微型閥片膜及該微型出氣板依序疊設置，該微型集氣板及該微型出氣板之該第一半蝕刻凹槽、該第二半蝕刻凹槽與該微型閥片膜之該隔離縫隙產生交集並形成一圈隔離結構，藉由該隔離結構使該閥片膜外框與該閥片膜作動區之間形成一斷差，使該閥片膜作動區上之一膠體不會滲入到該閥片 膜作動區。
2. 如請求項1所述之微型氣體傳輸裝置，其中該微型閥片膜係採用聚醯亞胺(PI)膜材質。
3. 如請求項1所述之微型氣體傳輸裝置，其中該微型閥片膜的厚度為0.025mm。
4. 如請求項1所述之微型氣體傳輸裝置，其中該微型閥片膜之該複數閥孔與該微型出氣板之該出氣孔兩者的中心點並非設置在同一中心線而是呈偏心設計，使該複數閥孔不設置在該出氣孔的中心位置，保障出氣及洩氣順暢。
5. 如請求項1所述之微型氣體傳輸裝置，其中該挖空區對應該洩氣分流槽位置凸設一洩氣契合部，當洩氣時該氣體經由該出氣孔進入後被迫分成二路流經該洩氣分流槽再匯集流至該洩壓孔排出該微型氣體傳輸裝置外，避免該氣體直接衝擊該洩氣分流槽產生噪音。
6. 如請求項1所述之微型氣體傳輸裝置，其中該洩氣分流槽呈V形。
7. 如請求項6所述之微型氣體傳輸裝置，其中該洩氣分流槽設有一V形分流結構。
8. 如請求項7所述之微型氣體傳輸裝置，其中該挖空區設有一洩氣契合部，該洩氣契合部與該V形分流結構垂直對應。
9. 如請求項1所述之微型氣體傳輸裝置，其中該微型氣體泵可為壓電式氣體泵且總厚度為0.5~3mm。
10. 如請求項1所述之微型氣體傳輸裝置，其中該微型閥片膜之該複數閥孔之數量為偶數個。
11. 如請求項1所述之微型氣體傳輸裝置，其中該微型出氣板之該洩氣分流槽的蝕刻深度為0.1~0.15mm。
12. 如請求項1所述之微型氣體傳輸裝置，其中該洩壓溝渠之面積由該洩壓孔處朝遠離該洩壓孔方向逐漸擴大。
13. 如請求項1所述之微型氣體傳輸裝置，其中該微型集氣板以及該微型出氣板為一金屬材質。
14. 如請求項13所述之微型氣體傳輸裝置，其中該金屬材質為一不銹鋼材質。
15. 如請求項1所述之微型氣體傳輸裝置，其中該微型氣體泵包括：一進氣板，具有：一第一表面，及與該第一表面相對之一第二表面；複數個進氣孔，分別由該第一表面貫穿至該第二表面；一匯流腔室，自該第二表面凹陷形成，且位於該第二表面中央；以及複數個進氣流道，自該第二表面凹陷形成，其一端分別連接該些進氣孔，另一端連接至該匯流腔室；一共振片，結合至該第二表面，具有：一中心孔，位於該共振片中央處；一振動部，位於該中心孔周緣，並與該匯流腔室對應；以及一固定部，位於該振動部外緣，且該共振片透過該固定部結合至該進氣板；一致動件，結合至該共振片的該固定部；一第一絕緣框架，結合該致動件；一導電框架，結合該第一絕緣框架；以及一第二絕緣框架，結合該導電框架。
16. 如請求項15所述之微型氣體傳輸裝置，其中該致動件包含： 一振動板，呈一正方形；一框架，環繞於該振動板的外圍；複數個連接部，分別連接於該振動板與該框架之間，以彈性支撐該振動板；以及一壓電片，形狀與面積與該振動板對應，且貼附於該振動板。

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